JP4838501B2 - 撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、請求項1によれば、
受光面を有する撮像素子と、
前記撮像素子の前記受光面側に配設された第1の板状透明部材と、
前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材を封止する透明樹脂と、
前記第1の板状透明部材に対向する位置の前記透明樹脂上に配設された第2の板状透明部材と
を備えることを特徴とするものである。
また、請求項2によれば、
請求項1記載の撮像装置において、
前記第2の板状透明部材の面積は、前記第1の板状透明部材の面積よりも大きいことを特徴とするものである。
また、請求項3によれば、
請求項1記載の撮像装置において、
前記第1の板状透明部材と前記撮像素子との間には空気層があることを特徴とするものである。
また、請求項4によれば、
請求項1記載の撮像装置において、
前記第1の板状透明部材と前記撮像素子との間には光透過接着材が配設されていることを特徴とするものである。
また、請求項5によれば、
請求項1記載の撮像装置において、
前記第1の板状透明部材は、前記撮像素子の受光面に形成されたレンズ部材に直接接して配設されていることを特徴とするものである。
また、請求項6によれば、
請求項1記載の撮像装置において、
前記第2の板状透明部材は、前記第1の板状透明部材と接していることを特徴とするものである。
また、請求項7によれば、
受光面を有する撮像素子と、
前記撮像素子の前記受光面側に配設された板状透明部材と、
前記撮像素子及び前記板状透明部材を封止する透明樹脂と、
を備える撮像装置において、
前記板状透明部材は、前記撮像素子の受光面に形成されたレンズ部材に直接接して配設されていることを特徴とするものである。
また、請求項8によれば、
請求項7記載の撮像装置において、
前記板状透明部材を前記撮像素子に接着剤を用いて固定すると共に、前記板状透明部材または前記撮像素子の前記接着剤が配設される接着剤配設位置の少なくとも一方に溝部を形成したことを特徴とするものである。
また、請求項9によれば、
請求項7記載の撮像装置において、
前記板状透明部材を前記撮像素子に接着剤を用いて固定すると共に、前記板状透明部材または前記撮像素子の前記接着剤が配設される接着剤配設位置に疎水性の部材を配設したことを特徴とするものである。
また、請求項10によれば、
支持基板上に撮像素子を搭載する工程と、
前記撮像素子上に第1の板状透明部材を配設する工程と、
前記撮像素子と、前記支持基板に配設された電極とを接続する工程と、
金型内に第2の板状透明部材を装着すると共に、前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材が配設された支持基板を前記第1の板状透明部材と前記第2の板状透明基板とが対向するよう前記金型内に配置する工程と、
前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材の周囲を樹脂封止する工程と、
を備えてなることを特徴するものである。
一方、前記支持基板12は、ガラスエポキシ系樹脂を基材とする多層配線基板から構成され、その表面及び/あるいは内部には配線、及び層間接続用ビア(図示せず)が形成されている。そしてその撮像素子11が搭載される面には、ワイヤ接続用ボンディングパッド(図示せず)が配設され、他方の面にはランド(図示せず)が配設されている。当該支持基板12は、インターポーザとも称される。
このように第一の板状透明部材14が透明樹脂15内に封入されることにより、当該第一の板状透明部材14は確実に保持され、位置ずれが防止される。また、第一の板状透明部材14上に均一な厚さを有する封止樹脂15aが存在するため、光の入射特性を高めることができる。当該透明樹脂15は、樹脂モールド法により形成され、第一の透明部材14を封入すると共に、撮像素子11及びワイヤ20などを保護する。
尚、以下の各実施例を示す図7乃至図22にあっては、前記第1実施例に示した構成と同一構成・部位については同一の符号を付して、その説明を省略する。
従って、第二の板状透明部材16の透明樹脂15との接触面は、加熱・冷却時に熱膨張差による応力を受ける。この応力は、透明樹脂15と第二の板状透明部材16との接合面に剪断方向に作用するため、接合面が平滑面であると第二の板状透明部材16が透明樹脂15から剥離する可能性がある。
本実施例に係る撮像装置160は、板状透明部材14が、マイクロレンズ13上に、当該マイクロレンズ13に直接接するように配設されてなることを特徴とする。そして、当該板状透明部材14の主面は、封止樹脂15から表出された構成とされている。(係る構成にあっては、第二の板状透明部材16を用いていない。)
前述の如く、マイクロレンズ13は、板状透明部材14に対向する面、即ち光入射面に対して略半球状に突出したマイクロレンズ13aが複数個並んで形成された構成とされている。(図15(図14の矢印B1で示す部分の拡大図)及び図16(1個のレンズ体13aの拡大図)に示す。)
図16に示されるように、マイクロレンズ13は撮像素子11上にカラーフィルタ層801を介して配設される。個々のマイクロレンズ13aは、撮像素子11の受光面に複数個形成されたフォトダイオード802に一対一対応して配置される。即ち、レンズ体13aはフォトダイオード802と同数又はそれ以上の個数形成されている。
係る溝の配設により、毛細管現象による液状接着剤の流入は、当該溝807,808に於いて阻止され、接着剤803による受光エリアの汚染が防止される。溝807,808は、毛細管現象による接着剤803の流動を阻止すると共に当該接着剤溜まりを形成する。
係る構成により、撮像装置170の受光特性の低下が防止される。尚、本実施例では撮像素子11及び板状透明部材14の双方に溝が設けられたが、いずれか一方にのみ溝を形成しても、一定の効果を得ることができる。
即ち、本実施例に係る撮像装置にあっては、前記溝の配設に替えて、受光素子11及び板状透明部材14の対向する部位に、疎水性材料層809を配設したことを特徴とする。
本変形例にあっては、隣接するレンズ体13a間に、壁状のスペーサ811を配設している。係る構成にあっても、板状透明部材14を撮像素子11上に確実に支持することができると共に、入射した光線をフォトダイオード部へ集光させることができる。また、係る壁状のスペーサ811により、受光面30はフォトダイオード領域毎に画成されるため、隣接するフォトダイオード間に於いて入射光が相互に干渉することが防止される。
11 撮像素子
12 基板
13 マイクロレンズ
13a レンズ体
14、16 透明部材
15、15A 透明樹脂
16A ガラス
17 外部接続端子
18 受光面
19 ダイボンディング材
20 ワイヤ
21 スペーサ
22 空気層
201 光透過性接着剤
501 凹凸部
550 金型
551 下金型
552 ベース
553 枠状部材
554、556 バネ
555 上金型
557 リリースフィルム
558 キャビティ
601 レンズ
602 レンズバレル
603 レンズ用ホルダー
801 カラーフィルタ層
802 フォトダイオード
803 接着剤
806 間隙
807、808 溝部
809 疎水性材料層
810、811 スペーサ
Claims (6)
- 受光面を有する撮像素子と、
前記撮像素子の前記受光面側に配設された第1の板状透明部材と、
前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材を封止する透明樹脂と、
前記第1の板状透明部材に対向する位置の前記透明樹脂上に配設された第2の板状透明部材と
を備え、前記第1の板状透明部材は、前記撮像素子の前記受光面に形成されたレンズ部材に直接接して配設され、前記レンズ部材の周囲の空間に空気が存在することを特徴とする撮像装置。 - 請求項1記載の撮像装置において、
前記第2の板状透明部材の面積は、前記第1の板状透明部材の面積よりも大きいことを特徴とする撮像装置。 - 受光面を有する撮像素子と、
前記撮像素子の前記受光面側に配設された板状透明部材と、
前記撮像素子及び前記板状透明部材を封止する透明樹脂と、
を備える撮像装置において、
前記板状透明部材は、前記撮像素子の受光面に形成されたレンズ部材に直接接して配設され、前記レンズ部材の周囲の空間には空気が存在することを特徴とする撮像装置。 - 請求項3記載の撮像装置において、
前記板状透明部材を前記撮像素子に接着剤を用いて固定すると共に、前記板状透明部材または前記撮像素子の前記接着剤が配設される接着剤配設位置の少なくとも一方に溝部を形成したことを特徴とする撮像装置。 - 請求項3記載の撮像装置において、
前記板状透明部材を前記撮像素子に接着剤を用いて固定すると共に、前記板状透明部材または前記撮像素子の前記接着剤が配設される接着剤配設位置に疎水性の部材を配設したことを特徴とする撮像装置。 - 支持基板上に撮像素子を搭載する工程と、
前記撮像素子上に第1の板状透明部材を配設する工程と、
前記撮像素子と、前記支持基板に配設された電極とを接続する工程と、
金型内に第2の板状透明部材を装着して溶融した樹脂を前記金型内の所定の深さまで導入し、前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材が配設された支持基板を前記第1の板状透明部材と前記第2の板状透明基板とが対向するよう前記溶融した樹脂に浸漬する工程と、
前記樹脂を硬化させて前記撮像素子及び前記第1の板状透明部材の周囲を樹脂封止する工程と、
を備えてなることを特徴する撮像装置の製造方法。
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