JPH11320362A - ディスク加工物のエッジを研削する方法および研削マシン - Google Patents

ディスク加工物のエッジを研削する方法および研削マシン

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JPH11320362A
JPH11320362A JP10365010A JP36501098A JPH11320362A JP H11320362 A JPH11320362 A JP H11320362A JP 10365010 A JP10365010 A JP 10365010A JP 36501098 A JP36501098 A JP 36501098A JP H11320362 A JPH11320362 A JP H11320362A
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grinding
wheel
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edge
grinding wheel
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Mark Andrew Stocker
ストッカー，マーク・アンドリュー
Dermot Robert Falkner
フォークナー，ダーモット・ロバート
Paul Martin Morantz
モーランツ，ポール・マーティン
Michael George Pierse
ピアース，マイケル・ジョージ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスクのエッジを研削する方法を提供す
る。 【解決手段】 ディスクのエッジを研削する方法は、溝
付きの研削といしが取付けられた研削マシンを用いる。
溝は研削マシンに取付けられた成形といしを用いてその
場で形成されるものである。加工物を研削した後、研削
といしはその場でそのままにしておいて研削といしおよ
び成形といしを再び係合させて研削といしの溝を再成形
して摩耗を修正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の分野】本発明は、研削および研磨マシン、なら
びに半導体装置の製造において用いるためのシリコンの
ウェハのようなディスク、およびコンピュータディスク
ドライブなどのための磁気メモリディスクを形成するた
めに堆積させる磁気材料の下のガラスまたはその他の脆
性材料のディスクを研削および研磨加工する方法に関す
る。
【０００２】
【発明の背景】上記の目的のいずれかのためのディスク
を研削加工するときには、ディスクの外径を、高度に正
確にかつときには特定の断面形状となるように仕上げる
ことが重要である。メモリディスクの場合、円形の開口
部を再び正確に制御した直径および真円度を備えるよう
にすることが求められる。シリコンウェハの場合、後の
製造工程における位置合わせは、平坦部およびノッチの
形成といったようにディスクのまわりに位置合わせの工
夫を施すことを必要としている。
【０００３】従来、エッジ研削および研磨マシンは、す
べての軸に対し線形の案内面を取入れている。循環転が
り素子軸受または空気軸受いずれを取入れた場合でも、
脆性材料を研削および研磨加工するときにはこのような
軸すべてに共通の欠点がある、すなわちこれら軸により
研削マシンと構成要素との間に著しい相対運動が生じ
る。このことは、通常は１つの線形軸をもう１つの線形
軸の上に積重ねることにより得られる研削といしの直交
運動を設ける必要性から生じる。この運動では、耐摩耗
性の研削といしを用いて摩耗による形状の損失を最小に
抑えることが必要であるが、こういったといしは、深い
損傷のある品質の劣った表面を生じさせる傾向がある。
【０００４】シリコンウェハを研削加工するときには、
研削中に生じる表面下の損傷の深さを最小にしなければ
ならない、というのも、続いて行なわれる製造工程にお
いて用いるためにはウェハを損傷ゼロで送らなければな
らないからである。表面下の損傷が生じたときには、研
磨加工の前に酸性エッチングの後研削工程を行なうこと
になる。どちらの工程にも費用がかかり、損傷が少ない
ほど、必要とされる研磨時間は短くなる。
【０００５】通常はウェハまたはディスク加工物のエッ
ジを機械加工してディスクに対しほぼ三角形または台形
のエッジの輪郭を形成する。こうするためには、研削と
いしの表面を相補的な態様で形成して、といしが加工物
と係合したときにそのエッジのまわりに相補形状を生じ
させる。
【０００６】研削といしの相補形状が変わらないならば
エッジの輪郭は正確に形成されるであろう。明らかに研
削といしが摩耗するに従い、この輪郭は変化し、こうし
たといしは、定期的に、樹脂結合といしについては適切
な成形といしをまたは金属結合といしについては適切な
放電加工を利用して再成形しなければならない。今まで
は耐摩耗性の研削といしを用いる傾向があるため、相補
的な研削といしの輪郭の少なくとも最初の成形は「オフ
マシン」で行なわれている。
【０００７】
【発明の概要】本発明のある曲面に従うと、研削マシン
は、主研削といしと係合して必要に応じて研削といしに
溝を形成したり再成形したりできるように取付けられた
少なくとも１つの成形といしを含む。
【０００８】こうして、研削といしをはじめにオフマシ
ンで形成し、かつ／または再成形のために取外さなけれ
ばならないときに生じる問題がなくなる。
【０００９】以下で説明するように研削マシンを構成
し、加工物と研削といしとの間の望ましくない相対運動
を排除しないまでも制限することにより、より柔らかい
研削といしを使用することができることがわかってい
る。
【００１０】予備的な大まかな研削工程において金属結
合ＣＢＮまたはダイヤモンドといしのようなより硬い研
削方法を用い次により軟らかいといしを用いて研削加工
を仕上げることにより、効率は最適になるであろうが、
樹脂結合ＣＢＮまたはダイヤモンドといしを用いること
ができる。
【００１１】各研削といしに複数の溝を設けてもよい。
すべての溝が成形を必要とするまで、各溝が順に摩耗し
ていくのに従いこれらの溝を順番に使用することができ
る。
【００１２】樹脂結合といしをエッジ形状を研削加工す
るのに使用するときには表面下の損傷は非常に低いこと
がわかっており、適切な成形といしを用いてその場で
（すなわち研削マシンの適所で）成形できる。
【００１３】好ましくは、かつ本発明の他の局面に従う
と、成形といしをワークヘッドスピンドルに、一般的に
は加工物サポートの後ろに取付けることができる。
【００１４】１つは新しいといしに溝を成形するため、
もう１つは既存のといしの溝を再成形するためとして、
２つの成形といしをワークヘッドに取付けてもよい。マ
シンの研削といし溝を成形および再成形し、ワークヘッ
ドスピンドルに成形といしを取付けることにより、研削
といしの消耗を最小にとどめ、といしのチャタリングを
減少させ、たとえ不完全に取付けられていても研削とい
しにより真の円形のディスクまたはウェハに確実に研削
加工を行なう。なぜなら、成形といしおよび再成形とい
しは双方加工物と同じ軸について取付けられているから
である。
【００１５】一方の成形といしを粗削りのために用い、
もう一方を双方の研削といしの仕上げのために用いるこ
とにより、粗削りおよび仕上げといしの溝双方に同じ形
状がもたらされ、仕上げといしの形状の非対称の摩耗が
最小になる。
【００１６】わずかに形状が異なる２つの成形といしを
用いることにより、仕上げ研削加工中エッジの輪郭のま
わりから材料の一定の深さが確実に取除かれる。
【００１７】完全に異なる２つの形状を取付け、フォー
マを変える必要なく一方の形状のタイプから他方の形状
のタイプへと迅速に移行させることができる。
【００１８】上記のようにウェハおよびディスクを大ま
かに研削加工するために樹脂結合ＣＢＮといしを用いる
ことは、ある重要な利点を示している。もし粗粒ダイヤ
モンドといしを用いるならば、ダイヤモンドフォーマを
用いてといしを成形または再成形することは事実上不可
能であろう。
【００１９】粒子が粗いおよび中程度のＣＢＮはダイヤ
モンド成形といしを用いて形成するのが非常に容易であ
る。しかしながら、仕上げ研削といしに必要とされるよ
うな粒子の微細なＣＢＮはシリコンを研削加工しないで
あろう。したがって、仕上げ研削加工は、好ましくはダ
イヤモンド成形といしを用いて成形および再成形可能な
粒子の微細なダイヤモンドといしを用いて行なわれる。
【００２０】このように本発明はまた、研削といしと加
工物サポートとの間の密なスチフネスループと、といし
頭のスピンドルに取付けることができ、必要に応じて必
要なときに利用することができる成形といしとともに比
較的従順な樹脂結合研削といしを使用することとの組合
せにある。これらの特徴を組合せたときには、加工物に
高度な表面仕上げを施し、かつエッジの表面下損傷は低
くすることができる。
【００２１】本発明はさらに、ディスクのエッジを研削
する方法を提供し、この方法は、研削といしおよび成形
といしを硬いマウントに取付けるステップと、研削とい
しおよび成形といしを動かして係合させ、断面が研削中
ディスクのエッジのまわりに形成される形状を補完する
ものに対応する溝を研削といしのエッジのまわりに形成
するステップと、研削といしを研削といしに関ししっか
りと取付けられるディスクと係合させるステップと、デ
ィスクのエッジを所望の形状に研削するステップと、デ
ィスクのエッジの研削後（または一連のディスクエッジ
を研削した後）、研削といしと成形といしを再び係合さ
せて研削といしの溝を再成形し摩耗を補正するステップ
とを含む。
【００２２】シリコンウェハ加工物のエッジを研削する
ための研削工程は２つの段階を含み得る。すなわち、第
１段階では金属または樹脂結合ＣＢＮといしを前進させ
て加工物のエッジを大まかに研削し、第２段階では、樹
脂結合ＣＢＮまたはより好ましくは樹脂結合ダイヤモン
ドといしを前進させてエッジを仕上げ研削する。本発明
はこの工程に限定されるわけではなく、工程の設定にお
いて異なる研削ステップをいくつか取入れて何らかの特
定の加工物を研削加工することができる。
【００２３】本発明に従うと、この方法はまた、成形と
いしを用いて各研削といしのエッジに所望の形状のプラ
ンジ研削加工を行なうことにより、マシンのその場で双
方の研削といしを成形および再成形するステップを含
む。
【００２４】内径および外径双方を仕上げ研削する場
合、内側および外側の研削双方に対し２段階の研削工程
を用いてもよい。この工程では、予備成形金属結合とい
しを用いた大まかな研削の後に、その場でマシンに成形
および再成形される、成形されたＣＢＮ樹脂結合といし
を用いて仕上げ研削を行なう。
【００２５】本発明はまた、上記の方法を実施するため
の装置にあり、この装置は、研削といしと、そのための
駆動手段と、成形といしと、研削といしおよび成形とい
しのための支持手段とを含み、支持手段は剛性であり研
削および成形といし間の望ましくない相対運動を制限
し、上記装置はさらに、研削といしを軸方向にシフトさ
せて成形といしと整列させるための手段と、研削および
成形といし間に相対運動を生じさせて研削といしのエッ
ジをプランジ研削し精密な断面を有する溝を形成するた
めの手段と、円形の加工物を取付けることができる加工
物スピンドルとを含み、このスピンドルはまた剛性の支
持手段により支えられ、装置はさらに、研削といしを加
工物のスピンドルに向けてかつこのスピンドルから離れ
るように動かしてスピンドルに取付けられたときに円形
の加工物の円形のエッジと係合するようにして加工物を
エッジ研削するための駆動手段と、スピンドルを回転さ
せるための駆動手段とを含み、成形といしもまた加工物
スピンドルとともに回転するために加工物スピンドルに
取付けられる。
【００２６】好ましくは、加工物スピンドルは円形の加
工物を取付けるための真空チャックを含む。
【００２７】加工物を回転させるために取付けたときに
加工物の面を見るための光学検査手段を与えて、複数の
測定値を得て参照測定値と比較できるようにする。
【００２８】本発明の他の局面および特徴は、前掲の特
許請求の範囲において規定される。次に、添付の図面を
参照して本発明を例示として説明する。
【００２９】
【詳細な説明】図１、２および３は、シリコンまたは同
様の材料の円形のディスク（ウェハ）をエッジ研削する
ためのマシンステーション全体の一部を絵画的に表わし
ている。加工物取扱い検査およびセンタリング設備もま
た、マシン全体の一部を形成しているが、これについて
は後の図面を参照して説明する。
【００３０】図１から３に示したマシンは、制御キャビ
ネット１０を含み、ここから、３つの振動吸収脚に支え
られた浮動プラットホーム１４を支えるマシンベッド１
２が延在しており、３本の脚のうち１つは図１では１６
で見ることができ、第２の部分１８はベース領域２２の
前の中央部に取付けられ図１では破線で示されており、
第３の部分は図３の２０で見ることができる。
【００３１】プラットホーム１４はワークヘッド２４を
支える一体化された支持構造またはベース２２を含み、
ワークヘッド２４はベース２２の上面に取付けられた案
内面２６に沿う軸方向に滑動可能でありかつスピンドル
ドライブモータ２８および研削すべきウェハを支えるた
めの真空チャック３０を含む。
【００３２】エッジ研削は、図２では３６で示されたウ
ェハ加工物のエッジと係合するための３４といった多数
の環状の溝を含む研削といし３２により行なわれる。
【００３３】軸受アセンブリ３８に設けられた研削とい
しスピンドル（図示せず）は電気モータ４０によって回
転させる。
【００３４】アイテム３８および４０は、包括的に４２
で示されるサポートで支えられ、サポートは剛性の補強
プレート４４の片側においてプラットホーム１４の中心
線近くに取付けられており、プレート４４はフランジを
通しベースに沿いプラットホーム１４にボルト締めされ
上側の端部は別のフランジ４６を通してマシンベース２
２に固定される。プレート４４の役割は、ベース２２に
関するプラットホーム１４の剛性を増大させ、さもなけ
れば導入されるかもしれない横振動に抵抗することであ
る。
【００３５】プレート４４の反対側において等距離にあ
るのは第２のサポート４８であり、サポート４８は案内
面５０を支え、案内面５０の上にはノッチ研削スピンド
ルのための第２のスピンドルドライブ５２が取付けられ
る。駆動装置５４（図２参照）がスピンドルドライブ５
２の軸方向の動きを与える。スピンドルドライブ５２は
環状のディスクの内径を研削するのにも使用できる。
【００３６】ワークヘッドエッジ研削およびノッチ研削
スピンドルは、空気軸受において取付けられ、ワークヘ
ッドスピンドルの速度の範囲は一般に分速２から１００
０回転であり、エッジ研削スピンドルの速度範囲は一般
に分速６０００回転までであり、ノッチ研削スピンドル
の速度は一般に分速７０，０００回転までである。
【００３７】ワークヘッドスピンドルにはチャック３０
の後ろに、図２の５６および５８でもっともよくわかる
成形といしが取付けられる。図２の矢印６０の方向にワ
ークヘッド２４を導くことにより、加工物ディスク３６
を研削といし３２の３４といったスロットの１つと係合
させることができ、矢印６０の方向にさらに動かすこと
により、ディスク３６は研削といしアセンブリの端の面
６２を通過し、成形といし５６または５８が研削といし
３２の適切な溝と係合する。
【００３８】必要に応じて研削といしまたはノッチグラ
インダの横方向の動きは、サポート構造４２および４８
をプラットホーム１４に関して適切に傾けることによっ
て可能になる。このために、構造４２および４８は双方
旋回するようにプラットホーム１４の中央線近くに取付
けられ（後続の図面との関連で以下でより詳細に説明す
る）、２つのストップ６４および６６それぞれが（図３
参照）過剰に外向きに動くことを防止する。
【００３９】本発明に従って、旋回は、プラットホーム
１４の中央線近くの２本の並列する軸を中心とした旋回
運動を行なわせるフレクシャ（以下で説明する）により
与えられ、構造４２は矢印６８で示すような弧を描くこ
とができ、構造４８は参照番号７０で示すような弧を描
くことができる。
【００４０】旋回運動を行なわせるための駆動手段につ
いては後続の図面を参照して説明する。
【００４１】ベース２２には透明なポリカーボネートの
直線で囲まれたハウジング７２が取付けられ、このハウ
ジングを通して研削といしスピンドルが突出している。
ハウジング７２の面の大きくほぼ楕円の開口部７４によ
り、ワークヘッド２４に取付けられた同様の形状の囲い
７６は、上記のように矢印６０の方向にワークヘッドを
適切に前進運動させたときに開口部７４に入りこの開口
部を密封する。
【００４２】囲い７６のまわりの（またはその代わりと
して開口部７４の内側の縁のまわりの）膨張式リングシ
ール７８は、囲い７６と開口部７４との間に液状の密封
をもたらす。
【００４３】ハウジング７２は、ベース２２に関し滑動
可能であり、ベローズシール８０および８２がスピンド
ルドライブ３８および５２との間に設けられるので、囲
い７６と開口部７４との間が封止された後、ハウジング
７２は実際ワークヘッドアセンブリ２４とともに軸方向
に移動する。ベローズの後ろには十分な隙間を設けてハ
ウジング７２が矢印６０の方向に延びる方向において移
動できるようにして、研削といしに溝が形成されるよう
にする。反対方向の動きもまたベローズ８０および８２
によって処理されるので閉じられたハウジング７２はま
たワークヘッド２４が矢印６０と反対方向に動く際にワ
ークヘッドとともに動いて、ディスク３６のエッジが３
４のような研削溝の１つと係合する。
【００４４】ノズル８４および８６を通して加工物に冷
却液を噴霧し、必要な時に成形といしに同様の液を噴霧
するために同様のノズルを設ける。インタロックを設け
て、ハウジング７２が囲い７６によって閉じられかつ封
止されていない限り冷却液が噴射されないようにする。
【００４５】研削動作が完了した後かつ液体で最終的な
洗浄を行なった後、ハウジング７２を、エッジシール７
８を収縮させワークヘッド２４を矢印６０と反対方向に
図２に示した位置に向けて引込めることにより開放でき
る。次に、仕上げられた加工物３６を取外して新たな加
工物を設置することができる。［といし成形／目直し］
初めに、加工物を取付ける前にといし成形を行なうこと
ができる。この場合、最初に３６といった加工物をチャ
ック３０に取付けずにワークヘッド２４および囲い７６
を適切に移動させてハウジング７２を閉じる。といし成
形は、溝３４といった各溝が順番に５６または５８とい
った適切な成形といしと係合するように、ワークヘッド
２４を軸方向に適切に動かしかつサポート４２を適切に
横方向に動かすことによって行なわれる。といし成形動
作中冷却液が与えられる。
【００４６】最初のといし成形後、上記のように封止７
８を解除することによりアセンブリを分離させることが
できる。加工物３６を取付けた後、アセンブリを再び閉
じて上記のように研削を行なう。
【００４７】一般的には、加工物を取除いた後かつ次の
加工物を設置する前の、マシンの動作不能時間中に溝の
再成形を行なう。しかしながら、加工物３６のエッジ輪
郭検査がワークヘッド上でその場で行なわれるマシンの
開発にあたっては、加工物を適所に設けたまま再成形を
行なうことが好都合であろう。 ［ノッチ形成］加工物のノッチ形成を行なう場合は、サ
ポート４２を横方向に動かしてといしと加工物との係合
を切り離し、サポート４８をその代わりに横方向に動か
して加工物３６のエッジがノッチ形成スピンドル（図示
せず）により係合するようにする。ノッチ形成後、サポ
ート４８を反対方向に移動させてこのスピンドルと加工
物との係合を解除する。 ［研磨加工］代替例の装置では、といしスピンドルおよ
び溝が形成された研削といしに研磨といしを取付けても
よく、加工物のスピンドルを軸方向にシフトさせること
により、研磨といしは加工物３６のエッジと係合でき
る。
【００４８】ワークヘッド２４を案内面２６に沿いシフ
トさせるためのドライブは８８に設けられる。
【００４９】図３に示すように、排水管９０は液体をハ
ウジング７２から貯蔵タンク９２に運び、ポンプ（図示
せず）を設けてこのタンクからの液体を循環させる。タ
ンクにまたはタンクとポンプとの間のラインにフィルタ
を与えてもよい。
【００５０】制御ハウジング１０は、テレビディスプレ
イ９４およびキーボード９６を含み、手持ち型制御ユニ
ット９８が浮動リード線１００を介して接続プラグ１０
２に接続される。オペレータはユニット９８を取外して
ユニット９８を手に持ってマシンの方に歩いてゆき、適
切なボタンを押すことによってマシンを動作または停止
させることができる。ハウジング１０は、制御信号およ
び電力をマシンのドライブに与えるため、かつマシンの
変換器、ならびにスイッチングおよびその他の位置／動
作／タッチなどの信号生成センサからの信号を受取るた
めのコンピュータに基づく制御システムを収容する。
【００５１】コンピュータキーボードおよびディスプレ
イを用いて、最初にマシン機能をセットアップするた
め、かつスピンドルスピード、送り量、ストロークおよ
びイベントのシーケンスを決定するためのデータを投入
することができる。
【００５２】クリーンルーム条件が必要とされるかもし
れないので、コンピュータスクリーンおよびキーボード
を含む制御ユニットのコーナーを除きマシン全体を、外
側の囲い内に収容することができる。図面においてはこ
の外側の囲いは示されていない。
【００５３】ワークヘッドが滑動する案内面２６に対し
ては予圧が与えられ、ワークヘッドはサーバモータによ
り駆動され、解像度の高い位置符号器を備えており、軸
運動補間中に円滑な運動をもたらす。
【００５４】先に述べたように必要に応じて構造４２ま
たは４８を傾け支えている研削素子が加工物３６のエッ
ジと係合するようにすることによって切り込みを研削す
ることができる。この運動は事実上線形的ではなく弓形
であるが、ハウジング１０が収容する制御システムによ
って生成される制御信号によって対処可能である。
【００５５】８４および８６のような噴出口を用いて研
削中に切削液を供給することができるが、上記またはそ
の他の噴出口を用いて、研削後ではあるがウェハがまだ
回転している間にウェハの突出した縁に向けて洗浄液を
直接噴出させることができる。こうすることによって、
研削の削り屑が、ウェハをチャックから取外す際にウェ
ハの裏面を落下することが防止される。 ［研削工程］一般的には、エッジの研削は、プランジ研
削粗削り動作、およびタッチセンサが加工物ウェハとの
接触を検出するまで研削といしを迅速に前進させること
を含む第２のプランジ研削仕上げサイクルを用いた、２
段階の工程において行なわれる。接触の際の研削といし
の軸の位置を用いてといしの摩耗をモニタし、仕上げ切
削サイクルごとに取除かれる材料が確実に一定になるよ
うにする。ワークヘッドチャックに永久的に取付けられ
る金属結合ダイヤモンド成形といしを用いることによっ
て切削といしの形状は維持される。再成形工程を完全に
自動化させて、ｎ番目のウェハごとに行なわれるように
プログラミング可能である。または、研削が施されたエ
ッジの輪郭が許容不能になったときごとに（ディスクエ
ッジの輪郭の光学検査により判断される）、または接触
ポイントがといしが過剰に摩耗していることを示すとき
に行なうことができる。 ［減衰］望ましくない振動および結果として生じる研削
による損傷を最小に減じるために、研削マシンを構成す
る構造上の構成要素を、ポリマーコンクリートで少なく
とも部分的に、特にベース２２およびベッド１２の部分
にかつ所望であればプラットホーム１４において充填す
る。 ［サブアセンブリフレクシャの取付け］図４および５
は、ヒンジ運動によりといしの切り込みを行なうための
２つの構造４２および４８の取付け方法を示す。図４に
示すように、２つの構造４２および４８の内側の端部
は、フレクシャ（ストリップヒンジと呼ばれることがあ
る）によりプラットホーム１４に接続され、フレクシャ
のうち２つは１０２および１０４で示される。図４に示
した２つと１列をなす２番目の対は、マシンベース２２
のより近くで構造４２および４８の他方の端部に向けて
設けられる。
【００５６】図５の拡大図に示すように、各フレクシャ
は金属プレートを含み、その中央領域は狭められており
フレクシャ１０２の場合は幅が減少した部分１０６が形
成されフレクシャ１０４の場合は１０８が形成される。
【００５７】１０２の場合は１１０および１１２で示さ
れフレクシャ１０４の場合は１１４および１１６でそれ
ぞれ示される、各プレートの厚みのより大きな上側およ
び下側の領域は、フレクシャ１０２の場合は１１８およ
び１２０といったボルトにより一方では、構造４２の一
体化された部分を形成するフランジ１２２にボルト締め
され、他方では自身が１２６および１２８などのボルト
によりプラットホーム１４にボルト締めされる金属ブロ
ック１２４にボルト締めされる。
【００５８】同様にしてフレクシャ１０４は、構造４８
から延在しかつ構造４８と一体化する部分を形成するフ
ランジ１２６に固定される。
【００５９】金属ブロック１２４は各フレクシャのフラ
ンジ１２２および１２６ならびに幅が狭められた領域１
０６および１０８から垂直方向において間隔がおかれて
おり、構造４２または４８はそれぞれ、構造をプラット
ホーム１４から支持するフレクシャの幅が狭められた領
域１０６および１０８それぞれを中心として揺れ動くこ
とができる。
【００６０】フレクシャ１０２および１０４により、図
５の矢印１３０および１３２で示すように構造は傾斜す
ることができるが、フレクシャは、その他の軸を中心と
したプラットホーム１４に関する構造４２および４８の
いかなるその他の運動も容易にはさせない。結果とし
て、構造４２および４８のプラットホーム１４に対する
結合は、幅の狭い部分の領域１０６および１０８などに
より生まれるヒンジ軸について以外のすべての方向にお
いて非常に強固である。 ［サブアセンブリへの切り込みドライブ］構造４２およ
び４８の運動は、各構造とプラットホーム１４およびマ
シンベース２２の端部に取付けられた剛性のアセンブリ
との間に作用するカムおよび従動子装置によってもたら
される。このようなドライブの１つは、図４では構造４
２内に設けられたものとして示される。ここではカム１
３４は、自身が軸受１３８および１４０において支えら
れるシャフト１３６によって支えられ、ねじれ固定継手
１４４を通して電気モータ１４２により駆動される。シ
ャフト（図示せず）において支えられる従動子１４６は
軸受１４８において支えられ１５０は構造１４２に取付
けられる。
【００６１】カム１３４を含むドライブおよび軸受アセ
ンブリは、包括的に１５２で示される剛性の構造上の枠
組内で支持され、構造４２の残り部分とは別にされて間
隔がおかれているため、構造４２はカム１３４および従
動子１４６の運動によって導かれるようにアセンブリ１
５２に関して運動することができる。
【００６２】構造１５２と構造４２との間に作用するば
ねにより戻りの力が与えられる。ユニット４８は、図４
においては構造４８の切り取られた領域において包括的
に示された構造１５４内に含まれる同様のアセンブリに
よって、同じ態様で駆動される。
【００６３】簡潔にするために、戻りばねの詳細につい
ては構造４８と関連付けて示しているが、これを構造４
２については行なっていない。ここではスラスト棒１５
６をねじ切りされかつボルト締めされた端部１５８によ
って構造４８の内側の構造上の構成要素１６０に固定
し、ばね１６２を構造１５４に形成された円筒形のくぼ
み１６４内に収容する。直径が減じられた端部領域１６
６により、ばねがチャンバ１６４から出ることが防止さ
れ、スラスト棒１５６の外側の端部の拘束ワッシャ１６
８がばねをとらえる。構造要素４８が矢印１７０の方向
に動くことにより、ばねが収縮し、その復元力がアイテ
ム４８を、カムの力が取除かれたときに、通常の直立位
置に戻す。
【００６４】図６は、ユニット４２の上端部を拡大して
示したものであり、同じ部分は同じ参照番号で示してい
る。 ［カムドライブ］図７は、図４で一部断面を示したマシ
ンの端部の側面図であるが、縮尺は少し小さくしてあ
る。他の図面と同様、この図面でも一部を切り取って、
図４には示されていない、構造４８に作用する包括的に
１７０で示されたカムドライブメカニズムを明らかにし
ている。拘束ワッシャ１６８はドライブメカニズムの側
部に示されている。
【００６５】図７はまた、ユニット４８のベースに取付
けられた２つのフレクシャを示し、外側のものは１０４
で示し、内側のものは１７２で示している。
【００６６】上記のように各カムドライブ装置は、剛性
のハウジング１５２および１５４内で支えられており、
後者は図７ではよりはっきりと見ることができ、水平方
向の脚１７４によりベース２２の端部から突出したプレ
ートにボルト締めされている。
【００６７】図７ではまた、チャック１７８を駆動する
ためのモータ１７６が見えており、ここからノッチ研削
スピンドル１８０が突出している。モータ１７６は図１
について先に説明したようにハウジング５２内で支えら
れており、ハウジング５２は上記のように案内面５０に
沿って滑動する。
【００６８】図７は、ハウジング５２をケース７２内の
開口部に封止されるように取付けるベローズシール８２
を示しており、ここからモータ１７６およびスピンドル
が突出している。 ［加工物の転送］一般的には直径１００、２００または
３００ｍｍ以上のシリコンの円形のプレート状のウェハ
の取扱いは、図８に示したロボット的な取扱い手段によ
って行なわれる。これは、ベース１８２と、包括的に１
８４で示した構造的枠組とを含み、枠組はベースから上
向きに延在して包括的に１８６で示した線形の案内面に
対するサポートをもたらし、この案内面に沿い往復台１
８８は矢印１９０の方向に滑動できる。第２のスライド
１９２が案内面１８６と直角をなしてハウジング１８８
から突出しており、滑動部材１９４はここに沿って矢印
１９６の方向に動くようにされている。アーム１９８が
ハウジング１９４から突出しており、ここに取付けられ
２００で示したドライブは、アーム１９８を矢印２０２
の方向に運動させる。ドライブ２００およびハウジング
１８８内のドライブのための電力は、線形のトラック１
８６に装着された可撓性のセーフティハーネス２０６に
保持された複数通路を備えるアンビリカル２０４を介し
て与えられる。
【００６９】アーム１９８の下側の端部は真空チャック
２０８であり、往復台１８８および２００ならびにアー
ム１９８を適切に操縦することにより、真空の囲い２０
８を、支持スリーブ２１２において直立するように保持
されているウェハ２１０の前で位置決め可能である。空
の支持スリーブも２１４で示されており、処理されたウ
ェハの受入準備が整っている。
【００７０】ベース１８２はマシンベッド１２の近くに
位置決めされ、このヘッドの一部は図８に示されてい
る。機械加工動作後、ハウジング７２の２つの部分は図
１から３を参照して前述したように切り離され、これに
よって仕上げの済んだ加工物３６がむき出しになりアー
ム１９８および真空チャック２０８によって取り上げる
ことができる。こうするために、図８の転送メカニズム
は、チャック２０８をワークヘッドのウェハに対向する
ように位置決めし仕上げの済んだウェハ３６を回収して
空のスリーブ２１４に転送するように動作する。
【００７１】さらに往復台１９４をスリーブ２１２の方
へと外に動かすことにより、チャック２０８をまだ研削
されていない加工物２１０の前に位置決めし、この加工
物を取り上げた後検査ステーションに転送し、その後前
のウェハ３６の代わりに研削のために真空チャック３０
に取付けるために研削マシンの動作環境に転送できる。
【００７２】トラック２１６に複数のスリーブまたはカ
セットを設け、ここに設置されたすべての加工物を、順
番に取除き、センタリングし、研削し、検査し、かつも
とにもどすことができることがわかる。
【００７３】上記のように全体的な囲いをこの装置に与
える場合、ベース１８２を含む転送メカニズムは、好ま
しくはこの囲い内に配置され、その開口部には自動閉鎖
ドアを設けて、洗浄されたウェハの挿入および除去が行
なえるようにする。 ［ウェハのセンタリング］研削前および研削後の中間ス
テップとして、（好ましくは別のウェハの研削中）、各
ウェハを図９および１０で示した検査装置に位置決め
し、ウェハの中心を決定して、研削のためにチャック３
０において正確に位置決めできるようにし、かつその
後、保管スリーブに戻す前に研削後のウェハのエッジの
輪郭を検査できるようにする。 ［加工物検査］図９は、研削マシンおよび図８のロボッ
トウェハ取扱いシステムとの関連で検査装置が置かれて
いる場所を示す全体図である。前と同様同じ参照番号を
用いている。ロボットウェハ取扱いシステムについて
は、我々の同時係属中の特許出願ＧＢ−Ａ−２３１６６
３７においてさらに詳しく説明されている。
【００７４】この検査装置は、スタンド２１８を含みそ
の上にベース２２０および直立プレート２２２からなる
支持構造が位置している。三角形の補剛板２２４がプレ
ート２２２の後ろから延在し、２２２および２２４はど
ちらも２２６でプレート２２０に溶接される。
【００７５】プレート２２２の直立方向の端部２２８か
ら間隔をおいて支持ブラケット２３０が設けられ、包括
的に２３２で示したランプおよび映写レンズ装置がブラ
ケット２３０の上端で支持される。レンズ２３６を有す
る第１のカメラ２３４がプレート２２２に取付けられ、
ランプ２３２により背面が照明されたディスク２３８の
エッジを見ることができるようにする。
【００７６】図９で最もよくわかるように、モータ２４
０はプレート２２２の後側に取付けられる。このモータ
は真空チャック（図示せず）を駆動し、このチャック
に、ロボットアーム１９８および真空チャック２０８に
より、これから検査するディスク２３８が配置される。
【００７７】モータ２４０の回転によりウェハ２３８が
回転する。エッジがカメラレンズ２３６の視野と交差す
るようにウェハを位置決めすることにより、電気信号を
カメラ出力から得ることができ、信号はケーブル２４２
を介して、信号から得られたデータを処理するための信
号解析装置（図示せず）に送られる。第２のカメラ２４
４は、ディスク２３８のエッジを接線方向に見るために
支持プレートのエッジ２２８に取付けられ、エッジの輪
郭についての情報が得られる。ディスクエッジの背面は
ランプ２４６によって照明され、カメラ２４４からの信
号がケーブル２４８に沿って与えられる。ランプ２３２
および２４６のための電力は必要に応じてケーブル２５
０および２５２それぞれに沿って供給される。
【００７８】コンピュータ２５４にはケーブル２４２お
よび２４８を介しカメラ２３４から信号が与えられ、コ
ンピュータは２４２および２４８に沿う戻り信号経路を
介しかつケーブル２５０および２５２を介して、カメラ
およびランプ２３２および２４６それぞれを制御する。
カメラ２４４の出力を必要に応じてモニタ２５６に表示
することができ、ウェハ２３８のエッジの輪郭は２５８
で、たとえば輪郭の側面についての理想的な角度を示す
コンピュータにより生成されたテンプレート２６０およ
び２６２とともに示される。 ［加工物のセンタリング］これは、参照番号Ｃ４０３／
Ｗとした本願と同時に提出した我々の同時係属中の出願
において述べた技術を用い、図８から１０のロボットウ
ェハ取扱いシステムを用い、かつ円形のウェハがカメラ
２３４の視野を通して回転する際に得られる、カメラか
らの信号を用いて行なわれる。 ［ノッチおよび平坦部の表示］図１１はモニタ２５６の
図であり、今回はウェハ２３８が載せられた真空チャッ
ク（図１０には示さず）上でノッチが形成されたウェハ
が適所にあるときのカメラ２３４からの出力を表示する
ように設定されており、この場合ウェハを回転させてノ
ッチがカメラの視野に入るようにしている。ノッチは２
６４で示されコンピュータにより生成されたテンプレー
ト（２６６および２６８で破線で示す）もまたノッチの
画像に重ね合せて表示され、ノッチの２つの側面に対し
て要求される角度を示す。さらなる２つのテンプレート
のラインが２７０および２７２で表示され、ノッチに入
る部分で要求される半径を示し、さらなるテンプレート
のライン２７４を表示してノッチの底で必要とされる半
径を示す。
【００７９】図１２は、モニタ２５６の同様の図であ
り、今回はカメラ２３４で見た場合の円形のウェハの平
坦な周縁領域の一方の端部を表示する。この図ではウェ
ハの表示は参照番号２７６で示され、平坦部は２７８で
示され、平坦部の端部で要求される半径はコンピュータ
により生成されたテンプレートライン２８０で描かれ
る。 ［ウェハの厚みの測定］図１３は、図１０のアセンブリ
の後ろ側を示し、かつプレート２２２と、ドライブ２８
６を介して真空チャック２８４を駆動するモータ２４０
とを示す。
【００８０】噴出口２９２を備える液体ライン２９０
は、空気を噴出させてウェハ２３８のエッジを洗浄しか
つ乾燥させる役割を果たし、その流れはバルブ２９４に
より制御される。
【００８１】重要なことは、ウェハ２３８をワークヘッ
ドの真空チャック３０に載置する（図１および２参照）
前にその厚みを知って、適切な研削溝を正確にディスク
のエッジと係合させるのに必要なワークヘッドまたはワ
ークスピンドルの軸方向の移動量を、制御システム、お
よびワークヘッドまたはワークスピンドルを必要な距離
移動させるために生成される適切な駆動信号によって決
定できるようにすることである。この厚みはスピンドル
２９８が備えるプローブ２９６を用いて決定され、スピ
ンドルはガイド３００および３０２において滑動可能で
あり、パイプライン３０４を介した空気圧で移動してウ
ェハ２３８の面と係合できる。固定されたホームポジシ
ョンから移動した距離が記される。
【００８２】適所に置かれたウェハなしで同じように移
動距離の測定を行なうと、固定されたホームポジション
からチャック２８４の面までの距離が得られ、ウェハ２
３８は適所にあるときその面に押しつけられているた
め、上記２つの距離の測定値の差がウェハの厚みと等し
くなる。
【００８３】プローブによる移動距離は、正確な位置検
知エンコーダ、およびケーブル３０６に沿いコンピュー
タ２５４に与えられる信号により検知され、厚みの寸法
はモニタに（所望であれば）表示できる。
【００８４】コンピュータ２５４がハウジング１０内の
コンピュータをベースにした制御システム（図１参照）
の一部をなしてもよく、かつ／またはコンピュータ２５
４が生成した信号が１０のコンピュータベースの制御シ
ステムに与えられて、ワークヘッドまたはワークスピン
ドルアセンブリの軸方向の移動量を制御するために利用
できるようにしてもよい。 ［複数研削といしアセンブリ］マシンの動作不能時間を
短縮するために、研削といしが、各々特定の目的を有す
る異なる研削といしをサンドイッチ状にしたものからな
るようにしてもよい。
【００８５】このようなといしは図１４の３０８で示さ
れ、４つのといし部分をサンドイッチ状にしたものが示
される。
【００８６】一次といし３１０は円筒形の表面において
６つの研削溝を有する樹脂結合ＣＢＮといしであり、溝
の１つは３１２で示される。これは、仕上げの前に小さ
な物質のみを除去することが必要なウェハのエッジを研
削するために用いられるといし部分である。
【００８７】といし部分３１４は、３つの溝を含むダイ
ヤモンドといしであり、溝の１つは参照番号３１６で示
される。この部分はウェハのエッジを仕上げ研削するた
めに使用される。
【００８８】双方のといしの溝の数は、一般的には１か
ら１０の範囲内で、何個でもよいことがわかるであろ
う。
【００８９】といし部分３１８は、単一の溝３２０を備
える金属結合ＣＢＮまたはダイヤモンドといしであり、
このといしはより軟らかい樹脂結合といし３１０を利用
する前にウェハのエッジを大まかに研削するために使用
できる任意のといしである。
【００９０】といし部分３２２は、といしスピンドルを
適切な速度で動かすことにより、といし部分３１４によ
る仕上げ後ウェハのエッジを研磨加工するために使用で
きる、典型的には酸化セリウムの任意のといしである。 ［ノッチ研削といし］図１５は、スピンドル３２６の端
部に取付けられたノッチ研削といし３２４をほぼ同じ縮
尺で示す。その「凹状の」環状の研削面は一般的にはダ
イヤモンドめっきされたものである。 ［といし目直し手順］図１６に示すように、目直し／成
形といしは、加工物／ウェハ３６を取付ける真空チャッ
ク３０と同じスピンドルに取付けられる。
【００９１】一般に、目直し／成形といしは以下の２つ
の部分からなるアセンブリである。 （ａ） 図１４のＣＢＮといし部分３１０の溝を大まか
に研削するための金属結合ダイヤモンドといし３２８。
【００９２】（ｂ） さらに小さな直径のグリッドを取
入れ、図１４のＣＢＮといし部分３１０の３１２のよう
な溝を仕上げ研削するようにされた金属結合ダイヤモン
ドといし３３０。
【００９３】図１４の部分３１０のようなＣＢＮ研削と
いしは通常、３１２のような溝なしで供給され、新しい
ＣＢＮといし部分３１０を取付けた後、３１２のような
溝を形成する第１のステップが行なわれる。これは、図
１６のといし３２８を用い次にといし３３０を用いて行
なわれる。
【００９４】３１０の溝に摩耗が生じた後、といし３３
０を用いて必要に応じて溝の目直しおよび再成形を行な
う。
【００９５】どちらの成形といしも研削といし双方にア
クセスできる。従来、双方の成形といしを用いて、粗削
り（ＣＢＮ）研削といしおよび仕上げ（ダイヤモンド）
研削といし双方を成形している。 ［中間ウェハの保管］図１７に示すように、図１３の厚
みを測定するプローブの場所の下方に、上側が開放され
た直線で囲まれたハウジング３３２があり、この中へと
ウェハをアーム１９８によって下降させることができ
る。
【００９６】このハウジングからスピンドル３３４およ
び真空チャック３３６が延在し、真空チャックの上でウ
ェハを配置および保持してウェハを回転させることがで
きる。スピンドル３３４に対する駆動は、たとえばモー
タ２４０によって行なうことができる。
【００９７】ハウジング３３２には噴出口３３８が突出
し、噴出口を用いて水または空気といった流体を圧力を
かけて供給することができ、この噴出口はチャックに載
置されたウェハの面およびエッジ領域に方向付けられ
る。そのようなウェハの１つは３４０で示される。排水
管３４２は余分な流体を運び出す。
【００９８】このハウジングおよび真空チャックが、エ
ッジの研削が済んでエッジ輪郭検査のために検査装置の
真空チャック２８４に配置されるのを待っているウェ
ハ、または検査が済んで図８の２１４のようなスリーブ
に戻されるのを待っているウェハのための便利な待機場
所を提供する。
【図面の簡単な説明】
【図１】通常オペレータが占める位置から見た、本発明
を実施する研削マシンの縮尺率が正確でない斜視図であ
る。
【図２】オペレータが通常立つ側からの、図１に示した
マシンの縮尺率が正確でない側面図である。
【図３】図１および２に示したマシンの端面図である。
【図４】図３の端から見たサブアセンブリに取付けられ
たフレクシャを通したわずかに大きな縮尺の断面図であ
る。
【図５】図４で見えている２つのフレクシャの拡大図で
ある。
【図６】サブアセンブリのカムドライブおよび従動子な
らびにばねの搭載を示す、右上側の拡大断面図である。
【図７】図２に示されたマシンのサブアセンブリの端部
を拡大してかつ一部は断面で示した側面図である。
【図８】図３のマシンの端部の右側に取付けるようにさ
れた加工物搭載および取外しメカニズムを、一部見える
ようにした斜視図である。
【図９】図８の構成部品取扱い装置の反対側の斜視図で
あり、ディスク検査装置および図２に示したようなマシ
ンの右側の端部を示す。
【図１０】図９に示したディスク検査装置の反対側の端
部の拡大した斜視図である。
【図１１】カメラ２３４によって見たノッチを示すモニ
タスクリーンの図である。
【図１２】カメラ２３４によって見たウェハエッジの平
坦部を示すモニタスクリーンの図である。
【図１３】図１０のアセンブリの後部の側面図であり、
モータおよび真空チャック間のドライブを示し、かつウ
ェハをワークヘッドに転送する前にウェハの厚みを決定
するために厚み測定プローブを位置決めできる場所を示
す。
【図１４】図１以下に示したマシンにおいて使用できる
ような多重研削といしアセンブリの側面図である。
【図１５】このマシンにおいて用いることができるよう
なノッチ研削といしの側面図である。
【図１６】加工物真空チャックおよび目直しといしアセ
ンブリの側面図である。
【図１７】中間ウェハ保管所としても機能する洗浄ステ
ーションの側面図である。
【符号の説明】 ２４ ワークヘッド ２８ スピンドルドライブモータ ３０ 真空チャック ３２ 研削といし ３６ 加工物 ４０ 電気モータ ４４ 補強プレート ５２ スピンドルドライブ ５６ 成形といし
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フォークナー，ダーモット・ロバート イギリス、エム・ケイ・46 ５・エイチ・ イー バッキンガムシャー、オルニー、フ ォックスヒル、97 (72)発明者 モーランツ，ポール・マーティン イギリス、エム・ケイ・16 ８・イー・ア ール バッキンガムシャー、ニューポー ト・パグネル、ミル・ストリート、26 (72)発明者 ピアース，マイケル・ジョージ イギリス、エム・ケイ・40 ３・ティ・ワ イ ベッドフォード、キャッスル・ロー ド、216

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 溝付きの研削といしが取付けられた研削
    マシンを用いてディスク加工物のエッジを研削する方法
    であって、溝は研削マシンに取付けられた成形といしを
    用いてその場で形成され、 研削といしおよび成形といしを動かして係合させて、研
    削中加工物のエッジのまわりに形成される形状を補完す
    るものに対応する断面を有する溝を研削といしのエッジ
    のまわりに形成するステップと、 研削といしを少なくとも１つの加工物と係合させるステ
    ップと、 加工物のエッジを所望の形状に研削するステップと、 加工物を研削した後または一連の加工物を研削した後、
    研削といしはその場でそのままにして研削といしと成形
    といしとを再び係合させて、研削といしの溝を再成形し
    摩耗を修正するステップとを含む、ディスク加工物のエ
    ッジを研削する方法。
  2. 【請求項２】 樹脂結合ＣＢＮといしを前進させて加工
    物のエッジを大まかに研削する第１段階および樹脂結合
    ダイヤモンドといしを前進させてエッジを仕上げ研削す
    る第２段階という２段階を含む、請求項１に記載の方
    法。
  3. 【請求項３】 成形といしを用いて各研削といしの研削
    面のまわりに所望の形状をプランジ研削することによ
    り、マシンにおいてその場で双方の研削といしを成形お
    よび再成形するステップをさらに含む、請求項２に記載
    の方法。
  4. 【請求項４】 研削といしおよびそのための駆動手段
    と、 ワークヘッド、加工物スピンドルおよびそのための駆動
    手段と、 成形といしおよびそのための駆動手段と、 研削といしを成形といしに関して動かして研削といしの
    エッジをプランジ研削して精密な断面を有する溝を形成
    するための手段と、 研削といしおよび加工物スピンドル間の相対運動を行な
    わせ研削といしが加工物スピンドルに取付けられたディ
    スク加工物のエッジと係合できるようにして加工物をエ
    ッジ研削するための手段とを含み、 成形といしもまた加工物スピンドルに、ともに回転する
    ために取付けられる、研削マシン。
  5. 【請求項５】 研削といしの輪郭形成溝の摩耗を検出
    し、摩耗が検出された場合に研削工程を中断させるため
    の手段をさらに含む、請求項４に記載の研削マシン。
  6. 【請求項６】 研削工程の中断に応じて、研削といしお
    よび成形といしを再び係合させて研削といしのエッジの
    研削輪郭を再成形する手段をさらに含む、請求項５に記
    載の研削マシン。
  7. 【請求項７】 ディスク加工物の周縁部の平坦部などの
    位置合わせ領域をさらに研削するようにされ、さらなる
    研削といしが取付けられるさらなる研削といしスピンド
    ルを含み、前記さらなるといしは、ディスク加工物が相
    対的に回転している際にその周縁部のエッジに平坦部を
    形成するためにディスク加工物と係合するように動くこ
    とができる、請求項４から６のいずれかに記載の研削マ
    シン。
  8. 【請求項８】 円形の加工物が静止している間に加工物
    にノッチを研削するために円形の加工物の周縁部と係合
    するための研削といしが取付けられたさらなる研削とい
    しスピンドルを含む、請求項４から７のいずれかに記載
    の研削マシン。
  9. 【請求項９】 光学検査手段が加工物が回転のためにプ
    ラテンに取付けられたとき加工物の面を指し示すように
    取付けられ、プラテンおよびその上の加工物を割り出し
    て回転において異なる離散的な複数のポイントで測定が
    行なえるようにし、その測定値を参照要素またはテンプ
    レートのまわりの同様のポイントから得られる測定値と
    比較するための手段が与えられる、請求項４から８のい
    ずれかに記載の研削マシン。
  10. 【請求項１０】 ウェハが回転する際に接線方向にエッ
    ジを指す検査装置により、加工物のエッジ寸法およびエ
    ッジ輪郭の光学検査が行なわれる、請求項４から９のい
    ずれかに記載の研削マシン。
  11. 【請求項１１】 エッジ検査は加工物がワークヘッドス
    ピンドルに取付けられている間に行なわれる、請求項１
    ０に記載の研削マシン。
  12. 【請求項１２】 エッジ検査は加工物が、回転するよう
    にされた別の真空プラテンに取付けられている間に行な
    われる、請求項１０に記載の研削マシン。
  13. 【請求項１３】 エッジ検査中に得られたエッジデータ
    は、参照要素のエッジから得た１組の対応する測定値と
    比較される、またはストアされた後に比較される、請求
    項１３または１４に記載の研削マシン。
  14. 【請求項１４】 研削されるべき内側および外側のエッ
    ジ双方を有するディスク加工物を研削する方法におい
    て、内側および外側のエッジ双方はまた仕上げ研削され
    ねばならず、内側および外側の研削双方のために２段階
    の研削工程が用いられ、予備成形された金属結合といし
    を用いて大まかな研削を行ない次にマシンにおいてその
    場で成形および再成形される成形されたＣＢＮ樹脂結合
    といしを用いて仕上げ研削が行なわれる、ディスク加工
    物を研削する方法。
  15. 【請求項１５】 請求項１から３のいずれかに記載の方
    法を実施するためのマシンであって、研削といしと加工
    物との間に短いスチフネスループがあることによって、
    機械加工中にといしと加工物との間で相対運動が生じる
    危険性が減じられる、マシン。
  16. 【請求項１６】 研削といしは樹脂結合といしである、
    請求項１５に記載の研削マシン。
  17. 【請求項１７】 エッジ研削マシンであって、 ワークヘッドスピンドル、研削といしスピンドル、およ
    び成形といしが配置される剛性のプラットホームを含
    み、研削といしスピンドル自身が、研削といしスピンド
    ルの進行方向と並列に動くことができるように取付けら
    れたサブアセンブリに取付けられて、ワークヘッドスピ
    ンドルに取付けられた加工物のエッジ研削が行なわれる
    が、その他の方向における動きは禁止され、研削といし
    の、加工物と係合する面のまわりには溝が形成され、そ
    の断面形状は、といしが加工物の周縁部と係合したとき
    に研削することによって加工物の周縁部に形成されるも
    のを補完するものであり、研削といしおよび成形といし
    間の相対運動により、研削といしをスピンドルから外さ
    なくとも研削といしおよび成形といしの係合が可能であ
    る、エッジ研削マシン。
  18. 【請求項１８】 成形といしはワークヘッドスピンドル
    に取付けられる、請求項１５から１７のいずれにか記載
    の研削マシン。
  19. 【請求項１９】 成形といしは加工物／構成要素サポー
    トの後ろに取付けられる、請求項１８に記載の研削マシ
    ン。
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