JP5197017B2 - 2枚のウェハのアセンブリによって得られる構造体をトリミングする方法 - Google Patents
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Description
a)ステップb)を行うことを可能とするために、第1のウェハに対して十分なステップb)の一部分である化学的エッチングに対して、耐性を有するウェハの中から第2のウェハを選択するステップ。
b)第2のウェハに第1のウェハを結合した後に、第1のウェハの端部の化学的エッチングを行い、第2のウェハの接触面上に全体的に載置されているとともに、第1のウェハの残りの部分を支持するペデスタルを第1のウェハに形成するステップ。
c)第1のウェハを、ペデスタルにちょうど到達し、侵食するまで第1のウェハを薄化し、第1のウェハの薄い部分を設けるステップ。
12、22、32、42・・・第2のウェハ
14、26・・・層
16・・・ペデスタル
17、55・・・薄層
24、34、44、46・・・保護層
27・・・面取り領域
53・・・支持体
54・・・犠牲層
Claims (17)
- 第1のウェハ(11、21、31、41)を接触面によって第2のウェハ(12、22、32、42)上に結合し、前記第1のウェハを薄化することによって得られる構造体をトリミングする方法において、
前記第1のウェハ又は前記第2のウェハの少なくともどちらかは面取りされ、よって前記第1のウェハの前記接触面の端部を露出させ、
前記トリミングは前記第1のウェハに関している方法であって、
前記方法は、
a)ステップb)を行うことを可能とするために、前記第1のウェハ(11、21、31、41)に対して十分な、ステップb)において計画された化学的エッチングに対する耐性を有するウェハの中から前記第2のウェハを選択するステップと、
b)前記第2のウェハに前記第1のウェハを結合した後に、前記第1のウェハと前記第2のウェハとの結合境界で前記第1のウェハの横方向への化学的エッチングを行い、前記第2のウェハの接触面の上に全体的に載置されるペデスタルであって、前記第1のウェハの残りの部分を支持すると共に前記第2のウェハの各側面に対して凹んでいる前記ペデスタルを前記第1のウェハに形成するステップと、
c)前記ペデスタルにちょうど到達し、侵食するまで前記第1のウェハを薄化して前記第1のウェハの薄化された部分を提供するステップと、
を備えることを特徴とする方法。 - 前記選択するステップは、表面が前記第1のウェハの表面の材料とは異なる材料から作られており、前記第2のウェハに対する、前記第1のウェハの選択的な化学的エッチングを可能とするウェハを、前記第2のウェハとして選択することから成ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1のウェハ、又は、少なくともその表面はシリコンから成っており、前記第2のウェハは、クオーツ、SiC、サファイア、又は置換されたシリコンからなるウェハの中から選択されていることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記選択するステップは、前記化学的エッチングを停止する手段を形成する少なくとも1つの材料からなる層(14、26)を有するウェハ(12、22、32、42)を、前記第2のウェハとして選択することから成ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1のウェハ及び前記第2のウェハは、シリコンから成っており、前記停止手段を形成する材料の層は、SiO2又はSi3N4の層であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記第1のウェハ(21、31、41)の接触面は、前記ペデスタルを形成するための化学エッチングに対して保護する層(24、34、44)を有し、該保護層は、前記ペデスタルの形成を妨げないように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記保護層(24、34、44)は、当初は前記第1のウェハ(21、31、41)の表面を覆う層であり、前記方法は、前記ペデスタルを形成するための前記化学的エッチングのステップに先立って、前記保護層のアクセスできる部分の化学的エッチングのステップを備えていることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記第2のウェハの前記化学的エッチングを停止するための手段を形成する少なくとも1つの材料からなる層及び前記第1のウェハの保護層は事実上同一であり、前記第2のウェハの前記層は、前記第1のウェハの前記保護層より厚いことを特徴とする請求項4及び7に記載の方法を組み合わせた方法。
- 前記第2のウェハの前記化学的エッチングを停止するための手段を形成する少なくとも1つの材料からなる層及び前記第1のウェハの保護層は事実上異なっており、前記ステップb)において、前記第2のウェハの前記層は、前記第1のウェハの前記保護層よりゆっくりとエッチングされることを特徴とする請求項4及び7に記載の方法を組み合わせた方法。
- 前記第1のウェハ(11、21、31、41)は、分子接合技術によって前記第2のウェハ(12、22、32、42)上に結合されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1のウェハと前記第2のウェハとの間の結合エネルギーは、前記第1のウェハの前記結合境界部における横方向の化学的エッチングの所定の幅を得るために考慮されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記第1のウェハは、接着剤の層によって前記第2のウェハ上に結合されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記接着剤の層は、前記化学的エッチングを停止する手段として作用することを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記第1のウェハ(41)は、前記ペデスタルを形成するための前記化学的エッチングに対する保護層(44)を有し、前記方法は、前記ペデスタルを形成するための前記化学的エッチングに先立って、将来の前記ペデスタルのレベルにある前記保護層の一部を除去するための化学的エッチングのステップを備えていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2のウェハ(42)もまた、前記ペデスタルを形成するための前記化学的エッチングに対する保護層(46)を有し、前記第1のウェハの前記保護層を除去するための化学的エッチングのステップはまた、前記第2のウェハの前記ペデスタルの延長部を生成するために将来の前記ペデスタルのレベルにある前記第2のウェハの前記保護層の一部をも除去することを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記第1のウェハのトリミングは、機械的手段及び/又は化学的エッチング及び/又はリフトオフ及び/又はドライエッチング手段及び/又は前記第1のウェハの埋設された壊れやすい領域の破砕によって達成されることを特徴とする請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記薄化ステップの後に、研磨ステップが含まれることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の方法。
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