JPWO2014087485A1 - 電子部品搬送装置及びテーピングユニット - Google Patents

Abstract

【課題】 キャリアテープへの収納時における電子部品の転びを容易且つより確実に防ぐことのできる電子部品搬送装置及びテーピングユニットを提供する。電子部品搬送装置（１）及びテーピングユニット（４７）は、電子部品（Ｄ）を収納するキャリアテープ（５０）の複数のポケット（５１）について、保持手段（３）の停止位置（Ｐ）に対するポケット位置の位置ズレ量を検出し、複数の位置ズレ量の最大値及び最小値の中間値に基づいて、キャリアテープを幅方向及び長手方向に移動させてキャリアテープ（５０）の位置ズレを補正する。

Description

本発明は、電子部品を搬送しながら工程処理を行い、キャリアテープに当該電子部品を収納する電子部品搬送装置、及びキャリアテープがセットされるテーピングユニットに関する。

半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の後工程が行われ、キャリアテープやコンテナチューブなどに梱包されて出荷される。後工程としては、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、リード成形処理、電子部品の分類、又はこれら各処理の複合が挙げられる。

梱包処理を含む後工程は、主に電子部品を工程処理機構に搬送する電子部品搬送装置によって実施される。電子部品搬送装置は、電子部品を整列搬送する搬送機構と搬送経路上の各種の工程処理機構により構成される。搬送機構は、一般的にターンテーブル搬送方式や直線搬送方式等が用いられ、搬送経路上に並べられた各種の工程処理機構に電子部品を順番に供給していく。搬送機構は、真空吸着、静電吸着、ベルヌーイチャック、又は機械的なチャック機構で構成された保持手段を有し、保持手段によって電子部品を保持して順番に電子部品を工程処理機構に搬送していく。

工程処理機構のうち、搬送経路の後段には、テーピングユニットが設置されている。テーピングユニットは、複数のポケットを長手方向に並べたキャリアテープと、保持手段の停止位置とポケットとの位置関係を合わせるようにキャリアテープを間欠搬送するスプロケットとを備えている。停止位置に移動した保持手段は、キャリアテープのポケット上方に位置していることとなり、電子部品をポケットに離脱させる。

ポケットへの収納後は、電子部品の転びの有無が確認される。電子部品の転びとは、ポケットの内壁面に電子部品が引っかかる等することで、電子部品が正しい向き及び位置に収納されていないことをいう。この転びは、作業者による目視又はキャリアテープの送り方向後段に設けられたカメラによって判別される。転びが発生した場合には、電子部品搬送装置を一旦停止し、作業者による手作業での良品との入替え、又は、機械的な打ち抜きによる自動的切除を行っていた。

転び発生による電子部品搬送装置の停止は、稼働率の低下につながる。そのため、電子部品がポケットに正しい向き及び位置で静止するように収納されることが望ましい。そこで、従来の電子部品搬送装置は、テーピングユニットよりも搬送経路上の前段に、電子部品の姿勢を補正する姿勢補正ユニットと姿勢判別ユニットを備えていた。

しかしながら、電子部品の姿勢を補正しても、キャリアテープ自体に位置ズレが生じていた場合、依然として電子部品の転びが発生する可能性があった。近年は特に、電子部品の小型化が進んでいるため、ポケットのわずかな位置ずれによっても、転びが発生してしまう可能性があった。

そこで、テーピングユニットの本体上面に保持手段の搬送方向の停止位置を示すマークを設け、キャリアテープをセットした際に、このマークとポケットの位置ずれ量を測定し、このずれ量を０にするように、キャリアテープを搬送方向及び幅方向に移動させる補正を行い、位置ズレを解消することが試みられていた（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１１７４８号公報

しかしながら、上述したように、電子部品の小型化に合わせてキャリアテープのポケットも小型化しているため、各ポケットの間隔も完全に等間隔とすることは難しく、それぞれの間隔にバラつきが生じることもある。そのため、一つのポケットに対して位置ずれ補正を行って停止位置に合わせたとしても、他のポケットについては停止位置に合わない可能性もあった。

特許文献１では、この問題を解決するために、複数のポケットについて位置ズレ量を測定し、それらの位置ズレ量の平均値を算出し、その平均値をズレ補正量としていた。

しかしながら、複数の位置ズレ量を検出しても、位置ズレ量の大半が中間の範囲に固まり、大きい位置ズレ量が一つだけあるような場合もある。このような場合に、平均値をズレ補正量とすると、平均値は大半の位置ズレ量が固まる中間の範囲に近い値になってしまい、結果的に大きい位置ズレを適切な範囲にまで補正するには不十分なズレ補正量しか算出されない可能性があった。

本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、キャリアテープの複数のポケットの間隔のバラつきに関わらず、それらのポケットが適切な範囲に位置するようにキャリアテープの位置ズレを補正し、電子部品の転びを容易且つより確実に防ぐことのできる電子部品搬送装置及びテーピングユニットを提供することを目的とする。

本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路における前記保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を、長手方向に複数のポケットを並べたキャリアテープに収容して移送路上を移送するテーピングユニットと、を有し、前記テーピングユニットは、前記キャリアテープのポケット位置を検出するポケット位置検出手段と、前記ポケット位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ポケット位置の前記停止位置に対する位置ズレ量を検出するズレ検出手段と、複数のポケットについて検出された位置ズレ量の最大値及及び最小値の中間値に基づいて前記キャリアテープの位置ズレを補正する補正手段と、を備えるものである。

前記テーピングユニットは、前記ポケットに対する前記保持手段の停止位置を示すマークを前記キャリアテープに付与するマーク付与手段を、更に備えても良い。

前記マーク付与手段は、前記保持手段に取り付けられたピン部材を備えても良く、前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記ピン部材によって前記キャリアテープに空けられた孔であっても良い。

前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープのポケットの底面に付与しても良い。

前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープの各ポケットを繋ぐ繋ぎ領域に付与しても良い。

前記ピン部材は、前記キャリアテープのポケットの長手方向両端側の繋ぎ領域に一対の孔を空けるように離間して配置された一対の針を備えても良い。

前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の前記保持手段の停止位置を示すマークに対する位置ズレ量を検出するようにしても良い。

前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の、前記一対の孔の中間位置に対する位置ズレ量を検出するようにしても良い。

前記テーピングユニットは、前記キャリアテープに係合して当該キャリアテープを移送する複数のピンが設けられたスプロケットと、前記スプロケットを回転させる駆動手段と、前記スプロケットの各ピン間隔の距離の違いに応じて前記スプロケットの回転量を増減させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、を更に有するようにしても良い。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを、前記キャリアテープの長手方向における位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、を有するようにしても良い。

前記補正手段は、前記キャリアテープを搬送するスプロケットと、前記スプロケットを、前記キャリアテープの幅方向における位置ズレに対応する量だけ移動させるマイクロメータを備えるようにしても良い。

本発明は、電子部品を保持して搬送経路に沿って間欠移動する保持手段の停止位置に配され、保持手段で保持された前記電子部品を、長手方向に複数のポケットを並べたキャリアテープに収容して移送路上を移送するテーピングユニットに適用することもできる。

本発明によれば、キャリアテープの複数のポケットについて位置ズレ量を検出し、その最大値及び最小値の中間値に基づいてキャリアテープの位置ズレを補正することで、各ポケットの間隔にバラつきのあるキャリアテープでも、各ポケットが適切な範囲に位置するように位置ズレを補正することができる。これによって、電子部品の転びが減少して装置の稼働率が向上し、信頼性及び経済性に優れた電子部品搬送装置及びテーピングユニットを提供することができる。

第１実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す平面図である。 第１実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す側面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニットの概略構成を示す側面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニット及びマーク付与手段の概略構成を示す側面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニットの概略構成を示す平面図である。 第１の実施形態に係る制御部の構成を示すブロック図である。 テープ送り制御における、スプロケットのピンの間隔のバラつき補正を模式的に示す図である。 （ａ）カメラによって撮像されるポケット画像を示す模式図であり、（ｂ）はポケットの中心位置と保持手段の停止位置の位置ズレを示す模式図である。 第１の実施形態に係る位置補正動作を示すフローチャートである。 複数の位置ズレ量からズレ補正量を決定する位置補正動作の一例を示す模式図である。 第２の実施形態に係るテーピングユニット及びマーク付与手段の概略構成を示す側面図である。 複数の位置ズレ量から位置補正量を決定する位置補正動作の一例を示す模式図である。

以下、本発明に係る電子部品搬送装置及びテーピングユニットの実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

［１．第１の実施形態］
［電子部品搬送装置］
図１は、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す平面図である。図２は、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の概略構成を示す側面図である。

図１及び図２に示す実施形態は、本発明の電子部品搬送装置１を、電子部品Ｄを整列搬送しながら各種の工程処理を行う後工程処理装置として使用するものである。そのため、この電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄに対する各種の工程処理機構、及び電子部品Ｄを各種の工程処理機構に順次搬送する搬送機構を備えている。

電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路や抵抗やコンデンサ等が挙げられる。工程処理としては、主に、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経た後の後工程であり、マーキング、外観検査、テストコンタクト、分類ソート、若しくは梱包、又はこれらの組み合わせが含まれる。本実施形態に係る電子部品搬送装置１は、少なくとも梱包処理を実施する。

搬送機構は、ターンテーブル２１を含んで構成される。ターンテーブル２１の中心は、下方に配置されたダイレクトドライブモータ２２の駆動軸で支持されている。ターンテーブル２１は、ダイレクトドライブモータ２２の駆動に伴って間欠的に所定角度回転する。

ターンテーブル２１の外周部には、電子部品Ｄを保持する複数の保持手段３が、ターンテーブル２１の外周に沿って等間隔で離間して取り付けられている。保持手段３の配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と等しい。ターンテーブル２１の外周は、電子部品Ｄの搬送経路である。すなわち、電子部品Ｄは、ターンテーブル２１の外周に沿って搬送される。保持手段３で電子部品Ｄを保持し、ターンテーブル２１を回転させることで、外周線に沿った方向に電子部品Ｄを整列搬送する。

本実施形態において、保持手段３は、電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着ノズル３１である。吸着ノズル３１のパイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路と連通しており、吸着ノズル３１は、負圧の発生によって電子部品Ｄを吸着し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。

この吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１の外周部に取り付けられた支持部３２によって、その下端をターンテーブル２１の下面に突出させるように支持されており、その突出端が電子部品Ｄを吸着及び離脱させる吸着部３１ａとなっている。支持部３２は、吸着ノズル３１を摺動可能に支持しており、吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１に対して昇降可能となっている。昇降方向は、ターンテーブル２１の拡がり方向を水平面と仮定した場合の垂直方向である。

吸着ノズル３１の各停止位置Ｐには、操作ロッド３４を備える駆動部３３が配置されている。駆動部３３は、具体的にはモータであり、操作ロッド３４を上下動させる。操作ロッド３４は、その下端を吸着ノズル３１の上端に設けられる被押圧部３１ｂに対向させて配置されており、駆動部３３の駆動に応じて吸着ノズル３１の被押圧部３１ｂと当接し、押圧力を付与して吸着ノズル３１を下方に押し下げる。

図１に示すように、工程処理機構としては、ターンテーブル２１の回転方向順に、換言すると、搬送経路の前段から順番に、例えば、パーツフィーダ４１、マーキングユニット４２、外観検査ユニット４３、テストコンタクトユニット４４、分類ソートユニット４５、姿勢判別ユニット４９、姿勢補正ユニット４６、テーピングユニット４７、不良品排出ユニット４８が配置される。

これら工程処理機構は、ターンテーブル２１を取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置される。配置間隔は、ターンテーブル２１の１ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。工程処理機構の配置位置は、保持手段３の停止位置Ｐと一致する。停止位置Ｐには、何れかの搬送処理機構が１機配置される。尚、停止位置Ｐの数≧搬送処理機構４の数であれば、これらの数は同数でなくともよく、搬送処理機構が配置されない停止位置Ｐが存在していてもよい。

パーツフィーダ４１は、電子部品搬送装置１に電子部品Ｄを供給する装置である。このパーツフィーダ４１は、円形の振動パーツフィーダと直線型の供給振動フィーダとを組み合わせて、ターンテーブル２１の外周端直下の搬送経路終端まで多数の電子部品Ｄを整列させて連続的に搬送する。マーキングユニット４２は、電子部品Ｄに臨んでレーザ照射用のレンズを有し、レーザを電子部品Ｄに照射してマーキングを行う。

外観検査ユニット４３は、カメラを有し、電子部品Ｄを撮影し、画像から電子部品Ｄの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。テストコンタクトユニット４４は、ベリリウム銅等の板やピン等の金属であるコンタクトを有し、電子部品Ｄのリードにコンタクトを接触させ、電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定検査する。

分類ソートユニット４５は、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品Ｄを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。姿勢判別ユニット４９は、カメラを有し、電子部品Ｄの姿勢を判別する。判別対象となる電子部品Ｄの姿勢は、向き及び吸着ノズル３１による保持位置を含む。姿勢補正ユニット４６は、姿勢判別ユニット４９が判別した姿勢に応じて、電子部品Ｄの方向合わせと、保持位置の位置決めを行う。

テーピングユニット４７は、後述するように、良品と判定された電子部品Ｄを収納して梱包する。不良品排出ユニット４８は、テーピング梱包されなかった電子部品Ｄを電子部品検査装置１から排出する。

このような電子部品搬送装置１は、図示しない搬送制御部を備え、ダイレクトドライブモータ２２、吸着ノズル３１を昇降させる駆動部３３、真空発生装置、及び各種の工程処理機構４１〜４９に電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するＲＯＭ、ＣＰＵ、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。

この搬送制御部による制御により電子部品搬送装置１は、以下のように電子部品Ｄの処理が開始される。処理開始後においては、ターンテーブル２１は、所定角度の回転と所定時間の停止を繰り返す。各吸着ノズル３１は、ターンテーブル２１の間欠回転によって、ターンテーブル２１の外周上の各停止位置Ｐに順に移動する。各吸着ノズル３１は、停止位置Ｐに移動すると、駆動部３３及び操作ロッド３４の動作により工程処理機構４１〜４９のステージへ向けて下降し、真空破壊によって電子部品Ｄを離脱させる。工程処理機構４１〜４９は、電子部品Ｄを受け取ると、当該電子部品Ｄに処理を施す。電子部品Ｄの処理終了後は、吸着ノズル３１が再びステージへ向けて下降し、電子部品Ｄを保持する。尚、工程処理機構４１〜４９の内容によっては、吸着ノズル３１の下降、離脱、再保持、及び上昇の動作を行わないものも存在する。

このような電子部品搬送装置１の動作により、電子部品Ｄは、第１のサイクルでパーツフィーダ４１から搬送経路に供給されて、次以降のサイクルごとに順にマーキングユニット４２、外観検査ユニット４３、テストコンタクトユニット４４、及び分類ソートユニット４５に供給されて、各種の工程が施される。

そして、姿勢判別ユニット４９及び姿勢補正ユニット４６による電子部品Ｄの姿勢補正後に、電子部品Ｄはテーピングユニット４７に供給され、キャリアテープに梱包される。不良により梱包されなかった電子部品Ｄは、不良品排出ユニット４８に供給されて、電子部品搬送装置１から排出される。

［テーピングユニット］
電子部品搬送装置１が備えるテーピングユニット４７について更に詳述する。図３は、テーピングユニット４７の概略構成を示す上面図である。図４は、テーピングユニット４７の概略構成を示す側面図である。図５は、テーピングユニット４７の概略構成を示す平面図である。

テーピングユニット４７は、その本体上面に、装置の長手方向に延びるガイドレール４７１を備え、このガイドレール４７１上でキャリアテープ５０を間欠搬送させる。テーピングユニット４７は搬送経路における保持手段の停止位置Ｐに配置され、保持手段から離脱した電子部品を、キャリアテープ５０に収容する。

キャリアテープ５０は、電子部品Ｄを収納する梱包材であり、帯形状を有する。キャリアテープ５０には、長手方向に所定距離離間して、複数の凹型のポケット５１がエンボス加工等によって形成されている。また、各ポケット５１間の領域を繋ぎ領域５２と呼ぶ。

このポケット５１は、電子部品Ｄの収納領域である。すなわち、テーピングユニット４７によって、各ポケット５１は保持手段３の停止位置Ｐに順次移送され、各ポケット５１に電子部品が収容されていく。

テーピングユニット４７の長手方向両端部には、それぞれスプロケット４７２が配置されている。図３及び図４では、一方のスプロケット４７２のみを図示している。スプロケット４７２は円筒ロール形状を有し、中心軸を介して回転可能となっている。スプロケットの周面には、円周方向に沿って突出したピンが複数設けられている。ピンはそれぞれ等間隔となるように配置されているが、ピン間によってはわずかなバラつきが存在する場合もある。

スプロケット４７２は、駆動モータ４７３と軸により機械的に連結され、駆動モータ４７３の駆動力を受けて回転する。駆動モータ４７３としては、例えば、微少な回転角度を達成可能なステッピングモータ等が挙げられる。上述のように、ピンの間の間隔にバラつきがある場合には、各間隔に合わせて回転角度が調整可能である。

キャリアテープ５０は、長手辺の何れかに寄って所定間隔離間したパーフォレーション（図示せず）が貫設されている。スプロケット４７２が回転すると、その周面に設けられたピンが順次パーフォレーションに引っ掛かり、キャリアテープ５０はガイドレール４７１上に引き出されて移送される。ガイドレール４７１上に引き出されたキャリアテープ５０の各ポケット５１には停止位置Ｐにおいて電子部品が収容される。電子部品を収容したキャリアテープ５０は、ガイドレール４７１上を他方のスプロケット４７２に向かって走行し、他方のスプロケット４７２に巻き取られて梱包される。

換言すれば、キャリアテープ５０に収容された電子部品は、ガイドレール４７１上に形成され、スプロケット４７２によるキャリアテープ５０の移動によって実現される移送路上を移送される。また、電子部品は、一方のスプロケット４７２によってキャリアテープ５０が巻き出される方向である移送方向に移送される。

さらに、テーピングユニット４７は、キャリアテープ５０の移送路上にカメラ４７４を備える。カメラ４７４は、ＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を有する撮像手段であり、キャリアテープ５０の移送路上の一地点を撮影する。このカメラ４７４の配置位置は、停止位置Ｐよりも後段であり、例えばキャリアテープ５０の進行方向にあるポケット５１を撮像できる上方の位置である。

カメラ４７４は制御部４７７に接続されている。制御部４７７は、不良検出部（不図示）を有し、カメラ４７４が撮像した画像はこの不良検出部に送信される。不良検出部は撮像画像から電子部品Ｄの不良の有無を判定し、不良が検出された場合にはチャックや吸着ノズル等の除去手段あるいは手作業で、当該ポケット５１から電子部品を除去する。なお、「不良」とは、電子部品の外観に傷がある場合のみならず、電子部品がポケット５１に正しい方向又は正しい位置で収容されていない、あるいは表裏が正しい向きで収容されていない場合も含む。

テーピングユニット４７において、キャリアテープ５０の長手方向及び幅方向の位置補正が可能となっている。特に、キャリアテープ５０の交換時の調整作業において、テーピングユニット４７は、キャリアテープ５０の位置ズレを検出しその位置ズレを解消する位置補正動作を行う。

この位置補正動作を達成するために、テーピングユニット４７は、各ポケット５１に対して保持手段の停止位置Ｐを示すマークを付与するマーク付与手段を備えている。また、位置補正動作において、上述したカメラ４７４及び制御部４７７は、ポケット位置を検出するポケット位置検出手段と、マークとポケット５１の位置との位置ズレ量を検出するズレ検出手段として作用する。また、位置補正動作において、上述したスプロケット４７２と駆動手段は、キャリアテープ５０の移送方向における位置ずれを補正する補正手段として作用する。さらに、キャリアテープ５０の幅方向の位置ずれを補正する補正手段として、テーピングユニット４７は、マイクロメータを含むスクリューアジャスタ４７５を備えている。以下、各構成について詳述する。

［マーク付与手段］
テーピングユニット４７は、マーク付与手段として、保持手段である吸着ノズル３１の先端に着脱可能に取り付けられるピン部材４７９を備えている。ピン部材４７９は、吸着ノズルに取り付けられる柱上の基端部４７９ａと、基端部先端の中心から突出して延びる針部４７９ｂとを備える。

柱上の基端部４７９ａは、吸着ノズルと略一致する外径を有する。位置補正動作において、保持手段３の吸着ノズル３１を支持部３２から取り外し、代わりにピン部材４７９を支持部３２に取り付けて使用する。

針部４７９ｂは先端が鋭利な錐体の形状である。保持手段３に取り付けたピン部材４７９を下降させることによって、針部４７９ｂは停止位置Ｐに位置するキャリアテープ５０に接触して貫通し、キャリアテープ５０に略円形の孔５１１を空ける。すなわち、針部４７９ｂによって空けられるこの孔５１１が、各ポケット５１に対して保持手段の停止位置Ｐを示すマークとなる。

本実施形態においては、孔５１１はキャリアテープ５０のポケット５１の底面５１０に形成される。すなわち、通常のテーピング処理を同じピッチでキャリアテープ５０を送りながらピン部材４７９を下降させることによって、図５に示すように、連続するポケット５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ…のそれぞれの底面５１０にマークが付与されることになる。なお、針部４７９ｂの長さ及び径は、孔５１１がマークとして適当な大きさとなるように適宜調整される。

［補正手段］
キャリアテープ５０の長手方向の位置補正機構は、上述したようにスプロケット４７２及び駆動モータ４７３である。駆動モータ４７３を駆動させて、スプロケット４７２を所定角度回転させることによって、キャリアテープ５０の長手方向の位置がオフセットされる。

幅方向の位置補正機構は、スクリューアジャスタ４７５と圧縮バネ４７６を含んで構成される。スクリューアジャスタ４７５は、マイクロメータヘッドを有するネジ機構であり、ネジ先端がスプロケット４７２の一側面に当接するように設けられている。マイクロメータヘッドは、ネジの回転角をネジ位置の変位量に換算し、変位量を目盛に反映する。圧縮バネ４７６は、スプロケット４７２の反対側の側面に当接するように固定され、スクリューアジャスタ４７５の方向に付勢力を与えている。

スクリューアジャスタ４７５は、ネジ調整によるネジ先端の突出長増大により、圧縮バネ４７６の押圧力に抗してスプロケット４７２を軸に対してスライドさせることで、幅方向に押し出し移動させる。スクリューアジャスタ４７５の突出長を減少させると、すなわちスクリューアジャスタ４７５の先端をスプロケット４７２の端面から離れる方向に移動させると、圧縮バネ４７６の押圧力によってスプロケット４７２が反対方向に移動する。このようにマイクロメータヘッドを用いることにより微細な調整が可能であるが、他の位置補正機構も適宜用いることができる。例えば、テーピングユニットの台自体をレールに搭載し、幅方向に移動させることで位置補正を行うことができる。

［制御部］
キャリアテープ５０の位置補正動作の制御は、カメラ４７４による撮影結果に基づいて制御部４７７が実施する。制御部４７７は、例えば、プログラムに従って処理を実行して各機構を制御する演算処理装置、プログラムや演算処理装置の演算結果が記憶される主記憶装置、プログラムが記憶される外部記憶装置、各機構を実際に動作させるドライバ、及び画面を表示するモニタを含んで構成される。この制御部４７７は、テーピングユニット４７が独立して備えていてもよいし、電子部品搬送装置１の搬送制御部の構成に包含させてもよい。

図６は、制御部４７７の構成の一部を示すブロック図である。位置補正動作の制御のために、制御部４７７は、テープ送り制御部４７７ａと、昇降制御部４７７ｂ、カメラ制御部４７７ｃ、画像処理部４７７ｄ、ズレ検出部４７７ｅと、表示部４７７ｆと、補正量算出部４７７ｇ、補正制御部４７７ｈ、入力装置４７７ｉとを備える。

テープ送り制御部４７７ａは、スプロケット４７２を回転させる駆動モータ４７３を駆動させることで、キャリアテープ５０のポケット５１ａを停止位置Ｐに位置させる。そして、テープ送り制御部４７７ａは、キャリアテープ５０を所定距離移動させる。この移動距離は、停止位置Ｐからカメラ４７４の撮影ポイントＣまでの距離に等しい。すなわち、停止位置Ｐのポケット５１ａと繋ぎ領域５２をそれぞれ撮影ポイントＣまで移動させる。

上述したように、スプロケット４７２のピンは等間隔となるように配置されているが、スプロケット４７２のピンの間隔にわずかなバラつきが存在する場合もある。

そこで、テープ送り制御部４７７ａは、スプロケット４７２の各ピン間隔の距離の違いに応じてスプロケット４７２の回転量を増減する補正処理を行っている。図７は、テープ送り制御部４７７ａによるスプロケット４７２のピン間隔のバラつきを補正する処理の一例を模式的に示す図である。スプロケット４７２の周面上に４点のピンｊ１、ｊ２、ｊ３、ｊ４が形成されているが、ピンｊ１とｊ２の間隔がｔ、ピンｊ２とｊ３の間隔ｔ＋１、ピンｊ３とｊ４の間隔ｔ−１と各ピン間隔の距離が異なり、バラつきが存在する。この場合、テーピングユニット４７の不図示の記憶部には、４点のピンｊ１、ｊ２、ｊ３、ｊ４の順番と各ピンの間隔ｔ，ｔ＋１，ｔ−１が予め記憶されている。そしてテープ送り制御部４７７ａは、記憶された各ピンの間隔に応じて駆動モータ４７３の駆動を制御し、スプロケット４７２の回転角度を増減させる。これによって、スプロケット４７２のピンのバラつきが補正され、メインテーブルの搬送ピッチに合わせたピッチで、ポケット５１が順次停止位置Ｐに移送される。

昇降制御部４７７ｂは、孔５１１の形成のために、駆動部３３を駆動させ、ピン部材４７９をキャリアテープ５０に向けて下降させる。下降位置は、キャリアテープ５０のポケット５１ａの底面５１０である。すなわち、テープ送り制御部４７７ａは、昇降制御部４７７ｂによる制御の前に、ポケット５１ａの底面５１０を停止位置Ｐに移動させる。下降量は、針部４７９ｂの先端がポケット５１ａの底面５１０を貫通し、略円形の孔５１１が形成される程度に設定される。

カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４に撮影ポイントＣに位置しているポケット５１ａのポケット画像Ｔｐを撮影する。図８（ａ）は、ポケット画像Ｔｐの一例を示す模式図である。ポケット画像Ｔｐには、ポケット５１ａの底面５１０に形成された孔５１１も撮影されている。

画像処理部４７７ｄは、カメラ４７４が取得した撮影ポイントＣの画像データを解析して、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１を特定する。具体的には、画像処理部４７７ｄは、２値化処理や正規化処理及び輪郭抽出処理等を経て、ポケット５１ａの輪郭を検出する。さらにポケット５１ａの長辺の中心線及び短辺の中心線の交点をポケット５１ａの中心位置Ｐ１として特定する。同様に、画像処理部４７７ｄは画像データを解析して孔５１１の領域を特定し、さらに孔の重心座標を検出して、孔の中心位置Ｐ２を特定する。

ズレ検出部４７７ｅは、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１の、孔５１１の中心位置Ｐ２に対する位置ズレ量を検出する。図８（ｂ）は、ポケットの中心位置Ｐ１と孔の中心位置Ｐ２の位置ズレを示す模式図である。孔５１１の位置は、換言すると、保持手段３が停止位置Ｐに移動したときの位置である。つまり、キャリアテープ５０が精度よくセットされ、ポケット５１ａが正確に停止位置Ｐに移動していれば、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１と孔５１１の中心位置Ｐ２の位置ズレはない。これら位置の比較処理では、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１と孔５１１の中心位置Ｐ２を示す座標のＸ方向及びＹ方向をそれぞれ差分することで位置ズレ量を算出する。尚、算出の簡便のため、カメラ４７４は、画像上のＸ方向がキャリアテープ５０の幅方向に対応し、画像上のＹ方向がキャリアテープ５０の長手方向に対応するように配置される。

このように、ポケット５１ａについて算出された位置ズレ量は、不図示の記憶部に記憶される。制御部４７７は、連続するポケット５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅについても順次同等の処理を繰り返し、これらの位置ズレ量を算出し、それぞれを記憶部に記憶させる。位置ズレを算出するポケット５１の数は適宜設定することができるが、本実施形態では、例えば、５個のポケット５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅについて位置ズレ量を算出する。

補正量算出部４７７ｇは、記憶部に記憶された複数の位置ズレ量から、最大値及び最小値を選定し、それらの中間値を算出し、この中間値からズレ補正量を決定する。この中間値は、補正すべきＸ方向及びＹ方向のズレ量を示すものである。よって、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれにおいて、ズレ量と同量の逆方向への移動が、位置ズレを解消するためのズレ補正量となる。

表示部４７７ｆは、モニタであり、補正量算出部４７７ｇの算出結果、すなわちズレ補正量を表示する。ズレ補正量は、Ｘ方向及びＹ方向に分けて表示される。入力装置４７７ｉは、ユーザの入力インターフェースであり、電子部品搬送装置１の動作モードを切り替えるために使用される。動作モードとしては、少なくとも位置ズレ検出及び位置ズレ補正を行う位置補正モードが用意される。入力装置４７７ｉとしては、ボタン、タッチパネル、又はマウス等が挙げられる。入力装置４７７ｉをタッチパネルディスプレイにより構成する場合には、表示部４７７ｆと共用とすることもできる。

補正制御部４７７ｈは、スプロケット４７２を回転させる駆動モータ４７３を駆動させて、Ｙ方向のズレ補正量、すなわちキャリアテープ５０の長手方向のズレ補正量に相当する距離だけ、キャリアテープ５０を移動させる。キャリアテープ５０の幅方向については、表示部４７７ｆのＸ方向のズレ補正量を参照しながら、ユーザがスクリューアジャスタ４７５を調整することで移動させる。

［位置補正動作］
上述した構成によって行われる、キャリアテープ５０の位置補正動作を上述した図に加え、図９及び図１０に基づき説明する。図９は、位置補正動作を示すフローチャートである。図１０は、複数の位置ズレ量からズレ補正量を決定する位置補正動作の一例を示す模式図である。

まず、ユーザによりキャリアテープ５０がテーピングユニット４７にセットされる（ステップＳ０１）。キャリアテープ５０は、ポケット５１ａが停止位置Ｐに位置するようにセットされるが、例えば、ロットの相違やセット時の位置決め誤差によって位置ズレが発生すること場合がある。具体的には、例えば、図８（ｂ）に示すように、保持手段３の停止位置Ｐに対して、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１が、位置ズレＧ（ΔＸ、ΔＹ）を生じている場合がある。

次に、ユーザにより保持手段３の支持部３２から吸着ノズル３１が取り外され、代わりにマーク付与手段としてピン部材４７９が取り付けられる（ステップＳ０２）。なお、ステップＳ０１のキャリアテープ５０のセットと、ステップＳ０２のピン部材４７９の取り付けは前後しても良い。

次に、ユーザによって、入力装置４７７ｉを用いて位置補正モードが選択される（ステップＳ０３）。

位置補正モードが選択されると、昇降制御部４７７ｂは、ピン部材４７９を下降させる。ピン部材４７９の先端の針部４７９ｂが、ポケット５１ａの底面５１０に接触して貫通し、略円形の孔５１１を形成する（ステップＳ０４）。この孔５１１が、ポケット５１ａに対する保持手段の停止位置Ｐを示すマークとなる。

テープ送り制御部４７７ａは、ポケット５１ａが停止位置Ｐからカメラ４７４の撮影ポイントＣへ移動する距離分、キャリアテープ５０を移動させる（ステップＳ０５）。スプロケット４７２のピンの間隔にバラつきがある場合、テープ送り制御部４７７ａは、予め記憶された各ピンの間隔に応じて１ピッチごとのスプロケット４７２の回転角度を増減させる。これによって、スプロケット４７２のピンのバラつきが吸収され、キャリアテープ５０は同一のピッチで移送される。

ポケット５１ａが撮影ポイントＣに移動されると、カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４にポケット画像Ｔｐを撮影させる（ステップＳ０６）。図８（ａ）に示すように、ポケット画像Ｔｐにはポケット５１ａの底面５１０及び底面５１０に形成された孔５１１が投影されている。

画像処理部４７７ｄは、ポケット画像Ｔｐからポケット５１ａの底面５１０及び孔５１１を検出し、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１及び孔５１１の中心位置Ｐ２、すなわち保持手段の停止位置Ｐを特定する（ステップＳ０７）。具体的には、ポケット画像Ｔｐを２値化処理や正規化処理及び輪郭抽出処理等を経て底面５１０の領域をその他の領域を区別し、さらに底面５１０の長辺の中心線及び短辺の中心線の交点をポケット５１ａの中心位置Ｐ１として算出する。孔５１１についても同様に２値化処理や正規化処理及び輪郭抽出処理等を経て孔５１１の領域とその他の領域を区別し、孔５１１の中心位置Ｐ２として領域の重心座標を算出する。

ズレ検出部４７７ｅは、算出されたポケット５１ａの中心位置Ｐ１の、孔５１１の中心位置Ｐ２に対する位置ズレ量を検出する（ステップＳ０８）。具体的には、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１の座標と孔５１１の中心位置の座標をＸ座標及びＹ座標毎に差分して、図８（ｂ）に示すように、位置ズレ量（ΔＸ，ΔＹ）を算出する。

ポケット５１ａについて算出された位置ズレ量は、不図示の記憶部に記憶される。ポケット５１ａに連続するポケット５１ｂ〜５１ｅについても、順次ステップＳ０１〜ステップＳ０８の処理を行い、合計でポケット５個分の位置ズレ量を取得する（ステップＳ０９）。

５個分の処理は、テーピング処理と同様のピッチでキャリアテープ５０の移送を行い、停止位置Ｐ及び撮影ポイントＣに順次入っていくポケット５１ａ〜５１ｅに対して連続してマーク付与処理及び位置ズレ量検出処理を行っていくと効率が良い。

しかしながら、もちろん、一つのポケット５１に対して停止位置Ｐから撮影ポイントＣに移動してマーク付与処理及び位置ズレ量検出処理を行った後に、移送方向と逆方向に移動して次のポケット５１を停止位置Ｐに戻し、次のポケット５１に対してマーク付与処理及び位置ズレ量検出処理を行っても良い。

また、ここでは互いに隣接する５個のポケット５１についてマーク付与処理及び位置ズレ量検出処理を行っているが、移送ピッチの調節によって、隣接するポケットではなく所定数離れたポケット毎に位置ズレ検出を行っても良い。

補正量算出部４７７ｇは、ズレ検出部４７７ｅで取得した５個のポケット５１ａ〜５１ｅの位置ズレ量から、最大値及び最小値の中間値を算出して、ズレ補正量を決定する（ステップＳ１０）。具体的には、算出された中間値が、補正されるべきＸ方向及びＹ方向の位置ズレ量を示す。この位置ズレ量の分だけキャリアテープ５０を逆方向へ移動することによって、位置ズレ量は０となる。したがって、中間値の位置ズレ量分の逆方向への移動量（ΔＸ＝０，ΔＹ＝−１）が、ズレ補正量となる。

図１０に、ズレ補正量算出の一例を模式的に示している。５個のポケット５１ａ〜５１ｅにおいて、それぞれ異なる位置ズレ量が検出されている。ポケット５１ａの位置ズレ量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋１）、ポケット５１ｂの位置ズレ量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋４）、ポケット５１ｃの位置ズレ量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋１）、ポケット５１ｄの位置ズレ量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝０）、及びポケット５１ｅの位置ズレ量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋１）である。すなわち、位置ズレ量は比較的小さい範囲で固まっている。ここで、５個の位置ズレ量の平均値を算出した場合、（ΔＸ＝０，ΔＹ＝１．４）となってしまい、ポケット５１ｂの大きな位置ズレを補正するのに十分な値が算出されない。

これに対して、本実施形態では、位置ズレ量の最大値と最小値の中間値を算出する。ここで、位置ズレ量の最大値はポケット５１ｂの位置ズレ量（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋４）であり、最小値はポケット５１ｄの位置ズレ量（ΔＸ＝０，ΔＹ＝０）であり、これらの値に中間値は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝＋２）である。したがって、ズレ補正量は（ΔＸ＝０，ΔＹ＝−２）となる。このように、中間値を算出することによって、５個の位置ズレ量の平均値と比べ、ポケット５１ｂの大きな位置ズレを補正するにも十分なズレ補正量を決定することができる。

このようにズレ補正量が算出されると、表示部４７７ｆは、ズレ補正量をＸ方向及びＹ方向、すなわちキャリアテープ５０の幅方向及び長手方向のそれぞれについて表示する（ステップＳ１１）。

そして、補正制御部４７７ｈは、補正量算出部４７７ｇで決定された長手方向のズレ補正量に相当する距離だけ、キャリアテープ５０を長手方向に移動させる（ステップＳ１２）。幅方向においては、ユーザによりスクリューアジャスタ４７５が調整され、補正量算出部４７７ｇで決定された幅方向のズレ補正量に相当する距離だけ、スプロケット４７２を移動させることで、キャリアテープ５０を幅方向に移動させる（ステップＳ１３）。

［効果］
以上のように、本実施形態に係る電子部品搬送装置１及びテーピングユニット４７は、複数のポケット５１について、保持手段の停止位置Ｐに対するポケット位置の位置ズレ量を検出し、複数の位置ズレ量の最大値及及び最小値の中間値に基づいてキャリアテープ５０の位置ズレを補正するようにした。

これによって、位置ズレ量の大半が中間の範囲に固まったような場合でも、値の偏りに影響されることなく、大きなズレを補正するのに十分なズレ補正量を算出することができ、キャリアテープ５０全体としての電子部品の転び頻度を低下させることができる。これによって装置の稼働率を向上させることができるため、信頼性及び経済性に優れている。

また、本実施形態において、キャリアテープ５０の位置補正動作時は、保持手段にピン部材４７９を取り付け、このピン部材４７９を用いてポケット５１の底面５１０に孔５１１を形成した。そして、この孔５１１を保持手段の停止位置Ｐを示すマークとして用い、ポケット位置とマークの位置とを比較して位置ズレ量を検出した。

例えば、テーピングユニット４７の台に保持手段の停止位置Ｐを示すマークを設けたような場合、そのマークはキャリアテープ５０の長手方向における位置ズレ補正の基準とすることはできるが、幅方向の基準とすることはできない。これに対して、本実施形態では保持手段を用いて、実際に電子部品を収容されるキャリアテープ５０のポケット５１の底面５１０にマークを付しているため、正確な位置ズレ補正を、長手方向だけでなく幅方向においても行うことができる。

また、孔５１１は輪郭が明瞭であり、画像処理の際に他の部分と区別しやすいため、保持手段の停止位置Ｐを示すマークとして好適である。また、略円形の孔５１１であれば、円中心は容易に算出することができるため、ズレ検出も容易となる。

また、ポケット５１の輪郭も明瞭で形状が定まったものであるため、画像処理において他の部分と区別しやすい。また、例えば、矩形のポケット５１は長辺の中心線と短辺の中心線の交点を算出することによって、ポケット５１の中心位置Ｐ１は容易に把握することができる。

キャリアテープ５０にマークとなる孔５１１を形成し、この孔５１１とポケット５１の中心位置Ｐ１とを位置ズレの比較対象とすることで、カメラ４７４の撮影ポイントＣを、保持手段の停止位置Ｐと完全に対応するように高精度な調整を行う必要がなく、それだけキャリアテープ５０の交換作業の時間を削減することができ、稼働率を向上させることができる。

さらに、本実施形態では、テープ送り制御部４７７ａが、スプロケット４７２の各ピン間隔の距離の違いに応じて駆動モータ４７３を制御し、スプロケット４７２の回転量を増減させる。これによって、スプロケット４７２のピンの間隔のバラつきを吸収して正確なピッチでキャリアテープ５０を移送することができる。その結果、ポケット５１の位置ズレ量にスプロケット４７２のバラつきが影響を与えることを防ぎ、位置ズレを予め小さい範囲に抑えることができる。これによって、例えば、位置ズレ量の最大値が大きくなりすぎてしまうようなことを防ぐことができ、最大値及び最小値の中間値に基づいた位置ズレ補正をより実効的なものとすることができる。

［２．第２の実施形態］
次に、第２の実施形態に係る電子部品搬送装置１及びテーピングユニット４７について、図１１及び図１２を参照しつつ説明する。なお、この第２の実施形態では、上述の第１の実施形態とは異なる点のみを説明し、上述の第１の実施形態と同じ部分については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

図１１は、テーピングユニット４７及びマーク付与手段の概略構成を示す側面図である。図１２は、ポケット５１の中心位置Ｐ１と保持手段の停止位置Ｐの位置ズレを示す模式図である。

第１の実施形態では、位置補正動作において、キャリアテープ５０のポケット５１の底面５１０に孔５１１を形成する構成を説明したが、第２の実施形態では、位置補正動作において、各ポケット５１の長手方向両端側の繋ぎ領域５２に一対の孔５１２，５１２を空ける構成を説明する。

第１の実施形態において、ピン部材４７９は単一の錐形の針部４７９ｂを備えていた。これに対して、第２の実施形態では、ピン部材４７９は柱上の基端部４７９ａの先端から突出し、二股に分かれて延びる一対の針部４７９ｃ，４７９ｃを備える。一対の針部４７９ｃ，４７９ｃは、それぞれ薄肉で先端が鋭利な平刀状となっており、基端部４７９ａの両側面から見ると略矩形となっている。一対の針部４７９ｃ，４７９ｃは互いに平行に、かつ互いに間隔を有して配置されている。その間隔は、キャリアテープ５０のポケット一つ分の長手方向の長さよりやや大きくなるように設定されている。

ピン部材４７９は、第１の実施形態と同様に、保持手段３の吸着ノズル３１を支持部３２から取り外し、代わりにピン部材４７９の基端部４７９ａを支持部３２に取り付けて使用される。このとき、一対の針部４７９ｃ，４７９ｃの平刀がキャリアテープ５０の幅方向と平行となるように支持部３２に取り付けられる。

テープ送り制御部４７７ａは、第１の実施形態と同様に、ポケット５１ａの底面５１０が停止位置Ｐに位置するようにキャリアテープ５０を移動させる。昇降制御部４７７ｂは、キャリアテープ５０のポケット５１ａの底面５１０に向かって、ピン部材４７９を下降させる。ここで、第２の実施形態では、上述のようにピン部材４７９の一対の針部４７９ｃ，４７９ｃの間隔はポケット５１ａの長手方向の長さよりやや大きくなるように設定されている。そのため、一対の針部４７９ｃ，４７９ｃの先端はポケット５１ａの両端側の繋ぎ領域５２の表面に接触して貫通し、一対の孔５１２，５１２を形成する。一対の針部４７９ｃ，４７９ｃはそれぞれ平刀状であるため、繋ぎ領域５２には略矩形の孔が形成される。

カメラ制御部４７７ｃは、カメラ４７４に撮影ポイントＣに位置しているポケット５１ａをその長手方向両端側の繋ぎ領域５２を含めて撮影させる。

画像処理部４７７ｄは、カメラ４７４が取得した撮影ポイントＣの画像データを解析して、ポケット５１ａの中心位置Ｐ１と、一対の孔５１２，５１２のそれぞれの重心座標、すなわち中心位置Ｐ２を特定する。画像処理部４７７ｄはさらに、一対の孔５１２，５１２のそれぞれの中心位置Ｐ２を結ぶ線の中間位置Ｐ３を検出する。

一対の孔５１２，５１２は、吸着ノズル３１の代わりに保持手段３に取り付けられた一対の針部４７９ｃ，４７９ｃによって形成されたものである。したがって、図１２（ａ）に示すように、一対の孔５１２，５１２の中間位置Ｐ３が、保持手段３の停止位置Ｐを示す。したがって、ズレ検出部４７７ｅは、一対の孔５１２，５１２の中間位置Ｐ３とポケット５１ａの中心位置Ｐ１とを比較することによって、図１２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ポケット５１ａのＸ方向及びＹ方向における位置ズレ量を検出することができる。

ズレ検出部４７７ｅは、第１の実施形態と同様に、複数のポケット５１ａ〜５１ｅについて位置ズレ量を取得し、補正量算出部４７７ｇは、取得した複数の位置ズレ量から、最大値及び最小値を選定し、それらの中間値を算出し、この中間値からズレ補正量を決定する。そして、補正制御部においてズレ補正が行われる。

以上述べたように、第２の実施形態では、一対の針部４７９ｃ，４７９ｃを用いて、ポケット５１の長手方向両端側の繋ぎ領域５２に一対の孔５１２，５１２を空ける。キャリアテープ５０の種類によっては、ポケット５１の底面５１０に負圧供給用の孔部が貫通して設けられているものがある。負圧の供給によって、収容された電子部品Ｄの位置固定をするものである。ポケット５１の底面５１０に孔を形成した場合、負圧供給用孔部と重なってしまい、孔が保持手段の停止位置Ｐを示すマークとして作用しない場合もある。このような種類のキャリアテープ５０において、ポケット５１の繋ぎ領域５２に孔を形成することによって、負圧供給用孔部によって阻害されることなく位置ズレ検出を行うことができる。

［３．その他の実施形態］
（１）以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

（２）例えば、上述の実施形態では、一つのターンテーブル２１に各種の工程処理機構４１〜４９を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル２１で一の搬送経路を構成するようにしてもよい。また、保持手段３として、真空の発生及び破壊により電子部品を吸着及び離脱させる吸着ノズル３１に代えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｄを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、各種の工程処理機構４１〜４９は、上記した種類に限られず、各種の工程処理機構と置き換えることが可能であり、また配置順序も適宜変更可能である。

（３）例えば、上述の実施形態では、位置補正動作において保持手段３から吸着ノズル３１を取り外し、代わりにピン部材４７９を取り付けていたが、吸着ノズルに着脱可能に取り付ける構成としても良い。例えば、ピン部材４７９の基端部を、吸着ノズルの外周に嵌め込むことができるよう中空の筒状に形成することで、吸着ノズルを取り外さずに位置補正動作を行うことができる。

（４）第１の実施形態では、先端が鋭利な錐体の針部でキャリアテープ５０のポケット５１の底面５１０に孔を形成したが、第２の実施形態で用いた平刀状の針部を用いても良い。同様に、第２の実施形態では、平刀状の針部でポケット５１の繋ぎ領域５２に孔を形成したが、第１実施形態で用いた錐体の針部を用いても良い。

（５）上述の実施形態では、保持手段の停止位置Ｐを示すマークとして、輪郭が明瞭であり孔を用いたが、画像処理の際に他の部分と区別できるものであれば、適宜マークとして用いることができる。例えば、吸着ノズル自体を用いてキャリアテープ５０に圧痕を付し、この圧痕をマークとして用いても良い。あるいは、インクを内蔵したスタンプを保持手段に取り付け、キャリアテープ５０に着色されたマークを付しても良い。

（６）また、カメラ４７４と停止位置Ｐとの位置関係が精度よく固定されている場合には、吸着ノズル３１がテーピングユニット４７の停止位置Ｐに到達したときの位置を予め主記憶装置に記憶させておいたり、この位置からキャリアテープ５０の長手方向への延長線上にカメラ４７４を配置するように位置調整を行うことで、孔等のマーク付与処理を省くこともできる。上述の実施形態では、特に、スプロケット４７２の間隔のバラつき補正を行っているため、カメラ位置を停止位置Ｐとの位置調整に要する時間も軽減することができる。

１ 電子部品搬送装置
２１ ターンテーブル
２２ ダイレクトドライブモータ
３ 保持手段
３１ 吸着ノズル
３２ 支持部
３３ 駆動部
３４ 操作ロッド
４１ パーツフィーダ
４２ マーキングユニット
４３ 外観検査ユニット
４４ テストコンタクトユニット
４５ 分類ソートユニット
４６ 姿勢補正ユニット
４７ テーピングユニット
５０ キャリアテープ
５１，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ，５１ｅ ポケット
５２ 繋ぎ領域
４７１ ガイドレール
４７２ スプロケット
４７３ 駆動モータ
４７４ カメラ
４７５ スクリューアジャスタ
４７６ 圧縮バネ
４７７ 制御部
４７７ａ テープ送り制御部
４７７ｂ 昇降制御部
４７７ｃ カメラ制御部
４７７ｄ 画像処理部
４７７ｅ ズレ検出部
４７７ｆ 表示部
４７７ｇ 補正量算出部
４７７ｈ 補正制御部
４７７ｉ 入力装置
４７９ ピン部材
４７９ａ 基端部
４７９ｂ 針部
４７９ｃ 一対の針部
５１０ 底面
５１１ 孔
５１２ 一対の孔
Ｄ 電子部品
Ｃ 撮影ポイント
Ｇ 位置ズレ
Ｐ 停止位置
Ｐ１ ポケットの中心位置
Ｐ２ 孔の中心位置
Ｐ３ 一対の孔の中間位置
Ｔｐ ポケット画像

本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、前記搬送経路における前記保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を、長手方向に複数のポケットを並べたキャリアテープに収容して移送路上を移送するテーピングユニットと、を有し、前記テーピングユニットは、前記キャリアテープのポケット位置を検出するポケット位置検出手段と、前記ポケット位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ポケット位置の前記停止位置に対する位置ズレ量を検出するズレ検出手段と、前記ズレ検出手段で検出された位置ズレ量に基づいて前記キャリアテープの位置ズレを補正する補正手段と、前記ポケットに対する前記保持手段の停止位置を示すマークを前記キャリアテープに付与するマーク付与手段と、を備えるものであって、前記マーク付与手段は、前記保持手段に取り付けられるピン部材を備え、前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記ピン部材によって前記キャリアテープに空けられた孔である。

前記補正手段は、複数のポケットについて検出された位置ズレ量の最大値及及び最小値の中間値に基づいて前記キャリアテープの位置ズレを補正してもよい。

Claims (22)

1. 電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
   前記電子部品の搬送経路と、
   前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、
   前記搬送経路における前記保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を、長手方向に複数のポケットを並べたキャリアテープに収容して移送路上を移送するテーピングユニットと、を有し、
   前記テーピングユニットは、
   前記キャリアテープのポケット位置を検出するポケット位置検出手段と、
   前記ポケット位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ポケット位置の前記停止位置に対する位置ズレ量を検出するズレ検出手段と、
   複数のポケットについて検出された位置ズレ量の最大値及及び最小値の中間値に基づいて前記キャリアテープの位置ズレを補正する補正手段と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
2. 前記テーピングユニットは、
   前記ポケットに対する前記保持手段の停止位置を示すマークを前記キャリアテープに付与するマーク付与手段を、更に備えることを特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
3. 前記マーク付与手段は、前記保持手段に取り付けられるピン部材を備え、
   前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記ピン部材によって前記キャリアテープに空けられた孔であることを特徴とする請求項２記載の電子部品搬送装置。
4. 前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープのポケットの底面に付与されることを特徴とする請求項２又は３記載の電子部品搬送装置。
5. 前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープの各ポケットを繋ぐ繋ぎ領域に付与されることを特徴とする請求項２又は３記載の電子部品搬送装置。
6. 前記ピン部材は、前記キャリアテープのポケットの長手方向両端側の繋ぎ領域に一対の孔を空けるように離間して配置された一対の針を備えることを特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。
7. 前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、
   前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の前記保持手段の停止位置を示すマークに対する位置ズレ量を検出することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
8. 前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、
   前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の、前記一対の孔の中間位置に対する位置ズレ量を検出することを特徴とする請求項６記載の電子部品搬送装置。
9. 前記テーピングユニットは、
   前記キャリアテープに係合して当該キャリアテープを移送する複数のピンが設けられたスプロケットと、
   前記スプロケットを回転させる駆動手段と、
   前記スプロケットの各ピン間隔の距離の違いに応じて前記スプロケットの回転量を増減させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、を更に有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
10. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを移送するスプロケットと、
    前記スプロケットを、前記キャリアテープの長手方向における位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
11. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを移送するスプロケットと、
    前記スプロケットを、前記キャリアテープの幅方向における位置ズレに対応する量だけ移動させるマイクロメータを備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置。
12. 電子部品を保持して搬送経路に沿って間欠移動する保持手段の停止位置に配され、前記保持手段で保持された前記電子部品を、長手方向に複数のポケットを並べたキャリアテープに収容して移送路上を移送するテーピングユニットであって、
    前記キャリアテープのポケット位置を検出するポケット位置検出手段と、
    前記ポケット位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ポケット位置の前記停止位置に対する位置ズレ量を検出するズレ検出手段と、
    複数のポケットについて検出された位置ズレ量の最大値及及び最小値の中間値に基づいて前記キャリアテープの位置ズレを補正する補正手段と、を備えることを特徴とするテーピングユニット。
13. 前記ポケットに対する前記保持手段の停止位置を示すマークを付与するマーク付与手段を、更に備えることを特徴とする請求項１２記載のテーピングユニット。
14. 前記マーク付与手段は、前記保持手段に取り付けられたピン部材を備え、
    前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記ピン部材によって前記キャリアテープに空けられた孔であることを特徴とする請求項１３記載のテーピングユニット。
15. 前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープのポケットの底面に付与されることを特徴とする請求項１３又は１４記載のテーピングユニット。
16. 前記保持手段の停止位置を示すマークは、前記キャリアテープの各ポケットを繋ぐ繋ぎ領域に付与されることを特徴とする請求項１３又は１４記載のテーピングユニット。
17. 前記ピン部材は、前記キャリアテープのポケットの長手方向両端側の繋ぎ領域に一対の孔を空けるように離間して配置された一対の針を備えることを特徴とする請求項１６記載のテーピングユニット。
18. 前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、
    前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の前記保持手段の停止位置を示すマークに対する位置ズレ量を検出することを特徴とする請求項１２〜１６のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
19. 前記ポケット位置検出手段は、前記ポケットの中心位置を検出し、
    前記ズレ検出手段は、前記ポケットの中心位置の、前記一対の孔の中間位置に対する位置ズレ量を検出することを特徴とする請求項１７記載のテーピングユニット。
20. 前記キャリアテープに係合して当該キャリアテープを移送する複数のピンが設けられたスプロケットと、
    前記スプロケットを回転させる駆動手段と、
    前記スプロケットの各ピン間隔の距離の違いに応じて前記スプロケットの回転量を増減させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、を更に有することを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
21. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを移送するスプロケットと、
    前記スプロケットを、前記キャリアテープの長手方向における位置ズレに対応する量だけ回転させる駆動手段と、を有することを特徴とする請求項１２〜２０のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
22. 前記補正手段は、
    前記キャリアテープを移送するスプロケットと、
    前記スプロケットを、前記キャリアテープの幅方向における位置ズレに対応する量だけ移動させるマイクロメータを備えることを特徴とする請求項１２〜２０のいずれか一項に記載のテーピングユニット。
    
    

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