KR100333627B1 - 다층 인쇄회로기판 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다층 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 인쇄회로기판의 제조공정에서 코어역할을 하는 프리프레그(P)의 양면에 각각 이형필름(F)을 위치시키고 수지층(R)과 금속박판층(C)을 차례로 적층하면서 인쇄회로기판(20)을 제조한다. 여기서 상기 프리프레그(P)는 경질화되어 그 상하면의 수지층(R)과 금속박판층(C)을 지지하는 역할을 하므로 상기 수지층(R)의 두께를 최소화할 수 있게 된다. 그리고 상기 프리프레그(P)의 양측에 각각 적층되어 형성된 인쇄회로기판(20)은 별개로 분리되어 별도의 제품이 되므로 생산성이 두배가 된다. 또한 상기 프리프레그(P)로부터 분리된 인쇄회로기판(20)은 그 상면을 별도의 도금층이 형성되지 않고 블라인드비어홀(20)이 개구되지 않은 부분으로 하여 상대적으로 미세한 회로패턴(40)을 형성하고 부품의 실장시에 공기주머니가 형성되지 않도록 하였다.

Description

다층 인쇄회로기판 및 그 제조방법{Multi layer PCB and making method the same}
본 발명은 인쇄회로기판에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 두께를 최소화할 수 있고 미세패턴 형성이 가능하며 공기주머니 문제를 해결한 블라인드비어홀을 구비한 다층 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
도 1에는 일반적인 다층 인쇄회로기판의 단면 구성이 도시되어 있다. 이에 도시된 바에 따르면, 수지층(3)과 금속박판층으로 만들어진 회로패턴(5)이 차례로 적층되어 있다. 그리고 서로 다른 층에 있는 상기 회로패턴(5)들을 서로 전기적으로 연결하기 위한 블라인드비어홀(7)이 형성되고, 상기 블라인드비어홀(7)의 내면에는 도금층(7')이 형성된다. 여기서 서로 다른 층에 있는 회로패턴(5)을 연결하기 위해 관통홀을 천공하는 경우도 있다.
상기와 같은 다층 인쇄회로기판을 형성함에 있어서는 먼저 내부에 형성되는 회로패턴(5)을 먼저 형성하고, 상기 회로패턴(5) 상에 다시 수지층(3)과 회로패턴(5)을 형성하는 공정을 반복한다. 그리고 상기와 같은 방식으로 적층을 끝낸 후에는 상기 층과 층사이를 전기적으로 연결하기 위한 블라인드비어홀(7)이나 관통홀을 천공하고 다시 그 내부와 인쇄회로기판(1)의 표면에 도금층을 형성한다.
다음으로 상기 도금층에 솔더리지스트(9)(도2참고)를 도포하여 인쇄회로기판(1)의 표면층에 회로패턴을 형성하고, 그 후의 다른 공정을 수행하여 제품을 완성하게 된다.
그러나 상기한 바와 같은 종래의 인쇄회로기판 및 그 제조방법에는 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 종래의 공정에 따르면, 인쇄회로기판(1)의 코어가 되는 코어층의 상하면에 대칭이 되도록 수지층(3)과 회로패턴(5)이 차례로 적층 형성되어 있다. 그리고 서로 다른 층을 전기적으로 연결하기 위한 블라인드비어홀(7)은 각각 인쇄회로기판의 표면(상면 또는 하면)에서부터 천공되므로 항상 그 입구가 인쇄회로기판(1)의 표면으로 개구되어 있다.
따라서, 인쇄회로기판(1)의 표면에 부품을 실장함에 있어서, 범프(bump)(b)가 상기 블라인드비어홀(7)상에 위치하게 되면, 상기 블라인드비어홀(7)의 내부에 공기가 차서 공기주머니가 형성되는 문제점이 있다. 상기 공기주머니의 공기는 칩부품의 실장시 발생하는 열이나, 제품의 사용중에 발생하는 고열에 의해 팽창되면서, 블라인드비어홀(7)로부터 빠져나오면서 패키징상태를 훼손시키거나 크랙을 발생시키게 된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 상기 범프(b)가 실장되는 위치를 블라인드비어홀(7)을 피하여 설계하는 경우도 있으나, 이와 같이 하면 인쇄회로기판(1)의 크기가 커지게 되는 문제점이 있다.
그리고 위와 같은 경우 통상의 플립칩(Flip Chip)제조공정에서 인쇄회로기판상에 실장되는 칩과 인쇄회로기판간의 열팽창율의 차이를 보정하기 위한 언더필러(Under Filler)를 칩과 인쇄회로기판 사이에 충진시키는 과정에서 언더필러가 상기 블라인드비어홀(7)에 완전히 충진되지 않아 열충격에 의해 인쇄회로기판에 변형이 발생되는 문제점이 있었다.
또한 다층 인쇄회로기판의 형성공정에서, 인쇄회로기판(1)의 상면과 하면을 형성하는 부분에는 도금층이 2중 내지 3중으로 형성되어 상대적으로 미세한 회로패턴(5)을 형성하는 것이 어렵게 되는 문제점도 있다.
그리고 연질의 인쇄회로기판을 형성하는 경우에 그 두께, 예를 들면 수지층(3)의 두께가 어느 정도 이하가 되면 제조공정중에 그 취급이 불편하여 수율이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 초박판의 연질 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 인쇄회로기판의 외층에 형성되는 회로패턴을 상대적으로 미세화시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 블라인드비어홀이 개구되지 않는 면을 구비하는 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.
도 1은 종래 기술에 의한 인쇄회로기판의 구성을 보인 단면도.
도 2는 종래 기술에 의한 인쇄회로기판에서 부품이 실장되는 형태를 보인 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 인쇄회로기판의 바람직한 실시예의 구성을 보인 단면도.
도 4a에서 도 4l은 본 발명 실시예의 인쇄회로기판 제조방법을 순차적으로 보인 공정순서도.
도 5는 본 발명에 의한 인쇄회로기판에 칩을 실장하여 패키지를 형성한 것을 보인 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
20: 인쇄회로기판 30,31: 수지층
40,41,42: 회로패턴 50: 블라인드비어홀
52: 내측도금층 60: 솔더리지스트
C: 구리박판 R: 수지층
P: 프리프레그 m: 도금층
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은 절연성물질로 형성되는 수지층과, 상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다층개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서, 부품이 장착되어 연결되는 상면의 회로패턴의 두께를 메인 PCB측에 연결되는 하면의 회로패턴의 두께보다 얇게 형성한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 절연성물질로 형성되는 수지층과, 상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다수개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서, 상기 다수개의 층 내부에 블라인드비어홀이 형성되고, 상기 블라인드비어홀의 외측에 상기 다수개의 층을 전기적으로 연결하는 도금층이 형성되며, 상기 블라인드비어홀 중심과 대략 일치되는 위치의 상면에 부품을 실장하기 위한 범프를 형성한 것을 특징으로 한다.
범프의 직경은 상기 블라인드비어홀의 직경보다 크게 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 절연성물질로 형성되는 수지층과, 상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다수개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서, 상기 다수개의 층 내부에 블라인드비어홀이 형성되고, 상기 블라인드비어홀은 부품이 실장되는 인쇄회로기판의 상면을 향하여 형성되어 상측이 막힌 상태로 되고, 블라인드비어홀의 상면에 부품실장용 범프가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 코어형성용 수지층의 일측면에 이형제를 위치시키고, 상기 이형제를 포함하는 수지층의 일측면에 금속박판층과 적층수지층을 형성하는 제1단계와, 상기 적층수지층을 관통하여 상하의 금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제2단계와, 상기 블라인드비어홀이 개구된 표면에 회로패턴을 형성하는 제3단계와, 상기 회로패턴상에 적층수지층과 금속박판층을 형성하는 제4단계와, 상기 적층수지층을 관통하여 상하의 금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제5단계와, 위에서 형성된 패널을 이형제를 이용하여 분리하는 제6단계와, 상기 분리된 각각의 패널의 상면과 하면에 회로패턴을 형성하는 제7단계를 포함하여 구성된다.
상기 제4단계와 제5단계를 반복하여 적층되는 층수를 결정하게 된다.
상기 제2단계와 제5단계는 레이저를 이용하여 블라인드비어홀을 천공하는 단계와, 상기 블라인드비어홀을 포함하는 외층에 도금층을 형성하는 단계를 포함하여 구성된다.
상기 이형제 측면에 위치한 금속박판의 회로패턴에 부품 실장용 범프와 그 반대면의 회로패턴에 메인 PCB연결용 범프를 형성하는 8단계를 더 포함하여 구성된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 일측면에 제1금속박판과 반대면에 제2금속박판을 가지는 제1수지층을 제2금속박판 측에서 제1금속박판측으로 관통하여 상기 제1,2금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제1단계와, 상기 제2금속박판측 표면에 회로패턴을 형성하며 제1수지층을 노출시키는 제2단계와, 제3금속박판을 한면에만 가지는 제2수지층을 상기 노출된 제1수지층과 마주하도록 상기 제1수지층에 제2금속박판측면에 적층하여 상기 제1수지층과 제2수지층을 일체화하는 제3단계와, 상기 제3금속박판측에서 제2수지층을 관통하여 상기 제2금속박판과 제3금속박판을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제4단계와, 상기 제1금속박판과 제3금속박판에 회로패턴을 형성하는 제5단계와, 상기 제1금속박판의 회로패턴과 연결된 블라인드비어홀의 중심과 대략 일치하는 위치에 부품실장용 범프를 형성하는 제6단계를 포함하여 구성된다.
상기 제1단계 및 제4단계에서 형성되는 블라인드비어홀에는 도금층을 형성하여 상하 금속박판을 연결하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면 초박형의 인쇄회로기판을 보다 용이하게 생산할 수 있게 되고, 층사이의 회로패턴을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀이 일방향으로만 형성되어 부품의 실장시에 블라인드비어홀에 에어포켓이 형성되는 것을 방지할 수 있으며, 부품이 실장되는 외층에 미세패턴을 형성할 수 있게 되는 이점이 있다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 인쇄회로기판 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 3에 도시된 바에 따르면, 본 발명 실시예의 인쇄회로기판(20)에는 제 1 및 제2 수지층(30,31)이 적층되고, 상기 수지층(30,31)의 상하면에는 각각 제1,2,3 회로패턴(40,41,42)이 형성되어 있다.
그리고 상기 각각의 수지층(30,31)을 관통하여 그 상하의 회로패턴(40,41,42)을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀(50)이 형성되어 있다. 이때, 상기 블라인드비어홀(50)은 그 개구방향이 모두 인쇄회로기판(20)의 하면을 향하도록 되어 있다. 상기 블라인드비어홀(50)의 내면에는 각각 내측도금층(52)이 형성되어 수지층(30,31) 상하면의 회로패턴(40,41,42)을 연결한다.
이와 같은 인쇄회로기판(20)의 외층, 즉 상면과 하면에는 각각 솔더리지스트(60)가 선택적으로 위치되어 회로패턴(40,43) 사이의 절연을 수행한다.
도면중 미설명 부호 70은 칩이 안착되어 연결되는 범프(bump)가 형성되는 인너리드 형성부이고, 72는 메인 PCB에 연결되는 범프가 형성되는 아웃리드 형성부이다. 한편, 본 실시예에서는 수지층(30,31)이 두개가 적층된 것을 설명하고 있으나 상기 수지층(30,31)은 아래의 공정에서 알 수 있듯이 다수개의 층으로 할 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 인쇄회로기판을 제조하는 과정을 도 4를 참고하여 설명하기로 한다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 코어형성용 프리프레그(P)의 상하면에 이형필름(F)을 위치시킨다. 여기서 상기 프리프레그(P)는 판상으로 제공되고, 상기 이형필름(F)은 상기 판상으로 제공된 프리프레그(P)보다 작은 면적을 가진다.
그리고 상기 이형필름(F)상에 각각 내부에 수지층(R)이 구비되고 양면에 구리박판(C1,C2)이 입혀진 동장적층판(CCL, Copper Coated Laminate)을 위치시킨다.
상기와 같이 제공된 것에 각각을 밀착시킨 후 열을 가하면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 코어형성용 프리프레그(P)가 녹아 그 상하면에 상기 동장적층판이 접착된 하나의 패널을 형성한다. 이때, 상기 동장적층판은 상기 프리프레그(P)에 상기 이형필름(F)부분을 제외한 그 가장자리가 접착된다. 그리고 상기 프리프레그(P)는 경질화되어 이후의 공정에서 상기 패널을 보다 용이하게 취급할 수 있도록 한다. 여기서 상기 수지층(R)은 나중에 제1수지층(30)으로 되고 상기 프리프레그(P)측에 위치되는 구리박판(C1)은 제1회로패턴(40)으로 된다.
다음으로 상기 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 구리박판(C1)과 수지층(R)을관통하여 상기 패널의 상하면에 각각 블라인드비어홀(50)을 천공한다. 상기 블라인드비어홀(50)은 레이저로 천공하며, 구리를 가공하지 못하는 레이저를 사용하는 경우에는 표면의 구리박판(C1)을 에칭공정을 사용하여 제거한 후 레이저로 수지층(R)을 제거한다. 따라서 표면의 구리박판(C1)과 수지층(R)은 제거되고 내측의 구리박판(C2)은 원래상태로 유지된다. 그리고 상기 블라인드비어홀(50)의 측면을 경사지게 가공하는 것은 이후의 도금공정에서 도금이 원활하게 되도록 하기 위함이다.
도 4d에는 도금층(m)이 형성된 것을 보이고 있다. 상기와 같이 블라인드비어홀(50)을 천공한 후에는 상기 각각의 수지층(R)의 상하면에 있는 구리박판(C)을 전기적으로 연결하기 위한 도금을 하게 된다. 상기 도금은 블라인드비어홀(50) 뿐만아니라 상기 패널의 외층에도 하게 된다.
다음으로는 도 4e에 도시된 바와 같이, 상기 도금층(m)에 제2회로패턴(41)을 형성하는 공정을 수행한다. 즉, 상기 패널의 외층에 솔더리지스트를 도포한 후 통상의 노광, 현상을 거쳐 에칭을 실시하여 제2회로패턴(41)을 형성한다. 이와 같이 하면 도금층(m)과 구리박판(C2)이 제거된 부분에 수지층(30)이 노출된 상태가 된다.
그리고는 새로운 층을 적층하는 과정을 수행하게 된다. 도 4f에 도시된 바와 같이, 이전의 공정에서 완성된 상태의 패널의 외층에 각각 수지(R)와 구리박판(C3)을 적층한다. 물론 수지층(R)의 일면에 구리박판(C3)이 미리 부착된 단면 동장적층판을 사용할 수도 있다. 여기서의 수지층(R)은 후에 제2수지층(31)이 되고 상기 구리박판(C3)은 제3회로패턴(42)을 형성하게 된다.
즉 열을 가해 상기 수지층(R)과 구리박판(C3)을 도 4g에 도시된 바와 같이 접착하고, 다시 레이저를 사용하여 블라인드비어홀(50)을 천공한다. 이때의 공정은 앞에서 블라인드비어홀(50)을 천공하는 과정과 동일하다. 이와 같은 상태는 도 4h에 도시되어 있다. 다음으로 블라인드비어홀(50)이 천공된 외층에, 도 4i에 도시된 바와 같이, 도금층(m)을 형성한다.
그리고는 도 4j에 도시된 바와 같이, 패널의 가장자리를 잘라낸다. 이때, 상기 이형필름(F)의 가장자리를 따라서 패널을 잘라내면, 상기 프리프레그(P)를 중심으로 이형필름(F) 양측에 있는 각각의 패널이, 도 4k에 도시된 바와 같이, 분리되므로 동시에 2장의 인쇄회로기판이 형성된다.
다음으로는 각각 분리된 패널의 외측에 제1 및 제3 회로패턴(40,42)을 형성한다. 이때, 도 4l에 도시된 바와 같이, 상기 이형필름(F)과 인접하였던 구리박판(C1)을 상면으로 하여 통상의 노광, 현상, 에칭공정을 통해 제1회로패턴(40)을 형성하게 된다. 이때, 상기 상면에 해당되는 층에는 이형필름(F)과 인접하였던 구리박판(C1)만이 있어, 하면에 구리박판(C2,C3)과 도금층(m)을 합한 것보다 두께가 얇으므로 에칭등의 공정시 제거할 구리박막의 두께가 얇게 되어 상면의 회로패턴(40)은 보다 미세하게 형성할 수 있게 된다.
상기와 같이 외층에 회로패턴(40,42)을 형성하고 나면 패널의 외층에 솔더리지스트(60)를 도포하고 금도금 또는 플럭스(Flux)처리 등의 과정을 거쳐 도 3에 도시된 바와 같은 인쇄회로기판(20)을 완성한다.
다음으로 칩(80)이 부착되는 면의 인너리드 형성부(70)에 칩(80)이 안착되어연결되는 범프(Bump:70')를 형성한다. 상기 범프(70')는 블라인드비어홀(50)의 상측에 대략 그 중심이 일치하는 위치에 형성된다.
그리고 아웃리드형성부(72)는 메인 PCB에 연결되는 범프(72')가 형성되는 부분이다. 상기 범프(72')는 칩보다는 상대적으로 사이즈가 큰 메인 PCB측에 연결되므로 그 위치나 크기가 상기 칩(80)과 연결되는 범프(70')의 크기보다는 크고, 블라인드비어홀(50)의 연장된 회로패턴부에 형성하여도 문제가 없다.
이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 작용을 설명하기로 한다.
본 발명의 제조방법은 그 공정중에 프리프레그(P)가 인쇄회로기판으로 만들어지는 패널을 지지하는 역할을 하여, 상대적으로 상기 수지층(30)이 100㎛이하가 되더라도 그 취급이 용이하게 될 수 있다. 따라서 상기 수지층(30)의 두께를 최소화할 수 있으므로 완제품 인쇄회로기판(20)의 전체 두께가 얇아지게 된다.
그리고, 본 발명의 제조방법에서는 상기 프리프레그(P)의 양면에서 각각 다층 인쇄회로기판(20)이 형성된다. 즉 동시에 2장의 인쇄회로기판(20)을 제조할 수 있게 되므로 상대적으로 그 생산성이 높아지게 된다.
한편, 인쇄회로기판(20)의 상면을 형성하는 제1회로패턴(40) 부분에는 별도의 도금을 수행하지 않으므로 그 두께가 상대적으로 얇아 미세한 회로패턴(40)을 형성할 수 있게 된다.
또한 본 발명에서는 각각의 수지층(30,31)을 관통하여 회로패턴(40,41,42) 사이를 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀(50)이 모두 인쇄회로기판(20)의 하면을 향하도록 형성되고, 부품이 실장되는 상면으로는 형성되지 않는다. 따라서 부품의 실장시에 상기 블라인드비어홀(50)에 공기주머니가 형성되는 현상이 발생하지 않게 된다. 이와 같이 부품이 안착되는 상면에 블라인드비어홀(50)이 형성되지 않게 되므로 별도의 범프 형성용 패턴이 필요없게 되어 인쇄회로기판(20)의 면적이 최소화되고, 미세한 회로패턴(40)의 형성이 가능하므로 범프의 형성이 보다 용이하게 된다.
위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 따르면, 인쇄회로기판의 두께 및 크기를 최소화할 수 있고, 연질의 인쇄회로기판을 용이하게 생산할 수 있게 된다.
그리고 코어를 형성하는 프리플레그와 이형필름을 사용하여 한번의 공정으로 2배수의 제품을 제조할 수 있어 생산성이 두배로 커지게 되는 효과도 얻을 수 있다.
또한 블라인드비어홀을 인쇄회로기판의 하면을 향하도록 하고, 상면에는 블라인드비어홀이 개구되지 않도록 하였으므로, 부품의 실장시에 그 내부에 공기주머니가 형성되지 않게 되고, 상면의 회로패턴을 상대적으로 미세화시킬 수 있게 되는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (10)

  1. 절연성물질로 형성되는 수지층과,
    상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다층개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서,
    부품이 장착되어 연결되는 상면의 회로패턴의 두께를 메인 PCB측에 연결되는 하면의 회로패턴의 두께보다 얇게 형성한 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판.
  2. 절연성물질로 형성되는 수지층과,
    상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다수개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서,
    상기 다수개의 층 내부에 블라인드비어홀이 형성되고, 상기 블라인드비어홀의 외측에 상기 다수개의 층을 전기적으로 연결하는 도금층이 형성되며, 상기 블라인드비어홀 중심과 대략 일치되는 위치의 상면에 부품을 실장하기 위한 범프를 형성한 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 범프의 직경은 상기 블라인드비어홀의 직경보다 크게 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판.
  4. 절연성물질로 형성되는 수지층과,
    상기 수지층상에 형성되는 회로패턴을 포함하여 다수개의 층으로 구성된 인쇄회로기판에서,
    상기 다수개의 층 내부에 블라인드비어홀이 형성되고, 상기 블라인드비어홀은 부품이 실장되는 인쇄회로기판의 상면을 향하여 형성되어 상측이 막힌 상태로 되고, 블라인드비어홀의 상면에 부품실장용 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판.
  5. 코어형성용 수지층의 일측면에 이형제를 위치시키고, 상기 이형제를 포함하는 수지층의 일측면에 금속박판층과 적층수지층을 형성하는 제1단계와,
    상기 적층수지층을 관통하여 상하의 금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제2단계와,
    상기 블라인드비어홀이 개구된 표면에 회로패턴을 형성하는 제3단계와,
    상기 회로패턴상에 적층수지층과 금속박판층을 형성하는 제4단계와,
    상기 적층수지층을 관통하여 상하의 금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제5단계와,
    위에서 형성된 패널을 이형제를 이용하여 분리하는 제6단계와,
    상기 분리된 각각의 패널의 상면과 하면에 회로패턴을 형성하는 제7단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제4단계와 제5단계를 반복하여 적층되는 층수를 결정함을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 제2단계와 제5단계는 레이저를 이용하여 블라인드비어홀을 천공하는 단계와,
    상기 블라인드비어홀을 포함하는 외층에 도금층을 형성하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 이형제 측면에 위치한 금속박판의 회로패턴에 부품 실장용 범프와 그 반대면의 회로패턴에 메인 PCB연결용 범프를 형성하는 8단계를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
  9. 일측면에 제1금속박판과 반대면에 제2금속박판을 가지는 제1수지층을 제2금속박판 측에서 제1금속박판측으로 관통하여 상기 제1,2금속박판층을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제1단계와,
    상기 제2금속박판측 표면에 회로패턴을 형성하며 제1수지층을 노출시키는 제2단계와,
    제3금속박판을 한면에만 가지는 제2수지층을 상기 노출된 제1수지층과 마주하도록 상기 제1수지층에 제2금속박판측면에 적층하여 상기 제1수지층과 제2수지층을 일체화하는 제3단계와,
    상기 제3금속박판측에서 제2수지층을 관통하여 상기 제2금속박판과 제3금속박판을 전기적으로 연결하는 블라인드비어홀을 형성하는 제4단계와,
    상기 제1금속박판과 제3금속박판에 회로패턴을 형성하는 제5단계와,
    상기 제1금속박판의 회로패턴과 연결된 블라인드비어홀의 중심과 대략 일치하는 위치에 부품실장용 범프를 형성하는 제6단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 제1단계 및 제4단계에서 형성되는 블라인드비어홀에는 도금층을 형성하여 상하 금속박판을 연결하는 것을 특징으로 하는 다층 인쇄회로기판의 제조방법.
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US09/832,193 US6580036B2 (en) 2000-04-11 2001-04-11 Multi-layer printed circuit board and a BGA semiconductor package using the multi-layer printed circuit board
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009108030A3 (en) * 2008-02-29 2009-11-26 Lg Micron Ltd. Printed circuit board and method of manufacturing the same
KR101449022B1 (ko) * 2008-02-29 2014-10-08 엘지이노텍 주식회사 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
KR102629710B1 (ko) 2023-07-31 2024-01-29 아주전자(주) 인쇄회로기판의 캐비티 형성방법
KR102629708B1 (ko) 2023-07-31 2024-01-29 아주전자(주) 인쇄회로기판의 마운트홀 형성방법

Families Citing this family (96)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6896826B2 (en) * 1997-01-09 2005-05-24 Advanced Technology Materials, Inc. Aqueous cleaning composition containing copper-specific corrosion inhibitor for cleaning inorganic residues on semiconductor substrate
JP2003059971A (ja) * 2001-08-20 2003-02-28 Nec Kansai Ltd 配線基板及びその製造方法並びに半導体装置
JP3910387B2 (ja) * 2001-08-24 2007-04-25 新光電気工業株式会社 半導体パッケージ及びその製造方法並びに半導体装置
JP4082995B2 (ja) * 2001-11-30 2008-04-30 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
JP2003188541A (ja) * 2001-12-19 2003-07-04 Kyocera Corp 配線基板の製造方法
US7548430B1 (en) 2002-05-01 2009-06-16 Amkor Technology, Inc. Buildup dielectric and metallization process and semiconductor package
US9691635B1 (en) 2002-05-01 2017-06-27 Amkor Technology, Inc. Buildup dielectric layer having metallization pattern semiconductor package fabrication method
JP2004186265A (ja) * 2002-11-29 2004-07-02 Ngk Spark Plug Co Ltd 多層配線基板の製造方法
US6787443B1 (en) * 2003-05-20 2004-09-07 Intel Corporation PCB design and method for providing vented blind vias
ATE358411T1 (de) * 2003-07-08 2007-04-15 Viasystems Group Inc Verfahren zur herstellung einer midplane
US6972382B2 (en) * 2003-07-24 2005-12-06 Motorola, Inc. Inverted microvia structure and method of manufacture
JP4549695B2 (ja) * 2003-08-08 2010-09-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
TWI227502B (en) * 2003-09-02 2005-02-01 Ind Tech Res Inst Precise multi-pole magnetic components and manufacturing method thereof
JP2005129904A (ja) * 2003-09-29 2005-05-19 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
KR100582079B1 (ko) * 2003-11-06 2006-05-23 엘지전자 주식회사 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP4541763B2 (ja) * 2004-01-19 2010-09-08 新光電気工業株式会社 回路基板の製造方法
US7384531B1 (en) 2004-02-19 2008-06-10 Hutchinson Technology Incorporated Plated ground features for integrated lead suspensions
JP4549693B2 (ja) * 2004-02-27 2010-09-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
JP4549694B2 (ja) * 2004-02-27 2010-09-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法及び多数個取り基板
JP4549691B2 (ja) * 2004-02-27 2010-09-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
JP4549692B2 (ja) * 2004-02-27 2010-09-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
US7205483B2 (en) * 2004-03-19 2007-04-17 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Flexible substrate having interlaminar junctions, and process for producing the same
US10811277B2 (en) 2004-03-23 2020-10-20 Amkor Technology, Inc. Encapsulated semiconductor package
US11081370B2 (en) 2004-03-23 2021-08-03 Amkor Technology Singapore Holding Pte. Ltd. Methods of manufacturing an encapsulated semiconductor device
JP4170266B2 (ja) * 2004-07-02 2008-10-22 日本特殊陶業株式会社 配線基板の製造方法
JP2007096337A (ja) * 2004-07-07 2007-04-12 Nec Corp 半導体搭載用配線基板、半導体パッケージ、及びその製造方法
JP2006049660A (ja) * 2004-08-06 2006-02-16 Cmk Corp プリント配線板の製造方法
JP2006086358A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Sumitomo Electric Printed Circuit Inc 両面プリント配線板の製造方法
KR100688744B1 (ko) * 2004-11-15 2007-02-28 삼성전기주식회사 고밀도 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
KR100674319B1 (ko) * 2004-12-02 2007-01-24 삼성전기주식회사 얇은 코어층을 갖는 인쇄회로기판 제조방법
KR100601485B1 (ko) * 2004-12-30 2006-07-18 삼성전기주식회사 Bga 패키지 기판 및 그 제조방법
US20060204685A1 (en) * 2005-03-11 2006-09-14 Eastman Kodak Company Inkjet media comprising mixture of fusible reactive polymer particles
CN1873935B (zh) * 2005-05-31 2010-06-16 新光电气工业株式会社 配线基板的制造方法及半导体器件的制造方法
SG149040A1 (en) * 2005-06-22 2009-01-29 3M Innovative Properties Co Dielectric substrate with holes and method of manufacture
KR100761706B1 (ko) * 2006-09-06 2007-09-28 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 제조방법
US7807215B2 (en) 2006-09-21 2010-10-05 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method of manufacturing copper-clad laminate for VOP application
JP2008078487A (ja) * 2006-09-22 2008-04-03 Samsung Electro Mech Co Ltd Vop用銅張積層板の製造方法
US7875804B1 (en) 2006-09-27 2011-01-25 Hutchinson Technology Incorporated Plated ground features for integrated lead suspensions
US8440916B2 (en) * 2007-06-28 2013-05-14 Intel Corporation Method of forming a substrate core structure using microvia laser drilling and conductive layer pre-patterning and substrate core structure formed according to the method
JP2009021435A (ja) * 2007-07-12 2009-01-29 Sony Chemical & Information Device Corp 配線基板の製造方法
JP4635033B2 (ja) * 2007-08-21 2011-02-16 新光電気工業株式会社 配線基板の製造方法及び電子部品実装構造体の製造方法
JP4825784B2 (ja) * 2007-12-13 2011-11-30 新光電気工業株式会社 半導体装置用パッケージおよびその製造方法
JP5078683B2 (ja) * 2008-03-11 2012-11-21 パナソニック株式会社 プリント基板、及び表面実装デバイスの実装構造体
MY155884A (en) 2008-04-04 2015-12-15 Hitachi Chemical Co Ltd Two-layered laminate having metal foil cladded on its one surface, method for production of the laminate, single-sided printed wiring board, and method for production of the wiring board
US8110752B2 (en) * 2008-04-08 2012-02-07 Ibiden Co., Ltd. Wiring substrate and method for manufacturing the same
KR100990588B1 (ko) * 2008-05-27 2010-10-29 삼성전기주식회사 랜드리스 비아를 갖는 인쇄회로기판 및 그 제조방법
JP5057339B2 (ja) * 2008-07-31 2012-10-24 京セラSlcテクノロジー株式会社 配線基板の製造方法
US8104171B2 (en) * 2008-08-27 2012-01-31 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Method of fabricating multi-layered substrate
TWI372454B (en) * 2008-12-09 2012-09-11 Advanced Semiconductor Eng Quad flat non-leaded package and manufacturing method thereof
KR101095211B1 (ko) * 2008-12-17 2011-12-16 삼성전기주식회사 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판 제조방법
US8592691B2 (en) * 2009-02-27 2013-11-26 Ibiden Co., Ltd. Printed wiring board
JP2010239010A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Elna Co Ltd プリント配線板の製造方法およびプリント配線板
EP2416355B1 (en) * 2009-04-02 2016-12-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Circuit board
KR101055495B1 (ko) * 2009-04-14 2011-08-08 삼성전기주식회사 기판 제조용 캐리어 부재 및 이를 이용한 기판 제조방법
US8529991B2 (en) * 2009-07-31 2013-09-10 Raytheon Canada Limited Method and apparatus for cutting a part without damaging a coating thereon
KR101043540B1 (ko) * 2009-10-01 2011-06-21 삼성전기주식회사 인쇄회로기판의 제조방법
US20110114372A1 (en) * 2009-10-30 2011-05-19 Ibiden Co., Ltd. Printed wiring board
US8067266B2 (en) * 2009-12-23 2011-11-29 Intel Corporation Methods for the fabrication of microelectronic device substrates by attaching two cores together during fabrication
CN102194703A (zh) * 2010-03-16 2011-09-21 旭德科技股份有限公司 线路基板及其制作方法
US20110253439A1 (en) * 2010-04-20 2011-10-20 Subtron Technology Co. Ltd. Circuit substrate and manufacturing method thereof
KR101796116B1 (ko) 2010-10-20 2017-11-10 삼성전자 주식회사 반도체 장치, 이를 포함하는 메모리 모듈, 메모리 시스템 및 그 동작방법
TWI431742B (zh) * 2011-04-27 2014-03-21 Unimicron Technology Corp 線路板製造方法及基層線路板
CN102858092A (zh) * 2011-06-27 2013-01-02 富葵精密组件(深圳)有限公司 电路板及其制作方法
US20140226296A1 (en) * 2011-07-06 2014-08-14 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Multi-layer wiring board and method for producing multi-layer wiring board
US9230899B2 (en) * 2011-09-30 2016-01-05 Unimicron Technology Corporation Packaging substrate having a holder, method of fabricating the packaging substrate, package structure having a holder, and method of fabricating the package structure
TWI419627B (zh) * 2011-10-12 2013-12-11 Subtron Technology Co Ltd 線路板結構及其製作方法
TWI442482B (zh) * 2011-10-17 2014-06-21 Advance Materials Corp 封裝基板之製法
JP2013123035A (ja) * 2011-11-09 2013-06-20 Ngk Spark Plug Co Ltd 多層配線基板の製造方法
US9040837B2 (en) * 2011-12-14 2015-05-26 Ibiden Co., Ltd. Wiring board and method for manufacturing the same
US9532466B2 (en) 2011-12-22 2016-12-27 Haesung Ds Co., Ltd. Method of manufacturing multi-layer circuit board and multi-layer circuit board manufactured by using the method
CN103208429B (zh) * 2012-01-12 2015-11-18 联致科技股份有限公司 封装基板的制法
JP5413693B2 (ja) * 2012-02-06 2014-02-12 日立化成株式会社 回路形成用支持基板、及び半導体素子搭載用パッケージ基板の製造方法
JP2013187255A (ja) * 2012-03-06 2013-09-19 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板の製造方法
JP6054080B2 (ja) * 2012-07-20 2016-12-27 新光電気工業株式会社 支持体及びその製造方法、配線基板の製造方法、電子部品装置の製造方法、配線構造体
CN102883538A (zh) * 2012-10-16 2013-01-16 田茂福 Fpc自动成型机
JP5432354B2 (ja) * 2012-10-26 2014-03-05 新光電気工業株式会社 配線基板製造用の仮基板及びその製造方法
KR101375368B1 (ko) 2012-12-27 2014-03-19 주식회사 심텍 미세 접속 패턴층을 구비하는 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법
JP6144058B2 (ja) * 2013-01-31 2017-06-07 新光電気工業株式会社 配線基板及び配線基板の製造方法
JP2014220330A (ja) * 2013-05-07 2014-11-20 日立金属株式会社 光配線基板、光配線基板の製造方法、及び光モジュール
CN104284530B (zh) * 2013-07-11 2018-08-17 上海美维科技有限公司 无芯板工艺制作印制电路板的方法
CN204014250U (zh) * 2014-05-16 2014-12-10 奥特斯(中国)有限公司 用于生产电子元件的连接系统的半成品
CN105307424A (zh) * 2014-06-23 2016-02-03 欣兴电子股份有限公司 多层软性线路结构的制作方法
US20160073505A1 (en) * 2014-09-05 2016-03-10 Unimicron Technology Corp. Manufacturing method of multilayer flexible circuit structure
CN105792546A (zh) * 2014-12-22 2016-07-20 北大方正集团有限公司 一种多层互连板的制作方法及多层互连pcb板
US10237983B2 (en) 2014-12-23 2019-03-19 Sanmina Corporation Method for forming hole plug
JP2016127068A (ja) * 2014-12-26 2016-07-11 富士通株式会社 配線基板とその製造方法
TWI571994B (zh) * 2015-06-30 2017-02-21 旭德科技股份有限公司 封裝基板及其製作方法
WO2017085849A1 (ja) * 2015-11-19 2017-05-26 三井金属鉱業株式会社 誘電体層を有するプリント配線板の製造方法
US10679722B2 (en) 2016-08-26 2020-06-09 Sandisk Technologies Llc Storage system with several integrated components and method for use therewith
CN108156748A (zh) * 2017-12-29 2018-06-12 加弘科技咨询(上海)有限公司 印制电路板双面贴装时的信号线扇出方法及印制电路板
CN110278659B (zh) * 2018-03-16 2021-09-28 宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司 复合电路板及其制造方法
JP2021528572A (ja) 2018-06-21 2021-10-21 アヴェラテック・コーポレイションAveratek Corporation 無電解金属のパターニング
CN110972413B (zh) * 2018-09-29 2023-05-26 宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司 复合电路板及其制作方法
US10624213B1 (en) * 2018-12-20 2020-04-14 Intel Corporation Asymmetric electronic substrate and method of manufacture
CN112867243A (zh) * 2021-01-06 2021-05-28 英韧科技(上海)有限公司 多层电路板
CN113597118B (zh) * 2021-09-28 2021-12-31 深圳和美精艺半导体科技股份有限公司 一种无电镀导线镀金工艺方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4963697A (en) * 1988-02-12 1990-10-16 Texas Instruments Incorporated Advanced polymers on metal printed wiring board
US5315072A (en) * 1992-01-27 1994-05-24 Hitachi Seiko, Ltd. Printed wiring board having blind holes
US5473120A (en) * 1992-04-27 1995-12-05 Tokuyama Corporation Multilayer board and fabrication method thereof
US5495665A (en) * 1994-11-04 1996-03-05 International Business Machines Corporation Process for providing a landless via connection
US5509200A (en) * 1994-11-21 1996-04-23 International Business Machines Corporation Method of making laminar stackable circuit board structure
US5487218A (en) * 1994-11-21 1996-01-30 International Business Machines Corporation Method for making printed circuit boards with selectivity filled plated through holes
US5699613A (en) * 1995-09-25 1997-12-23 International Business Machines Corporation Fine dimension stacked vias for a multiple layer circuit board structure
JPH1027952A (ja) * 1996-07-09 1998-01-27 Sharp Corp プリント配線板及びその製造方法
JP3633252B2 (ja) * 1997-01-10 2005-03-30 イビデン株式会社 プリント配線板及びその製造方法
JP2937933B2 (ja) * 1997-03-24 1999-08-23 富山日本電気株式会社 多層プリント配線板の製造方法
JP3986608B2 (ja) 1997-04-08 2007-10-03 株式会社デンソー ボールグリッドアレイパッケージ形半導体部品の実装構造
CN100426491C (zh) * 1997-10-17 2008-10-15 揖斐电株式会社 封装基板
JPH11177237A (ja) * 1997-12-16 1999-07-02 Hitachi Chem Co Ltd ビルドアップ多層プリント配線板とその製造方法
JPH11204938A (ja) * 1998-01-09 1999-07-30 Hitachi Aic Inc 薄物多層プリント配線板の製造方法
JP3437453B2 (ja) * 1998-07-06 2003-08-18 イビデン株式会社 Icチップ実装用プリント配線板およびその製造方法
JP2000058990A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Hitachi Metals Ltd プリント基板およびビルドアップ基板ならびに半導体装置
JP2000068650A (ja) * 1998-08-24 2000-03-03 Ibiden Co Ltd 多層プリント配線板
JP4127433B2 (ja) * 1998-09-17 2008-07-30 イビデン株式会社 多層ビルドアップ配線板及び多層ビルドアップ配線板の製造方法
US6214445B1 (en) * 1998-12-25 2001-04-10 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Printed wiring board, core substrate, and method for fabricating the core substrate
US6291779B1 (en) * 1999-06-30 2001-09-18 International Business Machines Corporation Fine pitch circuitization with filled plated through holes
US6373717B1 (en) * 1999-07-02 2002-04-16 International Business Machines Corporation Electronic package with high density interconnect layer
US6452117B2 (en) * 1999-08-26 2002-09-17 International Business Machines Corporation Method for filling high aspect ratio via holes in electronic substrates and the resulting holes

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009108030A3 (en) * 2008-02-29 2009-11-26 Lg Micron Ltd. Printed circuit board and method of manufacturing the same
KR101449022B1 (ko) * 2008-02-29 2014-10-08 엘지이노텍 주식회사 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
KR102629710B1 (ko) 2023-07-31 2024-01-29 아주전자(주) 인쇄회로기판의 캐비티 형성방법
KR102629708B1 (ko) 2023-07-31 2024-01-29 아주전자(주) 인쇄회로기판의 마운트홀 형성방법

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