JPH0989983A - Icの接触圧をデータで変えるic搬送装置 - Google Patents

Icの接触圧をデータで変えるic搬送装置

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JPH0989983A
JPH0989983A JP27051695A JP27051695A JPH0989983A JP H0989983 A JPH0989983 A JP H0989983A JP 27051695 A JP27051695 A JP 27051695A JP 27051695 A JP27051695 A JP 27051695A JP H0989983 A JPH0989983 A JP H0989983A
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JP
Japan
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data
pressure
contact
control valve
output
Prior art date
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Application number
JP27051695A
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English (en)
Inventor
Yasunori Kamiya
泰範 神谷
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 IC1の接触圧をデータで変えるIC搬送装
置を提供する。 【解決手段】 シリンダ3はIC1のリードをコンタク
ト2に押圧する。制御弁4はシリンダ3に圧縮流体を出
力し、入力信号に比例して前記出力圧を可変する。記録
媒体5は前記出力圧のデータを記録する。CPU6は前
記出力圧のデータを読み込み、インターフェイス7は前
記出力圧のデータを出力信号に変換して制御弁4に入力
する。制御弁4はICの接触圧を前記データで変え、シ
リンダ3はIC1のリードをコンタクト2に適正圧力で
押す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ICの接触圧を
データで変えるIC搬送装置についてのものである。I
CをICソケットに圧接し、ICソケットに接続するI
CテスタでICを測定する。このようなIC搬送装置に
は、例えばオートハンドラがある。
【0002】
【従来の技術】図2は水平搬送式のオートハンドラの外
観図である。表面実装型ICが最近では普及している。
このようなICを効率よくICテスタで試験するために
は、複数のICをトレイに搭載し、前記トレイを数段に
重ね、トレイからICを搬送する水平搬送式のオートハ
ンドラが使用される。
【0003】図3は、水平搬送式のオートハンドラの測
定部の構成図である。図3アは平面図であり、図3イは
図4アの側面図である。図3において、IC1はシャト
ル11により供給部から測定受け渡し位置まで搬送され
る。図3アの状態から、モータMが駆動すると、測定ハ
ンド30が回転し、測定受け渡し位置のIC1を測定ヘ
ッド3Aが吸着する。
【0004】次に、測定ハンド30は回転し、IC1を
測定位置に搬送する。測定位置には、プリント基板2A
上にコンタクトとなるICソケット2が配置されてい
る。次に、加圧手段となるシリンダ3が駆動すると、測
定ヘッド3AがIC1のリードをICソケット2に押圧
する。ICソケット2は図示されないICテスタのテス
トヘッドに接続されており、IC1が測定される。
【0005】測定されたIC1は、測定ハンド30によ
り測定受け渡し位置に搬送され、シャトル11により収
容部に搬送される。このように、ICが逐次搬送され、
測定される。なお、図3では稼動率を向上するため、I
Cが並列して搬送される。
【0006】また、図3においては、ICが多品種化し
ているのに対応して、装置の部品あるいはキットを交換
するようになっている。ICのピン数、形状が変われ
ば、例えば、測定ヘッド3A、ICソケット2を交換す
る。さらには、シリンダ3の供給圧力も調整する必要が
ある。
【0007】図4は、図3の空気回路図である。図5の
8は電磁弁、9は圧力制御弁、10は空気源である。前
述のように、ICの品種が変わると、オートハンドラの
稼動に先立ち、圧力制御弁9でシリンダ3の供給圧力を
調整しておく。測定されるICのピン数、形状、リード
の材質などで変わるシリンダ3の供給圧力は、経験また
は予備試験などで予め、知られている。供給圧力を調整
後、オートハンドラは、プログラム制御により稼動す
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図4における圧力制御
弁は、いわゆる手動式の圧力メータつきの制御弁であ
り、圧力メータで供給圧力を確認して調整する。しか
し、ICの品種が切り変わり、キットを交換しても、圧
力調整を忘れる場合がある。前述の圧力が本来の設定値
より高い場合は、ICの破損やICソケットを実装する
プリント基板への残留応力が心配される。また、前述の
圧力が本来の設定値より低い場合は、接触圧の不足によ
り歩留まりが悪くなるという問題がある。
【0009】この発明は、ICの加圧手段に入力信号に
比例して出力圧を可変する制御弁を用い、記録媒体から
記録されたは前記出力圧のデータで前記制御弁を出力圧
を自動設定し、ICのリードをコンタクトに適正圧力で
押すことにより、手動調整をなくすことを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、IC1のリードをコンタクト2に押圧
する加圧手段3と、加圧手段3に圧縮流体を出力し、入
力信号に比例して前記出力圧を可変する制御弁4とを備
え、記録媒体5は前記出力圧のデータを記録し、CPU
6は前記出力圧のデータを読み込み、インターフェイス
7は前記出力圧のデータを出力信号に変換して制御弁4
に入力し、IC1のリードをコンタクト2に適正圧力で
押すことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施形態について説明する。図1はこの発明の一実
施形態によるICの接触圧をデータで変えるIC搬送装
置の構成を示し、図4と対比する。なお、図1におい
て、図4と共通する部分には同一の符号を付し、その説
明を省略する。
【0012】図1の4は制御弁である。制御弁4はIC
1のリードをコンタクト2に押圧する加圧手段となるシ
リンダ3に電磁弁8を介して圧縮流体を出力する。制御
弁4は入力信号に比例して前記出力圧を変えることがで
きる。一例として、制御弁4は入力信号が0〜10Vの
範囲で制御圧力が0〜0.5MPaに比例出力できる。
シリンダ3を例えば、0.25MPaで押す場合は、制
御弁4に5Vの入力信号となる電圧を加えればよい。
【0013】図1の5は記録媒体となるFD(フレキシ
ブル・ディスク)である。図1では、記録媒体としてF
Dを例示したが、IC搬送装置の稼動プログラムに設定
データを供給する機能を備えていれば、磁気テープや紙
テープなどの他の記録媒体でもよい。
【0014】図1のFD5には、ICの品種データファ
イル、ICのパッケージ種類およびピン数、並列測定
数、分類数などのデータが記録される他、制御弁4の出
力圧を設定するデータが記録されている。IC搬送装置
はFDのデータを読み取り、プログラム制御する。
【0015】すなわち、従来のIC搬送装置(オートハ
ンドラ)であっても、FD5からプログラム制御の設定
データを読み込みしていたのであるが、従来は、手動で
測定部での加圧調整をしていた。前記の測定部での加圧
力はICの品種、パーケージ種類、ピン数に固有のもの
であり、FD5にデータを前記加圧力を入力することを
忘れない限り、この発明では自動的に前記加圧力を設定
する。すなわち、この発明では、ICの品種が変わる度
に圧力設定するという手動作業を解放したことに特徴が
ある。さらに、図1に示されるように、FD5の表示面
にICの品種に対応して、コンタクト圧力を標記してお
くと、便利である。
【0016】図1の6はCPUであり、CPU6は前記
出力圧のデータを読み込む。7はインターフェイスであ
り、インターフェイス7は前記出力圧のデータを出力信
号に変換して制御弁4に入力する。このようにして、こ
の発明によるIC搬送装置はIC1のリードをコンタク
ト2に適正圧力で押す。
【0017】なお、この発明では、IC搬送装置とし
て、オートハンドラを例示したが、ICの品種が変わる
ごとに、ICのリードの加圧力を調整する装置であれ
ば、この実施形態に限定されない。さらに、コンタクト
としてICソケットを例示したが前述と同様にコンタク
トはこの実施形態に限定されない。例えば、テストヘッ
ドに接続するプリント基板の座パターンにICのリード
を圧接するコンタクト方法なども、この発明の技術的思
想に含まれる。
【0018】
【発明の効果】この発明は、ICのリードをコンタクト
に押圧する加圧手段と、前記加圧手段に圧縮流体を出力
し、入力信号に比例して前記出力圧を可変する制御弁と
を備え、記録媒体は前記出力圧のデータを記録し、CP
Uは前記出力圧のデータを読み込み、インターフェイス
は前記出力圧のデータを出力信号に変換して前記制御弁
に入力し、ICのリードを前記コンタクトに適正圧力で
押すので、この発明では自動的に前記加圧力を設定でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態によるIC搬送装置の構
成図である。
【図2】IC搬送装置となる水平搬送式のオートハンド
ラの外観図である。
【図3】水平搬送式のオートハンドラの測定部の構成図
である。
【図4】図3の空気回路図であって、従来技術による構
成図である。
【符号の説明】
1 IC 2 ICソケット(コンタクト) 3 シリンダ(加圧手段) 4 制御弁 5 FD(記録媒体) 6 CPU 7 インターフェイス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 IC(1) のリードをコンタクト(2) に押
    圧する加圧手段(3)と、 加圧手段(3) に圧縮流体を出力し、入力信号に比例して
    前記出力圧を可変する制御弁(4) とを備え、 記録媒体(5) は前記出力圧のデータを記録し、CPU
    (6) は前記出力圧のデータを読み込み、インターフェイ
    ス(7) は前記出力圧のデータを出力信号に変換して制御
    弁(4) に入力し、IC(1) のリードをコンタクト(2) に
    適正圧力で押すことを特徴とするICの接触圧をデータ
    で変えるIC搬送装置。
JP27051695A 1995-09-25 1995-09-25 Icの接触圧をデータで変えるic搬送装置 Pending JPH0989983A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6384734B1 (en) 1998-12-31 2002-05-07 Daito Corporation Method of controlling IC handler and control system using the same
US6690284B2 (en) 1998-12-31 2004-02-10 Daito Corporation Method of controlling IC handler and control system using the same
JP2006329861A (ja) * 2005-05-27 2006-12-07 Yamaha Fine Technologies Co Ltd プリント基板の電気検査装置および電気検査方法
JP2010537209A (ja) * 2007-10-05 2010-12-02 ムルティテスト・エレクトロニッシェ・ジステーメ・ゲーエムベーハー プランジャを移動する空動シリンダ装置を備える電子部品、特にicの取扱装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6384734B1 (en) 1998-12-31 2002-05-07 Daito Corporation Method of controlling IC handler and control system using the same
US6690284B2 (en) 1998-12-31 2004-02-10 Daito Corporation Method of controlling IC handler and control system using the same
JP2006329861A (ja) * 2005-05-27 2006-12-07 Yamaha Fine Technologies Co Ltd プリント基板の電気検査装置および電気検査方法
JP2010537209A (ja) * 2007-10-05 2010-12-02 ムルティテスト・エレクトロニッシェ・ジステーメ・ゲーエムベーハー プランジャを移動する空動シリンダ装置を備える電子部品、特にicの取扱装置
US8684168B2 (en) 2007-10-05 2014-04-01 Multitest Elektronische Systeme Gmbh Handler for electronic components, in particular IC'S, comprising a pneumatic cylinder displacement unit for moving plungers

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