DE69711022T2

DE69711022T2 - Verfahren zum schleifen von kanten

Info

Publication number: DE69711022T2
Application number: DE69711022T
Authority: DE
Inventors: Robert Falkner; Martin Morantz; George Pierse; Andrew Stocker
Original assignee: Unova UK Ltd
Current assignee: Cinetic Landis Grinding Ltd
Priority date: 1996-06-15
Filing date: 1997-06-11
Publication date: 2002-07-18
Anticipated expiration: 2017-06-12
Also published as: EP1005956B1; EP0904893A3; MY132455A; EP0907461B1; AU3042197A; EP1005956A3; GB9712080D0; CN1222107A; CN1095726C; EP0906174B1; GB2316637B; EP1048403A3; EP0865342B1; CN1234317A; EP1000706A3; US6461228B2; WO1997048522A1; ES2211390T3; TW434117B; US6095897A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Schleifmaschinen zum Schleifen von Scheiben, wie zum Beispiel Silizium-Wafer zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Scheiben aus Glas oder anderen spröden Werkstoffen, auf denen zur Herstellung von Magnetspeicherplatten für Rechnerplattenlaufwerke und dergleichen Magnetwerkstoff abgeschieden werden soll.

Allgemeiner Stand der Technik

Beim Schleifen von Scheiben für einen der obigen Zwecke ist es wichtig, daß der Außendurchmesser der Scheibe auf einen hohen Genauigkeitsgrad und oftmals zu einer bestimmten Querschnittsform geschliffen wird. Bei einer Speicherplatte ist des weiteren eine kreisrunde Öffnung erforderlich, die auch wiederum einen genau gesteuerten Durchmesser und eine genau gesteuerte Kreisförmigkeit aufweisen muß. Bei Silizium-Wafern erfordert die Positionierung in nachfolgenden Herstellungsschritten die Ausbildung von Positionierelementen um den Umfang der Scheibe, wie zum Beispiel die Ausbildung von Abflachungen und Kerben.
Herkömmlicherweise waren Kantenschleifmaschinen mit linearen Gleitführungen für alle Achsen versehen. Unabhängig davon, ob Wälzlager oder Luftlager vorgesehen sind, versagen alle solche Achsen beim Schleifen von brüchigem Werkstoff, wie zum Beispiel den obigen Scheiben, da sie eine bedeutende Relativbewegung zwischen der Schleifscheibe und dem Teil gestatten. Dies ist darauf zurückzuführen, daß orthogonalen Bewegungen von Schleifscheiben Rechnung getragen werden muß, indem in der Regel eine lineare Achse über eine andere gestapelt wird. Diese Bewegung erfordert die Verwendung von verschleißfesten Schleifscheiben zur Minimierung eines Formverlustes durch Verschleiß, aber solche Scheiben erzeugen oftmals Oberflächen minderer Qualität mit Tiefenschäden.
Beim Schleifen von Silizium-Wafern sollte die Tiefe von beim Schleifen entstehenden unter der Oberfläche liegenden Schäden minimiert werden, da ein Wafer zur Verwendung in nachfolgenden Herstellungsschritten schadensfrei geliefert werden muß. Bei Auftreten von Tiefenschäden werden die nach dem Schleifen durchzuführenden Schritte des Säureätzens und Polierens erforderlich. Beide Prozesse sind teuer. Je geringer der Schaden, desto kürzer ist die erforderliche Polierzeit.
In der EP-A-0062318 wird eine Maschine zum Schleifen der Kante einer Platte unter Verwendung einer Schleifscheibe mit einer darin ausgebildeten Nut offenbart, die mit einem an der Maschine montierten Diamantzapfenwerkzeug profiliert oder neuprofiliert wird.

Kurzdarstellung der Erfindung

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine Schleifmaschine zum Schleifen der Kante eines scheibenförmigen Werkstücks, mit einer Schleifscheibe, einem Antriebsmittel dafür, einer Werkstückspindel und einem Antriebsmittel dafür und einer Formscheibe, wobei die Formscheibe an der Werkstückspindel angebracht ist, bereitgestellt.
Es kann auch ein Mittel zur Erfassung von Verschleiß einer Profiliernut in der Schleifscheibe zur Unterbrechung des Schleifvorgangs vorgesehen sein. Es kann ein darauf reagierendes Mittel zum erneuten Eingriff der Schleifscheibe und der Formscheibe zur Neuprofilierung des Schleifprofils im Rand der Schleifscheibe vorgesehen sein.
Die Schleifmaschine kann zusätzlich zum Schleifen eines Positionierbereichs um den Umfang eines scheibenförmigen Werkstücks herum, wie zum Beispiel einer Abflachung oder einer Kerbe, ausgeführt sein und kann eine weitere Schleifscheibenspindel umfassen, auf der eine weitere Schleifscheibe zur Ineingriffnahme eines scheibenförmigen Werkstücks zum Bilden einer Abflachung an dessen Umfangskante, wenn das Werkstück relativ dazu gedreht wird, montiert sein kann.
Als Alternative dazu kann die Schleifmaschine eine weitere Schleifscheibenspindel umfassen, auf der eine Schleifscheibe zur Ineingriffnahme des Umfangs eines ringförmigen Werkstückteils zum Einschleifen einer Kerbe darin angebracht sein kann.
Es kann ein optisches Prüfmittel so angebracht sein, daß es zur Vorderseite des Wafer-Werkstücks weist, wenn dies so angebracht ist, und es ist ein Mittel zur Weiterschaltung des Tellers und des Wafers vorgesehen, so daß an mehreren separaten Stellen Messungen durchgeführt und mit den von einem Bezugsteil oder einer Bezugsschablone abgeleiteten verglichen werden können.
Eine optische Prüfung der Abmessungen und des Profils der Kante eines Wafers beim Schleifen erfolgt vorzugsweise durch eine zur Kante weisende Prüfvorrichtung zur Prüfung ihres Profils während der Waferdrehung.
Des weiteren umfaßt die Erfindung eine Kantenschleifmaschine mit einer starren Plattform, auf der ein Werkstückspindelstock und eine Spindel für eine Schleifscheibe angeordnet sind, wobei die Schleifscheibenspindel wiederum an einer Baugruppe angebracht ist, die so montiert ist, daß sie deren Bewegung parallel zur Vorschubrichtung der Schleifscheibenspindel gestattet, um ein Kantenschleifen eines am Werkstückspindelstock angebrachten Werkstücks zu erreichen, aber deren Bewegung in andere Richtungen verhindert, wobei die Schleifscheibe um ihre Werkstück- Eingriffsfläche herum mit einer Nut ausgebildet ist, deren Querschnittsform das Gegenstück zu der um den Umfang auszubildenden Form ist, und wobei eine Formscheibe am Werkstückspindelstock angebracht ist, wodurch eine Relativbewegung zwischen der Schleifscheibe und der Formscheibe einen Eingriff der Schleifscheibe und der Formscheibe ermöglicht, ohne daß die Schleifscheibe von ihrer Spindel abmontiert wird.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Nunmehr wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beispielhaft beschrieben; es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische, nicht maßstäbliche Ansicht einer die Erfindung darstellenden Schleifmaschine mit Blickrichtung von der Position, die normalerweise von einer Bedienperson eingenommen wird;
Fig. 2 eine wieder nicht maßstäbliche Seitenansicht der in Fig. 1 gezeigten Maschine, wieder von der Seite, auf der normalerweise die Bedienperson steht;
Fig. 3 eine Endansicht der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Maschine;
Fig. 4 einen in etwas größerem Maßstab ausgeführten Querschnitt durch die über ein Biegegelenk angebrachten Baugruppen als Ansicht der Stirnseite von Fig. 3;
Fig. 5 eine Ansicht zweier der in Fig. 4 sichtbaren Biegegelenke in vergrößertem Maßstab;
Fig. 6 eine vergrößerte Querschnittsansicht durch das obere rechte Ende, die den Kurvenantrieb und das Tastmittel sowie die Federbelastung der Baugruppen zeigt;
Fig. 7 eine Seitenansicht des Baugruppenendes der in Fig. 2 gezeigten Maschine in vergrößertem Maßstab und teilweise als Schnitt;
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines Werkstücklade- und -entlademechanismus, der zum Anbringen an der rechten Seite des Endes der in Fig. 3 gezeigten Maschine ausgeführt ist, von der ein Teil in Fig. 8 zu sehen ist;
Fig. 9 eine entgegengesetzte perspektivische Ansicht der Teilhandhabungsvorrichtung von Fig. 8, die auch die Scheibenprüfvorrichtung und das rechte Ende der Maschine gemäß Fig. 2 zeigt;
Fig. 10 eine perspektivische Ansicht vom gegenüberliegenden Ende der in Fig. 9 gezeigten Scheibenprüfvorrichtung in vergrößertem Maßstab;
Fig. 11 eine Ansicht des Monitorbildschirms, der die Kerbe zeigt, wie sie von Kamera 234 gesehen wird;
Fig. 12 eine Ansicht des Monitorbildschirms, der eine Abflachung in einer Wafer-Kante zeigt, wie sie von Kamera 234 gesehen wird;
Fig. 13 eine Seitenansicht der Rückseite der Anordnung von Fig. 10, die den Antrieb zwischen dem Motor und der Unterdruckspannvorrichtung zeigt sowie darstellt, wo ein Dickenmeßfühler zur Ermittlung der Wafer-Dicke vor Übertragung des Wafers auf den Spindelstock angeordnet werden kann;
Fig. 14 eine Seitenansicht einer Mehrfachschleifscheibenanordnung, wie sie in der in Fig. 1 et seg. gezeigten Maschine verwendet werden kann;
Fig. 15 eine Seitenansicht einer Kerbschleifscheibe, wie sie in der Maschine eingesetzt werden kann;
Fig. 16 eine Seitenansicht einer Werkstück-Unterdruckspannvorrichtung- und Abrichtscheibenanordnung; und
Fig. 17 eine Seitenansicht einer Waschstation, die auch als Wafer-Zwischenlager dienen kann.

Ausführliche Beschreibung der Zeichnungen

In den Fig. 1, 2 und 3 wird bildlich ein Teil einer Gesamtmaschinenstation zum Kantenschleifen von ringförmigen Scheiben (Wafern) aus Silizium oder einem ähnlichen Werkstoff dargestellt. Des weiteren bilden Werkstückhandhabungs-, Werkstückprüf- und Werkstückzentriereinrichtungen einen Teil der Gesamtmaschine, werden aber anhand späterer Ansichten in den Zeichnungen beschrieben.
Die in den Fig. 1 bis 3 gezeigte Maschine umfaßt einen Steuerschrank 10, von dem aus sich ein Maschinenbett 12 erstreckt, das eine Schwimmplattform 14 trägt, die auf drei schwingungsdämpfenden Füßen gestützt wird, von denen einer bei 16 in Fig. 1 zu sehen ist, wobei der zweite Teil 18 mittig vor dem Basisbereich 22 angebracht ist und in Fig. 1 in gestrichelter Kontur gezeigt wird und der dritte in Fig. 3 bei 20 zu sehen ist.
Die Plattform 14 enthält eine integrale Stützkonstruktion oder Basis 22, die einen Spindelstock 24 trägt, der axial entlang einer an der Oberseite der Basis 22 angebrachten Gleitführung 26 verschiebbar ist und einen Spindelantriebsmotor 28 und eine Unterdruckspannvorrichtung 30 zum Tragen der zu schleifenden Wafer enthält.
Das Kantenschleifen erfolgt mittels einer Schleifscheibe 32, in der mehrere ringförmige Nuten wie zum Beispiel 34 zum Eingriff mit der Kante eines Wafer- Werkstücks, das in Fig. 2 mit 36 bezeichnet wird, ausgebildet sind.
Die in Lageranordnung 38 getragene (nicht gezeigte) Schleifscheibenspindel wird durch einen Elektromotor 40 gedreht.
Die Teile 38 und 40 werden auf einer allgemein mit 42 bezeichneten Stütze getragen, die nahe der Mittellinie der Plattform 14 auf einer Seite einer starren Verstärkungsplatte 99 angebracht ist, welche über Flansche mit der Plattform 14 entlang ihrer Basis verschraubt und mittels Schrauben an ihrem oberen Ende über einen anderen Flansch 46 an der Maschinenbasis 22 angebracht ist. Die Platte 99 soll die Steifigkeit der Plattform 14 bezüglich der Basis 22 erhöhen und ansonsten möglicherweise erzeugten Querschwingungen entgegenwirken.
Mit gleichem Abstand von und an der anderen Seite der Platte 99 befindet sich eine zweite Stütze 48, die eine Gleitführung 50 trägt, auf der ein zweiter Spindelantrieb 52 für eine Kerbschleifspindel angebracht ist. Die Axialbewegung des Spindelantriebs 52 wird von einer Antriebseinheit 54 (siehe Fig. 2) bereitgestellt. Der Spindelantrieb 52 kann auch zum Schleifen des Innendurchmessers einer ringförmigen Scheibe verwendet werden.
Der Werkstückspindelstock, die Kantenschleif- und die Kerbschleifspindel sind in Luftlagern angebracht, und der Werkstückspindelstock weist in der Regel einen Drehzahlbereich von 2 bis 1000 Umdrehungen pro Minute auf; die Kantenschleifspindel weist in der Regel einen Drehzahlbereich bis zu 6000 Umdrehungen pro Minute auf, und die Kerbschleifspindeldrehzahl reicht in der Regel bis zu 70.000 Umdrehungen pro Minute.
Am Werkstückspindelstock rückwärtig der Spannvorrichtung 30 sind Formscheiben angebracht, die am besten in Fig. 2 bei 56 und 58 zu sehen sind. Durch Weiterschalten des Spindelstocks 24 in Richtung von Pfeil 60 in Fig. 2 kann die Werkstückscheibe 36 mit einem der Schlitze, wie zum Beispiel 34, in der Schleifscheibe 32 in Eingriff gelangen, und durch weitere Bewegung in Richtung von Pfeil 60 kann sich die Scheibe 36 von der Stirnfläche 62 der Schleifscheibenanordnung entfernen und den Formscheiben 56 oder 58 einen Eingriff mit den geeigneten Nuten in der Schleifscheibe 32 gestatten.
Die erforderliche laterale Bewegung der Schleifscheibe oder des Kerbenschleifers wird durch angemessenes Kippen der Stützkonstruktionen 42 und 48 bezüglich der Plattform 14 erreicht. Dazu sind beide Konstruktionen 42 und 48 an der Plattform 14 nahe ihrer Mittellinie schwenkbar befestigt (wie in bezug auf spätere Figuren unten ausführlicher beschrieben), und zwei Anschläge 64 bzw. 66 (siehe Fig. 3) verhindern eine übermäßige Auswärtsbewegung.
Das Schwenken wird (wie unten beschrieben) durch Biegegelenke gewährleistet, die einer Schwenkbewegung um zwei parallele Achsen nahe der Mittellinie der Plattform 14 Rechnung tragen, so daß die Konstruktion 42 einen kleinen Bogen, wie durch Pfeil 68 angedeutet, und die Konstruktion 48 einen Bogen, wie durch die Bezugszahl 70 angedeutet, beschreiben kann.
Das Antriebsmittel zur Erzielung der Schwenkbewegung wird unter Bezugnahme auf spätere Figuren beschrieben.
An der Basis 22 ist ein geradliniges Gehäuse 72 aus durchsichtigem Polycarbonat befestigt, durch das die Schleifscheibenspindel ragt. Eine große, allgemein ovale Öffnung 74 in der Vorderseite des Gehäuses 72 gestattet, daß ein am Spindelstock 24 angebrachter, ähnlich geformter Verschluß 76 bei geeigneter Vorwärtsbewegung des Spindelstocks 24 in Richtung von Pfeil 60, wie oben erwähnt, eintritt und die Öffnung 74 abdichtet.
Eine aufblasbare Ringdichtung 78 um den Verschluß 76 (oder als Alternative um die innere Lippe der Öffnung 74 herum) sorgt für eine fluiddichte Dichtung zwischen dem Verschluß 76 und der Öffnung 74.
Das Gehäuse 72 ist bezüglich der Basis 22 verschiebbar, und zwischen den Spindelantrieben 38 und 52 sind Balgdichtungen 80 und 82 vorgesehen, so daß sich das Gehäuse 72 nach Herstellung der Dichtung zwischen dem Verschluß 76 und der Öffnung 74 tatsächlich axial mit der Spindelstockanordnung 24 bewegt. Zum rückwärtigen Teil des Balgs ist ein ausreichender Abstand vorgesehen, damit sich das Gehäuse 72 weiter in Richtung von Pfeil 60 bewegen kann, um die Ausbildung der Nuten in der Schleifscheibe zu gestatten. Einer Bewegung in entgegengesetzter Richtung wird auch von den Bälgen 80 und 82 Rechnung getragen, so daß das geschlossene Gehäuse 72 auch dem Spindelstock 24 folgen kann, während dieser sich in der entgegengesetzten Richtung von Pfeil 60 bewegt, damit die Kante der Scheibe 36 von einer der Schleifnuten, wie zum Beispiel 34, in Eingriff genommen werden kann.
Ein Kühlfluid wird durch Düsen 84 und 86 auf das Werkstück gesprüht, und es sind ähnliche Düsen zum Sprühen eines ähnlichen Fluids auf die Formscheiben vorgesehen, wenn dies erforderlich ist. Eine Verriegelung verhindert das Herausspritzen von Kühlfluid, wenn das Gehäuse 72 nicht geschlossen und durch den Verschluß 76 abgedichtet ist.
Nach Beendigung eines Schleifvorgangs und nach der letzten Spülung mit Fluid kann das Gehäuse 72 durch Entleerung der Randdichtung 78 und Zurückziehen des Spindelstocks 24 in einer dem Pfeil 60 entgegengesetzten Richtung in die in Fig. 2 gezeigte Position geöffnet werden. Dann kann das fertigbearbeitete Werkstück 36 abmontiert und ein neues Werkstück installiert werden.

Schleifscheibenprofilierung/-abrichtung

Die Schleifscheibenprofilierung kann zu Anfang vor dem Montieren irgendeines Werkstücks erfolgen, wobei dann das Gehäuse 72 durch eine geeignete Bewegung des Spindelstocks 24 und des Verschlusses 76 geschlossen wird, ohne daß zuerst ein Werkstück, wie zum Beispiel 36, an der Spannvorrichtung 30 angebracht wird. Die Schleifscheibenprofilierung erfolgt durch eine geeignete axiale Bewegung des Spindelstocks 24 und eine laterale Bewegung der Stütze 42, so daß jede der Nuten, wie zum Beispiel die Nut 34, wiederum von der geeigneten Formscheibe, wie zum Beispiel 56 oder 58, in Eingriff genommen wird. Während des Schleifscheibenprofiliervorgangs wird Kühlfluid zugeführt.
Nach der anfänglichen Schleifscheibenprofilierung kann die Anordnung durch Brechen der Dichtung 78, wie oben erwähnt, getrennt werden. Nach der Montage eines Werkstücks 36 kann die Anordnung wieder geschlossen werden und das Schleifen erfolgen, wie oben beschrieben.
In der Regel erfolgt eine Neuprofilierung der Nut während Maschinenstillstandszeit nach Entfernen eines Werkstücks und vor Installierung eines nachfolgenden Werkstücks, jedoch kann es bei einer Weiterentwicklung der Maschine, bei der eine Kantenprofilprüfung des Werkstücks 36 in situ am Spindelstock erfolgt, von Vorteil sein, die Neuprofilierung mit angebrachtem Werkstück zu gestatten.

Kerben

Soll ein Werkstück gekerbt werden, wird die Stütze 42 lateral bewegt, um die Schleifscheibe aus dem Werkstück auszurücken, und stattdessen wird die Stütze 48 lateral bewegt, um die Kante des Werkstücks 36 durch die (nicht gezeigte) Kerbspindel in Eingriff zu nehmen. Nach dem Kerben wird die Stütze 48 in entgegengesetzter Richtung bewegt, um die Spindel aus dem Werkstück auszurücken.

Polieren

Bei einer alternativen Anordnung kann neben den genuteten Schleifscheiben eine Polierscheibe an der Schleifscheibenspindel angebracht sein, und durch axiale Verschiebung der Werkstückspindel kann die Polierscheibe mit der Kante des Werkstücks 36 in Eingriff gebracht werden.
Bei 88 ist ein Antrieb zur Verschiebung des Spindelstocks 24 entlang der Gleitführung 26 vorgesehen.
Wie in Fig. 3 gezeigt, leitet ein Ablaßrohr 90 Fluid aus dem Gehäuse 72 zu einem Speichertank 92, und zur Rückführung des Fluids aus dem Tank ist eine (nicht gezeigte) Pumpe vorgesehen. Im Tank oder in der Leitung zwischen dem Tank und der Pumpe kann ein Filter vorgesehen sein.
Das Steuergehäuse 10 enthält eine Fernsehanzeige 94 und eine Tastatur 96, und eine Hand-Steuereinheit 98 ist über eine Anschlußleitung 100 mit einem Verbindungsstecker 102 verbunden. Eine Bedienperson kann die Einheit 98 abnehmen, sie in der Hand festhalten und zur Maschine gehen und durch Drücken entsprechender Tasten den Betrieb der Maschine einleiten oder anhalten. Im Gehäuse 10 ist ein rechnergestütztes Steuersystem zur Zuführung von Steuersignalen und Strom zu den Antrieben an der Maschine und zum Empfang von Signalen von Wandlern, Schalt- und anderen Positions-/Betriebs- /Berührungssignale usw. erzeugenden Sensoren an der Maschine angebracht.
Eine Rechnertastatur und -anzeige können zum Eingeben von Daten zur anfänglichen Einrichtung der Maschinenfunktionen und zur Bestimmung der Spindeldrehzahlen, Vorschubraten, des Hubs und der Abfolge von Ereignissen verwendet werden.
Da möglicherweise Reinraum-Bedingungen erforderlich sind, kann die gesamte Maschine, außer der Ecke der Steuereinheit, die den Rechnerbildschirm und die Rechnertastatur enthält, in einer externen Ummantelung untergebracht sein. Die externe Ummantelung ist in den Zeichnungen nicht gezeigt.
Die Gleitführung 26, auf der der Spindelstock gleitet, ist vorgespannt, und der Spindelstock wird durch Servomotoren angetrieben und ist mit einem hochauflösenden Weggeber versehen, damit bei Achsenbewegungsinterpolation eine fließende Bewegung gewährleistet wird.
Schleifzustellung wird, wie oben beschrieben, durch Kippen der Konstruktionen 42 oder 48 nach Bedarf zum Ineingriffbringen des darauf getragenen Schleifelements mit der Kante des Werkstücks 36 erreicht. Obgleich die Bewegung nicht genau linear, sondern bogenförmig ist, kann dem durch die von dem im Gehäuse 10 untergebrachten Steuersystem erzeugten Steuersignale Rechnung getragen werden.
Obgleich mit den Strahldüsen, wie zum Beispiel 84 und 86, beim Schleifen Schneidfluid zugeführt werden kann, können sie oder andere Strahldüsen dazu verwendet werden, Strähle von Reinigungsfluid auf die überhängende Lippe des Wafers zu leiten, während er noch gedreht wird, aber nach dem Schleifen. Dadurch wird verhindert, daß Schleifschlamm an der Rückseite des Wafers herunterläuft, wenn er aus der Spannvorrichtung genommen wird.

Schleifvorgang

In der Regel werden Kanten in einem zweistufigen Prozeß unter Verwendung eines Einstechschleif-Schruppvorgangs und eines zweiten Einstechschleif-Schlichtzyklusses geschliffen, der einen schnellen Vorschub der Schleifscheibe, bis ein Berührungssensor Kontakt mit dem Werkstück-Wafer erfaßt, beinhaltet. Die Position der Schleifscheibenachse bei Aufsetzen wird zur Überwachung der Schleifscheibenabnutzung und zur Gewährleistung, daß das pro Schlichtschnittzyklus entfernte Material konstant gehalten wird, verwendet. Schleifscheibenprofilierungen werden durch Verwendung von metalgebundenen DiamantFormscheiben aufrechterhalten, die an der Spindelstockspannvorrichtung dauerhaft angebracht sind. Der Neuprofilierungsprozeß kann vollautomatisch oder so programmiert sein, daß er nach jedem n-ten Wafer, oder wann immer das geschliffene Kantenprofil inakzeptabel wird (wie durch optische Überprüfung des Scheibenkantenprofils bestimmt) oder wenn der Aufsetzpunkt einen übermäßigen Schleifscheibenverschleiß anzeigt, erfolgen.

Dämpfung

Zur Reduzierung unerwünschter Vibrationen und sich daraus ergebender Schleifschäden auf ein Minimum sind die Bauteile, aus denen die Schleifmaschine besteht, insbesondere Abschnitte der Basis 22 und das Bett 12 sowie gegebenenfalls auch die Plattform 14 zumindest teilweise mit Polymerbeton gefüllt.

Anbringen der Baugruppen-Biegegelenke

Die Fig. 4 und 5 zeigen, wie die beiden Konstruktionen 42 und 48 zur Ausführung einer Schwenkbewegung, um Scheibenzustellung zu gestatten, angebracht sind. Wie in Fig. 4 gezeigt, sind die innen liegenden Ränder der beiden Konstruktionen 42 und 48 mittels Biegegelenken (die manchmal als Streifenscharniere bezeichnet werden) mit der Plattform 14 verbunden, wobei zwei von den Biegegelenken bei 102 und 104 gezeigt werden. Ein mit den beiden in Fig. 4 gezeigten in einer Linie angeordnetes zweites Paar ist zum anderen Ende der Konstruktionen 42 und 48 hin näher an der Maschinenbasis 22 vorgesehen.
Wie in Fig. 5 in einem vergrößerten Maßstab gezeigt, umfaßt jedes Biegegelenk eine Metallplatte, von der ein mittlerer Bereich zur Bildung eines Abschnitts 106 mit verminderter Breite beim Biegegelenk 102 und 108 beim Biegegelenk 104 verengt ist.
Der dickere obere und untere Bereich jeder Platte, die durch 110 und 112 bei 102 bzw. 114 und 116 bei Biegegelenk 104 bezeichnet werden, sind durch Schrauben, wie zum Beispiel 118 und 120 beim Biegegelenk 102 einerseits mit einem einen integralen Teil der Konstruktion 42 bildenden Flansch 122 und andererseits mit einem Metallblock 124, der selbst mittels Schrauben, wie zum Beispiel 126 und 128, mit der Plattform 14 verschraubt ist, verschraubt.
Auf gleiche Weise ist das Biegegelenk 104 an einem Flansch 126 befestigt, der sich von der Konstruktion 48 erstreckt und einen integralen Teil davon bildet.
Der Metallblock 124 ist vertikal von den Flanschen 122 und 126 beabstandet, und der verengte Bereich 106 und 108 jedes der Biegegelenke gestattet ein Schwanken der Konstruktion 42 bzw. 48 um den verengten Bereich 106 bzw. 108 der die Konstruktion auf der Plattform 14 abstützenden Biegegelenke.
Obgleich die Biegegelenke 102 und 104 ein Kippen der Konstruktionen gestatten, wie in Fig. 5 durch die Pfeile 130 und 132 angedeutet, gestatten sie nicht ohne Weiteres irgendeine andere Bewegung der Konstruktionen 42 und 48 bezüglich der Plattform 14 um irgendwelche andere Achsen. Folglich ist die Verbindung der Konstruktionen 42 und 48 mit der Plattform 14 in allen Richtungen außer um die durch die Bereiche 106, 108 usw. mit verengtem Abschnitt erzeugte Gelenkachse sehr steif.

Zustellantrieb der Baugruppen

Die Bewegung der Konstruktionen 42 und 48 wird mittels einer zwischen jeder der an der Plattform 14 angebrachten Konstruktionen und starren Anordnungen und dem Ende der Maschinenbasis 22 wirkenden Kurven-/Tastmittelanordnung erreicht. Ein solcher Antrieb ist in der Darstellung nach Fig. 4 in der Konstruktion 42 vorgesehen. Hier wird eine Kurve 134 von einer Welle 136 getragen, die wiederum in Lagern 138 und 140 gelagert ist und von einem Elektromotor 142 über eine torsionssteife Kupplung 144 angetrieben wird. Ein an einer (nicht gezeigten) Welle getragenes Tastmittel 146 ist in Lagern 148 und 150 gelagert, die an der Konstruktion 142 angebracht sind.
Die die Kurve 134 enthaltende Antriebs- und Lageranordnung wird in einem allgemein mit 152 bezeichneten starren Konstruktionsrahmen gestützt, und dieser ist von dem Rest der Konstruktion 42 getrennt und beabstandet, so daß sich letztere bezüglich der Anordnung 152 wie von der Bewegung der Kurve 134 und des Tastmittels 146 vorgegeben bewegen kann.
Die Rückstellkraft wird von einem zwischen der Konstruktion 152 und der Konstruktion 42 wirkenden Federmittel bereitgestellt.
Die Einheit 48 wird durch eine in einer Konstruktion 154, die in Fig. 4 im weggeschnittenen Bereich der Konstruktion 48 allgemein gezeigt wird, enthaltene ähnliche Anordnung auf ähnliche Weise angetrieben.
Der Einfachheit halber wird ein Detail der Rückstellfeder in Verbindung mit der Konstruktion 48 gezeigt, es wurde aber kein Versuch unternommen, dieses bei der Konstruktion 42 zu zeigen. Hier ist eine Schubstange 156 mittels eines Gewinde- und Schraubendes 158 an dem innen liegenden Konstruktionsbauteil 160 der Konstruktion 48 befestigt; und die Feder 162 ist in einer in der Konstruktion 154 ausgebildeten zylindrischen Aussparung 164 untergebracht. Ein Endbereich 166 mit vermindertem Durchmesser verhindert, daß die Feder die Kammer 164 verläßt, und eine Sicherungsscheibe 168 am außen liegenden Ende der Schubstange 156 hält die Feder fest. Eine Bewegung des Konstruktionselements 48 in Richtung von Pfeil 170 führt zu einer Kompression der Feder, die eine Rückstellkraft zur Rückführung des Teils 48 in seine normale aufrechte Stellung bereitstellt, wenn die Kurveneingriffskraft entfernt wird.
Fig. 6 zeigt das obere Ende der Einheit 42 in vergrößertem Maßstab, und zur Bezeichnung ähnlicher Teile sind durchweg die gleichen Bezugszahlen verwendet worden.

Kurvenantrieb

Fig. 7 ist eine Seitenansicht des Endes der in Fig. 4 teilweise als Schnitt gezeigten Maschine, wenn auch in einem etwas verkleinerten Maßstab. Wie bei den anderen Ansichten, wird sie teilweise weggeschnitten gezeigt, damit der allgemein mit 170 bezeichnete Kurvenantriebsmechanismus zu erkennen ist, der auf die Konstruktion 48 einwirkt und in Fig. 4 nicht gezeigt ist. Die Sicherungsscheibe 168 ist seitlich des Antriebsmechanismus gezeigt.
Des weiteren zeigt Fig. 7 die beiden Biegegelenk- Halterungen an der Basis der Einheit 48, wobei die außen liegende mit 104 und die innen liegende mit 172 bezeichnet wird.
Wie oben erwähnt, wird jede der Kurvenantriebsanordnungen in einem starren Gehäuse 152 und 154 getragen, wobei letzteres genauso wie der horizontale Schenkel 174, über den es mit einer vom Ende der Basis 22 vorragenden Platte verschraubt ist, in Fig. 7 deutlicher zu sehen ist.
Des weiteren ist in Fig. 7 der Motor 176 zum Antrieb der Spannvorrichtung 178 zu sehen, von der die Kerbschleifspindel 180 ragt. Der Motor 176 ist in einem anhand Fig. 1 oben beschriebenen Gehäuse 52 gelagert, und das Gehäuse 52 gleitet entlang einer Gleitführung 50, wie oben beschrieben.
Fig. 7 zeigt die Balgdichtung 82, die das Gehäuse 52 abdichtend an der Öffnung im Gehäuse 72 befestigt, durch die der Motor 176 und die Spindel ragen.

Werkstückübertragung

Die Handhabung kreisförmiger, plattenförmiger Wafer aus Silizium mit einem Durchmesser von in der Regel mindestens 100, 200 oder 300 mm erfolgt durch ein in Fig. 8 gezeigtes Roboter-Handhabungsmittel. Dieses umfaßt eine Basis 182 und einen allgemein mit 184 bezeichneten Konstruktionsrahmen, der sich davon nach oben erstreckt, um eine Stütze für eine allgemein mit 186 bezeichnete lineare Gleitführung zu bilden, entlang der ein Schlitten 188 in Richtung von Pfeil 190 gleiten kann. Eine zweite Gleitschiene 192 ragt im rechten Winkel zur Gleitführung 186 von dem Gehäuse 188, und ein Gleitglied 194 ist so ausgeführt, daß es sich daran entlang in Richtung von Pfeil 196 bewegen kann. Ein Arm 198 ragt von dem Gehäuse 194, und ein daran befestigter Antrieb, der bei 200 gezeigt wird, sorgt für Bewegung des Arms 198 in Richtung von Pfeil 202. Die Antriebe 200 und die Antriebe im Gehäuse 188 erhalten ihren elektrischen Strom über ein Vielfachverbindungskabel 204, das in einem flexiblen Sicherheitskabelbaum 206 an der linearen Schiene 186 festgehalten wird.
Das untere Ende des Arms 198 ist eine Unterdruckspannvorrichtung 208, und durch geeignetes Manövrieren der Schlitten 188 und 200 und des Arms 198 kann die Unterdruckspannvorrichtung 208 vor einem in einer Stützhülse 212 aufrecht gehaltenen Wafer 210 positioniert werden. Des weiteren wird eine leere Stützhülse bei 214 gezeigt, die zur Aufnahme eines bearbeiteten Wafers bereit ist.
Die Basis 182 ist nahe dem Maschinenbett 12 positioniert, von dem ein Teil in Fig. 8 zu sehen ist. Nach der maschinellen Bearbeitung werden die beiden Teile des Gehäuses 72 getrennt, wie vorher anhand der Fig. 1 bis 3 beschrieben, und dadurch wird das fertige Werkstück 36 freigelegt, das dann zur Aufnahme durch den Arm 198 und die Unterdruckspannvorrichtung 208 zur Verfügung steht. Dazu wird der Transfermechanismus nach Fig. 8 so betrieben, daß er die Spannvorrichtung 208 gegenüber dem Wafer am Spindelstock positioniert, um den fertiger Wafer 36 wiederzuerlangen und ihn auf die leere Hülse 214 zu übertragen.
Durch weitere Bewegung des Schlittens 194 nach außen in Richtung der Hülse 212 wird die Spannvorrichtung 208 vor ein ungeschliffenes Werkstück 210 bewegt, und nach dessen Aufnahme kann es in die Prüfstation und danach in die Arbeitsumgebung der Schleifmaschine zur Befestigung an der Unterdruckspannvorrichtung 30 anstelle des vorherigen Wafers 36 zum Schleifen übertragen werden.
Es versteht sich, daß auf der Schiene 216 mehrere Hülsen oder Kassetten vorgesehen sein können, und alle darin angeordneten Werkstücke nacheinander entfernt, zentriert, geschliffen, geprüft und dorthin zurückgeführt werden können.
Wenn, wie oben beschrieben, eine Gesamtummantelung für die Vorrichtung vorgesehen ist, ist der Transfermechanismus einschließlich seiner Basis 182 vorzugsweise in der Ummantelung angeordnet, und es ist eine selbstschließende Tür in einer Öffnung darin vorgesehen, damit gereinigte Wafer eingeführt und entfernt werden können.

Wafer-Zentrierung

Als Zwischenschritt vor und nach dem Schleifen (vorzugsweise während des Schleifens eines anderen Wafers) wird jeder Wafer in der in den Fig. 9 und 10 gezeigten Prüfvorrichtung positioniert, damit die Mitte des Wafers ermittelt werden kann und er somit zum Schleifen genau an der Spannvorrichtung 30 positioniert werden kann und danach das Kantenprofil des Wafers nach dem Schleifen geprüft werden kann, bevor er zur Lagerungshülse zurückgebracht wird.

Werkstückprüfung

Fig. 9 ist eine Gesamtansicht, die zeigt, wo die Prüfvorrichtung bezüglich der Schleifmaschine und des Roboter-Waferhandhabungssystems von Fig. 8 sitzt. Wie zuvor werden durchweg die gleichen Bezugszahlen verwendet. Das Roboter-Waferhandhabungssystem wird in der eigenen gleichzeitig anhängigen UK-Patentanmeldung, die unter der eigenen Referenz C403/W gleichzeitig hiermit eingereicht wird, ausführlicher beschrieben.
Die Prüfvorrichtung umfaßt einen Ständer 218, an dem ein aus einer Basis 220 und einer aufrecht stehenden Platte 222 bestehender Stützrahmen angeordnet ist. Eine dreieckige Versteifungsplatte 224 erstreckt sich von der Rückseite der Platte 222, und sowohl 222 als auch 224 sind, wie bei 226, mit der Platte 220 verschweißt.
Vom vertikalen Rand 228 der Platte 222 ist ein Stützhalter 230 beabstandet, und eine allgemein mit 232 bezeichnete Lampen- und Projektionsobjektivanordnung wird am oberen Ende des Halters 230 gestützt. Eine erste Kamera 234 mit einem Objektiv 236 ist an der Platte 222 angebracht, um die Kante der durch die Lampe 232 von hinten beleuchteten Scheibe 238 zu betrachten.
Wie am besten in Fig. 9 zu sehen, ist ein Motor 240 rückwärtig der Platte 222 angebracht. Der Motor treibt eine (nicht sichtbare) Unterdruckspannvorrichtung an, an der die zu prüfende Scheibe 238 durch den Roboterarm 198 und die Unterdruckspannvorrichtung 208 angeordnet wird.
Durch Drehung des Motors 240 wird der Wafer 238 gedreht. Indem dieser so positioniert wird, daß seine Kante das Blickfeld des Kameraobjektivs 236 schneidet, können von der Kameraausgabe elektrische Signale abgeleitet werden, die zur Verarbeitung von aus den Signalen erhaltenen Daten über ein Kabel 242 der (nicht gezeigten) Signalanalysevorrichtung zugeführt werden.
Eine zweite Kamera 244 ist am Stützplattenrand 228 angebracht, um die Kante der Scheibe 238 tangential zu betrachten und so Informationen über das Kantenprofil zu erhalten. Diese Scheibenkante wird von der Lampe 246 von hinten beleuchtet, und Signale von der Kamera 244 werden entlang dem Kabel 248 zugeführt. Die Lampen 232 und 246 werden wie erforderlich entlang der Kabel 250 bzw. 252 mit Strom versorgt.
Ein Rechner 254 erhält über die Kabel 242 und 248 Signale von den Kameras 234 und steuert die Kameras und ihre Lampen 232 und 246 über die Signalrückführungswege entlang 242 und 248 sowie über die Kabel 250 bzw. 252. Die Ausgabe der Kamera 244 kann wie erforderlich auf einem Monitor 256 gezeigt werden, und das Kantenprofil des Wafers 238 wird bei 258 zum Beispiel zusammen mit einer rechnererzeugten Schablone 260, 262 gezeigt, um den idealen Winkel für die Profilseiten zu zeigen.

Werkstückzentrierung

Dies wird unter Verwendung des in unserer gleichzeitig anhängigen, unter der Referenz C403/W gleichzeitig hiermit eingereichten Anmeldung beschriebenen Verfahrens erzielt, indem das Roboter-Waferhandhabungssystem nach den Fig. 8 bis 10 und die Signale von der Kamera 234 verwendet werden, die bei der Drehung des Wafers durch ihr Blickfeld erhalten werden.

Anzeige von Kerben und Abflachungen

Fig. 11 ist eine Ansicht des Monitors 256, der dieses Mal zur Anzeige der Ausgabe der Kamera 234 eingestellt ist, wenn ein gekerbter Wafer an der (in Fig. 10 nicht gezeigten) Unterdruckspannvorrichtung, an der der Wafer 238 angebracht, ist, in Position ist, wobei der Wafer so gedreht worden ist, daß sich die Kerbe im Blickfeld der Kamera befindet. Die Kerbe ist bei 264 zu sehen, und des weiteren wird eine rechnererzeugte (bei 266 und 268 gestrichelt gezeigte) Schablone gezeigt, die zum Andeuten der erforderlichen Winkel für die beiden Seiten der Kerbe das Bild der Kerbe überlagert. Bei 270 und 272 werden zwei zusätzliche Schablonenlinien gezeigt, um die erforderlichen Radien am Eintritt zur Kerbe darzustellen, und es wird eine weitere Schablonenlinie 274 gezeigt, die den erforderlichen Radius am Grund der Kerbe darstellt.
Fig. 12 ist eine ähnliche Ansicht des Monitors 256, der dieses Mal ein Ende eines flachen Umfangsbereichs eines kreisförmigen Wafers bei Betrachtung durch die Kamera 234 zeigt. Hier ist die Darstellung des Wafers mit der Bezugszahl 276 versehen und die Abflachung mit 278, und die erforderlichen Radien an den Enden der Abflachung werden durch eine rechnererzeugte Schablonenlinie 280 beschrieben.

Messung der Waferdicke

Fig. 13 stellt die Rückseite der Anordnung nach Fig. 10 dar und zeigt die Platte 222 und den Motor 240, der über einen Antrieb 286 eine Unterdruckspannvorrichtung 284 antreibt.
Eine Fluidleitung 290 mit einer Düse 292 dient der Zuführung eines Luftstrahls zur Reinigung und Trocknung der Kante des Wafers 238, und der Strom wird durch ein Ventil 294 gesteuert.
Es ist wichtig, daß die Dicke des Wafers 238 bekannt ist, bevor er an der Unterdruckspannvorrichtung 30 am Spindelstock (siehe Fig. 1 und 2) angebracht wird, so daß die Axialverschiebung des Spindelstocks oder der Arbeitsspindel, die erforderlich ist, um die angemessene Schleifnut darin mit der Kante der Scheibe genau in Eingriff zu bringen, durch das Steuersystem bestimmt werden kann und geeignete Antriebssignale erzeugt werden können, um den Spindelstock oder die Arbeitsspindel um die erforderliche Strecke zu bewegen. Die Dicke wird unter Verwendung eines Fühlers 296 ermittelt, der an einer in Führungen 300, 302 verschiebbaren und unter Luftdruck über eine Rohrleitung 304 in Eingriff mit der Fläche des Wafers 238 bewegbaren Spindel 298 getragen wird. Die von einer festen Ausgangsstellung zurückgelegte Strecke wird aufgezeichnet.
Durch Ausführung der gleichen Abstandsbewegungsmessung ohne angeordnetem Wafer entspricht bei gegebenem Abstand von der festen Ausgangsstellung zur Fläche der Spannvorrichtung 284, und da der Wafer 238 an dieser Fläche gehalten wird, wenn er in Position ist, die Differenz zwischen den beiden Abstandsmessungen der Dicke des Wafers.
Die Strecke, über die sich der Fühler bewegt hat, wird von einem genauen Weggeber erfaßt, und die Signale entlang dem Kabel 306 dem Rechner 254 zugeführt, und die Dickenabmessung kann (falls gewünscht) auf dem Monitor angezeigt werden.
Der Rechner 254 kann einen Teil des rechnergestützten Steuersystems im Gehäuse 10 bilden (siehe Fig. 1), und/oder von dem Computer 254 erzeugte Signale können dem rechnergestützten Steuersystem in 10 zugeführt werden, so daß die Dickenabmessung zur Steuerung der Axialverschiebung des Spindelstocks oder der Arbeitsspindelanordnung zur Verfügung steht.

Mehrfachschleifscheibenanordnung

Um die Stillstandszeit der Maschine zu vermindern kann die Schleifscheibe aus einem Verbund aus verschiedenen Schleifscheiben bestehen, die jeweils für einen bestimmten Zweck bestimmt sind.
Eine solche Schleifscheibe wird in Fig. 14 bei 308 gezeigt, in der ein Verbund aus vier Scheibenabschnitten gezeigt wird.
Die Primärscheibe 310 ist eine harzgebundene CBN- Scheibe mit sechs Schleifnuten in ihrer zylindrischen Fläche, von der eine bei 312 gezeigt wird. Dies ist der Scheibenabschnitt, der zum Schleifen der Kante eines Wafers verwendet wird, wobei vor der Endbearbeitung nur wenig Material entfernt werden muß.
Der Scheibenabschnitt 314 ist eine Diamantscheibe mit drei Nuten, von denen eine mit 326 bezeichnet wird. Dieser Abschnitt wird zum Feinschleifen der Waferkante verwendet.
Es versteht sich, daß beide Scheiben eine beliebige Anzahl von Nuten - in der Regel von 1-10 - aufweisen können.
Der Scheibenabschnitt 318 ist eine metallgebundene CBN- oder Diamantscheibe mit einer einzigen Nut 320, bei der es sich um eine optionale Scheibe handelt, die zum Grobschleifen einer Waferkante, bevor die weichere harzgebundene Scheibe 310 ins Spiel gebracht wird, verwendet werden kann.
Der Scheibenabschnitt 322 ist eine weitere optionale Scheibe, die in der Regel aus Ceroxid besteht und zum Polieren der Waferkante nach der Endbearbeitung durch den Scheibenabschnitt 314 verwendet werden kann, indem die Scheibenspindel mit einer geeigneten Drehzahl betrieben wird.

Kerbschleifscheibe

Fig. 15 zeigt ungefähr im gleichen Maßstab eine Kerbschleifscheibe 324, die am Ende einer Spindel 326 angebracht ist. Ihre "konkave" ringförmige Schleiffläche ist in der Regel mit Diamant beschichtet.

Schleifscheibenabrichtung

Wie in Fig. 16 gezeigt, ist (sind) die Abricht/Formscheibe(n) an der gleichen Spindel angebracht wie die Unterdruckspannvorrichtung 30, an der das (die) Werkstück(e)/der (die) Wafer 36 befestigt werden soll(en).
In der Regel ist die Abricht-/Formscheibe eine zweiteilige Anordnung aus einer:
(a) metallgebundenen Diamantscheibe 328 zum Grobschleifen von Nuten im CBN-Scheibenabschnitt 310 von Fig. 14 und
(b) metallgebundenen Diamantscheibe 330, die eine Körnung mit viel kleinerem Durchmesser enthält und zum Feinschleifen der Nuten, wie zum Beispiel 312, im CBN- Scheibenabschnitt 310 von Fig. 14 ausgeführt ist.
Die CBN-Schleifscheiben, wie zum Beispiel der Abschnitt 310 in Fig. 14, werden normalerweise ohne Nuten, wie zum Beispiel 312, geliefert, und nach dem Anbringen eines neuen CBN-Scheibenabschnitts 310 besteht der erste Schritt in der Bildung von Nuten, wie zum Beispiel 312, daran. Dies wird unter Verwendung der Scheibe 328 von Fig. 16 und dann der Scheibe 330 erreicht.
Nach Auftreten von Verschleiß in den Nuten in 310 wird die Scheibe 330 zum Abrichten und Neuprofilieren der Nuten nach Bedarf eingesetzt.
Beide Formscheiben haben Zugang zu beiden Schleifscheiben. Herkömmlicherweise werden beide Formscheiben sowohl zur Profilierung der Grobschleif-(CBN)-Schleifscheibe als auch der Feinschleif-(Diamant)-Schleifscheibe verwendet.

Wafer-Zwischenlager

Wie in Fig. 17 gezeigt, befindet sich unter der in Fig. 13 gezeigten Position des Dickenmeßfühlers ein oben offenes geradliniges Gehäuse 332, in das die Wafer durch den Arm 198 abgesenkt werden können.
In das Gehäuse erstrecken sich eine Spindel 334 und eine Unterdruckspannvorrichtung 336, an der Wafer angeordnet und festgehalten werden können und durch die solche Wafer gedreht werden können. Die Spindel 334 kann zum Beispiel durch den Motor 240 angetrieben werden.
In das Gehäuse 332 ragt eine Düse 338, die mit druckbeaufschlagtem Fluid, wie zum Beispiel Wasser oder Luft, versorgt werden kann, und die Düse ist auf die Fläche und den Kantenbereich von an der Spannvorrichtung angebrachten Wafern gerichtet. Ein solcher Wafer wird bei 340 gezeigt. Ein Ablaßrohr 342 befördert jeglichen Fluidüberschuß weg.
Das Gehäuse und die Unterdruckspannvorrichtung sorgen für einen nützlichen Ablageplatz für Wafer, deren Kanten geschliffen wurden und die darauf warten, zur Inspektion des Kantenprofils an die Unterdruckspannvorrichtung 284 der Prüfvorrichtung angeordnet zu werden, oder die geprüft worden sind und darauf warten, zu ihrer Hülse, wie zum Beispiel 214 in Fig. 8, zurückgeführt zu werden.

Claims

1. Schleifmaschine zum Schleifen der Kante eines scheibenförmigen Werkstücks (36), mit einer Schleifscheibe (32), einem Antriebsmittel (40) dafür, einer Werkstückspindel und einem Antriebsmittel (28) dafür und einer Formscheibe (56; 58), wobei die Formscheibe an der Werkstückspindel angebracht ist.

2. Schleifmaschine nach Anspruch 1, weiterhin mit einem Mittel zum Abmontieren und Ersetzen eines geschliffenen Werkstückteils durch ein weiteres zu schleifendes Werkstückteil.

3. Schleifmaschine nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin mit einem Mittel zur Erfassung von Verschleiß einer Profiliernut in der Schleifscheibe, das zur Unterbrechung des Schleifvorgangs bei Erfassung von Verschleiß ausgeführt ist.

4. Schleifmaschine nach Anspruch 3, weiterhin mit einem Mittel zum erneuten Eingriff der Schleifscheibe und der Formscheibe zur Neuprofilierung des Schleifprofils im Rand der Schleifscheibe als Reaktion auf die Unterbrechung des Schleifvorgangs.

5. Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die darüber hinaus zum Schleifen eines Positionierbereichs, wie zum Beispiel einer Abflachung um den Umfang eines scheibenförmigen Werkstücks herum, ausgeführt ist und eine weitere Schleifscheibenspindel umfaßt, auf der eine weitere Schleifscheibe montiert ist, wobei die weitere Scheibe zur Ineingriffnahme eines scheibenförmigen Werkstücks zum Bilden einer Abflachung an dessen Umfangskante, wenn das Werkstück relativ dazu gedreht wird, bewegt werden kann.

6. Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die eine weitere Schleifscheibenspindel umfaßt, auf der eine Schleifscheibe zur Ineingriffnahme des Umfangs eines kreisförmigen Werkstücks zum Einschleifen einer Kerbe darin angebracht ist.

7. Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der ein optisches Prüfmittel so angebracht ist, daß es zur Vorderseite des Wafer-Werkstücks weist, wenn letzteres zur Drehung angebracht ist, und ein Mittel zur Weiterschaltung des Tellers und des Wafers darauf vorgesehen ist, so daß an mehreren separaten drehungsmäßig verschiedenen Stellen Messungen durchgeführt und mit den von ähnlichen Stellen um ein Bezugsteil oder eine Bezugsschablone herum abgeleiteten verglichen werden können.

8. Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der durch eine Prüfvorrichtung, die bei Drehung des Wafers tangential zur Kante weist, eine optische Prüfung der Kantenabmessungen und des Kantenprofils eines Wafers durchgeführt wird.

9. Schleifmaschine nach Anspruch 8, bei der die Kantenprüfung durchgeführt wird, während der Wafer auf einem zur Drehung ausgeführten getrennten Vakuumteller angebracht ist.

10. Schleifmaschine nach Anspruch 8, bei der die Kantenprüfung durchgeführt wird, während der Wafer auf einem zur Drehung ausgeführten getrennten Vakuumteller angebracht ist.

11. Schleifmaschine nach Anspruch 9 oder 10, bei der während der Kantenprüfung erhaltene Kantendaten mit einem Satz von entsprechenden Messungen, die von der Kante eines Bezugs-Waferwerkstücks erhalten wurden, verglichen (oder gespeichert und anschließend damit verglichen) werden.

12. Kantenschleifmaschine mit einer starren Plattform, auf der ein Werkstückspindelstock und eine Spindel für eine Schleifscheibe (32) angeordnet sind, wobei die Schleifscheibenspindel wiederum an einer Baugruppe (42) angebracht ist, die so montiert ist, daß sie deren Bewegung parallel zur Vorschubrichtung der Schleifscheibenspindel gestattet, um ein Kantenschleifen eines am Werkstückspindelstock angebrachten Werkstücks (36) zu erreichen, aber deren Bewegung in andere Richtungen verhindert, wobei die Schleifscheibe (32) um ihre Werkstück-Eingriffsfläche herum mit einer Nut (34) ausgebildet ist, deren Querschnittsform das Gegenstück zu der um den Umfang eines Werkstücks durch Schleifen, wenn die Scheibe mit dem Werkstückumfang in Eingriff steht, auszubildenden Form ist, und wobei eine Formscheibe (56; 58) am Werkstückspindelstock angebracht ist, wodurch eine Relativbewegung zwischen der Schleifscheibe und der Formscheibe einen Eingriff der Schleifscheibe und der Formscheibe ermöglicht, ohne daß die Schleifscheibe von ihrer Spindel abmontiert wird.

13. Schleifmaschine nach Anspruch 12, bei der die Formscheibe am hinteren Teil einer Werkstück-/Teilstütze angebracht ist.