JPH11320353A - 研削ピン、ノッチ研削の方法および研削盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノッチ研削のための研削ピンを提供する。 【解決手段】 研削ピン（５３）は、ノッチを形成する
ための溝が形成された、形成可能研削材料の円筒形の領
域を含む。円筒形の領域は、各溝が摩耗してノッチを形
成することができなくなった際にさらなる溝を形成でき
るような長さを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の分野】本発明は、半導体装置を構成する際に使
用するためのシリコンのウェハといったディスクのエッ
ジにおけるノッチ研削を目的とした、研削盤およびこう
した研削盤において使用するための研削砥石に関し、か
つ、そのようなディスクのエッジ領域を研削してそこに
ノッチを形成する方法に関する。ノッチの寸法はウェハ
のサイズと比較すると相対的に小さいため、このような
ノッチを形成するのに使用される研削砥石は通常研削ピ
ンと呼ばれている。

【０００２】

【発明の背景】ディスクの研削のための研削盤は、ＷＯ
９７／４８５２２において開示されており、本明細書に
引用により援用する。ＷＯ９７／４８５２２は、研削盤
の金属結合ＣＢＮまたはダイヤモンド砥石を用いて半導
体ウェハといったディスクのエッジを粗く研削し、その
後より軟らかい樹脂結合ＣＢＮ砥石を用いてディスクの
エッジの仕上げの研削を行なうことを開示しており、さ
らに、樹脂結合ＣＢＮ研削砥石の溝をその場で形成およ
び再形成してディスクのエッジのまわりを正しい形状に
なるように研削するための技術について述べている。

【０００３】この研削盤はまた、研削されたディスクの
エッジのまわりに予め定められた大きさのノッチを研削
により形成するための、直径の小さな研削ピンも含む。

【０００４】ノッチ研削のために樹脂結合ＣＢＮ砥石を
使用することの欠点は、こうした砥石が金属結合ＣＢＮ
またはダイヤモンド砥石と比較すると相対的に軟らか
く、そのために摩耗が早くなり頻繁に交換する必要が生
じることである。したがって、こうした砥石は上記のよ
うな用途には使用されない傾向があるが、こうした砥石
を使用すると加工物に対する損傷が少なくなるというこ
とは、この砥石をノッチ研削のために使用できるのであ
れば望ましいということを意味している。

【０００５】本発明の目的は、交換が必要となるまでに
使用できる期間のより長いノッチ研削のための形成可能
な研削ピン、このようなノッチ研削ピンを形成する方
法、およびノッチ研削の改良された方法を提供すること
である。

【０００６】

【発明の概要】本発明のある局面に従うと、ノッチ研削
のための研削ピンは、形成するノッチのエッジにとって
望ましい輪郭に対応する輪郭を有する溝が形成された形
成可能な研削材料の円筒形領域を含み、円筒形領域の軸
方向の大きさにより、第１の溝およびその他の溝各々が
摩耗して再形成不能および再使用不能となった際に、さ
らなる溝を続いて形成できるようになっている。

【０００７】本発明はこのようにして、ノッチ研削のた
めに複数の溝を連続的に機械加工することを可能にする
軸方向の幅を有するノッチ研削ピンまたは砥石を提供す
る。

【０００８】本発明の利点は、形成可能なピンを研削盤
のスピンドルに取付け、まず形成し、必要に応じてその
場で再形成することによって得られる。

【０００９】望ましくは、形成可能な材料は、樹脂また
はガラス質材料を用いて結合される研削グリッドのよう
な、樹脂結合材料またはガラス質結合材料を含む。

【００１０】好ましくは、研削盤はＣＮＣ研削盤であ
る。幅の広い（円筒形の）ピンを用いかつ溝をその場で
形成および再形成することにより、ピンを交換しなけれ
ばならなくなるまでにより多くの研削作業を行なうこと
ができる。したがって、ピンの円筒形の表面のまわりに
形成された各溝を再形成してノッチを正確に研削加工す
ることができなくなった後に、ピンの幅にわたって軸方
向に間隔を設けた場所にさらなる溝を形成して、ピンの
耐用年数を延ばし、（非常に長い研削盤の動作不能時間
を含めて）ピンの交換のためのより複雑な作業が必要に
なる回数を減少させることができる。

【００１１】円筒形領域の長さは典型的には１０ｍｍ、
好ましくは６ｍｍのオーダであり、全体の直径は典型的
には４ｍｍである。

【００１２】本発明に従うノッチ研削の方法では、第１
の溝を、同じ研削盤に取付けられた溝形成研削砥石を用
いて形成可能研削材料の円筒形領域のまわりに形成し、
研削により１つ以上のノッチを形成した後または必要に
応じて、ノッチ形成溝を、溝を正確に再形成することが
できなくなるまで、同じまたは別の形成砥石を用いて再
形成し、その後、第１の溝に隣接するように円筒形の表
面に同じ態様で次の溝を形成して、ノッチ研削プロセス
を続行できるようにする。

【００１３】本発明の好ましい実施例では、研削ピンの
円筒形領域は、形成可能研削材料領域と金属結合研削材
料領域とを含んでもよく、金属結合領域にはノッチを粗
く研削加工するための溝が設けられ、形成可能研削材料
領域にはピンの金属結合領域の溝を用いて先に形成され
たノッチの仕上げの研削を行なうことができるようにす
る溝が形成され、形成可能研削材料領域の軸方向の大き
さは、各溝が使用できなくなった際にさらなる溝を形成
できるようにするのに十分である。

【００１４】さらなる局面に従うと、本発明はまた、ワ
ークスピンドルと、上記のようにして取付けられワーク
スピンドルが支える加工物のエッジ領域と係合可能な直
径の小さなノッチ形成研削ピンを備える研削スピンドル
と、ノッチ研削ピンと係合したときに必要に応じてその
周りにノッチ形成溝を形成する、スピンドルに取付けら
れスピンドルにより回転することができる形成砥石とを
含む。

【００１５】好ましくは、ノッチ研削ピンは形成可能研
削材料から形成されるが、最初に金属により大まかな研
削を行なった後、形成可能領域を用いてノッチの仕上げ
研削を行なうことができるように、ノッチ研削溝が形成
された金属結合研削材料の第１の領域を含んでもよい。

【００１６】形成砥石は加工物と同じスピンドルに取付
けられていてもよく、ノッチ形成ピンを必要に応じて移
動させて形成砥石または加工物のエッジと係合させる。

【００１７】研削盤において（その場で）形成された形
成可能なノッチ研削ピンによりノッチの仕上がりが向上
し、ノッチのまわりの表面下の損傷が減少する。

【００１８】好ましくは、研削材料は樹脂結合ダイヤモ
ンド、樹脂結合ＣＢＮ、またはガラス質結合材料であ
る。

【００１９】本発明はまた、ディスク形状の加工物に関
し、そのエッジのまわりには、研削盤のワークスピンド
ルにおいて回転するために取付けられた形成砥石により
研削盤でその場で形成された研削溝を有する形成可能研
削ピンをなくとも一部使用して、内側のエッジの輪郭が
形成された少なくとも１つのノッチが設けられている。

【００２０】以下では、添付の図面を参照し例示として
本発明について説明する。

【００２１】

【発明の説明】図１、２および３は、シリコンまたは同
様の材料の円形のディスク（ウェハ）のノッチ研削のた
めの研削盤ステーション全体の一部を絵画的に示したも
のである。

【００２２】図１から３に示した研削盤は、制御キャビ
ネット１０を含み、ここから、３つの振動吸収脚に支え
られた浮動プラットホーム１４を支える研削盤ベッド１
２が延在しており、この３つの脚のうち１つは図１では
１６として示され、第２の部分１８はベース領域２２の
前の中央部に取付けられ図１では破線で示されており、
第３の部分は図３で２０として示されている。

【００２３】プラットホーム１４はワークヘッド２４を
支える一体化された支持構造またはベース２２を含み、
ワークヘッド２４は、ベース２２の上面に取付けられた
案内面２６に沿い軸方向に滑動可能であり、かつスピン
ドルドライブモータ２８と、研削するウェハを支えるた
めの真空チャック３０とを含む。

【００２４】エッジ研削は、図２では３６で示されたウ
ェハ加工物のエッジと係合するための３４といった多数
の環状の溝を含む研削砥石３２により行なわれる。

【００２５】軸受アセンブリ３８に設けられた研削砥石
スピンドル（図示せず）は、電気モータ４０によって回
転させる。

【００２６】アイテム３８および４０は、包括的に４２
で示されるサポートで支えられ、サポートは剛性補強プ
レート４４の片側においてプラットホーム１４の中心線
近くに取付けられており、プレート４４はフランジを通
しベースに沿いプラットホーム１４にボルト締めされ上
側の端部は別のフランジ４６を通して研削盤ベース２２
に固定される。プレート４４の役割は、ベース２２に関
するプラットホーム１４の剛性を高め、さもなければ導
入されるかもしれない横振動に抵抗することである。

【００２７】プレート４４の反対側において等距離にあ
るのは第２のサポート４８であり、サポート４８は案内
面５０を支え、案内面５０の上には、一方の端部でノッ
チ研削ピン５３を備えるノッチ研削スピンドル５７を備
え、かつこれに関連するスピンドルモータ５５を保持す
る第２のスピンドルドライブ５２が取付けられる。

【００２８】ドライブユニット５４（図２参照）によっ
てスピンドルドライブ５２は軸方向に移動する。スピン
ドルドライブ５２を環状のディスクの内径を研削するの
に使用することも可能である。

【００２９】ワークヘッドエッジ研削およびノッチ研削
スピンドルは、空気軸受において取付けられ、ワークヘ
ッドスピンドルの速度の範囲は一般に分速２から１００
０回転であり、エッジ研削スピンドルの速度範囲は一般
に分速６０００回転までであり、ノッチ研削スピンドル
５３の速度は一般に分速７０，０００回転までである。

【００３０】ワークヘッドスピンドルにはチャック３０
の後方に、図２の５６および５８ではっきりと見えてい
る形成砥石が取付けられる。図２の矢印６０の方向にワ
ークヘッド２４を導くことにより、加工物ディスク３６
を研削砥石３２の３４といったスロットの１つと係合さ
せることができ、矢印６０の方向にさらに動かすことに
より、ディスク３６は研削砥石アセンブリの端の面６２
を通過し形成砥石５６または５８が研削砥石３２の適切
な溝と係合する。

【００３１】所要の研削砥石またはノッチグラインダの
横方向の動きは、サポート構造４２または４８をプラッ
トホーム１４に関して適切に傾けることによって可能に
なる。このために、構造４２および４８は双方旋回する
ようにプラットホーム１４の中央線近くに取付けられ、
２つのストップ６４および６６それぞれが（図参照）過
剰に外向きに動くことを防止する。

【００３２】旋回は、プラットホーム１４の中央線近く
の２つの整列する軸を中心とした旋回運動を行なわせる
フレクシャ（以下で説明する）により与えられ、構造４
２は矢印６８で示すような弧を描くことができ、構造４
８は参照番号７０で示すような弧を描くことができる。

【００３３】旋回運動を行なわせるための駆動手段につ
いては後続の図面を参照して説明する。

【００３４】ベース２２には透明なポリカーボネートの
直線で囲まれたハウジング７２が取付けられ、このハウ
ジングを通して研削砥石スピンドルが突き出している。
ハウジング７２の面の大きくほぼ楕円の開口部７４によ
り、ワークヘッド２４に取付けられた同様の形状の囲い
７６は、上記のように矢印６０の方向にワークヘッドを
適切に前進運動させたときに開口部７４に入りこの開口
部を密封する。

【００３５】囲い７６の周りの（またその代わりとして
開口部７４の内側の縁の周りの）膨張式リングシール７
８は、囲い７６と開口部７４との間に液状の密封をもた
らす。

【００３６】ハウジング７２は、ベース２２に関し滑動
可能であり、ベローズシール８０および８２がスピンド
ルドライブ３８および５２間に設けられるので、囲い７
６と開口部７４との間が封止された後、ハウジング７２
は実際ワークヘッドアセンブリ２４と共に軸方向に移動
する。ベローズの後方には十分な隙間を設けてハウジン
グ７２が矢印６０の方向において続けて移動できるよう
にして、研削砥石に溝が形成されるようにする。反対方
向の動きもまたベローズ８０および８２によって処理さ
れるので、閉じられたハウジング７２はまたワークヘッ
ド２４が矢印６０と反対方向に動く際にワークヘッドと
共に動いて、ディスク３６のエッジが３４のような研削
溝の１つと係合する。

【００３７】ノズル８４および８６を通して加工物に冷
却液を噴霧し、必要なときに形成砥石に同様の液を噴霧
するために同様のノズルを設ける。インタロックを設け
て、ハウジング７２が囲い７６によって閉じられかつ封
止されていない限り冷却液が噴射されないようにする。

【００３８】研削動作の終了後かつ液体で最終的な洗浄
を行なった後、ハウジング７２を、エッジシール７８を
収縮させワークヘッド２４を矢印６０と反対方向に図２
に示した位置に向けて引き込めることにより開放でき
る。次に仕上げられた加工物３６を取外して新たな加工
物を設置することができる。砥石形成／目直し 始めに、加工物を取付ける前に砥石形成を行なうことが
できる。この場合、最初に３６といった加工物をチャッ
ク３０に取付けずにワークヘッド２４および囲い７６を
適切に移動させてハウジング７２を閉じる。砥石形成
は、溝３４といった各溝が５６または５８といった適切
な形成砥石と係合するように、ワークヘッド２４を軸方
向に適切に動かしかつサポート４２を適切に横方向に動
かすことによって行なわれる。砥石形成動作中には冷却
液が与えられる。

【００３９】最初の砥石形成の後、上記のように封止７
８を解除することによりアセンブリを分離させることが
できる。加工物３６を取付けた後、アセンブリを再び閉
じて上記のように研削を行なう。

【００４０】一般的には、ある加工物を取除いた後かつ
次の加工物を設置する前の、研削盤の動作不能時間中に
溝の再形成を行なう。しかしながら、加工物３６のエッ
ジの輪郭検査がワークヘッド上でその場で行なわれる研
削盤の開発に当たっては、加工物を適所に設けたまま再
形成を行なうことが好都合であろう。ノッチ形成 加工物にノッチ形成を行なう場合は、サポート４２を横
方向に動かして砥石と加工物との係合を切離し、サポー
ト４８をその代わりに横方向に動かして加工物３６のエ
ッジがノッチ形成ピン５３と係合するようにする。ノッ
チ形成後、サポート４８を反対方向に移動させてこのピ
ンと加工物との係合を解除する。研磨加工 代替例の装置では、砥石スピンドルに溝付きの研削砥石
だけでなくに研磨砥石を取付けてもよく、加工物のスピ
ンドルを軸方向にシフトさせることにより、研磨砥石は
加工物３６のエッジと係合できる。

【００４１】ワークヘッド２４を案内面２６に沿いシフ
トさせるためのドライブは８８に設けられる。

【００４２】図３に示すように、排水管９０は液体をハ
ウジング７２から貯蔵タンク９２に運び、ポンプ（図示
せず）を設けてこのタンクからの液体を循環させる。タ
ンクにまたはタンクとポンプとの間のラインにフィルタ
を設けてもよい。

【００４３】制御ハウジング１０は、テレビディスプレ
イ９４およびキーボード９６を含み、手持ち型制御ユニ
ット９８が浮動リード線１００を介して接続プラグ１０
２に接続される。オペレータはユニット９８を取外して
ユニット９８を手に持って研削盤の方に歩いて行き、適
切なボタンを押すことによって研削盤を動作または停止
させることができる。ハウジング１０は、制御信号およ
び電力を研削盤のドライブに与えるため、かつ研削盤の
変換器、ならびにスイッチングおよびその他の位置／動
作／タッチなどの信号生成センサからの信号を受取るた
めのコンピュータに基づく制御システムを収容する。

【００４４】ワークヘッドが滑動する案内面２６に対し
ては、予圧が与えられ、ワークヘッドはサーボモータに
より駆動され、解像度の高い位置符合器を備えており、
軸運動補間中に円滑な運動をもたらす。

【００４５】前述のように必要に応じて構造４２または
４８を傾け、支えている研削素子が加工物３６のエッジ
と係合するようにすることによって、切込み研削ができ
る。この運動は事実上線形的ではなく弓型であるが、ハ
ウジング１０が収容する制御システムが生成する制御信
号によって対処できる。

【００４６】８４および８６のような噴出口を用いて研
削中に切削液を供給することができるが、上記またはそ
の他の噴出口を用いて、研削後ではあるがウェハがまだ
回転している間にウェハの突き出した縁に向けて洗浄液
を直接噴出させることができる。こうすることによっ
て、研削の削り屑が、ウェハをチャックから取外す際に
ウェハの裏面を落下することが防止される。研削工程 一般的には、エッジの研削は、プランジ研削粗削り動
作、およびタッチセンサが加工物ウェハとの接触を検出
するまで研削砥石を迅速に前進させることを含む第２の
プランジ研削仕上げサイクルを用いた、２段階の工程に
おいて行なわれる。接触した際の研削砥石の軸の位置を
用いて砥石の摩耗をモニタし、仕上げ切削サイクル毎に
取除かれる材料が確実に一定になるようにする。ワーク
ヘッドチャックに永久的に取付けられる金属結合ダイヤ
モンド形成砥石を用いることによって研削砥石の形状は
保たれる。再形成工程を完全に自動化させて、ｎ番目の
ウェハ毎に行なわれるようにプログラミングできる。ま
たは、研削が施されたエッジの輪郭が許容不能になった
とき毎に（ディスクエッジの輪郭の光学検査により判断
する）、または接触ポイントが砥石が過剰に摩耗してい
ることを示すときに行なうことができる。減衰 望ましくない振動および結果として生じる研削による損
傷を最小にするために、研削盤を構成する構造上の構成
要素を、ポリマコンクリートで少なくとも部分的に、特
にベース２２およびベッド１２の部分にかつ所望であれ
ばプラットホーム１４において充填する。サブアセンブリフレクシャの取付け 図４は、ヒンジ運動により砥石の切込みを行なうための
２つの構造４２および４８の取付方法を示す。図４に示
すように、２つの構造４２および４８の内側の端部は、
フレクシャ（ストリップヒンジと呼ばれることがある）
によりプラットホーム１４に接続され、フレクシャのう
ち１つは１０４で示される。２番目の対をなすフレクシ
ャは、研削盤ベース２２のより近くで構造４２および４
８の他方の端部に向けて設けられる。

【００４７】フレクシャ１０２および１０４により、構
造は１つの軸に関し傾斜することができるが、フレクシ
ャは、構造４２および４８に、その他の軸を中心とした
プラットホーム１４に関する如何なるその他の運動も容
易にはさせない。結果として、構造４２および４８のプ
ラットホーム１４に対する結合は、フレクシャのヒンジ
軸について以外のすべての方向において非常に強固であ
る。カムドライブ 図４は、研削盤の端部の側面図であるが縮尺は少し小さ
くしてある。他の図面と同様、この図面でも一部を切り
取って、構造４８に作用する包括的に１１４で示された
カムドライブメカニズムを明らかにしている。拘束ワッ
シャ１１２は、ドライブメカニズムの側部に示されてい
る。

【００４８】図４はまた、ユニット４８のベースにある
２つのフレクシャマウントを示し、外側のものは１０４
で示し、内側のものは１１８で示している。

【００４９】前述のように、各カムドライブ装置は、剛
性のハウジング１１０内で支えられており、後者は水平
方向の脚１２０と同様に図４でよりはっきりと見えてお
り、水平方向の脚１２０によりベース２２の端部から突
き出したプレートにボルト締めされている。

【００５０】図４ではまた、チャック１２２を駆動する
ためのモータ５５が示され、ここからノッチ研削スピン
ドル１２４が突き出している。モータ５５は図１につい
て先に説明したようにハウジング５２内で支えられてお
り、ハウジング５２は上記のように案内面５０に沿って
滑動する。

【００５１】図４は、ハウジング５２をケース７２の開
口部に封止されるように取付けるベローズシール８２を
示しており、ここからモータ５５およびピン５３を支え
るスピンドルが突き出している。

【００５２】次に、図１で示した形成可能研削ピンまた
は砥石５３について、図５、６および７と関連付けてよ
り詳細に説明する。

【００５３】図５に示した形成可能な円筒形の研削ピン
５３は、研削盤のスピンドル（図示せず）に取付けるた
めの直径の小さな円筒形の金属コア１３０および１３２
により支えられる。円筒形の研削ピン５３の直径はおよ
そ４ｍｍであり軸方向の大きさは６ｍｍであり、第１の
溝１４０がその場で形成砥石（図示せず）を用いて形成
される。ピン５３は円筒形であるため、図６に示すよう
に、各溝が摩耗し動作不能となった際に、研削材料領域
に一連の隣接する１４２および１４４といった溝を機械
加工することができる。

【００５４】このピンは、樹脂結合ダイヤモンド、樹脂
結合研削グリットまたはガラス質結合材料からなる。

【００５５】使用の際には、樹脂結合ダイヤモンド砥石
５３の作業溝を静止している半導体ディスク（図示せ
ず）のエッジと接触させて、ディスクエッジにおいてノ
ッチ研削を行なう。このために、ピン５３を３０，００
０ｒｐｍのオーダ以上の速度で回転させる。

【００５６】何回かのノッチ研削動作後（ならびに材料
および深さを考慮して可能な程度までの再形成後）、使
用中の溝（たとえば１４０）が摩耗すると、別の溝（た
とえば１４２）を樹脂に形成して、ピン５３を取外して
交換しなくともノッチ研削を続けて行なえるようにす
る。典型的には、ピン５３を交換するまでに合計３つま
たは４つの溝をピン５３に沿って形成することができ
る。円筒形のピンを用いることにより、いくつかの溝を
切込むことができるが、さらに多くの溝を切込むことが
できるように軸方向の長さを増大させると、ピンがしな
る危険性が増しひいてはノッチの研削中に生じるエラー
の危険性が増す。

【００５７】長く伸ばした樹脂結合またはガラス質結合
ピンを使用することにより、各溝が次々と摩耗する際に
一連の異なる溝をピンに形成することができ、こうして
ピン５３を交換しなければならない回数が減少する。各
溝が深くなりすぎてまたはコア材料１３０に突き抜ける
までには、各溝を２、３回再形成することができる。

【００５８】図示していないが、溝形成研削砥石を、ノ
ッチ研削が行なわれる加工物を支えるワークスピンドル
に取付けると都合がよいかもしれない。

【００５９】ピンをＣＮＣ研削盤で用いるときには、Ｃ
ＮＣ研削盤を自動的にプログラミングして、ノッチ研削
砥石の溝の底の直径を算出して補間による補償を行な
い、研削工程中のノッチを所望の形状となるようにする
ことができる。

【００６０】図７に示した本発明のさらなる実施例で
は、複合研削ピン１５０が設けられている。樹脂結合ダ
イヤモンド部１５２は、軸方向に隣接する金属結合ダイ
ヤモンド部１５４と一体化されているか単に接触してい
る。使用の際には、金属結合部１５４の溝１５６を用い
て各ノッチの大半を粗く研削し、樹脂結合ダイヤモンド
部１５２に形成された最新の溝を用いて２回目のパスで
仕上げの研削を行なう。

【００６１】好ましくは、金属結合部は、粗研削溝１５
６の交換または再形成が不要となるように、樹脂結合部
の予測される耐用年数よりも長く使用できるように設計
される。再形成が必要となれば、より丈夫な金属結合形
成砥石またはより好ましくはダイヤモンド形成砥石を用
いて、粗研削部の溝１５６を再形成する必要が生じるで
あろう。好ましくは、金属結合部の溝のこういった再形
成もまた、好ましくはワークスピンドルに取付けられ
る、適切に取付けられた形成砥石を用いて、研削盤でそ
の場で行なわれるものである。

【００６２】ＷＯ９７／４８５２２で述べられたような
ＣＮＣ研削盤を用いて、ノッチ研削ピンおよび溝形成砥
石を取付けてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、縮尺率は正確でないが、ユーザが通常
立つ側から見た、スピンドルに支えられた形成可能研削
ピンを取入れた研削盤の斜視図である。

【図２】図２は、縮尺率は正確でないが、ユーザが通常
立つ側からの、図１に示した研削盤の側面図であり、サ
ブアセンブリが示されている。

【図３】図３は、図１および２に示した研削盤の端面図
である。

【図４】図４は、研削盤のサブアセンブリの端部を拡大
しかつ一部は断面で示した側面図である。

【図５】図５は、形成可能ピンの斜視図である。

【図６】図６は、縮尺率は正確でないが、ノッチ研削の
ための第１の溝を備えた形成可能ピンの斜視図である。

【図７】図７は、縮尺率は正確でないが、形成可能材料
および金属結合材料を組合せた研削ピンの斜視図であ
る。

【符号の説明】

５３ 研削ピン １３０ 金属コア １４０ 第１の溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マシュー・ジェイムス・ボール イギリス、エム・ケイ・46 ５・イー・エ ヌ バッキンガムシャー、オルネイ、ファ ーン・ファーロング、18 (72)発明者 ダーモット・ロバート・フォークナー イギリス、エム・ケイ・46 ５・エイチ・ イー バッキンガムシャー、オルネイ、フ ォックスヒル、97 (72)発明者 ピーター・ボーガン・メイワー イギリス、ノース・ヨークシャー、スキッ プトン、エンブセイ、ミル・ホルム・ライ ズ、15 (72)発明者 ポール・マーティン・ハワード・モランツ イギリス、エム・ケイ・16 ８・イー・ア ール バッキンガムシャー、ニューポー ト・パグネル、ミル・ストリート、26

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノッチ研削のための研削ピンであって、
   研削ピンは、形成するノッチのエッジにとって望ましい
   輪郭に対応する輪郭を有する溝を形成した、形成可能な
   研削材料の円筒形領域を含み、円筒形領域は、第１の溝
   およびその他の溝各々が摩耗して再形成不能および再使
   用不能となった際にさらなる溝を続けて形成することが
   できるような軸方向の大きさを有する、研削ピン。
2. 【請求項２】 円筒形領域の長さは１０ｍｍである、請
   求項１に記載の研削ピン。
3. 【請求項３】 円筒形領域の長さは６ｍｍであり直径は
   ４ｍｍである、請求項１に記載の研削ピン。
4. 【請求項４】 形成可能な研削材料は樹脂またはガラス
   質材料で結合させた研削グリットを含む、請求項１から
   ３のいずれかに記載の研削ピン。
5. 【請求項５】 円筒形領域は形成可能研削材料領域およ
   び金属結合研削材料領域を含み、金属結合領域にはノッ
   チを粗く研削するための溝が設けられ、形成可能研削材
   料領域には砥石の金属結合領域の溝を用いて先に形成さ
   れたノッチの仕上げの研削を行なうことができるように
   する溝を形成し、形成可能研削材料領域の軸方向の大き
   さは、各溝が使用不能となった際にさらなる溝を形成す
   るのに十分である、請求項１から４のいずれかに記載の
   研削ピン。
6. 【請求項６】 ノッチ研削の方法であって、第１の溝を
   溝形成研削砥石を用いて、形成可能な研削材料の円筒形
   領域のまわりに形成し、その溝を用いて１つ以上のノッ
   チを形成する研削加工後、その溝を正確に再形成するこ
   とが不可能になるまで形成研削砥石を用いて再形成し、
   その後第１の溝の近くにおいて形成可能研削材料の円筒
   形領域に同じ態様で次の溝を形成し、ノッチ研削工程を
   続行できるようにする、ノッチ研削の方法。
7. 【請求項７】 研削盤であって、ワークスピンドルと、
   ワークスピンドルが支える加工物のエッジ領域と係合可
   能な、請求項１から５のいずれかに記載の直径の小さな
   ノッチ形成研削ピンが取付けられた研削スピンドルと、
   ノッチ研削ピンと係合したときにそのまわりに必要に応
   じてノッチ形成溝を形成する、スピンドルに取付けられ
   かつスピンドルによって回転することが可能な形成砥石
   とを含む、研削盤。
8. 【請求項８】 形成砥石は加工物と同じスピンドルに取
   付けられ、ノッチ形成ピンは必要に応じて移動して形成
   砥石または加工物のエッジと係合する、請求項７に記載
   の研削盤。
9. 【請求項９】 請求項１から５のいずれかに記載の研削
   ピンを含む研削盤。
10. 【請求項１０】 研削盤はＣＮＣ研削盤である、請求項
    ７から９のいずれかに記載の研削盤。
11. 【請求項１１】 少なくとも１つのノッチがエッジのま
    わりにあるディスク形状の加工物の製造における、請求
    項１から５のいずれかに記載の研削ピンの使用。