JP2015126052A - 複合基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持基板10と、第1主面20aと第2主面20bとを有する機能性基板20を準備する準備工程と、支持基板10および機能性基板20の第1主面20aのそれぞれを活性化し、常温で接触させて両者を接合する接合工程と、機能性基板20の第2主面20bの側から、機械的,物理的な手法を用いて機能性基板20を薄層化する第1薄層化工程と、薄層化された機能性基板20に付着した有機物及び水分を除去する温度で、薄層化された機能性基板20とこれに接合された支持基板10とを加熱する、加熱工程と、加熱工程の後に、薄層化された機能性基板20をウェットエッチングによりさらに薄層化し機能層22とする、第2薄層化工程と、を有する。
【選択図】 図1
Description
、第2薄層化工程と、を有するものである。
本発明の複合基板の製造方法の実施形態の一例について、図面を参照しつつ説明する。
図2(a)に示すように、支持基板10と機能性基板20とを準備する。支持基板10は、平坦な主面10aを有するものであれば特に限定はされないが、例えば絶縁性材料からなる単結晶体を用いる。支持基板10の形成材料としては、酸化アルミニウム単結晶(サファイア)、炭化シリコン、リチウムタンタレートを主成分とする圧電基板などを用いることができる。本実施形態ではR面の6inchサファイア基板を用いた例によって説明する。厚みは500μm〜1000μm程度としている。
次に、図2(b)に示すように、支持基板10および機能性基板20を真空雰囲気内に収容する。そして、イオンガンまたはFAB(Fast Atom Beam)ガンを支持基板10の主面10aおよび機能性基板20の第1主面20aに照射して、両主面を活性化する。FABガンとしては、例えば、Arの中性原子ビームを照射するものを用いる。イオンガンとしては、例えば、Arイオンビームを照射するものを用いる。
次に、図3(a)に示すように、機能性基板20の第2主面20b側(図2(c)参照)から機能性基板20を薄層化し、機能性薄基板21を得る。この薄層化は、機械的研削、または物理的なエッチングにより行なう。また、これらの組み合わせであってもよい。
次に、図3(b)に示すように、支持基板10と、支持基板10に直接接合された機能性薄基板21との積層体を加熱する。加熱温度および時間は、主に、支持基板10と機能性薄基板21との接合界面の外周部付近および機能性薄基板21の側面に存在する有機付
着物,水分を除去できる条件で適宜設定する。具体的には150℃から350℃程度の温度で5分から20分程度行なうことが好ましい。加熱雰囲気は、真空中,不活性ガス中、大気中等で行なうことができる。この例ではクリーンオーブン30を用いている。
次に、図3(c)に示すように、機能性薄基板21をさらに薄層化し、機能層22を得る。
上述の実施形態では、接合工程に続いて第1薄層化工程と行なったが、接合工程と第1薄層化工程との間に、外周において、機能性基板20と支持基板10の一部とを除去するトリミング工程を追加してもよい。
上述の例では、機能性基板20としてSi基板を用いたが、図6に示すように、機能性基板20Aを用いてもよい。
上述の実施形態によれば、洗浄工程を記載していないが、各工程の前後に一般的な基板洗浄工程を設けてもよい。洗浄方法としては、超音波を用いた洗浄、有機溶媒を用いた洗浄、化学薬品を用いた洗浄およびO2アッシングを用いた洗浄などの種々の方法が挙げられる。これらの洗浄方法は、組み合わせて採用してもよい。また、上述した通り、第2薄層化工程に先立ち、機能性薄基板21の外周部における疎水性を高めることが重要となるため、加熱工程、第2薄層化工程に先立ち、疎水性を高める条件にて洗浄を行なってもよい。
10・・支持基版
10a・・主面
20・・・機能性基板
20a・・第1主面
20b・・第2主面
21・・・機能性薄基板
22・・・機能層
20X・・基体
25・・・エピタキシャル層
30・・・クリーンオーブン
31・・・エッチング容器
32・・・エッチング液
40・・・接合外周端部
Claims (4)
- 支持基板と、前記支持基板と異なる熱膨張係数を有する材料からなり、第1主面と第2主面とを有する機能性基板を準備する準備工程と、
前記支持基板の主面および前記機能性基板の第1主面のそれぞれにFABガンを照射して両主面を活性化し、活性化した前記支持基板の主面と前記機能性基板の前記第1主面とを常温で接触させて両者を接合する接合工程と、
前記機能性基板の前記第2主面の側から、機械的または物理的な手法を用いて前記機能性基板を薄層化する第1薄層化工程と、
薄層化された前記機能性基板に付着した有機物及び水分を除去する温度で、薄層化された前記機能性基板とこれに接合された前記支持基板とを加熱する、加熱工程と、
前記加熱工程の後に、薄層化された前記機能性基板とこれに接合された支持基板とをエッチング液に浸漬し、薄層化された前記機能性基板をウェットエッチングによりさらに薄層化し機能層とする、第2薄層化工程と、を有する複合基板の製造方法。 - 前記準備工程において、前記支持基板としてサファイア基板を準備し、前記機能性基板としてシリコン単結晶基板を準備する、請求項1に記載の複合基板の製造方法。
- 前記接合工程と前記第1薄層化工程との間に、外周において、前記機能性基板と前記支持基板の一部とを除去するトリミング工程を更に含む、請求項1または2に記載の複合基板の製造方法。
- 前記加熱工程は、150℃〜350℃の真空雰囲気または不活性ガス雰囲気内で行なう、請求項1乃至3のいずれかに記載の複合基板の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108695143A (zh) * | 2017-04-08 | 2018-10-23 | 沈阳硅基科技有限公司 | 硅与iii-v族化合物硅键合材料及其键合方法 |
WO2019193886A1 (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
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-
2013
- 2013-12-26 JP JP2013268543A patent/JP2015126052A/ja active Pending
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