KR100980837B1 - 발광소자 특성 검사장치 - Google Patents

발광소자 특성 검사장치 Download PDF

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Abstract

발광소자 특성 검사장치를 제공한다.
본 발명은 발광소자가 올려져 배치되는 배치홈을 상부면에 길이방향으로 일정간격을 두고 함몰형성한 칩테이블 ; 상기 발광소자를 외부노출시키는 개구부를 구비하여 상기 칩테이블의 직상부에 배치되고, 상기 발광소자의 전극에 단부가 접하도록 상기 개구부로부터 연장되는 복수개의 탐침을 구비하는 프로브카드 ; 상기 발광소자의 발광시 발생하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 디텍터를 임의위치에 구비하는 광측정용 적분체 ;및 상기 탐침과 접하는 발광소자를 발광시키도록 전원을 공급하면서 상기 발광소자의 전기적 특성을 검사하도록 상기 프로브 카드와 전기적으로 연결되고, 상기 발광소자로부터 반사된 광의 광학적 특성을 측정하도록 상기 디텍터와 전기적으로 연결되는 제어부를 포함한다.

Description

발광소자 특성 검사장치{Apparatus for Inspecting a Characteristic of Light Device}
본 발명은 발광소자의 특성을 검사하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 발광원인 소자의 광학적 특성 및 전기적 특성을 짧은 시간 내에 정확하고 신속하게 검사할 수 있도록 개선한 발광소자 특성 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 발광 다이오드(Light Emitting Diode, 이하, 발광소자이라 한다)는 GaAs, AlGaAs, GaN, InGaInP 등의 화합물 반도체(compound semiconductor) 재료의 변경을 통해 발광원을 구성함으로써 다양한 색의 빛을 구현할 수 있는 반도체 발광소자를 말한다.
이러한 발광소자는 비약적인 반도체 기술의 발전에 힘입어, 저휘도의 범용제품에서 탈피하여, 고휘도, 고품질의 제품 생산이 가능해졌다. 또한, 고특성의 청색(blue)과 백색(white) 다이오드의 구현이 현실화됨에 따라서, 발광소자는 디스플레이, 차세대 조명원 등으로 그 응용가치가 확대되고 있다. 일예로서, 표면실장(Surface Mounting Device) 형태의 발광소자 뿐만 아니라 대형의 렌즈가 구비된 파워 발광 소자 등이 제품화되고 있다.
한편, 상기 발광소자의 광량, 휘도와 같은 광특성을 측정하는 방법으로는 내벽을 갖는 특정 용기에 발광칩을 실장하여 에폭시 수지로 몰딩한 다음 일정거리에 배치된 검출용 디텍터를 통하여 광특성을 측정하였으나, 이러한 경우 용기 내벽에 광흡수가 되어 광량손실을 야기시키며, 내벽 반사면의 영향으로 광지향 분포가 달라지거나 에폭시 수지의 특성으로 광손실 및 지향 분포의 변화가 발생하여 측정오차에 의해서 특성검사의 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있었다.
또한 대한민국 등록특허 10-0721149호(2007.05.16.)에는 발광소자로부터의 발광량을 측정하기 위한 광측정용 적분구; 상기 광측정용 적분구와 결합하기 위한 결합부와, 상기 발광소자가 장착되는 안착부와, 상기 결합부 및 안착부와 일체로 형성되며 상기 안착부에 장착된 발광소자로부터 발광되는 빛을 상기 광측정용 적분구 내부로 반사하기 위하여 경사반사면으로 형성된 측면부로 이루어진 광측정용 지그; 및 상기 광측정용 지그와 결합하며, 상기 광측정용 지그의 안착부에 장착된 발광소자에 전원을 공급하기 위한 제어부;를 포함하는 광량측정장치가 개시되어 있다.
그러나, 이러한 종래의 장치는 안착부상에 발광소자를 개별적으로 탑재하여 광량측정작업을 수행해야만 하기 때문에 발광소자를 개별적으로 지그의 안착부에 장착하고, 측정검사 후 발광소자를 개별적으로 분리이탈하는데 소요되는 시간이 과다하게 소요되어 단위소자당 검사속도가 느려 작업생산성을 저하시키는 요인으로 작용하였다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 복수개의 발광소자를 순차적으로 광학적 특성 및 전기적 특성을 신속하고,정확하게 측정하여 검사할 수 있고, 단위소자당 검사속도를 높여 작업생산성을 향상시킬 수 있는 발광소자 특성검사장치를 제공하고자 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은,
발광소자가 올려져 배치되는 배치홈을 상부면에 길이방향으로 일정간격을 두고 함몰형성한 칩테이블 ; 상기 발광소자를 외부노출시키는 개구부를 구비하여 상기 칩테이블의 직상부에 배치되고, 상기 발광소자의 전극에 단부가 접하도록 상기 개구부로부터 연장되는 복수개의 탐침을 구비하는 프로브카드 ; 상기 발광소자의 발광시 발생하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 디텍터를 임의위치에 구비하는 광측정용 적분체 ; 및 상기 탐침과 접하는 발광소자를 발광시키도록 전원을 공급하면서 상기 발광소자의 전기적 특성을 검사하도록 상기 프로브 카드와 전기적으로 연결되고, 상기 발광소자로부터 반사된 광의 광학적 특성을 측정하도록 상기 디텍터와 전기적으로 연결되는 제어부를 포함하는 발광소자 특성 검사장치를 제공한다.
바람직하게, 상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 적분반구로 구비되고, 상기 프로브카드는 상기 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원반형태로 이루어진다.
바람직하게, 상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 적분반구로 구비되고, 상기 적분반구와 프로브 카드사이에는 상기 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브 카드의 개구부와 대응하는 영역에 상부 개구부를 관통형성하고, 상부면에 적어도 하나의 반사층을 구비하는 원형판을 포함한다.
바람직하게, 상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 프로브카드는 하부 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원반형태로 이루어진다.
바람직하게, 상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 하부 적분반구와 프로브 카드사이에 상기 하부 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브 카드의 개구부와 대응하는 영역에 상부 개구부를 관통형성하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원형판을 포함한다.
바람직하게, 상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 구형 적분구의 내부공간에는 상기 프로브카드의 탐침과 발광소자가 서로 접하도록 칩테이블이 올려지는 수평대와, 상기 프로브카드로부터 연장되는 테이블을 외부로 인출하면서 상기 수평대를 지지하는 수직대를 포함한다.
더욱 바람직하게, 상기 상부 적분반구와 하부 적분반구사이에는 내부공간을 개방할 수 있도록 경첩부재를 구비한다.
바람직하게, 상기 배치홈의 내측면은 상기 발광소자가 개별적으로 투입되는 상부입구로부터 발광소자가 안착되는 하부 바닥면까지 내부폭이 좁아지도록 일정각도로 경사진 경사면으로 구비된다.
본 발명에 의하면, 칩테이블의 복수개의 배치홈마다 개별적으로 배치된 발광소자의 전극과 프로브 카드의 탐침을 상호 접속하여 복수개의 발광소자를 순차적으로 발광시킴으로써 발광소자의 상부를 덮도록 배치된 적분체에 구비된 디텍터에 의해서 발광된 광을 측정할 수 있기 때문에 디텍터를 통하여 제어부에 입력되는 광학특성 및 발광소자의 전원인가시 제어부에 입력되는 발광소자의 전기적 특성을 이용하여 발광소자의 불량여부를 신속하고 정확하게 판단할 수 있어 단위소자당 검사속도를 높여 작업생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 것으로서
(a)는 종단면도이고,
(b)는 발광소자와 탐침간의 접속상태를 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치에 채용되는 칩테이블을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 것으로서
(a)는 종단면도이고,
(b)는 발광소자와 탐침간의 접속상태를 도시한 평면도이다. 를 도시한 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
도 8은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 첨부된 도면을 따라 더욱 상세히 설명한다.
본 발명의 제 1실시예에 따른 발광소자 특성 검사장치(100)는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 복수개의 발광소자를 순차적으로 점등하여 발광된 빛의 광학특성을 측정하여 검사할 수 있도록 칩테이블(110), 프로브카드(120), 광측정용 적분체(130) 및 제어부(140)를 포함한다.
상기 칩테이블(110)은 검사대상물인 발광소자(101)가 발광소자가 올려져 배치되는 배치홈(112)을 상부면에 길이방향으로 일정간격을 두고 복수개 함몰형성하며, 이러한 배치홈(112)은 바닥면으로부터 일정높이 융기된 돌출부(114)상에 일정간격을 두고 구비된다.
이러한 배치홈(112)은 대략 사각형상의 발광칩 또는 발광패키지 형태의 발광소자(101)를 후술하는 탐침과 전극간의 접촉이 정확하고 일정하게 이루어질 수 있도록 구비되기 위해서 상기 배치홈(112)의 내측면은 상기 발광소자(101)가 개별적으로 투입되는 상부입구로부터 발광소자(101)가 안착되는 하부 바닥면까지 내부폭이 좁아지도록 일정각도로 경사진 경사면으로 구비되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 하부바닥면은 상기 배치홈(112)에 안착되는 발광소자의 위치를 항상 올바르게 정렬할 수 있도록 상기 발광소자(101)의 하부면적과 동일한 크기로 구비된다.
상기 프로브카드(120)는 상기 배치홈(112)내에 안착배치된 발광소자(101)를 외부노출시키는 대락 사각형상으로 관통형성된 일정크기의 개구부(122)를 구비하여 상기 칩테이블(110)의 직상부에 일정간격을 두고 배치된다.
상기 개구부(122)에는 상기 발광소자(101)의 상부면에 형성된 전극과 단부와 접하도록 상기 개구부(122)의 내측면으로부터 연장되는 복수개의 탐침(124)을 구비하고, 상기 프로브 카드(120)의 일단부에는 상기 제어부(140)의 전기제어모듈(141)과 전기적으로 연결되어 상기 탐침(124)을 통하여 상기 발광소자(101)에 전원을 인가하도록 커넥터(128)를 구비한다.
이에 따라, 상기 프로브카드(120)에는 상기 개구부(122)로부터 돌출되는 탐침(124)과 커넥터(128)사이를 전기적으로 연결하는 패턴회로를 구비함으로써 상기 전기제어모듈(141)에서 제공하는 전원공급을 패턴회로를 통하여 탐침(124)에 순차적으로 순차적으로 수행하여 상기 탐침(124)과 일대일 접속하는 발광소자(101)를 순차적으로 발광시킬 수 있는 것이다.
상기 광측정용 적분체(130)는 상기 프로브 카드(120)의 탐침(124)과 접속되는 발광소자(101)의 발광시 발생된 빛을 수신하여 광량, 휘도와 같은 광학특성을 일정하게 평균하여 측정할 수 있도록 검출단이 내부공간에 배치되도록 몸체 외부면에 디텍터(143)를 구비한다.
상기 광측정용 적분체(130)의 외부면 임의위치에 검출단을 내부공간에 노출시키도록 장착되는 디텍터(143)는 상기 제어부(140)의 광학측정모듈(142)과 전기적으로 연결되어 수신된 광정보를 광학측정모듈(142)로 전송하도록 한다.
여기서, 상기 광측정용 적분체(130)는 진원의 구형태를 절반으로 절단하여 하부로 개방된 반구형상의 적분반구(130a)로 이루어질 수 있으며, 적분반구(130a)의 몸체내부면에는 상기 발광소자(101)의 발광시 발생된 광을 반사시킬 수 있는 반사물질이 도포되는 반사층(135)를 구비하여 상기 반사층(135)에 의해서 광을 지속적으로 난반사시켜 반구 내부의 모든 광의 강도가 동일하게 작용하도록 한다. 이에 따라 이러한 특성에 기반하여 일정시간 난반사 되는 광을 광 측정기인 디텍터(143)로서 검출함으로써 발광소자에서 방사된 광의 광학적 특성 중 피크 파장, 주파장, 반치폭, CIE 색좌표, 총광량을 측정하는 것이다.
그리고, 상기 적분반구(130a)의 개방된 하부를 밀폐하는 프로브 카드(120)는 대략 원반형으로 구비되며, 이러한 프로브 카드(120)의 상부면에는 상기 반구형 적분반구(130a)의 몸체 내부면에 적어도 한층 이상 도포된 반사층(135)의 반사물질과 동일한 소재로 이루어지는 반사층(125)을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 광측정용 적분체 및 프로브카드의 각 반사층은 고반사율을 갖는 반사물질로 코팅처리되는 것이 바람직하며, 이러한 반사물질은 알루미늄, 로듐, 은 및 BaSO4로 이루어진 그룹 중 적어도 어느 하나의 물질 또는 그 화합물로 이루어질 수 있다.
상기 제어부(140)는 상기 탐침(124)의 단부에 상부면에 노출된 전극이 접하는 발광소자(101)를 발광시키도록 전원을 공급하면서 발광되는 발광소자(101)에서의 누설전류와 같은 전기적 특성을 검사하도록 상기 프로브 카드(120)와 케이블을 매개로 전기적으로 연결되는 전기제어모듈(141)과, 상기 발광소자(101)의 발광시 상기 광측용 적분체(130)의 내벽 조도가 균일할 것을 이용하여 반사층에 반사된 광의 광학적 특성을 측정하도록 상기 광측정용 적분체(130)의 임의 위치에 설치된 디텍터(143)와 케이블을 매개로 전기적으로 연결되는 광학측정모듈(142)을 포함한다.
상기 전기제어모듈(141)과 광학측정모듈(142)은 서로 분리형으로 구비될 수도 있지만 이에 한정되는 것은 아니며 일체형을 구비될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이고, 도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 것으로서 (a)는 종단면도이고, (b)는 발광소자와 탐침간의 접속상태를 도시한 평면도이다.
상기 발광소자 특성검사장치(100)는 도 4와 도 5(a)(b)에 도시한 바와 같이, 적분반구(130a)와 프로브 카드(120)사이에 상기 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브 카드(120)의 개구부(122)와 대응하는 영역에 상부 개구부(152)를 관통형성한 원형판(150)을 구비할 수도 있다.
상기 원형판(150)의 상부면에는 상기 적분반구(130a)의 몸체 내부면에 반사물질로 코팅처리된 반사층과 마찬가지로 고반사율을 갖는 반사층(155)을 구비한다.
이에 따라, 상기 칩테이블(110)의 상부면에 형성된 복수개의 배치홈(112)마다 검사대상물인 발광소자(101)를 각각 안착하여 배치하고, 이러한 상태에서 상기 칩테이블(110)을 상기 적분반구(130a)의 개방된 하부를 밀폐하도록 조립되는 원반형태의 프로브카드(120)의 하부에 배치하거나 상기 칩테이블(110)을 상기 적분반구(130a)의 개방된 하부를 밀폐하도록 조립되는 원형판(150)의 상부개구부(152)에 배치된 프로프카드(120)의 하부에 배치함으로써, 상기 프로브 카드(120)의 탐침(124)과 상기 발광소자(101)의 전극을 서로 접촉하여 전기적으로 연결하도록 한다.
이때, 상기 프로브 카드(120)와 칩테이블(110)간의 상하간격 및 수평위치는 상기 탐침(124)과 전극이 서로 일대일 접촉하도록 제어하여 결정한다.
도 6은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
상기 발광소자 특성검사장치(100)에 구비되는 광측정용 적분체(130)는 도 6에 도시한 바와 같이, 하부로 개방된 상부 적분반구(130a')와 상부로 개방된 하부 적분반구(130b')를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 프로브카드(120)는 하부 적분반구(130b')의 개방된 하부를 밀폐하고, 상부면에 적어도 한층의 반사층을 구비하는 원반형태로 이루어질 수 있으며, 특성검사시 상기 칩테이블(110)은 상기 프로브카드(120)의 탐침(124)과 접촉하도록 개구부(122)의 직하부에 배치된다.
도 7은 본 발명의 제4 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 분해사시도이다.
상기 발광소자 특성검사장치(100)에 구비되는 광측정용 적분체(130)는 도 7에 도시한 바와 같이, 하부로 개방된 상부 적분반구(130a')와 상부로 개방된 하부 적분반구(130b')를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 하부 적분반구(130b')와 프로브카드(120)사이에는 하부 적분반구(130b')의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브카드(120)의 개구부(122)와 대응하는 영역에 상부개구부(152)를 관통형성하고, 상부면에 적어고, 상부면에 적어도 한층의 반사층(155)을 구비하는 원형판(150)을 구비하며, 특성검사시 상기 칩테이블(110)은 원형판(150)의 상부 개구부에 배치된 프로브카드(120)의 탐침(124)과 접촉하도록 개구부(122)의 직하부에 배치된다.
도 8은 본 발명의 제5 실시 예에 따른 발광소자 특성 검사장치를 도시한 구성도이다.
상기 발광소자 특성검사장치(100)에 구비되는 광측정용 적분체(130)는 도 8에 도시한 바와 같이, 하부로 개방된 상부 적분반구(130a')와 상부로 개방된 하부 적분반구(130b')를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 구형 적분구의 내부공간에는 상기 프로브카드(120)의 탐침(124)과 발광소자(101)가 서로 접하도록 칩테이블(110)이 올려지는 수평대(172)와, 상기 프로브카드(120)로부터 연장되는 테이블을 외부로 인출하면서 상기 수평대(172)를 지지하는 수직대(174)를 포함한다.
또한, 상기 상부 적분반구(130a')와 하부 적분반구(130b')사이에는 경첩부재를 구비하여 경첩부재에 의해서 하부 적분반구(130b')에 대하여 상부 적분반구(130a')를 개방하거나 닫도록 선회작동시킴으로써 프로브카드(120)와 더불어 칩테이블(110)이 올려지는 수평대를 외부노출시키고, 특성검사시 외부환경과 완전히 차단되는 밀폐된 내부공간을 형성하게 된다.
한편, 상기 프로브카드(120)의 탐침(124)이 구비되는 개구부(122)의 직하부에 칩테이블을 배치함으로써 상기 탐침(124)을 상기 칩테이블에 구비된 복수개 발광소자의 상부면에 형성된 전극에 각각 개별적으로 접촉하도록 한다.
이러한 상태에서, 상기 프로브 카드(120)와 전기적으로 연결된 제어부(140)의 전기제어모듈(141)을 통하여 복수개의 발광소자(110)를 순차적으로 전원을 공급함으로써 상기 칩테이블(110)의 각 배치홈에 안착배치된 복수개의 발광소자를 순차적으로 점등하게 된다.
그리고, 점등되어 발광하는 발광소자(101)는 상기 프로브카드와 전기적으로 연결된 전기제어모듈(141)에 의해서 누설전류와 같은 전기적 특성을 검사하여 발광소자의 불량여부를 판단한 다음 후공정에서 불합격 발광소자를 선별할 수 있도록 검사정보를 디스플레이한다.
연속하여, 상기 광측정용 적분체(130)의 내부로 방사된 광은 상기 광측정용 적분체(130)의 내부면에 코팅된 반사층(135)과 더불어 상기 상기 광측정용 적분체(130)의 개방된 하부에 조립되는 프로브 카드의 반사층(125) 또는 원형판(150)의 반사층(155)에 의해서 균일한 광강도를 갖도록 난반사된 후 상기 광측정용 적분체(130)의 임의 위치에 구비된 디텍터(143)에 의해서 검출되어 광학측정모듈(142)에 전송됨으로써 피크 파장, 주파장, 반치폭, CIE 색좌표, 총광량 등과 같은 광학특성을 검사하게 된다.
그리고, 상기 광학측정모듈(142)에 전송되는 측정값을 근거로 하여 발광소자의 불량여부를 판단한 다음 후공정에서 불합격 발광소자를 선별할 수 있도록 검사정보를 디스플레이한다.
이러한 발광소자의 전기적 특성 및 광학적 특성검사는 칩테이블의 배치홈마다 개별적으로 안착된 복수개의 발광소자에 대하여 순차적으로 이루어짐으로써 칩을 이동하고 고정하는데 소요되는 시간을 절감하여 단위소자당 검사속도를 100msec이내로 단축함으로써 특성검사 작업생산성을 높일 수 있는 것이다.
본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀두고자 한다.
110 : 칩테이블 112 : 배치홈
120 : 프로브 카드 122 : 개구부
124 : 탐침 125,135,155 : 반사층
128 : 콘넥터 130 : 광측정용 적분체
130a : 적분반구 140 : 제어부
141 : 전기제어모듈 142 : 광학측정모듈
143 : 디텍터 150 : 원형판

Claims (8)

  1. 발광소자가 올려져 배치되는 배치홈을 상부면에 길이방향으로 일정간격을 두고 함몰형성한 칩테이블 ;
    상기 발광소자를 외부노출시키는 개구부를 구비하여 상기 칩테이블의 직상부에 배치되고, 상기 발광소자의 전극에 단부가 접하도록 상기 개구부로부터 연장되는 복수개의 탐침을 구비하는 프로브카드 ;
    상기 발광소자의 발광시 발생하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 디텍터를 임의위치에 구비하는 광측정용 적분체 ;및
    상기 탐침과 접하는 발광소자를 발광시키도록 전원을 공급하면서 상기 발광소자의 전기적 특성을 검사하도록 상기 프로브 카드와 전기적으로 연결되고, 상기 발광소자로부터 반사된 광의 광학적 특성을 측정하도록 상기 디텍터와 전기적으로 연결되는 제어부를 포함하고,
    상기 배치홈의 내측면은 상기 발광소자가 개별적으로 투입되는 상부입구로부터 발광소자가 안착되는 하부 바닥면까지 내부폭이 좁아지도록 일정각도로 경사진 경사면으로 구비됨을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 적분반구로 구비되고, 상기 프로브카드는 상기 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원반형태로 이루어짐을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 적분반구로 구비되고, 상기 적분반구와 프로브 카드사이에는 상기 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브 카드의 개구부와 대응하는 영역에 상부 개구부를 관통형성하고, 상부면에 적어도 하나의 반사층을 구비하는 원형판을 포함함을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 프로브카드는 하부 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원반형태로 이루어짐을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 하부 적분반구와 프로브 카드사이에 상기 하부 적분반구의 개방된 하부를 밀폐하면서 상기 프로브 카드의 개구부와 대응하는 영역에 상부 개구부를 관통형성하고, 상부면에 반사층을 구비하는 원형판을 포함함을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 광측정용 적분체는 하부로 개방된 상부 적분반구와 상부로 개방된 하부 적분반구를 상하합형한 구형 적분구로 이루어지고, 상기 구형 적분구의 내부공간에는 상기 프로브카드의 탐침과 발광소자가 서로 접하도록 칩테이블이 올려지는 수평대와, 상기 프로브카드로부터 연장되는 테이블을 외부로 인출하면서 상기 수평대를 지지하는 수직대를 포함함을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 상부 적분반구와 하부 적분반구사이에는 내부공간을 개방할 수 있도록 경첩부재를 구비함을 특징으로 하는 발광소자 특성 검사장치.
  8. 삭제
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