JP2013024684A - 検査治具および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査治具20および検査装置30は、半導体チップ等の被検査物10の電気特性の検査に使用される。検査治具20は、プローブカード100と、弾性部150とを含んでいる。プローブカード100は、プローブピン部120を含んでいる。弾性部150は、プローブカード100のうちでプローブピン部120が設けられている面とは反対側の面に設けられている。検査治具20は、弾性部150を検査治具取り付け場所(検査装置30の検査治具連結部)200に向けた状態かつ弾性部150の弾性作用によってプローブカード100が揺動可能な状態で、検査治具取り付け場所200に取り付けられる。
【選択図】図3
Description
図1に、実施の形態1に係る検査治具20を例示する模式図を示す。図1において、上段の図は検査治具20の上面図であり、下段の図は上面図中のA−A線における断面図である。検査治具20は、被検査物(ここでは半導体チップを例示するが、これに限定されるものではない)の電気特性の測定・検査に使用される。図1に例示の検査治具20は、プローブカード100と、弾性部150とを含んでいる。
図4に、実施の形態2に係るプローブピン部120Bを例示する模式図を示す。図4において、上段の図は側面図であり、下段の図は下面図である。当該プローブピン部120Bは、プローブピン部120の代わりに、検査治具20に設けることが可能である。また、プローブピン部120,120Bの両方を検査治具20に設けることも可能である。
図5に、実施の形態3に係る検査装置30Cを例示する模式図を示す。図5に例示の検査装置30Cは、上記の検査治具20の代わりに検査治具20Cを使用する点を除いて、上記の検査装置30と同様に構成されている。また、実施の形態3に係る検査治具20Cは、上記のプローブピン部120の代わりにプローブピン部120Cを含む点を除いて、上記の検査治具20と同様に構成されている。なお、図5の例では、プローブピン部120Cと、上記の基板110とを含んで、プローブカード100Cが構成されている。
図6に、実施の形態4に係る検査治具20Dを例示する模式図を示す。図6において、上段の図は検査治具20Dの上面図であり、下段の図は上面図中のA−A線における断面図である。なお、検査治具20Dは、上記の検査治具20の代わりに、検査装置20に適用可能である。
図7に、実施の形態5に係る検査装置30Eを例示する側面図を示す。検査装置30Eは、上記の検査装置30に、導電性シート供給部204が追加された構成を有している。導電性シート供給部204は、プローブピン124と半導体チップ10との間に第1の導電性シート206(以下、導電性シート206とも称する)を供給する。導電性シート206として例えばアルミニウム箔等を利用可能である。
図10に、実施の形態6に係る検査装置30Fを例示する側面図を示す。検査装置30Fは上記の検査装置30と同様であるが、半導体チップ10と下電極202との間に第2の導電性シート208(以下、導電性シート208とも称する)が設けられる。導電性シート208として例えばアルミニウム箔等を利用可能である。
図11に、実施の形態7に係る検査装置30Gを例示する側面図を示す。検査装置30Gは、下電極202の代わりに下電極202Gを含む点を除いて、上記の検査装置30と同様に構成されている。
ここで、上記では弾性部150,150Dの弾性作用をコイルバネ152によって実現する場合を例示した。しかし、他の種類のバネ(板バネ、皿バネ等)を利用することも可能である。さらに、バネに限らず、他の弾性手段(ゴム等)を利用することも可能である。
Claims (12)
- 被検査物の電気特性の検査に使用する検査治具であって、
プローブピン部を含んだプローブカードと、
前記プローブカードのうちで前記プローブピン部が設けられている面とは反対側の面に設けられた弾性部と
を備え、
前記弾性部を検査治具取り付け場所に向けた状態かつ前記弾性部の弾性作用によって前記プローブカードが揺動可能な状態で、前記検査治具取り付け場所に取り付けられることを特徴とする検査治具。 - 請求項1に記載の検査治具であって、
前記弾性部は、
弾性手段と、
前記弾性手段を前記プローブカードとともに挟む押さえ板と
を含み、
前記プローブカードおよび前記押さえ板は相対する位置に円錐状の凹部を有し、
前記弾性部は、
相対する前記円錐状凹部の両方に係合した状態で前記プローブカードと前記押さえ板との間に設けられた球体
をさらに含み、
前記プローブカードが前記球体を支点にして揺動可能な状態で前記検査治具取り付け場所に取り付けられることを特徴とする検査治具。 - 請求項1または請求項2に記載の検査治具であって、
前記プローブピン部は前記被検査物の電極1つ当たりに複数のプローブピンを含むことを特徴とする検査治具。 - 請求項3に記載の検査治具であって、
前記複数のプローブピンは先端が格子点状または蜂の巣状に並ぶように配列されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項3または請求項4に記載の検査治具であって、
前記複数のプローブピンは円柱状または円筒状に配列されていることを特徴とする検査治具。 - 請求項1ないし請求項5のうちのいずれか1項に記載の検査治具であって、
前記プローブピン部は、先端部が軸部に比べて大きく前記先端部のうちで前記被検査物に向ける面が凸曲面をしているプローブピンを少なくとも1つを含むことを特徴とする検査治具。 - 請求項1ないし請求項6のうちのいずれか1項に記載の検査治具であって、
前記被検査物は半導体チップであることを特徴とする検査治具。 - 請求項1ないし請求項7のうちのいずれか1項に記載の検査治具であって、
前記被検査物は表裏の関係にある2つの面のそれぞれに単一の電極を有していることを特徴とする検査治具。 - 請求項1ないし請求項8のうちのいずれか1項に記載の検査治具と、
前記検査治具の前記プローブピン部の下方に設けられ前記被検査物が載置される下電極と
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項9に記載の検査装置であって、
前記プローブピン部と前記被検査物との間に第1の導電性シートを供給する導電性シート供給部をさらに備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項9または請求項10に記載の検査装置であって、
前記下電極と前記被検査物との間に第2の導電性シートを挟んで使用されることを特徴とする検査装置。 - 請求項9ないし請求項11のうちのいずれか1項に記載の検査装置であって、
前記下電極の載置面は前記被検査物よりも小さいことを特徴とする検査装置。
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