TWI600499B - Hard brittle plate grinding device and processing precision measurement and correction method - Google Patents

Description

硬質脆性板的研磨裝置及其加工精度的量測與修正方法

本發明涉及一種研磨裝置，尤指一種對於移動終端的顯示面板中所使用的玻璃基板及其他硬質脆性板的周緣進行研磨加工的裝置，以及該裝置的加工精度的測量方法與根據該方法得到的測量值對加工誤差進行修正的方法。

關於研磨裝置及其加工精度的量測與修正方法的現有技術中，可參考的專利文獻說明如後：專利文獻1：日本發明專利公開案第2009-125876號公報；專利文獻2：日本發明專利公開案第2012-121100號公報；專利文獻3：日本發明專利公開案第2013-35089號公報。

在既有硬質脆性板的研磨裝置中，其包含有一可使砂輪相對於工件的相對位置以正交的兩個軸向(X-Y方向)移動地加工中心裝置(直角坐標系)、以及一可將保持工件的工作臺的旋轉角度與在該旋轉的半徑方向移動的砂輪的位置相對控制以進行加工的輪廓研磨裝置(極坐標系)。直角坐標系裝置適用於如電視機螢幕的顯示面板用的玻璃板的大型、矩形的硬質脆性板的加工上。另一方面，極坐標系裝置適用於在移動終端的顯示面板中所使用的玻璃板等小型的硬質脆性板的加工上，並且極坐標系裝 置相較於直角坐標系裝置具有加工形狀的自由度大及能夠使裝置小型化的特點。

由於硬質脆性板的研磨裝置無法通過抵靠於工作臺上的工件基準邊的突起處來進行定位的定位方法，因此，需要在控制器中設定修正值來進行加工，利用該修正值可於偏離正確位置的偏移位置處，將固定設置在工作臺上的工件加工成正確的形狀。

因此，在裝置內設置有照相機，每當將工件運送運送到研磨裝置並固定在工作臺上，用該照相機對工件在工作臺上的角度和定位標記進行拍攝，根據該影像檢測出該角度和定位標記相對於正確位置的偏移，並根據檢測到的偏移運算出工作臺的旋轉角度和砂輪位置的修正值，再以該修正值一邊修正控制器的指令值一邊進行加工。

另一方面，由於設備的長年使用的變化、熱變形、砂輪磨損等，導致工件的加工精度降低。為了防止長年使用導致的加工精度的降低，每當進行固定數量的工件加工後，就將被加工的工件取出，並量測工件尺寸，再根據該測量值運算出對於加工精度進行修正的修正值並輸入控制器，從而維持預期的加工精度。

也就是說，在硬質脆性板的研磨裝置中，是根據設備的熱變形和砂輪磨損所引起的加工精度降低進行修正的修正值(機械精度的修正值)、以及修正每一個工件在工作臺上的偏移的修正值(運送誤差的修正值)的兩種修正值，來對工作臺的旋轉角度和砂輪位置的指令值進行修正後再進行加工。

過去對於運送誤差的修正值是利用裝設在裝置內的照相機的影像檢測出運送誤差，自動地設定修正值，例如專利文獻3中所揭露的一種極坐標系的研磨裝置，其是在沿著工作臺半徑方向移動的運送臺上搭載一台照相機，利用該照相機自動地檢測工件在工作臺上的運送誤差。

另一方面，對於機械精度的修正則是於專利文獻1中揭露下述技術手段：在直角坐標系的研磨裝置中，使用為了檢測運送誤差而設置的照相機，對完成加工的工件的周緣位置和倒角寬度進行測量，並自動設定機械精度的修正值。此外，在專利文獻2中揭露了下述技術：利用照相機對完成加工的工件的加工形狀進行測量，從而測量出機械精度(在專利文獻2中，在旋轉主軸的上端安裝的工作臺的安裝誤差)並進行修正。

在如專利文獻1所示的直角坐標系的研磨裝置中，砂輪相對於工件在正交的兩個方向(X方向和Y方向)移動而進行與該方向的尺寸精度相關的加工，因此，藉由在運送砂輪沿著該方向移動的運送臺上所搭載的照相機來進行完成加工工件的測量，而能夠比較容易地進行機械精度的修正值的運算。特別是，在如專利文獻1所示，同時設置有可對工件兩對置邊加工的兩個砂輪，並且分別在各砂輪的運送臺上搭載照相機，再利用兩台照相機同時對完成加工的工件的兩對置邊進行拍攝，而對工件的加工尺寸(與加工邊成正交方向的跨距尺寸)進行測量，因此，能夠在較短時間進行完成加工的工件的測量，也能夠容易 地根據該測量值自動設定機械精度的修正值。

相對於此，在極坐標系的研磨裝置中，由於只設置1台照相機，且工件和砂輪的動作方向與對加工精度進行測量的方向不一致，因此，加工精度的測量非常複雜而且麻煩。即，如專利文獻2所示，不得不使用設置有特殊的檢測線的工件來取得多個部位的影像等，而難以在工件的連續加工中自動且短時間地對工件的加工精度進行測量。

因此，在極坐標系的研磨裝置中，透過下述方法設定機械精度的修正值：將完成加工的工件從研磨裝置取出後再以手工作業進行測量，透過手工作業輸入根據該測量值運算出的修正值。然而，以手工作業設定修正值存在下列問題：作業需要時間和熟練度、需要昂貴的測量儀器，以及在運算和輸入修正值時，存在產生計算錯誤和輸入錯誤的危險。

藉由本發明可解決上述的間題，即使在極坐標系的研磨裝置中，也能夠利用可檢測出工件運送誤差所設置的照相機，以少的動作、高效率地進行完成加工的工件的測量，以及基於該測量結果的修正值的設定，藉此，而能夠自動地修正熱變形和砂輪的磨損等因素所引起的長時間使用造成的加工精度降低。

在本發明的方法中，透過在工件的連續加工中預先設定時間，可驅動機械精度的測量單元55和修正單元57並執行步驟，在執行該步驟之後，工件的連續加工會持續進行。上述機械精度的測量單元55係使用設置於 裝置上的照相機4，對完成加工的工件1的外形尺寸和倒角寬度進行測量，機械精度的修正單元57基於該測量值運算出機械精度的修正值，並且自動設定控制器5中各軸的指令值的機械精度修正值。

關於上述機械精度的測量單元55，當一個工件的加工結束時，對於完成加工的工件1的對置邊中的一個邊11，取得接近其兩端的兩個部位P、Q的影像，對於對置邊中的另一條邊12，優選取得該邊上的多個部位A、B、C的影像，從而取得所述影像中的檢測點p、q以及a、b、c的坐標(例如以工作臺中心為原點的坐標)。

接著，從所述另一個邊12的部位A、B、C的影像取得的檢測點a、b、c的各點，朝向連接所述兩個部位P、Q的影像所取得的檢測點p、q的直線f延伸出的垂線g、h、i，運算出各垂線和所述直線相交的交點a’，b’、c’，以及該各點a、b、c之間的尺寸La、Lb、Lc，將運算出的尺寸與本來應具有的尺寸進行對比，藉由這些尺寸誤差求出加工誤差。

機械精度的修正單元57運算出修正值並設定在裝置的控制器5中，該修正值對機械精度的測量單元55所運算出的加工誤差進行修正。

在取得各部位的影像時，需要以照相機的光軸與該影像的取得位置一致的方式，對工作臺和砂輪的運送台進行定位，因此，能使取得的影像數量少且在短時間進行機械精度的檢測。在極坐標系的研磨裝置中，若選擇距離工作臺中心的相等距離的部位，則僅通過旋轉工作臺就 能夠將照相機移動到多個部位。因此，較佳的是上述的兩個部位P、Q和三個部位中的兩端的兩個部位B、C為距離工作臺中心的相等距離的部位。

再者，在極坐標系的研磨裝置中，當砂輪相對於工作臺中心的半徑方向的位置存在誤差時，便會使直線邊產生彎曲形狀的誤差。為了有效地檢測該誤差，較佳的是，於所述對置邊中的另一條邊12取得影像的多個部位中，以距離工作臺中心的距離與部位P、Q距工作臺中心的相等距離的兩個部位B、C，以及位於部位B、C兩者的中央的一個部位A為佳。

在對工件的周緣進行倒角加工之後，根據取得的各部位的影像測量出該部位的倒角寬度d，運算出針對倒角寬度的修正值並進行設定。在倒角寬度d的測量中，取得兩個點s、t和一個點u的坐標，所述兩個點s、t為取得的影像中的外周線的影像41，或倒角面16與硬質脆性板的表面15之間的棱線17的影像47上的具有預先設定的間隔的兩個點，所述一個點u為該影像中的另一條線的影像47或41上的一個點，接著，從所述一個點u朝向連接所述兩個點s、t的直線(在圖中與外周緣的影像41一致)延伸出垂線j，運算出該垂線相交於所述直線的交點u’與所述一個點u之間的尺寸d，再將運算出的尺寸與本來應具有的倒角寬度進行對比，根據他們的尺寸誤差求出加工誤差，運算出對該加工誤差進行修正的修正值，並設定在裝置的控制器5中。

用於實施上述方法的本發明的硬質脆性板的研 磨裝置，其包含有：一照相機4，其能夠對工作臺2上的工件1的周緣進行拍攝；一拍攝部位設定器51，其用於設定所述工件的對置邊中的一個邊的兩個部位的拍攝部位P、Q以及另一個邊的三個以上的多個拍攝部位、B、C；一坐標取得單元52，其取得利用照相機4拍攝的影像上的預先設定的檢測點p、q、a、b、c的坐標；一定時設定器53，其用於設定機械精度的測量時間；一尺寸設定器54，其用於設定多個部位的工件尺寸；以及一機械精度的測量單元55，其根據在拍攝部位設定器51設定的所述兩個部位P、Q和另外的多個部位A、B、C的照相機4的影像，取得各自的檢測點p、q、a、b、c的坐標，並求出從另外的多個部位的檢測點a、b、c朝向連接所述兩個部位的檢測點p、q的直線延伸出的垂線的長度La、Lb、Lc，並運算出與在尺寸設定器54中設定的所對應的尺寸的差。

較佳的是，本發明的硬質脆性板的研磨裝置進一步包含有：所述坐標取得單元52能夠利用照相機4拍攝的一個影像上取得預先設定的三個檢測點s、t、u的坐標，機械精度的測量單元55可求出從坐標取得單元52所取得的這三個檢測點中的檢測點u朝向連接兩個部位的檢測點s、t的直線的垂線的長度d，運算出求得的垂線的長度，並在所述尺寸設定器54中設定的所對應的尺寸的差。

較佳的是，本發明的硬質脆性板的研磨裝置進一步包含有：機械精度的修正單元57將機械精度的測量單元55所運算出的尺寸的差，利用預先記錄於控制器5的運算式或運算表，運算出加工動作的各軸θ、x的指令值 的修正值，並設定在控制器5中。

由上述可知，藉由本發明可自動地測量並修正利用硬質脆性板的研磨裝置進行加工之完成加工的工件的外形尺寸和倒角寬度，因此，不論是與作業者使用測量儀器進行測量的方法，或者是與專利文獻2所記載的方法相比，本發明可縮短測量時間，並且能夠自動地設定針對外形尺寸的誤差的修正值以及針對倒角寬度的修正值，由於測量所需要的時間短，因此，能夠在工件的連續加工中的必要的時間點進行測量和修正值的設定(更新)，而能夠實現高精度的連續加工。

再者，由於本發明可自動地運算和設定修正值，因此，能夠避免手動作業所導致的測量誤差和輸入錯誤。此外，本發明在以往加工誤差的自動測量困難的極坐標系研磨裝置中，能夠達到短時間高效地進行加工精度的測量及修正，並且能夠有效地測量並修正在極坐標系的研磨裝置中容易產生的加工誤差，而呈得到一具有可維持高加工精度並能實現連續加工的省空間的研磨裝置。

1‧‧‧完成加工的工件

2‧‧‧工作臺

3‧‧‧砂輪

4‧‧‧照相機

11‧‧‧對置邊

12‧‧‧對置邊

15‧‧‧硬質脆性板的表面

16‧‧‧倒角面

17‧‧‧棱線

41‧‧‧外周線的影像

47‧‧‧影像

A、B、C、P、Q‧‧‧影像

a、b、c、p、q‧‧‧檢測點

a’、b’、c’‧‧‧交點

d‧‧‧倒角寬度

g、h、i、j‧‧‧垂線

La、Lb、Lc‧‧‧測量尺寸

O‧‧‧中心

x‧‧‧移動量

n‧‧‧鉛直面

θ‧‧‧旋轉角度

圖1是本發明完成加工的工件的形狀誤差的測量部位說明圖。

圖2是本發明藉由倒角加工後的工件周緣影像對檢測點進行檢測的實施例的說明圖。

圖3是本發明硬質脆性板的倒角形狀的側視圖。

圖4是本發明極坐標系的研磨裝置中完成加工的工件的形 狀誤差的誇示表示的說明圖。

圖5是本發明極坐標系的研磨裝置的實施例的側視圖。

圖6是本發明極坐標系的研磨裝置中的工件與砂輪與照相機之間的位置關係的俯視圖。

圖7是本發明直角坐標系的研磨裝置中的工件與砂輪與照相機之間的位置關關係的俯視圖。

為能詳細瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實現，玆進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如後：本發明以輪廓研磨裝置為例，進行實施方式的說明。圖5為研磨裝置的一例圖。在圖中，工件軸28是鉛直方向的中空旋轉軸，在工件軸28的上端設置有工作臺2，被加工的工件(玻璃板)1以水準形態設置在工作臺2的上表面。藉由負壓通過工件軸28的中空孔傳送至工作臺2的上表面，而使工件1的下表面被真空吸附固定於工作臺2上。在工件軸28的下端連結有主軸電動機(伺服電動機)29，該主軸電動機29經伺服放大器而與控制器5連接，並根據控制器5的指令對工件軸28的旋轉角度θ進行控制。

在工件軸28的上方設置有橫向運送台21，該橫向運送台21能被沿著水準方向的橫向導向件(未圖示)引導自由地橫向移動，並且螺合於由橫向推動電動機(伺服電動機)23所驅動旋轉的橫向推動螺絲24。橫向推動電動機23與控制器5連結，橫向運送台21的移動位置x由 控制器5控制。

在橫向運送台21上設置有縱向運送台25，該縱向運送台25能被設置在橫向運送台21上的鉛直方向的導引件(未圖示)引導自由地移動，並且螺合於縱向推動電動機26所驅動旋轉的縱向推動螺絲27。在縱向運送台25上軸向支撐地設置有鉛直方向的砂輪軸31，在該砂輪軸的下端安裝有砂輪3。砂輪軸31的上端以同步皮帶33連動砂輪驅動電動機34。

工件軸28的軸心O和砂輪軸31的軸心是位於與橫向運送台21的移動方向平行的同一鉛直面n上。如圖6所示，在輪廓研磨裝置中，利用控制器5將橫向運送台21的移動量(=砂輪3的移動量)x與工件軸28的旋轉角度θ相關聯地進行控制，從而進行預期的平面形狀的周緣加工。

在橫向運送台21的固定位置上設置有照相機4，該照相機4用於擷取運送到工作臺2上的工件的影像。如圖6所示，該照相機4的光軸設置在通過所述鉛直面n的位置。

在極坐標系的研磨裝置中，利用控制器5將繞工作臺2中心O的旋轉角度θ與通過工作臺中心O的工作臺半徑方向的砂輪3的位置x相關聯地進行控制，從而進行工件1的周緣的加工。

在控制器5設置有：一拍攝部位設定器51、一坐標取得單元52、一定時設定器53、一尺寸設定器54、一機械精度的測量單元55、一運算修正值的運算式或運 算表56、以及一機械精度的修正單元57。

如圖1、圖5與圖7，在拍攝部位設定器51設定工件1的周緣的一個邊上的兩個部位P、Q以及另一個邊上的三個部位A、B、C。在定時設定器53上設定有進行機械精度測量的時間，例如：運轉經過時間和加工工件數量。在尺寸設定器54中記錄有精度測量單元55測量工件尺寸時所對應的部位的標準尺寸。

在連續加工中，當達到定時設定器53所設定的時間時，若工件仍處於加工中，則在該工件被加工後，透過工作臺2的旋轉和砂輪3沿著上述半徑方向的移動，使沿著該方向移動砂輪3的運送台所搭載的照相機4進行拍攝，其拍攝包含有完成加工的工件1的外周5個點p、q和a、b、c的影像P、Q和A、B、C，再根據該影像求得該各點的坐標(例如以工件中心為原點、以工件的長度方向和寬度方向為XY方向的直角坐標系中的坐標)。其中，點p、q和b、c是位於工件1上相對的兩個邊11、12上，距離工作臺中心O相等距離的點，點a則是點b、c的中央點。

利用照相機4拍攝影像求得該些點坐標的方法，例如圖2所示，其是利用將照相機的影像中心e設置在工件1被加工成正確的成品形狀時的上述各點的方式，來移動工作臺2與照相機4並擷取工件的影像，將在該些影像所顯示出的外周緣影像41與影像中心e所延伸出的垂線相交的交點e’作為量測對象的點p、q、a、b、c，將該點的坐標(對照相機的光軸坐標加上交點相對於光軸的偏移 量的坐標)作為各點的坐標即可。

藉此求出點p、q和點a、b、c的坐標，根據在控制器5記錄的運算式求出通過點p、q的直線f(圖4)的式子，求出從另一個邊的各點a、b、c向直線f延伸的垂線g、h、i與該直線f的交點a’、b’、c’的坐標，運算出對置邊中的各點a、b、c與所述交點a’、b’、c’之間的間隔La、Lb、Lc。然後，將這些間隔與其本來應具有的尺寸的差作為外周緣的加工形狀的誤差。該誤差透過預先記錄在控制器5的運算式或運算表56運算出對該誤差進行修正的修正值，並作為機械精度的修正值並設定在控制器5中。

又如專利文獻2所記載，在極坐標系的研磨裝置中，若機械精度或工件的運送精度存在誤差，則工件如在圖4中誇示地表示成被傾斜地壓潰的扇形形狀。在圖4中，變成曲率大的圓弧邊11、12的形狀主要受到砂輪的位置誤差的影響，變得傾斜的邊13、14的角度主要受到工作臺的旋轉角度的誤差的影響。由機械的熱變形和砂輪的磨損引起的誤差對砂輪相對於工作臺中心的位置產生影響，對工作臺的旋轉角度影響不大，因此，若使用上述的方法運算出的修正值來設定機械精度的修正值，則能夠基本修正由長時間使用的原因而造成的加工精度降低。

另外，由於完成加工的工件是被自動運送的工件，而有朝向工作臺運送的運送誤差，因此，對於擷取影像時照相機的定位和坐標的運算，即是對工件的運送誤差進行修正而進行的定位和運算。

在進行工件的周緣加工(用於形成周緣的尺寸精度的加工)和倒角加工時，如圖2與圖3所示，為了測量加工精度而擷取的各影像中，顯現出工件外周線的影像41與倒角面16與硬質脆性板表面15之間所形成的棱線17的影像47。因此，在該影像中兩條線中的其中一條作為外周線的影像41上，以預先確定的間隔取兩個點s、t，並求出連接該兩點的直線與從稜線的影像47上點u朝該直線延伸出的垂線j之間的交點u’，而能夠求得點u和該交點u’之間的間隔d作為倒角寬度的測量值，透過將該倒角寬度的測量值與要求的倒角寬度的值進行比較，能夠在進行周緣形狀的加工精度的測量的同時，也進行倒角寬度的加工精度的測量。另外，在圖2的例子中，從影像中心e朝向所述直線(與外周線的影像41一致的直線)延伸的垂線j與棱線的影像47之間取得交點u，點u’與上述的點e’為同一點。

另外，當邊11、12為直線邊時，藉由如上述所測量的跨距尺寸La、Lb、Lc與其本來的基準尺寸的差△La、△Lb、△Lc運算出修正值的運算式，能夠以幾何方式求得並記錄於控制器5，當邊11、12為圓弧等曲線邊的情況下，預先透過測試加工求出上述尺寸差與砂輪的直徑及位置精度之間的關係，並將與測量尺寸La、Lb、Lc的關係作為運算表，而預先記錄於控制器5中，由此求出修正值即可。

1‧‧‧完成加工的工件

2‧‧‧工作臺

3‧‧‧砂輪

4‧‧‧照相機

O‧‧‧中心

x‧‧‧移動量

n‧‧‧鉛直面

θ‧‧‧旋轉角度

Claims (10)

1. 一種硬質脆性板的研磨裝置的加工精度的測量方法，其中，所述硬質脆性板的研磨裝置在裝置內設置有能夠對工作臺上的工件的周緣進行拍攝的照相機，利用所述照相機，取得被設置在所述工作臺上的完成加工的工件的對置邊中的一個邊上的兩個部位的影像，以及另一個邊上的三個以上的多個部位的影像，並取得各影像中的檢測點的坐標，於所述兩個部位的影像所取得的檢測點相連接的直線上，透過所述多個部位的影像所取得的檢測點的各點朝向該直線延伸出的垂線相交而求出交點，運算出所述各點與所述各交點之間的尺寸，對運算出的尺寸與本來應具有的尺寸的尺寸差進行測量。
2. 如請求項1所述之硬質脆性板的研磨裝置的加工精度的測量方法，所述對置邊中的一個邊的兩個部位與另一個邊的所述多個部位為：位於距離所述工作臺的中心的相等距離的四個部位，以及位於所述另一個邊上的所述相等距離的兩個部位的中央的一個部位。
3. 如請求項1所述之硬質脆性板的研磨裝置的加工精度的測量方法，取得所述各部位的影像中的外周線的影像或者倒角面與硬質脆性板表面之間形成的棱線的影像上的預定間隔的兩個點，以及取得該影像中的另一條線的影像上的一個點的坐標；運算出從所述一個點朝向連接所述兩個點的直線延伸的垂線相交於所述直線的交點(u’)與所述一個點之間的尺寸，對運算出的尺寸與本來應具有的倒角寬度的尺寸差進行運算。
4. 如請求項1或2所述的硬質脆性板的研磨裝置的加工精度的測量方法，利用該量測方法測量加工精度，基於該測量值使用預先記錄於控制器的運算式或運算表運算出加工動作的各軸的指令值的修正值，並設定在控制器中，以在工件的連續加工中預先設定有時間的控制器中，修正硬質脆性板的研磨裝置的加工精度。
5. 一種硬質脆性板的研磨裝置的加工精度的修正方法，在工件的連續加工中的預先設定有時間的控制器中，利用請求項3所述的方法測量加工精度，基於該測量值使用預先記錄於控制器的運算式或運算表運算出加工動作的各軸的指令值的修正值，並設定在控制器中。
6. 一種硬質脆性板的研磨裝置，其包含有：一能夠對工作臺上的工件的周緣進行拍攝的照相機；一用於設定多個拍攝部位的拍攝部位設定器；以及一對利用該照相機拍攝的影像上的預先設定的檢測點的坐標進行檢測的坐標取得單元；一定時設定器；一用於設定多個部位的工件尺寸的尺寸設定器；以及一機械精度的測量單元；所述機械精度的測量單元的量測技術手段包含有：在定時設定器所設定的時間，於拍攝部位設定器所設定的工件的對置邊中的一個邊的兩個部位和另一個邊的三個以上的多個部位上，由所述照相機的影像取得的各檢測點的坐標，求出所述三個以上的多個部位的檢測點朝向連接所述兩個部位的檢測點的直線延伸的垂線的長度，並且 運算出求得的垂線的長度與在所述尺寸設定器中設定的所對應的尺寸的差。
7. 如請求項6所述的硬質脆性板的研磨裝置，在拍攝部位設定器中設定的所述兩個部位和另外的部位為：位於被加工的工件的對置邊中的一個邊和另一個邊上的距離所述工作臺的中心相等距離的4個部位，以及位於所述另一個邊上的所述相等距離的兩個部位的中央的一個部位。
8. 如請求項6或7所述的硬質脆性板的研磨裝置，所述硬質脆性板的研磨裝置具備有能夠對利用所述照相機拍攝的影像上的預先設定的三個檢測點的坐標進行檢測的所述坐標取得單元；所述機械精度的測量單元在所述設定時間，根據在拍攝部位設定器中所設定的部位上，由所述照相機的影像取得所述三個檢測點的坐標，求出從其中的一個檢測點朝向連接另外兩個部位的檢測點的直線延伸的垂線的長度，並且運算出求得的垂線的長度與在所述尺寸設定器中設定的所對應的尺寸的差。
9. 如請求項6或7所述的硬質脆性板的研磨裝置，所述硬質脆性板的研磨裝置具備機械精度的修正單元，所述機械精度的修正單元根據所述尺寸的差利用預先記錄於控制器的運算式或運算表，而運算出針對加工動作的各軸的指令值的修正值，並設定在所述控制器中。
10. 如請求項8所述的硬質脆性板的研磨裝置，所述硬質脆性板的研磨裝置具備機械精度的修正單元，所述機械精度的修正單元根據所述尺寸的差利用預先記錄於控制器 的運算式或運算表，而運算出針對加工動作的各軸的指令值的修正值，並設定在所述控制器中。