JP6828640B2 - 発光装置の発光検査方法 - Google Patents

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Description

本開示は、発光装置の発光検査方法に関する。
発光ダイオード(LED)などの発光装置の製造工程では、発光検査などの通電による検査や、外観検査などが行われ、良否が判断される。発光検査では、発光波長、配光特性、発光強度等が測定される。得られた発光検査結果に応じて、あらかじめ定められたランクに分ける選別作業が行われる。
発光装置として、上面と側面とを発光面とする構造が知られている。このような発光装置の発光検査方法としては、積分球の開口に透光板を備えておき、発光装置を載置したベースを上昇させて透光板に当接させる方法が知られている(例えば、特許文献1)
特開2016−128792号公報
特許文献1に開示された方法は、測定の精度が低い。
本開示は、以下の構成を含む。
上面及び側面に発光面を備え、下面に電極を備えた発光装置を準備する工程と、検査機を用いて発光装置の発光検査をする工程と、を備える発光装置の発光検査方法であって、検査機は、上面に開口を備える貫通孔内に、プローブが挿通されてなる支持台と、支持台上に配置され、第1内側面と、第1内側面と対向する第2内側面とを備え、第1内側面と前記第2内側面との距離が、発光装置の幅より大きい収容部を備えた搬送テーブルと、搬送テーブルから離間し、発光装置収容部の上方に配置される透光部を備える押さえ部材と、を備え、搬送テーブルの収容部の第1内側面に発光装置の側面を当接させると共に、第2内側面から発光装置を離間させ、かつ、透光部の下面に発光装置の上面を当接させる工程と、発光装置の電極に、プローブを当接させて発光装置の発光検査をする工程と、を備える発光装置の発光検査方法。
以上により、発光装置の発光検査の精度を向上することができる。
図1Aは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法に用いられる発光装置を示す概略斜視図である。 図1Bは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法に用いられる発光装置を示す概略斜視図である。 図1Cは、図1Aの1C−1C線における概略断面図である。 図2Aは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法を説明する概略図である。 図2Bは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法を説明する概略図である。 図2Cは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法を説明する概略図である。 図2Dは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法を説明する概略図である。
本発明を実施するための形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するための発光装置の発光検査方法を例示するものであって、本発明は、発光装置の発光検査方法を以下に限定するものではない。
また、本明細書は、特許請求の範囲に示される部材を、実施の形態の部材に特定するものでは決してない。特に、実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限りは、本開示の範囲をそれのみに限定する趣旨ではない。尚、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。
実施形態に係る発光装置の検査方法は、以下の工程を備える。
1)発光装置を準備する工程
2)検査機を用いて発光装置の発光検査をする工程
以下、各工程について詳説する。
1)発光装置を準備する工程
図1Aは、実施形態に係る検査方法に用いられる発光装置100の一例を示す上側斜方からの概略斜視図であり、図1Bは下側斜方からの概略斜視図である。図1Cは、図1Aの1C−1C線における概略断面図を示す。発光装置100は、外観形状は略直方体である。上面110及び側面120に発光面を備え、下面130に一対の電極142を備える。
発光装置100は、図1Cに示すように、基材141と電極142とを備えた基板140の上面に、発光素子150が載置され、基板140の上面と発光素子150とを封止する封止部材160を備える。封止部材160は透光性であり、発光装置100の上面110及び側面120に露出されている。封止部材160は発光素子150からの光を透光させ、外部に放出させることができる。このような構造を備えることで、上面110と側面120とに発光面を備える発光装置とすることができる。
基板140の下面に配置される一対の電極142は、発光装置100の外部接続端子として機能する。図1Cに示すように、基板140の上面にも電極は配置されており、発光素子150と電極142とは、導電性の接合部材170等によって電気的に接続されている。電性の接合部材に代えて、ワイヤを用いて基板140の電極と発光素子150とを電気的に接続してもよい。
発光装置100を構成する基板140、封止部材160、発光素子150、接合部材170等は、公知の材料を用いることができる。また、これらの部材に加え、ツェナーダイオード等の保護素子を備えていてもよい。
また、発光装置100は、上述のような基板を備えない構造であってもよい。例えば、発光素子を被覆する透光性の樹脂部材と、樹脂部材から露出する金属部材を発光装置の電極として備える構造の発光装置とすることができる。
発光装置100は、上面110と側面120とに発光面を備える。図1Aに示すような略直方体の発光装置100の場合は、4つの側面120を備えており、例えば、第1側面121を備え、その反対側に第2側面122を備える。第1側面121と第2側面122との間には、第3側面123を備える。第3側面123の反対側に第4側面124を備える。
発光装置100は、上面視が長方形、正方形等の四角形とすることができ、図1A等においては、上面視が長方形である発光装置100を例示している。長方形の短辺側の側面を第1側面121及び第2側面122とし、長方形の長辺側の側面を第3側面123及び第4側面124としている。図1Bに示すように、発光装置100の下面130において、第1側面121側及び第2側面側にそれぞれ電極142を備えている。尚、これに限らず、長方形の長辺側の側面を第1側面及び第2側面とし、長方形の短辺側の側面を第3側面及び第4側面としてもよい。
上述のような発光装置100は、購入して準備してもよく、あるいは、種々の工程を経て準備してもよい。工程の例としては、基板を購入して準備する工程、基板を形成して準備する工程、基板上に発光素子を載置する工程、封止部材を形成する工程、基板及び封止部材を切断して個片化された発光装置とする工程、等の工程が挙げられる。これらの少なくとも一部の工程を実施して発光装置100を準備することができる。
2)検査機を用いて発光装置の発光検査をする工程
検査機200を準備する。検査機200の大まかな構造としては、例えば、特許文献1(特開2016−128782号公報)等に開示されている光学測定装置などと同様の構造等が挙げられる。実施形態においては、発光検査を行う部分の関連する構造以外については説明を省略する。
図2A〜図2Dは、実施形態に係る発光装置の発光検査方法を説明する概略図であり、検査機200の一部の概略構成を示す断面図である。検査機200は、支持台210と、搬送テーブル220と、押さえ部材230と、を備える。支持台210の上に搬送テーブル220が配置され、更にその上に押さえ部材230が配置される。支持台210と押さえ部材230とは基本的に固定式であり、これらの間において水平方向に移動可能な可動式の搬送テーブル220が移動される。
支持台210及び搬送テーブル220は、例えば、それぞれ平面視において略円形とすることができる。例えば、水平回転式の搬送テーブル220の場合、発光装置を収納な収容部221を外周部に備えることができる。このような搬送テーブル220を、中心軸を回転軸として周方向に水平回転させることができる。
以下において、水平回転可能な搬送テーブル220を備えた検査機200を一例として説明する。更に、発光装置100を搬送テーブル220に収容する位置(収容位置P1)において収容してから、発光検査を行う位置(測定位置P2)まで移動させた後、通電して発光検査を行うまでの工程について説明する。また、図2Aに示すように、収容位置P1の右方に測定位置P2が位置しており、搬送テーブル220の進行方向が右方向である例について説明する。すなわち、搬送テーブル220の収容部221は、図2A、図2B、図2Cの順に、右方向に、すなわち、収容位置P1から測定位置P2に移動していく。図2C及び図2Dは、搬送テーブル220は測定位置P2に停止した状態を示している。
図2Aは、検査機200の収容位置P1において、搬送テーブル220の収容部221に発光装置100を収容した状態を示す。
収容部221は、発光装置を収容可能な大きさの空間を指す。収容部221は、搬送テーブル220の上面から下面2223まで貫通する部分である。収容部221は、第1内側面2211と、第1内側面2211と対向する第2内側面2212と、を備える。第1内側面2211と第2内側面2212は、それぞれ、搬送テーブル220の移動方向(収容部の移動方向)に対して対向するように配置される面である。実施形態においては、収容部221の右側面が第2内側面2212であり、左側面が第1内側面2211である。
収容部221の第1内側面2211の高さHT1は、第2内側面2212の高さHT2よりも低い。換言すると、第1内側面2211を備える側の搬送テーブルの上面(第1上面2221)は、第2内側面2212を備える側の搬送テーブルの上面(第2上面2222)よりも低い。尚、1つの搬送テーブル220には、複数の収容部221が進行方向において並設されている場合は、各収容部221ごとに同じような高低差のある第1内側面2211及び第2内側面2212となるように搬送テーブル220の上面の高さが異なるようにする。
第1内側面2211の高さHT1は、発光装置100の高さHよりも低いことが好ましい。例えば、第1内側面2211の高さHT1は、発光装置100の高さHの30%〜50%とすることができる。
例えば、図1Cに示すような構造を備えた発光装置100を一例として挙げる。発光装置100の高さHが100であり、第1側面121及び第2側面122における高さHLが100発光面の高さHが約80であるとする。このような場合、第1内側面2211の高さHT1は、20以上程度とすることができる。また、第2内側面2212の高さHT2は、20以上とすることができる。
別の観点から、発光装置100の幅Wが100であり、収容部221の幅Wsが120である場合、これらの差分(ここでは20)に対して、第1内側面2211の高さはHT1は20以上、第2内側面2212の高さHT2は20以上である、とすることができる。

また、第1内側面2211の高さHT1と第2内側面HT2の高さの差は、発光装置100の第1側面121及び第2側面122において発光面が占める割合によって、調整することもできる。
収容部221の底面は、支持台210の上面211であり、収容部221内の発光装置100は、支持台210の上面221上を移動する。尚、支持台210の上面221と搬送テーブル220の下面2223は、移動による摩擦を軽減するために、例えば、1μm〜5μm程度の隙間を備えることができる。支持台210上において、収容部221内に収容された発光装置100は、搬送テーブル220を回転させることで、測定位置P2など目的の位置にまで搬送される。
図2Aに示すように、検査機200の収容位置P1では、搬送テーブル220の収容部221の上には押さえ部材230等がなく、あるいは、押さえ部材230の開口部が位置しており、解放された状態を示している。このような構造とすることで、発光装置100を、収容部221の上方から、例えば、ピックアップノズル等を用いて収容部221内に収容することができる。あるいは、収容部221の側方(例えば、水平回転式の搬送テーブルの外周側)に開口部を備えている場合は、その側方の開口部からリニアフィーダー等を配置して、そこから発光装置100をスライドさせて収容部221内に収容してもよい。また、第3側面(紙面奥側の面)は、収容部221の奥側側面と接するように位置し、吸着してもよい。
図2Aに示すように、収容部221の幅(第1内側面2211と第2内側面2212の距離)Wは、発光装置100の幅(第1側面121と第2側面122の距離)W(図1C)よりも大きい。これは、作業性を考慮してある程度のクリアランスを有するようにしているためである。例えば、収容部221の幅Wは発光装置100の幅Wの1.1倍〜1.2倍の大きさとすることができる。このように幅に差があることで、収容位置P1にて収容部221内に収容された発光装置100の第1側面212は、収容部221の第1内側面2211と離間している。同様に、発光装置100の第2側面212は、収容部221の第2内側面2212とは離間している。なお、収容の方法等によっては、発光装置100の第1側面212と収容部221の第1側面212との間、又は、発光装置100の第2側面212と収容部221の第2内側面2212との間のいずれかが接している場合がある。
ここで、収容部221に収容される発光装置100の第1側面121及び第2側面122は、発光装置100の下面一対の電極142がそれぞれ配置される側の面を指している。図2B等に示すように、支持台210に配置された2つのプローブ213が、左右方向に並んで配置されているため、これに対応するように発光装置100の電極142が配置されるように、発光装置100を収容部221内に収容する。支持台210に配置された2つのプローブ213が、図2B等において左右ではなく奥行方向に並んで配置される場合は、図1A等における発光装置100の第3側面123を第1側面とし、第4側面124を第2側面と呼称を変更して対応させることができる。つまり、実施形態においては、進行方向(右方向)に対して右側の面が発光装置の第2側面122であり、左側の面が発光装置の第1側面121である。
搬送テーブル220の収容部221に発光装置110を収容した後、図2Bに示すように、搬送テーブル220を右方向(図中の白抜き矢印の方向)に移動させる。支持台210と押さえ部材230は固定させた状態であり、搬送テーブル220のみを移動させる。これにより、搬送テーブル220の収容部221が、支持台210のプローブ213が配置された測定位置P2方向に向かって移動される。押さえ部材230の下面232は、発光装置100の上面110及び搬送テーブル220の上面2221、2222が接しない高さに位置している。
搬送テーブル220を移動させる際に、発光装置100を載置している支持台210は移動しない。つまり、収容部221内の発光装置100は、搬送テーブル220と共に、支持台210の上面211上を移動して搬送される。そのため、搬送テーブル220が進行方向(右方向)移動する際に、第1側面121が、収容部221の第1内側面2211に当接し、進行方向に押されることになる。そして、その状態のまま測定位置P2にまで収容部221が移動し、その内部の発光装置100が搬送される。
支持台210は、収容位置P1から測定位置P2までの領域は平らな上面211を備えている。尚、検査機200においては種々の検査が可能であり、発光検査の前後に、他の検査等を行ってもよい。また、収納位置P1及び測定位置P2には、搬送テーブル220の収容部221に発光装置100が収容されたかどうか等を検知するセンサーなどを備えていてもよい。
図2Cは、測定位置P2における収容部221と発光装置100とを示す。収容部221の第1内側面2211と発光装置100の第1側面121とが当接しており、収容部221の第2内側面2212と発光装置100の第2側面122は、距離Wだけ離間して配置される。
支持台210は、測定位置P2において、上面211に開口を備える貫通孔212を有している。貫通孔212内にはプローブ213が挿通されている。プローブ213は上下方向に可動である。プローブ213は、搬送テーブルが移動している間、すなわち通電を行っていない期間は、貫通孔212内にプローブ213の先端が位置するように収容されている。
測定位置P2においては、収容部221の上方には、押さえ部材230の透光部材233が配置される。透光部材233は、支持部材234に保持されており、発光装置100からの光が透過可能な部材である。透光部材233の上面231及び下面232は、平面であり、発光装置100から放出される光の配光特性に影響を与えにくい材料及び厚みで構成される。透光部材233は、例えば、サファイアからなる。また、透光部材233の大きさ(面積)は、発光装置からの光を遮らないような大きさである。
搬送テーブル220によって測定位置P2に搬送された発光装置100は、収容部221内の中央ではなく、偏った位置に発光装置100を配置されている。本実施形態では、この偏って配置された状態で発光検査を行う。すなわち、図2Dに示すように、プローブ213を上昇させて発光装置100の電極142に当接させる。更に、プローブ213で発光装置100を押し上げる。押し上げられた発光装置100の上面110は、押さえ部材230の透光部材233の下面232に当接する。このような状態で発光装置100に通電を行い、発光検査を行う。
発光装置100は、測定位置P2において、収容部221内において中央には配置されておらず、搬送テーブル220の移動に伴って第1側面121が収容部221の第1側面2211と必ず接するように配置される。つまり、発光装置100は、測定位置P2において、特別な位置合わせ作業等を必要とせずに、かならず収容部221の第1内側面2211と接した位置に位置合わせされることになる。そのため、位置合わせ作業にかかる時間を省略することができる。
測定位置P2において発光装置100は、収容部221内の中央ではなく、偏った位置に配置されている。発光装置100の左側の側面である第1側面121は、収容部221の左側の内側面である第1内側面2211と接している。そのため、発光装置100の直上から左側の配光角度は(90°−θ1)となる。また、発光装置100の直上から右側の配光角度は(90°−θ2)となる。
発光装置100第1側面121の発光面の下側の一部は、収容部221の第1内側面2211と接しているため、この部分からの光は外部に放出されない。発光装置100の第2側面122は、その全面が第2内側面2212から離間している。そのため、第2側面122の発光面の全面から光が放出される。このとき、第1内側面2211の高さHT1よりも第2内側面2212の高さHT2を高くすることで、θ1=θ2とすることができる。図2Cに示すような、第2側面122と第2内側面2212とが距離Wは、発光装置100の左側の配光角度(90°−θ1)を測定し、そこから算出することができる。このように、発光装置100から放出される光が、左右方向において同一の範囲で測定できるように収容部221の内側面の高さを調整しておくことで、収容部221の中央に発光装置100を配置しなくても、配光特性を適切に測定することができ、精度を向上させることができる。
本開示に係る発光装置の発光検査方法は、上面及び側面に発光面を備える発光装置の発光検査方法として適用することができる。
100…発光装置
110…発光装置の上面
120…発光装置の側面
121…発光装置の第1側面
122…発光装置の第2側面
123…発光装置の第3側面
124…発光装置の第4側面
130…発光装置の下面
140…基板
141…基材
142…電極
150…発光素子
160…封止部材
170…接合部材
200…検査機
210…支持台
211…支持台の上面
212…支持台の貫通孔
213…プローブ
220…搬送テーブル
221…収容部
2211…収容部の第1内側面
2212…収容部の第2内側面
T1…第1内側面の高さ
T2…第2内側面の高さ
2221…搬送テーブルの第1上面
2222…搬送テーブルの第2上面
2223…搬送テーブルの下面
230…押さえ部材
231…押さえ部材の上面
232…押さえ部材の下面
233…透光部材
234…支持部材
P1…収容位置
P2…測定位置
…発光装置の幅(第1側面と第2側面の距離)
…収容部の幅(第1内側面と第2内側面の距離)
…発光装置の第2側面と収容部の第2内側面の距離
…発光装置の高さ(上面と下面の距離)
…発光面の高さ
…搬送テーブルの上面と押さえ部材の下面の距離

Claims (4)

  1. 上面及び側面に発光面を備え、下面に電極を備えた発光装置を準備する工程と、
    検査機を用いて前記発光装置の発光検査をする工程と、
    を備える発光装置の発光検査方法であって、
    前記検査機は、
    上面に開口を備える貫通孔内に、プローブが挿通されてなる支持台と、
    前記支持台上に配置され、第1内側面と、前記第1内側面と対向する第2内側面とを備え、前記第1内側面と前記第2内側面との距離が、前記発光装置の幅より大きい収容部を備えた搬送テーブルと、
    前記搬送テーブルから離間し、前記発光装置収容部の上方に配置される透光部を備える押さえ部材と、
    を備え、
    前記搬送テーブルの前記収容部の前記第1内側面に前記発光装置の側面を当接させると共に、前記第2内側面から前記発光装置を離間させ、かつ、前記透光部の下面に前記発光装置の上面を当接させる工程と、
    前記発光装置の電極に、前記プローブを当接させて前記発光装置の発光検査をする工程と、
    を備える発光装置の発光検査方法。
  2. 前記第内側面の高さは、前記第内側面の高さより低い、請求項1記載の発光装置の発光検査方法。
  3. 前記第1内側面の高さは、前記発光装置の高さよりも低い、請求項1又は請求項2記載の発光装置の発光検査方法。
  4. 前記第1内側面の高さは、前記発光装置の高さの30%〜50%である、請求項3に記載の発光装置検査方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120045880A (ko) * 2010-11-01 2012-05-09 삼성엘이디 주식회사 Led 패키지의 광특성 측정 장치
JP3173730U (ja) * 2011-12-06 2012-02-16 日本ガーター株式会社 発光素子の検査装置
JP2014055041A (ja) * 2012-09-11 2014-03-27 Shibuya Kogyo Co Ltd 物品分類装置
JP6435535B2 (ja) * 2015-01-07 2018-12-12 株式会社 東京ウエルズ ワークの特性測定装置およびワークの特性測定方法
JP2016128792A (ja) * 2015-01-09 2016-07-14 上野精機株式会社 光学測定装置及び発光素子搬送装置

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