JP4434314B2 - Esd保護デバイス - Google Patents
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Description
12,12s セラミック多層基板
13 空洞部
14,14a〜14i,14s 補助電極
15,15s 間隔
16,16a〜16i,16s 放電電極
17,17a〜17c 対向部
18,18a〜18i,18s 放電電極
19,19a〜19c 対向部
22,22a〜22i 外部電極
24,24a〜24i 外部電極
30 セラミック粒
32 無機材料
34 導電材料
セラミック多層基板12の材料となるセラミック材料には、Ba、Al、Siを中心とした組成からなる材料を用いた。各素材を所定の組成になるよう調合、混合し、800−1000℃で仮焼した。得られた仮焼粉末をジルコニアボールミルで12時間粉砕し、セラミック粉末を得た。このセラミック粉末に、トルエン・エキネンなどの有機溶媒を加え混合する。さらにバインダー、可塑剤を加え混合し、スラリーを得る。このようにして得られたスラリーをドクターブレード法により成形し、厚さ50μmのセラミックグリーンシートを得る。
セラミックグリーンシート上に、補助電極14を形成するため、混合ペーストを所定のパターンになるよう、スクリーン印刷にて塗布する。混合ペーストの厚みが大きい場合などには、セラミックグリーンシートに予め設けた凹部に、セラミック/コート金属の混合ペーストを充填するようにしても構わない。
通常のセラミック多層基板と同様に、セラミックグリーンシートを積層し、圧着する。作製例では、厚み0.3mm、その中央に放電電極16,18の対向部17,19、空洞部13が配置されるように積層した。
LCフィルタのようなチップタイプの電子部品と同様に、マイクロカッタでカットして、各チップにわける。作製例では、1.0mm×0.5mmになるようにカットした。その後、端面に電極ペーストを塗布し、外部電極22,24を形成する。
次いで、通常のセラミック多層基板と同様に、N2雰囲気中で焼成する。また、ESDに対する応答電圧を下げるため空洞部13にAr、Neなどの希ガスを導入する場合には、セラミック材料の収縮、焼結が行われる温度領域をAr、Neなどの希ガス雰囲気で焼成すればよい。酸化しない電極材料(Agなど)の場合には、大気雰囲気でも構わない。
LCフィルタのようなチップタイプの電子部品と同様に、外部電極上に電解Ni−Snメッキを行う。
(1)コート導電材料を用いているので、導電材料含有量を高くでき、優れたESD応答性を発現できる。
(2)コート導電材料を用いているので、ESD印加を繰返してもESD応答性が劣化しない。
(3)無機材料は、セラミック材料と同一の成分、又は、少なくとも前記セラミック材料又は前記セラミック多層基板を構成する元素の一部を含有しているので、デラミネーションが発生し難い。
(4)セラミック材料は、セラミック多層基板の少なくとも1層を形成するセラミック材料と同じであるため、デラミネーションが発生し難い。
(5)空洞部を有すると、沿面放電が期待でき、ESD応答性をさらに向上できる。
(6)セラミック材料としてセラミック半導体を用いると、コート金属含有量が低くても優れたESD応答性を得ることができる。
(7)セラミック材料として炭化ケイ素を用いることで、安価、かつ、良好なESD保護デバイスを提供できる。
(8)導電材料としてCu粉末を用いることで、安価、かつ、良好なESD保護デバイスを提供できる。
Claims (8)
- セラミック多層基板と、
前記セラミック多層基板に形成され、間隔を設けて互いに対向する、少なくとも一対の放電電極と、
前記セラミック多層基板の表面に形成され、前記放電電極と接続される外部電極と、
を有するESD保護デバイスであって、
前記一対の放電電極間を接続する領域に、導電性を有さない無機材料によりコートされた導電材料が分散してなる補助電極を備えたことを特徴とする、ESD保護デバイス。 - 前記無機材料は、少なくとも前記セラミック多層基板を構成する元素の一部を含有していることを特徴とする、請求項1に記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極には、セラミック材料が添加されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック材料は、少なくとも前記セラミック多層基板を構成する元素の一部を含有していることを特徴とする、請求項3に記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック材料は、半導体であることを特徴とする、請求項3に記載のESD保護デバイス。
- 前記補助電極において、前記無機材料によりコートされた前記導電材料が10vol%以上、85vol%以下の割合で含有されていることを特徴とする、請求項3乃至5のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック多層基板は、その内部に空洞部を有し、前記放電電極は前記空洞部の内面に沿って形成されていることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック多層基板は、実質的に焼結していない第一のセラミック層と、焼結が完了している第二のセラミック層を交互に積層してなることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
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---|---|---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2437362A2 (en) | 2010-09-29 | 2012-04-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device and manufacturing method therefor |
WO2012043534A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JP2014060163A (ja) * | 2013-10-28 | 2014-04-03 | Murata Mfg Co Ltd | Esd保護デバイスの製造方法 |
US8724284B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-05-13 | Tdk Corporation | Electrostatic protection component |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5359587B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2013-12-04 | Tdk株式会社 | 静電気対策素子 |
JPWO2010061519A1 (ja) * | 2008-11-26 | 2012-04-19 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス及びその製造方法 |
EP2352211B1 (en) * | 2008-11-26 | 2017-12-20 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Esd protection device and manufacturing method thereof |
KR101254212B1 (ko) | 2008-12-10 | 2013-04-18 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Esd 보호 디바이스 |
EP2453536B1 (en) * | 2009-09-30 | 2019-02-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Esd protection device and manufacturing method thereof |
CN102576586B (zh) * | 2009-09-30 | 2015-06-03 | 株式会社村田制作所 | Esd保护器件及其制造方法 |
JP2011100649A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品内蔵基板および電子モジュール。 |
JP5557060B2 (ja) * | 2010-02-04 | 2014-07-23 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置の製造方法 |
CN102771024B (zh) * | 2010-02-15 | 2014-10-22 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置 |
JP5614315B2 (ja) * | 2010-02-15 | 2014-10-29 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
JP5403370B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2014-01-29 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
JP5370783B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2013-12-18 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置の製造方法およびesd保護装置 |
CN102299485B (zh) * | 2010-05-18 | 2013-09-18 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置的制造方法及esd保护装置 |
WO2011145598A1 (ja) | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス |
JP5088396B2 (ja) * | 2010-05-20 | 2012-12-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス及びその製造方法 |
JP5447180B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-03-19 | 株式会社村田製作所 | セラミック多層基板および電子モジュール |
WO2012090730A1 (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置及びその製造方法 |
JP5459295B2 (ja) | 2011-03-14 | 2014-04-02 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2012153655A1 (ja) * | 2011-05-10 | 2012-11-15 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス |
JP5699801B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2015-04-15 | Tdk株式会社 | 静電気保護部品 |
JP5699800B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2015-04-15 | Tdk株式会社 | 静電気保護部品 |
US8885324B2 (en) | 2011-07-08 | 2014-11-11 | Kemet Electronics Corporation | Overvoltage protection component |
US9142353B2 (en) | 2011-07-08 | 2015-09-22 | Kemet Electronics Corporation | Discharge capacitor |
KR101396769B1 (ko) * | 2011-07-11 | 2014-05-20 | 주식회사 아모텍 | 써프레서 |
US8629752B2 (en) * | 2011-07-11 | 2014-01-14 | Amotech Co., Ltd. | Suppressor |
WO2013011821A1 (ja) | 2011-07-15 | 2013-01-24 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JP5660412B2 (ja) * | 2011-08-29 | 2015-01-28 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス |
WO2013038892A1 (ja) | 2011-09-14 | 2013-03-21 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2013038893A1 (ja) * | 2011-09-14 | 2013-03-21 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JP2013080694A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-05-02 | Tdk Corp | 静電気対策素子 |
JP5741708B2 (ja) * | 2011-11-01 | 2015-07-01 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス |
JP2013175443A (ja) * | 2012-01-27 | 2013-09-05 | Tdk Corp | 静電気対策素子 |
KR101593078B1 (ko) | 2012-02-29 | 2016-03-22 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Esd 보호 디바이스 및 그 제조방법 |
WO2013129271A1 (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイス |
JP5811268B2 (ja) | 2012-02-29 | 2015-11-11 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JP2013219019A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-10-24 | Tdk Corp | 静電気対策素子 |
WO2014027552A1 (ja) | 2012-08-13 | 2014-02-20 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
WO2014034435A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
WO2014141988A1 (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Tdk株式会社 | 静電気対策素子 |
CN105164875B (zh) | 2013-05-08 | 2017-07-18 | 株式会社村田制作所 | Esd保护装置 |
JP6075447B2 (ja) * | 2013-05-23 | 2017-02-08 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
WO2014188792A1 (ja) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置 |
JP6365205B2 (ja) | 2014-10-08 | 2018-08-01 | Tdk株式会社 | 静電気対策素子 |
KR101608224B1 (ko) * | 2014-11-20 | 2016-04-14 | 주식회사 아모텍 | 감전보호소자 및 이를 구비한 휴대용 전자장치 |
JP6164377B2 (ja) * | 2014-12-18 | 2017-07-19 | 株式会社村田製作所 | Esd保護装置およびその製造方法 |
JP5915722B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2016-05-11 | Tdk株式会社 | 静電気保護部品 |
KR101808794B1 (ko) * | 2015-05-07 | 2018-01-18 | 주식회사 모다이노칩 | 적층체 소자 |
WO2017002476A1 (ja) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
DE102015116278A1 (de) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Epcos Ag | Überspannungsschutzbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Überspannungsschutzbauelements |
KR102609147B1 (ko) * | 2016-05-30 | 2023-12-05 | 삼성전기주식회사 | 복합 전자 부품 |
CN110031330B (zh) * | 2019-03-07 | 2022-03-08 | 航天科工防御技术研究试验中心 | 一种陶瓷涂层结合强度的测试试样、制备方法及测试方法 |
JP7392967B2 (ja) * | 2019-04-01 | 2023-12-06 | 株式会社日本イノベーション | マッサージ器具 |
JP2022185854A (ja) * | 2021-06-03 | 2022-12-15 | Tdk株式会社 | 過渡電圧保護デバイス |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297524A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Mitsubishi Materials Corp | サージアブソーバ及びその製造方法 |
JP2004014437A (ja) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Mitsubishi Materials Corp | チップ型サージアブソーバ及びその製造方法 |
JP2005276666A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Mitsubishi Materials Corp | サージアブソーバ |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01311585A (ja) | 1988-06-09 | 1989-12-15 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 放電型サージ吸収素子 |
JPH0246679A (ja) | 1988-08-05 | 1990-02-16 | Okaya Electric Ind Co Ltd | 放電型サージ吸収素子及びその製造方法 |
JP2745386B2 (ja) | 1994-06-29 | 1998-04-28 | 岡谷電機産業株式会社 | 放電型サージ吸収素子の製造方法 |
JP2000077163A (ja) | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Tokin Corp | 表面実装型サージ吸収素子 |
JP2001043954A (ja) | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Tokin Corp | サージ吸収素子及びその製造方法 |
JP2001122660A (ja) | 1999-10-22 | 2001-05-08 | Taiyo Yuden Co Ltd | 導電性ペースト、積層セラミック電子部品及びその製造方法 |
JP2001338831A (ja) | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Kyocera Corp | 導電性ペースト及びそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
JP4140173B2 (ja) * | 2000-05-31 | 2008-08-27 | 三菱マテリアル株式会社 | チップ型サージアブソーバおよびその製造方法 |
JP4541517B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2010-09-08 | キヤノン株式会社 | 記録装置 |
JP2002298643A (ja) | 2001-03-29 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 外部電極用導電性ペースト及びそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
JP2003246680A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 多層セラミック基板の製造方法 |
JP3929989B2 (ja) | 2004-03-29 | 2007-06-13 | 京都エレックス株式会社 | 導電性ペースト及びその導電性ペーストを用いたセラミック多層回路基板。 |
JP2006032090A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Mitsubishi Materials Corp | サージアブソーバ |
EP1788680A4 (en) * | 2004-07-15 | 2013-12-04 | Mitsubishi Materials Corp | SURGE |
JP2006054061A (ja) | 2004-08-09 | 2006-02-23 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 導電性ペースト |
CN1805649A (zh) * | 2005-12-30 | 2006-07-19 | 上海维安热电材料股份有限公司 | 一种高分子基esd防护元件及其制造方法 |
CN101542856B (zh) | 2007-05-28 | 2012-05-30 | 株式会社村田制作所 | 静电放电保护装置 |
US20090091233A1 (en) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Liu Te-Pang | Protecting device for electronic circuit and manufacturing method thereof |
-
2009
- 2009-01-22 EP EP09707860.4A patent/EP2242154B1/en active Active
- 2009-01-22 CN CN200980104317.7A patent/CN101933204B/zh active Active
- 2009-01-22 WO PCT/JP2009/050928 patent/WO2009098944A1/ja active Application Filing
- 2009-01-22 KR KR1020107017106A patent/KR101072673B1/ko active IP Right Grant
- 2009-01-22 JP JP2009541655A patent/JP4434314B2/ja active Active
-
2010
- 2010-07-30 US US12/846,878 patent/US8238069B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003297524A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Mitsubishi Materials Corp | サージアブソーバ及びその製造方法 |
JP2004014437A (ja) * | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Mitsubishi Materials Corp | チップ型サージアブソーバ及びその製造方法 |
JP2005276666A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Mitsubishi Materials Corp | サージアブソーバ |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2437362A2 (en) | 2010-09-29 | 2012-04-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device and manufacturing method therefor |
WO2012043534A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JP2012074269A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Murata Mfg Co Ltd | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
JPWO2012043534A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-02-24 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
US8773824B2 (en) | 2010-09-29 | 2014-07-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | ESD protection device and manufacturing method therefor |
JP5561370B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-07-30 | 株式会社村田製作所 | Esd保護デバイスおよびその製造方法 |
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