JP7235752B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
1.第1の実施の形態
2.第2の実施の形態
3.第3の実施の形態
4.第4の実施の形態
5.第5の実施の形態
6.第6の実施の形態
7.第7の実施の形態
8.第8の実施の形態
9.第9の実施の形態
10.第10の実施の形態
11.第11の実施の形態
12.第12の実施の形態
13.第13の実施の形態
14.第14の実施の形態
15.第15の実施の形態
16.第16の実施の形態
17.第17の実施の形態
18.第18の実施の形態
19.第19の実施の形態
20.撮像素子の構成
21.カメラへの応用例
[撮像装置の外形]
図1は、本開示の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す図である。同図は、半導体チップとして撮像素子を備える撮像装置1の外形の一例を表す図である。同図の撮像装置1を例に挙げて本開示に係る半導体装置を説明する。同図の撮像装置1は、撮像素子20が半導体パッケージに封入されて構成される。この半導体パッケージは、放熱プレート30および回路基板40が積層され、撮像素子20は放熱プレート30に搭載される。フレーム60およびカバーガラス70は蓋部を構成し、撮像素子20を覆う形状に配置される。回路基板40および放熱プレート30は、接着部材11(不図示)により接着される。
図2は、本開示の第1の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す平面図である。同図は、回路基板40、放熱プレート30および撮像素子20の構成例を表す図である。
図4および5は、本開示の第1の実施の形態に係る撮像装置の製造方法の一例を示す図である。図4および5は、撮像装置1の製造工程を表す図である。
図6は、本開示の第1の実施の形態に係るワイヤボンディングの一例を示す図である。同図は、図4におけるdにおいて説明したワイヤボンディングを説明する図である。前述のように、放熱プレート30および回路基板40の間には空隙10が配置されるため、ワイヤボンディングの際に撮像素子20が動いて、ボンディングの位置ずれを生じる場合がある。そこで、放熱プレート30を回路基板40に密着させる。具体的には、回路基板40に穴409を形成し、穴409を介して放熱プレート30を吸引することにより、撮像素子20が配置された放熱プレート30の領域を回路基板40に密着させる。同図の白抜きの矢印は、放熱プレート30の吸引を表す。これにより、放熱プレート30が回路基板40に固定され、ワイヤボンディングの際の位置ずれを防止することができる。なお、ワイヤボンディング後、樹脂等により穴409を塞ぐことができる。
図7は、本開示の第1の実施の形態の変形例に係る撮像装置の構成例を示す平面図である。同図の撮像装置1は、撮像素子20の2つの短辺にパッド201が配置される例を表したものである。放熱プレート30には2つ開口部301が配置され、撮像素子20の2つの短辺に隣接して配置される。
図9は、本開示の実施の形態の効果を説明する図である。同図は、回路基板40に反りを生じた場合を表した図である。同図におけるaおよびbは、それぞれ回路基板40が撮像装置1の下方向および上方向に湾曲して反りを生じた場合を表す。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、回路基板40が配置されていた。これに対し、本開示の第2の実施の形態では、回路基板40に電子部品を内蔵する点で、上述の撮像装置1と異なる。
図10は、本開示の第2の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、回路基板40の代わりに回路基板42を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20が配置された領域の放熱プレート30が回路基板40に接着されておらず、撮像素子20が遊動可能に配置されていた。これに対し、本開示の第3の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20が配置された領域の放熱プレート30の垂直方向の動きを制限する点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図12は、本開示の第3の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、係止部81を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
図13は、本開示の第3の実施の形態に係る係止部の構成例を示す平面図である。同図は、係止部81の配置例を表す図である。同図に表したように、係止部81は、撮像素子20の四隅の近傍にそれぞれ配置することができる。
図14は、本開示の第3の実施の形態に係る撮像装置の他の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、係止部81の代わりに係止部82を備える点で、図12に表した撮像装置1と異なる。
図15は、本開示の第3の実施の形態に係る係止部の他の構成例を示す平面図である。同図に表したように、係止部82は、一部が開口部301に掛かる位置に配置される。
上述の第3の実施の形態の撮像装置1は、半導体チップ配置領域の放熱プレート30が蓋部に係止されていた。これに対し、本開示の第4の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20が配置された領域の放熱プレート30が回路基板40に当接される点で、上述の第3の実施の形態と異なる。
図16は、本開示の第4の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、係止部81の代わりに弾性部材84を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第4の実施の形態の撮像装置1は、弾性部材84により半導体チップ配置領域の放熱プレート30が回路基板40に当接されていた。これに対し、本開示の第5の実施の形態の撮像装置1は、放熱プレートの形状を変更することにより放熱プレートを回路基板40に当接させる点で、上述の第4の実施の形態と異なる。
図17は、本開示の第5の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、弾性部材84を省略し、放熱プレート30の代わりに放熱プレート32を備える点で、図16において説明した撮像装置1と異なる。
図18は、本開示の第5の実施の形態に係る撮像装置の他の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、放熱プレート32および回路基板40の代わりに放熱プレート33および回路基板44を備える点で、図17において説明した撮像装置1と異なる。
図19は、本開示の第5の実施の形態に係る放熱プレートの構成例を示す平面図である。同図は、放熱プレート33の構成例を表す図である。同図の一点鎖線は、上述の回路基板44の方向に曲げる前の突部303を表す。同図の開口部301には、突部303を確保するための凹部304が形成される。
図20は、本開示の第5の実施の形態に係る撮像装置の製造方法の一例を示す図である。同図は、図19において説明した撮像装置1の製造工程を表す図である。
本実施の形態においては、上述の実施の形態の撮像装置1に適用されるカバーガラスについて提案する。
図3において説明したカバーガラス70は、撮像装置1の用途に応じた材質のガラスを使用することができる。例えば、赤外線吸収ガラスを使用することにより、画像のゴーストやフレアの発生を軽減することができ、画像の色合いバランスを整えることができる。このような赤外線吸収ガラスとしてリン酸塩系ガラス、フツリン酸塩系ガラスおよびケイ塩系ガラスを使用することができる。なお、フツリン酸塩系ガラスは近紫外光または近赤外光の何れかを遮光することもできる。紫外光の透過率が50%以上の赤外光遮光ガラスを使用する場合には、カバーガラス70をフレーム60に接着する接着剤14に紫外光硬化型の接着剤を使用することができ、撮像装置1の製造工程を簡略化することができる。なお、この際には、未硬化の接着剤14のカバーガラス70の中央部への移動を防ぐため、カバーガラス70に溝や段差を設けることができる。また、アルカリ金属酸化物を含んだホウケイ酸系ガラスを使用することにより、耐光性を向上させることができる。また、無機酸化物ガラスを使用することにより、耐光性を向上させるとともに高強度にすることができる。
図21は、本開示の第6の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図は、撮像素子20のカバーガラスの構成例を表す図である。同図におけるaの撮像装置1は、カバーガラス70の代わりにカバーガラス71を備える。このカバーガラス71は、フレーム60と接着される領域に粗化部701が形成されたカバーガラスである。粗化部701によりフレーム60との接着強度を向上させることができる。粗化部701は、例えば、カバーガラスの表面をエッチングすることにより、形成することができる。上述のフツリン酸塩系ガラスをカバーガラス71のガラスに採用する場合には、このエッチングにより高硬度化することができ、耐振動性を向上させることができる。また、リン酸塩系ガラスを採用する場合には、クロム(Cr)の膜を形成することにより、粗化部701を形成することができる。
カバーガラス70をフレーム60に接着する接着剤14に反射率の低いシール樹脂を使用することにより、接着剤14による反射を防止することができ、画像のゴーストやフレアを軽減することができる。低弾性が異なる2つの接着剤を接着剤14に使用することにより、カバーガラス70への応力を緩和することができる。また、接着剤14の外周に防湿シールを施すことにより、撮像装置1への水分の侵入を防ぐことができる。ガラス転移点が高く弾性率が比較的低い紫外光硬化型接着剤を接着剤14に使用することにより、温度変化に伴う応力の発生を緩和することができる。また、接着剤14の厚さを調整する際には、スペーサを接着剤14に分散させて調整することができる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、回路基板40に配置されたパッド401に導電ワイヤ50がワイヤボンディングされていた。これに対し、本開示の第7の実施の形態の撮像装置1は、厚膜化したパッドに導電ワイヤ50をワイヤボンディングする点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図22は、本開示の第7の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、回路基板40の代わりに回路基板45を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、導電ワイヤ50により撮像素子20および回路基板40が接続されていた。本実施の形態では、導電ワイヤ50の機械的強度を向上させる撮像装置について提案する。
図23は、本開示の第8の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図は、導電ワイヤ50により接続される領域を拡大した図である。同図の撮像装置1は、導電ワイヤ50と撮像素子20および回路基板40との接合部に保護部503が配置される点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第8の実施の形態の撮像装置1は、導電ワイヤ50を撮像素子20、回路基板40の順に接続していた。これに対し、本開示の第9の実施の形態の撮像装置1は、導電ワイヤ50の接続の順序を変更する点で、上述の第8の実施の形態と異なる。
図24は、本開示の第9の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、保護部503を省略し、導電ワイヤ50の代わりに導電ワイヤ51を備える点で、図23において説明した撮像装置1と異なる。また、撮像素子20のパッド201には、バンプ203が配置される。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、半導体チップ配置領域が遊動可能に構成されていた。これに対し、本開示の第10の実施の形態の撮像装置1は、半導体チップ配置領域を回路基板40に掛止する点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図25は、本開示の第10の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す平面図である。同図の撮像装置1は、係止部85を備える点で、図2において説明した撮像装置1と異なる。この係止部85は、開口部301を介して放熱プレート30および回路基板40の間に配置され、半導体チップ配置領域を回路基板40に掛止するものである。同図は、係止部85が半導体チップ配置領域の4隅に配置される例を表したものである。
図26は、本開示の第10の実施の形態に係る係止部の構成例を示す断面図である。同図におけるaは、高剛性の金属線により構成された係止部85の例を表したものである。また、同図におけるbは、支柱形状の係止部86の例を表したものである。このような係止部を配置することにより、半導体チップ配置領域の動きが制限され、導電ワイヤ50への応力を低減することができる。なお、係止部85および86は、請求の範囲に記載の回路基板係止部の一例である。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、導電ワイヤ50により撮像素子20および回路基板40を接続していた。これに対し、本開示の第11の実施の形態の撮像装置1は、フレキシブル配線板により接続を行う点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図27は、本開示の第11の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、導電ワイヤ50の代わりにフレキシブル配線板52を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。このフレキシブル配線板52は、Cu等の金属により構成された配線層505の両面にフィルム状の絶縁層504を積層して構成された柔軟性を有する配線板である。配線層505は、それぞれ対応するパッド201(バンプ203)および401毎に帯状に形成され、これら複数の帯状の配線層505がすだれ状に配置されて信号の伝達を行う。なお、配線層505にはパッド506が配置され、例えば、半田付けによりバンプ203およびバッド401と接続される。
図28は、本開示の第11の実施の形態に係る撮像装置の他の構成例を示す断面図である。同図におけるaは、フレキシブル配線板52の代わりにフレキシブル配線板53を配置する例を表したものである。このフレキシブル配線板53は、撮像素子20との接続部において図27とは逆方向に接続を行った後、折返して構成されたフレキシブル配線板である。このような折返しを有することにより、放熱プレート30および回路基板40の伸縮差によりフレキシブル配線板53に引張方向の応力が加わった場合において応力を緩和することができる。
上述の第11の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20の上面にパッド201が配置されていた。これに対し、本開示の第12の実施の形態の撮像装置1は、下面にパッド201が配置される撮像素子20と回路基板40とを接続する点で、上述の第11の実施の形態と異なる。
図29は、本開示の第12の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、パッド201およびバンプ203が撮像素子20の下面に配置され、フレキシブル配線板52の代わりにフレキシブル配線板54を配置する点で、図27において説明した撮像装置1と異なる。
図30は、本開示の第12の実施の形態に係る撮像装置の他の構成例を示す断面図である。同図の放熱プレート30は、撮像素子20が配置される面に配線領域が形成される点で、図29において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、平坦な放熱プレート30に撮像素子20が接着されていた。これに対し、本開示の第13の実施の形態の撮像装置1は、凹部を有する放熱プレート30に撮像素子20を接着する点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図31は、本開示の第13の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、放熱プレート30の代わりに放熱プレート34を使用し、撮像素子20の代わりに撮像素子21を使用する点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
図32は、本開示の第13の実施の形態に係る撮像装置の製造方法の一例を示す図である。同図は、撮像素子20を放熱プレート34に接着する工程を表したものである。図31におけるaの撮像装置1を例に挙げて製造工程を説明する。まず、回路基板40に接着された放熱プレート34の凹部307にダイボンド材13を塗布する(同図におけるa)。次に、ダイボンド材13の上に撮像素子20を配置する(同図におけるb)。次に、撮像素子21に空気を吹き付けることにより撮像素子21を凹部307に押し付けながらダイボンド材13を硬化させる(同図におけるc)。なお、同図におけるcの白抜きの矢印は、吹き付けられる空気を表す。これにより、撮像素子21を湾曲させることができる。
図33は、本開示の第13実施の形態に係る撮像装置の他の構成例を示す図である。同図の放熱プレート34は、穴309が形成される点で、図31におけるaにおいて説明した放熱プレート34と異なる。この穴309は、撮像素子21を吸引する穴である。撮像素子21を放熱プレート34にボンディングする際に、穴309から撮像素子21を吸引することにより、撮像素子21を放熱プレート34の凹部307に押し付けることができる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、放熱プレート30に撮像素子20が接着されていた。これに対し、本開示の第13の実施の形態の撮像装置1は、放熱プレートの放熱性を向上させる点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図34は、本開示の第14の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図におけるaの撮像装置1は、放熱プレート30の代わりに放熱プレート35使用する点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、半導体チップ配置領域が遊動可能に構成されていた。これに対し、本開示の第15の実施の形態では、半導体チップ配置領域の振動を制限する構成について提案する。
図35は、本開示の第15の実施の形態に係る放熱プレートの構成例を示す平面図である。同図の放熱プレート36は、半導体チップ配置領域に開口部を備える。同図におけるaの放熱プレート36は、半導体チップ配置領域に複数の開口部312を備える。また、同図におけるbは、開口部313を備える。この開口部313は、図3において説明した開口部301と半導体チップ配置領域に形成される開口部とを結合したものである。このような半導体チップ配置領域に形成される開口部312等により、放熱プレート36を軽量化することができる。これにより、放熱プレート36の振動を抑制することができる。なお、開口部312等を配置すると撮像素子20および放熱プレート36の熱抵抗が増加するため、撮像素子20の発熱量に応じて開口部312の大きさや数量を調整する必要がある。また、開口部312等の配置を不均一にすることにより、半導体チップ配置領域の共振の発生を防止し、振動を抑制することができる。また、例えば、半導体チップ配置領域の放熱プレートを研削して薄肉化し、軽量化することもできる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、放熱プレート30にフレーム60が接着されていた。これに対し、本開示の第16の実施の形態では、フレーム60における放熱性を改善する構成について提案する。
図39は、本開示の第16の実施の形態に係るフレームの構成例を示す断面図である。同図のフレーム63は、側面に放熱フィン603が配置されて構成される。この放熱フィン603は、フレーム63の側面に凹凸を形成することにより構成することができる。放熱フィン603によりフレーム63の放熱性を向上させることができる。
図40は、本開示の第16の実施の形態に係る放熱プレートの構成例を示す断面図である。同図の放熱プレート350は、撮像素子20を囲繞する壁部が配置されて構成されたものであり、フレームと一体に構成された放熱プレートである。フレームと一体に構成されるため熱抵抗を小さくすることができ、放熱性を向上させることができる。
図41は、本開示の第16の実施の形態に係るフレームの他の構成例を示す断面図である。同図のフレーム64は、上面のつばの部分に突部604を備える。この突部604は、導電ワイヤ50が撮像素子20に接続される領域への入射光の照射を防ぐものである。この突部604により、導電ワイヤ50による入射光の反射を防ぐことができ、フレア等の発生を軽減することができる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20が配置された放熱プレート30と回路基板40との間に空隙10が形成されていた。これに対し、本開示の第17の実施の形態では、空隙に蓄熱部を配置する点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図42は、本開示の第17の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、半導体チップ配置領域と回路基板40との間に蓄熱部88を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
上述の第1の実施の形態の撮像装置1は、撮像素子20が配置された放熱プレート30と回路基板40との間に空隙10が形成されていた。これに対し、本開示の第18の実施の形態では、空隙に緩衝部を配置する点で、上述の第1の実施の形態と異なる。
図43は、本開示の第18の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、半導体チップ配置領域と回路基板40との間に緩衝部91を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
図44は、本開示の第18の実施の形態に係る緩衝部の構成例を示す平面図である。同図は、放熱プレート30に配置される緩衝部91の形状を表す図である。同図におけるaは、撮像素子20と略同じ面積に配置される緩衝部91の例を表したものである。同図におけるbおよびcは、それぞれ撮像素子20より狭い面積および広い面積に構成される例を表したものである。同図におけるdは、複数の円形状に配置される例を表したものである。同図におけるeは、撮像素子20の対角線に沿って配置される例を表したものである。同図におけるfは、撮像素子20の中央部および外周部にそれぞれ配置される例を表したものである。
上述の第18の実施の形態の撮像装置1は、緩衝部91を配置していた。これに対し、本開示の第19の実施の形態では、放熱プレートに緩衝部を配置する点で、上述の第19の実施の形態と異なる。
図45は、本開示の第19の実施の形態に係る放熱プレートの構成例を示す平面図である。同図の放熱プレート39は、半導体チップ配置領域の一部にばね部319が形成されたものである。
図46は、本開示の第19の実施の形態に係る撮像装置の構成例を示す断面図である。同図の撮像装置1は、放熱プレート30の代わりに上述の放熱プレート39を備える点で、図3において説明した撮像装置1と異なる。
[撮像素子の構成]
図47は、本開示の実施の形態に係る撮像素子の構成例を示す図である。同図の撮像素子20は、画素アレイ部202と、垂直駆動部203と、カラム信号処理部204と、制御部205とを備える。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品に応用することができる。例えば、本技術は、カメラ等の撮像装置に搭載される撮像素子として実現されてもよい。
(1)半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備する半導体装置。
(2)前記放熱プレートおよび前記回路基板の間に空隙が形成される前記(1)に記載の半導体装置。
(3)前記回路基板は、前記伝達された信号のやり取りを行う電子回路を備える前記(1)に記載の半導体装置。
(4)前記回路基板は、前記電子回路を構成する素子が内蔵される前記(2)に記載の半導体装置。
(5)前記回路基板は、前記電子回路を構成する素子を配置する凹部を備える前記(2)に記載の半導体装置。
(6)前記回路基板は、前記放熱プレートに近接する面に開口部を有する前記凹部を備える前記(5)に記載の半導体装置。
(7)前記放熱プレートに接着されて前記半導体チップを覆う蓋部をさらに具備する前記(1)から(6)の何れかに記載の半導体装置。
(8)前記半導体チップ配置領域を前記蓋部に係止する蓋部係止部をさらに具備する前記(7)に記載の半導体装置。
(9)前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域が前記回路基板に当接される前記(1)から(8)の何れかに記載の半導体装置。
(10)前記放熱プレートに接着されて前記半導体チップを覆う蓋部と、
前記蓋部および前記放熱プレートの間に配置されて前記放熱プレートを押圧することにより前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に当接させる弾性部材と
をさらに具備する前記(9)に記載の半導体装置。
(11)前記放熱プレートは、前記開口部の外側の領域および内側の領域を連結する領域である梁部を斜設させて前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に当接させる前記(9)に記載の半導体装置。
(12)前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に係止して当接させる突部を備える前記(9)に記載の半導体装置。
(13)前記回路基板は、表面から突出した形状の厚膜パッドを備え、
前記導電部材は、前記厚膜パッドに接続される
前記(1)から(12)の何れかに記載の半導体装置。
(14)前記導電部材は、金属線により構成される前記(1)から(13)の何れかに記載の半導体装置。
(15)前記導電部材と前記半導体チップとの接続部および前記導電部材と前記回路基板との接続部の少なくとも1つの接続部に配置される保護部を更に備える前記(14)に記載の半導体装置。
(16)前記導電部材は、前記回路基板に接続された後に前記半導体チップに接続される前記(14)に記載の半導体装置。
(17)前記導電部材は、フレキシブル配線板により構成される前記(1)から(15)の何れかに記載の半導体装置。
(18)前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に係止する回路基板係止部さらに具備する前記(1)に記載の半導体装置。
(19)前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域における前記半導体チップが配置される面とは異なる面に放熱部が配置される前記(1)から(17)の何れかに記載の半導体装置。
(20)前記放熱部は、前記放熱プレートに形成された複数の凹凸により構成される前記(19)に記載の半導体装置。
(21)前記放熱部は、前記放熱プレートの表面を粗化することにより形成される前記(19)に記載の半導体装置。
(22)前記放熱プレートは、表面に黒化部が形成される前記(1)から(21)の何れかに記載の半導体装置。
(23)前記回路基板は、前記放熱プレートと対向する面に黒化部が形成される前記(1)から(22)の何れかに記載の半導体装置。
(24)前記放熱プレートは、前記半導体チップが配置される領域に第2の開口部をさらに備える前記(1)から(23)の何れかに記載の半導体装置。
(25)前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域の振動を抑制する制振部をさらに備える前記(1)から(24)の何れかに記載半導体装置。
(26)前記半導体チップ配置領域および前記回路基板の間に配置される緩衝部をさらに具備する前記(1)から(25)の何れかに記載の半導体装置。
(27)
撮像素子と、
前記撮像素子の信号を伝達する回路基板と、
前記撮像素子が配置されるとともに前記撮像素子が配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記撮像素子が配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記撮像素子および前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備する撮像装置。
(28)半導体チップと信号のやり取りを行う回路基板と、前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、を前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置される接着部材により接着する接着工程と、
前記接着された前記放熱プレートに前記半導体チップを配置する半導体チップ配置工程と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を導電部材により接続する接続工程と
を具備する半導体装置の製造方法。
10 空隙
11 接着部材
12、14、204 接着剤
13 ダイボンド材
15 半田ボール
20、21 撮像素子
30~39 放熱プレート
40~45 回路基板
50、51 導電ワイヤ
52 フレキシブル配線板
60~64 フレーム
70~72 カバーガラス
81、82、85、86 係止部
83、303 突部
84 弾性部材
87 ACF
88 蓄熱部
91 緩衝部
100 カメラ
110 撮像部
202 画素アレイ部
203 バンプ
210 画素
301、312~315 開口部
302 梁部
304、307、308、403、702 凹部
309、311、405、409、611 穴
310 放熱部
316、318、321 制振部
319 バネ部
320、408 黒化部
350 放熱プレート
406 パッド
410 封止樹脂
501、502 接続部
503 保護部
603 放熱フィン
604 突部
701 粗化部
Claims (10)
- 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
前記放熱プレートに接着されて前記半導体チップを覆う蓋部と、を具備し、
前記放熱プレートの前記半導体チップ配置領域および前記回路基板の間に前記接着部材の厚さに応じた空隙が形成され、
一端を前記蓋部に固定させるとともに他端を前記放熱プレートに固定させて前記半導体チップ配置領域を前記蓋部に係止する蓋部係止部をさらに具備する半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記放熱プレートの前記半導体チップ配置領域および前記回路基板の間に前記接着部材の厚さに応じた空隙が形成され、
一端を前記回路基板に固定させるとともに他端を前記半導体チップに固定させて前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に係止する回路基板係止部をさらに具備する半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
前記放熱プレートに接着されて前記半導体チップを覆う蓋部と、
前記蓋部および前記放熱プレートの間に配置されて前記放熱プレートを押圧することにより前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に当接させる弾性部材と、
を具備する半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記放熱プレートは、前記開口部の外側の領域および内側の領域を連結する領域である梁部を斜設させて前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に当接させる
半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域を前記回路基板に係止して当接させる突部を備える
半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記放熱プレートは、前記半導体チップ配置領域における前記半導体チップが配置される面とは異なる面に放熱部が配置される
半導体装置。 - 前記放熱部は、前記放熱プレートに形成された複数の凹凸により構成される請求項6記載の半導体装置。
- 前記放熱部は、前記放熱プレートの表面を粗化することにより形成される請求項6記載の半導体装置。
- 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記放熱プレートは、表面に黒化部が形成される
半導体装置。 - 半導体チップと、
前記半導体チップの信号を伝達する回路基板と、
前記半導体チップが配置されるとともに前記半導体チップが配置される領域である半導体チップ配置領域の外側の領域に開口部を備える放熱プレートと、
前記放熱プレートの前記半導体チップが配置される面とは異なる面における前記開口部の外側の領域に配置されて前記回路基板および前記放熱プレートを接着する接着部材と、
前記開口部を介して前記半導体チップおよび前記回路基板を接続する導電部材と、
を具備し、
前記回路基板は、前記放熱プレートと対向する面に黒化部が形成される
半導体装置。
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