CN212553076U - 晶圆打磨机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种晶圆打磨机构。
背景技术
在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整。当晶圆的厚度较大时，现有的晶圆磨边机直接对晶圆的边缘进行磨边极易发生崩边、碎片现象，这是因为现有的晶圆磨边机的砂轮只能够沿晶圆的径向运动以靠近或远离晶圆，砂轮与晶圆的待加工圆周面的接触面积较大。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆打磨机构，以解决现有的晶圆磨边机对晶圆进行磨边时容易发生崩边、碎片现象。
基于此，本实用新型提供了一种晶圆打磨机构，所述晶圆打磨机构与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，所述打磨机通过所述第一驱动装置和第二驱动装置连接于所述基座，所述第一驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的轴向运动，所述第二驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的径向运动。
作为优选的，还包括滑台，所述滑台连接于所述基座，所述第一驱动装置包括设于所述滑台的第一导轨以及活动地配合连接于所述第一导轨的滑块，所述第一导轨沿所述加工主轴的轴向布置，所述打磨机连接于所述滑块。
作为优选的，所述第二驱动装置包括设于所述基座的第二导轨，所述第二导轨沿所述加工主轴的径向布置，所述滑台活动地配合连接于所述第二导轨。
作为优选的，所述第一驱动装置还包括转动连接于所述滑台的第一螺杆以及活动地配合连接于所述第一螺杆的第一螺母，所述第一螺杆平行于所述第一导轨，所述第一螺母连接于所述滑块。
作为优选的，所述第二驱动装置还包括转动连接于所述基座的第二螺杆以及活动地配合连接于所述第二螺杆的第二螺母，所述第二螺杆平行于所述第二导轨，所述第二螺母连接于所述滑台。
作为优选的，所述滑台包括转动相连的固定件和活动件，所述固定件连接于所述基座，所述第一导轨设于所述活动件。
作为优选的，还包括锁销，所述固定件上开设有第一固定孔，所述活动件上开设有与所述第一固定孔同轴设置的第二固定孔，所述锁销穿设于所述第一固定孔和第二固定孔。
作为优选的，所述锁销上套接有弹性件，所述弹性件的两端分别连接于所述活动件和锁销。
作为优选的，所述打磨机包括电动机以及连接于所述电动机的转轴的砂轮。
作为优选的，所述打磨机还包括与所述电动机相连接的防尘罩，所述防尘罩环绕所述砂轮设置，且所述防尘罩上设有用于将所述砂轮的侧边暴露于外界的缺口。
本实用新型的晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，打磨机通过第一驱动装置和第二驱动装置连接于基座，第一驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置用于驱动打磨机沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机在第一驱动装置的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。
附图说明
图1是本实用新型实施例的晶圆打磨机构的立体结构示意图之一；
图2是本实用新型实施例的晶圆打磨机构的立体结构示意图之二。
其中，1、基座；2、打磨机；21、砂轮；22、防尘罩；221、缺口；3、第一驱动装置；31、第一导轨；32、第一滑块；4、第二驱动装置；41、第二导轨；5、滑台；51、固定件；52、活动件；53、锁销。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
结合图1和图2所示，示意性地显示了本实用新型的晶圆打磨机构，晶圆打磨机构与加工主轴相邻设置。晶圆打磨机构包括基座1、打磨机2、第一驱动装置3和第二驱动装置4，打磨机2通过第一驱动装置3和第二驱动装置4连接于基座1，第一驱动装置3用于驱动打磨机2沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置4用于驱动打磨机2沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机2能够沿加工主轴的轴向和径向运动。
当打磨机2在第一驱动装置3的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机2可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机2和晶圆的接触面积是逐渐增大的，即当晶圆的厚度较大时，打磨机2在第一驱动装置3的驱动下自上而下对晶圆的外圆周面进行磨削(晶圆在加工时是水平布置的)，避免出现晶圆崩边、碎片现象。
具体地，晶圆打磨机构还包括滑台5，滑台5连接于基座1，第一驱动装置3包括设于滑台5的第一导轨31以及活动地配合连接于第一导轨31的滑块，第一导轨31沿加工主轴的轴向布置，打磨机2连接于滑块。进一步的，第一驱动装置3还包括转动连接于滑台5的第一螺杆以及活动地配合连接于第一螺杆的第一螺母，第一螺杆平行于第一导轨31，第一螺母连接于滑块，可采用现有的电动机驱动第一螺杆转动，第一螺杆迫使第一螺母带动滑块在第一导轨31上运动，进而驱动打磨机2沿加工主轴的轴向运动。
第二驱动装置4包括设于基座1的第二导轨41，第二导轨41沿加工主轴的径向布置，滑台5活动地配合连接于第二导轨41。进一步的，第二驱动装置4还包括转动连接于基座1的第二螺杆以及活动地配合连接于第二螺杆的第二螺母，第二螺杆平行于第二导轨41，第二螺母连接于滑台5。可采用现有的电动机驱动第二螺杆转动，第二螺杆迫使第二螺母带动滑台5在第二导轨41上运动，进而驱动打磨机2沿加工主轴的径向运动。
第一螺杆和第二螺杆使得打磨机2在加工主轴的轴向和径向上的运动更为精准。
为了便于工人对打磨机2进行维护(上述的维护包括但不仅限于更换打磨机2的砂轮21、对打磨机2的机轴进行检查)，滑台5包括转动相连的固定件51和活动件52，固定件51连接于基座1，第一导轨31设于活动件52，这使得打磨机2能够绕固定件51和活动件52之间的转轴翻转，而避免工人在打磨机2周边狭小的空间对打磨机2进行维护，而导致维护时间较长，维护效率低。其中，滑台5还包括锁销53，固定件51上开设有第一固定孔，活动件52上开设有与第一固定孔同轴设置的第二固定孔，锁销53穿设于第一固定孔和第二固定孔，以锁止活动件52和固定件51，避免在打磨晶圆时活动件52和固定件51相对转动，当然，为了进一步防止活动件52和固定件51在打磨晶圆时转动，还可通过螺栓等紧固件对活动件52和固定件51进行临时紧固。
优选的，锁销53上套接有弹性件，弹性件的两端分别连接于活动件52和锁销53，锁销53在弹性件的弹力作用下穿入第一固定孔和第二固定孔内。
打磨机2包括电动机以及连接于电动机的转轴的砂轮21，打磨机2还包括与电动机相连接的防尘罩22，防尘罩22环绕砂轮21设置，且防尘罩22上设有用于将砂轮21的侧边暴露于外界的缺口221，防尘罩22用于阻止砂轮21上的碎屑飞溅。
综上所述，本实用新型的晶圆打磨机构，与加工主轴相邻设置，包括基座1、打磨机2、第一驱动装置3和第二驱动装置4，打磨机2通过第一驱动装置3和第二驱动装置4连接于基座1，第一驱动装置3用于驱动打磨机2沿加工主轴的轴向运动，第二驱动装置4用于驱动打磨机2沿加工主轴的径向运动，上述两种驱动装置使得打磨机2能够沿加工主轴的轴向和径向运动，当打磨机2在第一驱动装置3的驱动下沿加工主轴的轴向运动时，打磨机2可在晶圆的轴向上相对晶圆运动，以对晶圆的外圆周面进行打磨，打磨机2和晶圆的接触面积是逐渐增大的，避免出现晶圆崩边、碎片现象。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种晶圆打磨机构，所述晶圆打磨机构与加工主轴相邻设置，其特征在于，包括基座、打磨机、第一驱动装置和第二驱动装置，所述打磨机通过所述第一驱动装置和第二驱动装置连接于所述基座，所述第一驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的轴向运动，所述第二驱动装置用于驱动所述打磨机沿所述加工主轴的径向运动。
2.根据权利要求1所述的晶圆打磨机构，其特征在于，还包括滑台，所述滑台连接于所述基座，所述第一驱动装置包括设于所述滑台的第一导轨以及活动地配合连接于所述第一导轨的滑块，所述第一导轨沿所述加工主轴的轴向布置，所述打磨机连接于所述滑块。
3.根据权利要求2所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述第二驱动装置包括设于所述基座的第二导轨，所述第二导轨沿所述加工主轴的径向布置，所述滑台活动地配合连接于所述第二导轨。
4.根据权利要求2所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述第一驱动装置还包括转动连接于所述滑台的第一螺杆以及活动地配合连接于所述第一螺杆的第一螺母，所述第一螺杆平行于所述第一导轨，所述第一螺母连接于所述滑块。
5.根据权利要求3所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述第二驱动装置还包括转动连接于所述基座的第二螺杆以及活动地配合连接于所述第二螺杆的第二螺母，所述第二螺杆平行于所述第二导轨，所述第二螺母连接于所述滑台。
6.根据权利要求2所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述滑台包括转动相连的固定件和活动件，所述固定件连接于所述基座，所述第一导轨设于所述活动件。
7.根据权利要求6所述的晶圆打磨机构，其特征在于，还包括锁销，所述固定件上开设有第一固定孔，所述活动件上开设有与所述第一固定孔同轴设置的第二固定孔，所述锁销穿设于所述第一固定孔和第二固定孔。
8.根据权利要求7所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述锁销上套接有弹性件，所述弹性件的两端分别连接于所述活动件和锁销。
9.根据权利要求1所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述打磨机包括电动机以及连接于所述电动机的转轴的砂轮。
10.根据权利要求9所述的晶圆打磨机构，其特征在于，所述打磨机还包括与所述电动机相连接的防尘罩，所述防尘罩环绕所述砂轮设置，且所述防尘罩上设有用于将所述砂轮的侧边暴露于外界的缺口。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN202020898946.5U Active CN212553076U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 晶圆打磨机构 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN212553076U (zh) |
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2020
- 2020-05-25 CN CN202020898946.5U patent/CN212553076U/zh active Active
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