JP4635033B2 - 配線基板の製造方法及び電子部品実装構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図4は本発明の第1実施形態の配線基板の製造方法を順に示す断面図である。
第2配線層18aの形成方法としては、上記したセミアディティブ法の他にサブトラクティブ法などの各種の配線形成方法を採用できる。
図6及び図7は本発明の第2実施形態の電子部品実装構造体の製造方法を示す断面図である。第2実施形態では、本発明の配線基板の製造方法の技術思想に基づいて、配線基板上に電子部品を実装する好適な方法について説明する。
Claims (13)
- ガラス織布又はガラス不織布に樹脂を含侵させて構成される半硬化状態のプリプレグ上の配線形成領域に下地層が配置され、前記下地層の大きさより大きな金属箔が前記配線形成領域の外周部に接するように、前記下地層を介して前記金属箔を前記プリプレグ上に配置し、加熱・加圧によってプリプレグを硬化させることにより、前記プリプレグから仮基板を得ると同時に、該仮基板の少なくとも片面に前記金属箔を接着する工程と、
前記金属箔上に所要部に開口部が設けられためっきレジスト膜を形成する工程と、
前記金属箔をめっき給電層にする電解めっきにより、前記開口部内に露出する金属箔上に接続パッドを形成する工程と、
前記めっきレジスト膜を除去する工程と、
前記金属箔及び前記接続パッド上に、樹脂からなる絶縁層と銅からなる配線層とを積層して、前記接続パッドを含むビルドアップ配線層を形成する工程と、
前記仮基板上に前記下地層、前記金属箔及び前記ビルドアップ配線層が形成された構造体の前記下地層の周縁に対応する部分を切断することにより、前記仮基板から前記金属箔を分離して、前記金属箔の上に前記ビルドアップ配線層が形成された配線部材を得る工程と、
前記接続パッドに対して選択的に前記金属箔をエッチングして、前記配線部材から前記金属箔を除去することにより、前記接続パッドを露出させる工程とを有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記接続パッドは、金、ニッケル又はすずからなることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記プリプレグはガラス不織布に樹脂を含侵させたものからなり、前記仮基板の熱膨張係数は30乃至50ppm/℃であることを特徴とする請求項1又は2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記金属箔を除去する工程で露出する前記接続パッドが電子部品を実装するための内部接続パッドとなり、前記ビルドアップ配線層の最上の配線層が外部接続パッドとなることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記金属箔を除去する工程で露出する前記接続パッドが外部接続パッドとなり、前記ビルドアップ配線層の最上の配線層が電子部品を実装するための内部接続パッドとなることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記仮基板の両面側に、前記下地層、前記金属箔、及び前記ビルドアップ配線層が形成され、前記仮基板の両面側から前記配線部材がそれぞれ得られることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記下地層は、金属箔、離型フィルム、又は離型剤からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法。
- ガラス織布又はガラス不織布に樹脂を含侵させて構成される半硬化状態のプリプレグ上の配線形成領域に下地層が配置され、前記下地層の大きさより大きな金属箔が前記配線形成領域の外周部に接するように、前記下地層を介して前記金属箔を前記プリプレグ上に配置し、加熱・加圧によってプリプレグを硬化させることにより、前記プリプレグから仮基板を得ると同時に、該仮基板の少なくとも片面に前記金属箔を接着する工程と、
前記金属箔上に所要部に開口部が設けられためっきレジスト膜を形成する工程と、
前記金属箔をめっき給電層にする電解めっきにより、前記開口部内に露出する金属箔上に接続パッドを形成する工程と、
前記めっきレジスト膜を除去する工程と、
前記金属箔及び前記接続パッド上に、樹脂からなる絶縁層と銅からなる配線層とを積層して、前記接続パッドを含むビルドアップ配線層を形成する工程と、
前記仮基板上に前記下地層、前記金属箔及び前記ビルドアップ配線層が形成された構造体の前記下地層の周縁に対応する部分を切断することにより、前記仮基板から前記金属箔を分離して、前記金属箔の上に前記ビルドアップ配線層が形成された配線部材を得る工程と、
前記配線部材の最上の前記配線層に電子部品を電気的に接続して実装する工程と、
前記接続パッドに対して選択的に前記金属箔をエッチングして、前記配線部材から前記金属箔を除去することにより、前記接続パッドを露出させる工程とを有することを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法。 - ガラス織布又はガラス不織布に樹脂を含侵させて構成される半硬化状態のプリプレグ上の配線形成領域に下地層が配置され、前記下地層の大きさより大きな金属箔が前記配線形成領域の外周部に接するように、前記下地層を介して前記金属箔を前記プリプレグ上に配置し、加熱・加圧によってプリプレグを硬化させることにより、前記プリプレグから仮基板を得ると同時に、該仮基板の少なくとも片面に前記金属箔を接着する工程と、
前記金属箔上に所要部に開口部が設けられためっきレジスト膜を形成する工程と、
前記金属箔をめっき給電層にする電解めっきにより、前記開口部内に露出する金属箔上に接続パッドを形成する工程と、
前記めっきレジスト膜を除去する工程と、
前記金属箔及び前記接続パッド上に、樹脂からなる絶縁層と銅からなる配線層とを積層して、前記接続パッドを含むビルドアップ配線層を形成する工程と、
前記ビルドアップ配線層の最上の配線層に電気的に接続される電子部品を実装する工程と、
前記仮基板上に前記下地層、前記金属箔、前記ビルドアップ配線層及び電子部品が形成された構造体の前記下地層の周縁に対応する部分を切断することにより、前記仮基板から前記金属箔を分離して、前記金属箔の上に形成された前記ビルドアップ配線層に電子部品が実装された配線部材を得る工程と、
前記接続パッドに対して選択的に前記金属箔をエッチングして、前記配線部材から前記金属箔を除去することにより、前記接続パッドを露出させる工程とを有することを特徴とする電子部品実装構造体の製造方法。 - 前記接続パッドは、金、ニッケル又はすずからなることを特徴とする請求項8又は9に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
- 前記仮基板の両面側に、前記下地層、金属箔及び前記ビルドアップ配線層が形成され、前記仮基板の両面側から前記配線部材がそれぞれ得られることを特徴とする請求項8又は9に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
- 前記プリプレグはガラス不織布に樹脂を含侵させたものからなり、前記仮基板の熱膨張係数は30乃至50ppm/℃であることを特徴とする請求項8又は9に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
- 前記下地層は、金属箔、離型フィルム、又は離型剤からなることを特徴とする請求項8又は9に記載の電子部品実装構造体の製造方法。
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