JP5292644B2 - 最小化された応力を備えたヘテロ構造を製造するためのプロセス - Google Patents
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- 第2のウェーハ(120)の熱膨張率よりも小さい熱膨張率を有する第1のウェーハ(110)を前記第2のウェーハ(120)に貼り合わせるステップと、少なくとも1つの貼り合わせ強化アニーリングステップとを備えたヘテロ構造を製造するためのプロセスにおいて、
前記貼り合わせるステップの後に、かつ、前記少なくとも1つの貼り合わせ強化アニーリングステップの前に、前記第1のウェーハ(110)が少なくとも部分的にトリミングされる少なくとも1つのトリミングステップ、を備えたことを特徴とするプロセス。 - 前記少なくとも1つのトリミングステップの後に、前記第1のウェーハ(110)が、前記第1のウェーハ(110)のトリミングされた部分(1110)において、55μmよりも小さいまたは55μmに等しい厚さを有することを特徴とする請求項1に記載のプロセス。
- 前記少なくとも1つの貼り合わせ強化アニーリングステップが、約160℃の温度において約2時間の期間にわたり実行されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプロセス。
- 第1の貼り合わせ強化アニーリングステップおよび第2の貼り合わせ強化アニーリングステップと、前記第1のウェーハが少なくとも部分的にトリミングされる第1のトリミングステップおよび第2のトリミングステップとを備えたこと、および、前記第1のトリミングステップが、前記第1のアニーリングステップの前、かつ前記第2のアニーリングステップの前に実行され、それに対して、前記第2のトリミングステップが、前記第2のアニーリングステップの前に実行されることを特徴とする請求項1に記載のプロセス。
- 前記第2の貼り合わせ強化アニーリングステップが、前記第1の貼り合わせ強化アニーリングステップよりも高い温度において実行されることを特徴とする請求項4に記載のプロセス。
- 前記第1のウェーハ(110)が、シリコン、または、SOI構造であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記第2のウェーハ(120)が、サファイア基板であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のプロセス。
- 1つまたは複数の前記貼り合わせ強化アニーリングステップの後に、前記第1のウェーハ(110)を薄化するステップをさらに備え、前記薄化が、前記第1のウェーハを研削し、続いて、前記第1のウェーハをエッチングすることによって、実行されることを特徴とする請求項7に記載のプロセス。
- 前記研削が、研削盤を用いて実行され、前記研削盤の被削面が、6.7ミクロンよりも大きい平均寸法を有する研磨粒子を備えたことを特徴とする請求項8に記載のプロセス。
- 1つまたは複数の前記貼り合わせ強化アニーリングにおいて、前記ヘテロ構造のボートイン温度が、80℃よりも低いことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のプロセス。
- 1つまたは複数の前記貼り合わせ強化アニーリングにおいて、温度ランプアップが、約1℃/分であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記2つのウェーハ(110、120)の前記貼り合わせの前に、酸化物層(114)を前記第1のウェーハ(110)の貼り合わせ表面上に形成するステップを備えたことを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記2つのウェーハ(110、120)の前記貼り合わせの前に、前記2つのウェーハの少なくとも一方の前記貼り合わせ表面を活性化するステップを備えたことを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載のプロセス。
- 前記研削中に、前記第1のウェーハに作用する前記研削盤の接触力が、222.5ニュートンよりも大きくないことを特徴とする請求項9〜13のいずれか一項に記載のプロセス。
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