JP4270284B2 - 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置 - Google Patents

車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4270284B2
JP4270284B2 JP2007018821A JP2007018821A JP4270284B2 JP 4270284 B2 JP4270284 B2 JP 4270284B2 JP 2007018821 A JP2007018821 A JP 2007018821A JP 2007018821 A JP2007018821 A JP 2007018821A JP 4270284 B2 JP4270284 B2 JP 4270284B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wheel state
wheel
state information
request signal
transmission request
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007018821A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008184018A (ja
Inventor
秀樹 楠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2007018821A priority Critical patent/JP4270284B2/ja
Priority to US12/020,182 priority patent/US7661299B2/en
Priority to DE102008006556.0A priority patent/DE102008006556B4/de
Priority to CN2008100002707A priority patent/CN101234585B/zh
Publication of JP2008184018A publication Critical patent/JP2008184018A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4270284B2 publication Critical patent/JP4270284B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60CVEHICLE TYRES; TYRE INFLATION; TYRE CHANGING; CONNECTING VALVES TO INFLATABLE ELASTIC BODIES IN GENERAL; DEVICES OR ARRANGEMENTS RELATED TO TYRES
    • B60C23/00Devices for measuring, signalling, controlling, or distributing tyre pressure or temperature, specially adapted for mounting on vehicles; Arrangement of tyre inflating devices on vehicles, e.g. of pumps or of tanks; Tyre cooling arrangements
    • B60C23/02Signalling devices actuated by tyre pressure
    • B60C23/04Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre
    • B60C23/0408Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre transmitting the signals by non-mechanical means from the wheel or tyre to a vehicle body mounted receiver
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60CVEHICLE TYRES; TYRE INFLATION; TYRE CHANGING; CONNECTING VALVES TO INFLATABLE ELASTIC BODIES IN GENERAL; DEVICES OR ARRANGEMENTS RELATED TO TYRES
    • B60C23/00Devices for measuring, signalling, controlling, or distributing tyre pressure or temperature, specially adapted for mounting on vehicles; Arrangement of tyre inflating devices on vehicles, e.g. of pumps or of tanks; Tyre cooling arrangements
    • B60C23/02Signalling devices actuated by tyre pressure
    • B60C23/04Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre
    • B60C23/0408Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre transmitting the signals by non-mechanical means from the wheel or tyre to a vehicle body mounted receiver
    • B60C23/0422Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre transmitting the signals by non-mechanical means from the wheel or tyre to a vehicle body mounted receiver characterised by the type of signal transmission means
    • B60C23/0433Radio signals
    • B60C23/0435Vehicle body mounted circuits, e.g. transceiver or antenna fixed to central console, door, roof, mirror or fender
    • B60C23/0438Vehicle body mounted circuits, e.g. transceiver or antenna fixed to central console, door, roof, mirror or fender comprising signal transmission means, e.g. for a bidirectional communication with a corresponding wheel mounted receiver
    • B60C23/044Near field triggers, e.g. magnets or triggers with 125 KHz
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60CVEHICLE TYRES; TYRE INFLATION; TYRE CHANGING; CONNECTING VALVES TO INFLATABLE ELASTIC BODIES IN GENERAL; DEVICES OR ARRANGEMENTS RELATED TO TYRES
    • B60C23/00Devices for measuring, signalling, controlling, or distributing tyre pressure or temperature, specially adapted for mounting on vehicles; Arrangement of tyre inflating devices on vehicles, e.g. of pumps or of tanks; Tyre cooling arrangements
    • B60C23/02Signalling devices actuated by tyre pressure
    • B60C23/04Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre
    • B60C23/0408Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre transmitting the signals by non-mechanical means from the wheel or tyre to a vehicle body mounted receiver
    • B60C23/0422Signalling devices actuated by tyre pressure mounted on the wheel or tyre transmitting the signals by non-mechanical means from the wheel or tyre to a vehicle body mounted receiver characterised by the type of signal transmission means
    • B60C23/0433Radio signals
    • B60C23/0435Vehicle body mounted circuits, e.g. transceiver or antenna fixed to central console, door, roof, mirror or fender
    • B60C23/0438Vehicle body mounted circuits, e.g. transceiver or antenna fixed to central console, door, roof, mirror or fender comprising signal transmission means, e.g. for a bidirectional communication with a corresponding wheel mounted receiver
    • B60C23/0442Vehicle body mounted circuits, e.g. transceiver or antenna fixed to central console, door, roof, mirror or fender comprising signal transmission means, e.g. for a bidirectional communication with a corresponding wheel mounted receiver the transmitted signal comprises further information, e.g. instruction codes, sensor characteristics or identification data

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Description

本発明は、車輪状態に関連する情報を取得するための装置およびシステムに関する。
近年、より安全な車両の走行を実現するために、タイヤの空気圧や温度などの情報を無線で車体側に送信して運転者に知らせるタイヤ空気圧監視システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)の開発が進められている。このようなタイヤ空気圧監視システムでは、タイヤ空気圧などの車輪状態を検出する車輪状態検出ユニットが各車輪に設けられる。この車輪状態検出ユニットで検出された車輪状態情報は無線で車両本体側に送信される。
この種の監視システムに関して、特許文献1には、検出されたタイヤ空気圧と、設定される判定用閾値との比較に基づいて、タイヤ空気圧状態を判定する空気圧警報装置が開示される。特許文献1に開示された技術においては、タイヤが異なる仕様に変更された場合に、タイヤ空気圧が変更後のタイヤ仕様に応じた適正空気圧に調整され、調整後の実際のタイヤ空気圧が変更後のタイヤ仕様に応じた適正空気圧として記憶され、その記憶された実際のタイヤ空気圧に基づき判定用閾値が設定される。
特開2003−267011号公報
タイヤ空気圧監視システムにおいて、車輪状態検出ユニットは、タイヤバルブを有して構成され、タイヤバルブがホイールリムに固定されることで、車輪に取り付けられることがある。特許文献1では、判定用閾値の設定が停車時に行われるが、停止車輪における車輪状態検出ユニットの位置によっては、電波環境が悪く、車体側の受信機が、空気圧情報を受信できないこともある。そのような場合、タイヤの仕様が変更されても、停車中は空気圧情報を受信できないために、判定用閾値を変更できず、好ましくない。また車輪が回転すると電波環境が改善されて、車体側の受信機が回転中の車輪から空気圧情報を受信できるようになるが、その場合はタイヤ気室内温度が変化するため、正確な空気圧情報を取得できないという問題もある。
そこで、本発明は、車輪状態情報を好適に送受信する技術を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明のある態様の車輪状態監視システムは、複数の車輪のそれぞれに対応して設けられ、検出した車輪状態を車輪状態情報として無線で送信する複数の車輪状態検出ユニットと、前記複数の車輪が装着される車両本体に設けられ、車輪状態情報の送信要求信号を無線で発信する発信機と、前記車両本体に設けられ、前記車輪状態検出ユニットから無線で送信された車輪状態情報を受信する車体側受信機とを備える。前記複数の車輪状態検出ユニットのそれぞれは、送信要求信号を受信すると、検出した車輪状態を、その受信時における車輪状態であることを特定する指示情報とともに、車輪状態情報として送信する。なお受信時における車輪状態とは、受信する直前に検出した車輪状態であってよく、また受信直後に検出した車輪状態であってもよい。
この態様によると、送信要求信号の受信時における車輪状態であることを特定する指示情報が車輪状態とともに送信されるため、車両本体側では、指示情報を参照して、送信されてきた車輪状態情報を、他の車輪状態情報と区別することができる。たとえば前記車輪状態検出ユニットが、定期的に車輪状態情報を送信する場合に、車両本体側は、定期送信される車輪状態情報と、送信要求信号に応答して生成される車輪状態情報とを、指示情報をもとに区別できる。これにより、指示情報を含んだ車輪状態情報を抽出して、特定の用途に利用することが可能となる。
前記車両本体に、送信要求信号に応答して前記車輪状態検出ユニットから送信される車輪状態情報に基づいて、タイヤ空気圧警報処理の判定用閾値を設定する設定手段が設けられてもよい。送信要求信号に応答して送信される車輪状態情報を利用することで、判定用閾値を適切に設定することが可能となる。
前記車輪状態検出ユニットは、前記車両本体から車輪状態情報の受信確認信号を受け取るまで、送信要求信号に応答して生成した車輪状態情報を記憶手段に保持してもよい。これにより、車両本体側で、たとえば判定用閾値設定などの処理が完了する前に、車輪状態情報を記憶手段から削除する状態を回避することができ、車両本体において車輪状態情報が受信できていない場合に、記憶状態を維持することで、同一の車輪状態情報を再送することが可能となる。
送信要求信号は運転者からの操作入力に基づいて前記発信機から発信され、前記設定手段は、車輪状態が所定の条件を満足している場合に、判定用閾値を設定してもよい。たとえば、車輪状態情報に含まれるタイヤ空気圧などの情報が正常でない場合、設定手段は、判定用閾値を設定しない。これにより、異常な車輪状態をもとに、判定用閾値を設定する事態を回避することができる。
送信要求信号は、車両状態が所定の条件を満足している場合に、運転者からの操作入力に基づいて前記発信機から発信されてもよい。たとえば車両の停止中であることを条件として、送信要求信号が発信されてもよい。
本発明の別の態様は、車輪状態検出装置である。この車輪状態検出装置は、車輪状態を検出する検出手段と、車両本体側から発信される送信要求信号を受信する受信機と、前記受信機において送信要求信号を受信したときに前記検出手段が検出した車輪状態に、送信要求信号の受信時における車輪状態であることを特定する指示情報を関連づけて記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された車輪状態を、前記指示情報とともに車輪状態情報として無線で送信する送信機と、車両本体側から発信される受信確認信号を取得する取得手段とを備える。前記取得手段は、前記受信確認信号を受け取るまで、送信要求信号に応答して生成した車輪状態情報を記憶手段に保持させ、受信確認信号を取得すると、記憶手段に保持した車輪状態情報を削除する。この態様によると、車輪状態を指示情報とともに車輪状態情報として無線で送信することで、車両本体側において、指示情報を付加された車輪状態情報を抽出することが可能となる。
本発明によれば、車輪状態情報を好適に送受信する技術を提供することが可能となる。
以下、図面を参照しつつ本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
図1は、実施例に係る車両10に設けられる車輪状態監視システム200を模式的に示す図である。車両10は車両本体12を有し、車両本体12には、右前輪14FR、左前輪14FL、右後輪14RR、および左後輪14RL(以下、必要に応じて「車輪14」と総称する)が装着される。車輪14はタイヤおよびホイールを有し、ホイールの外周部には円筒状に形成されたホイールリムが設けられ、ホイールリムの外周上にタイヤが組み付けられる。こうしてタイヤ内部とホイールリム外周によって囲われる領域にタイヤ気室が形成される。
本実施例の車輪状態監視システム200は、車輪状態検出ユニット16a、16b、16c、16d(以下、必要に応じて「車輪状態検出ユニット16」と総称する)、車体側受信機20、要求信号発信機22a、22b、22c、22d(以下、必要に応じて「要求信号発信機22」と総称する)、車輪速センサ24および電子制御ユニット(以下、「ECU」という)100を備える。車輪状態検出ユニット16aは右前輪14FRに、車輪状態検出ユニット16bは左前輪14FLに、車輪状態検出ユニット16cは右後輪14RRに、車輪状態検出ユニット16dは左後輪14RLに、それぞれ搭載される。また、要求信号発信機22aは車輪状態検出ユニット16aに、要求信号発信機22bは車輪状態検出ユニット16bに、要求信号発信機22cは車輪状態検出ユニット16cに、要求信号発信機22dは車輪状態検出ユニット16dに、それぞれ対応して設けられる。
車輪状態検出ユニット16は、タイヤバルブおよびユニット本体部を有する。ユニット本体部は電池や基盤を内部に有し、基盤には後述する処理装置が設けられる。ユニット本体部は、この他にも後述する空気圧センサ、温度センサ、送信機、および受信機などを内部に有する。処理装置は、空気圧センサ、温度センサなどの検出結果から車輪状態情報を生成する。電池は、基盤の処理装置などに電力を供給する。このため、車輪状態検出ユニット16は車両本体12から電力の供給を受けることなく、タイヤ空気圧やタイヤ気室内温度の検出および車輪状態情報の無線送信を行うことが可能となっている。ユニット本体部はタイヤバルブの一端に固定される。車輪状態検出ユニット16は、タイヤバルブがホイールリムに固定されることにより、車輪14に取り付けられる。車輪状態検出ユニット16は、たとえば数分に1回などの所定の周期で、車輪状態情報を定期的に送信する。
車体側受信機20、要求信号発信機22、車輪速センサ24、初期化スイッチ26、報知部28およびECU100は車両本体12に設けられる。ECU100は、車輪状態検出ユニット16から送信される車輪状態情報からタイヤ空気圧を監視し、タイヤ空気圧が警報処理の判定用閾値を下回る場合に、報知部28から運転者に警報を報知する機能をもつ。報知部28は、スピーカから音声により警報を出力してもよく、また液晶パネルなどの画像出力装置から警報を出力してもよい。本実施例の車輪状態監視システム200において、ECU100は、タイヤ空気圧を判定するための判定用閾値を設定する機能も有する。
初期化スイッチ26は、タイヤを新しく交換したときや、また車体前後でタイヤをローテーションしたときなどに、警報処理の判定用閾値を設定するために、運転者により操作されるスイッチである。タイヤ交換等によって仕様が変更されると、タイヤ空気圧を監視するためには、新しいタイヤに対する警報処理の判定用閾値を設定しなおす必要がある。タイヤ交換後、運転者が初期化スイッチ26を操作すると、ECU100が、判定用閾値の設定処理を開始する。
要求信号発信機22は、対応する車輪状態検出ユニット16に対して、車輪状態情報の送信を要求する信号を無線で発信する。要求信号発信機22はECU100に接続されており、ECU100からの指示に基づいて送信要求信号を発信する。ECU100は、初期化スイッチ26からの操作入力を受け付けることで、要求信号発信機22に送信要求信号の発信指示を供給する。発信された送信要求信号は、対応する車輪状態検出ユニット16の受信機により受信される。
車輪状態検出ユニット16は、送信要求信号を受信すると、検出した車輪状態を、その受信時における車輪状態であることを特定する指示情報とともに、車輪状態情報として送信する。車輪状態検出ユニット16は、車輪状態情報を定期的に送信しているが、送信要求信号を受信すると、送信周期とは関係なく、受信したタイミングで車輪状態情報を強制的に送信してもよい。また、車輪状態検出ユニット16は、送信要求信号を受信すると、送信周期にしたがって、送信要求信号を受信した直後に到来する送信タイミングで車輪状態情報を送信してもよい。
車体側受信機20は、車輪状態検出ユニット16から無線送信された車輪状態情報を受信する。車体側受信機20はECU100に接続されており、車体側受信機20によって受信された車輪状態情報はECU100に出力される。ECU100は、受信された車輪状態情報が要求信号発信機22からの送信要求信号に応答したものである場合、その車輪状態情報をもとに、たとえばタイヤ空気圧の状態を判定する警報処理に用いられる判定用閾値を設定する。
車輪速センサ24は、4つの車輪14の各々の回転を検出し、4つの車輪14の各々について回転速度である車輪速を検出する。
図2は、図1の車両10に設けられる車輪14の部分断面図である。各車輪14に含まれるタイヤ30は、いわゆるランフラットタイヤであり、空気圧の低下時にランフラット走行を可能とするものである。タイヤ30は、ビードコア32が埋設された一対のビード部34と、ビード部34からタイヤ径方向外側に延びる一対のサイドウォール部36と、両サイドウォール部36間に延在するトレッド部38とを含む。一対のビード部34、一対のサイドウォール部36およびトレッド部38には、たとえば1枚の繊維材からなるカーカス40が埋設されており、トレッド部38には、カーカス40の外側に位置するようにベルト層42が埋設されている。そして、各サイドウォール部36には、インナーライナ44の内側に位置するように補強ゴム46が埋設されている。この補強ゴム46は、高い剛性を有し、ホイール50とタイヤ30とにより画成されるタイヤ30内の空気圧がパンク等により低下した際に、タイヤ30の全体をホイール50に対して支持し、それによってランフラット走行を可能とする。
各車輪14には、タイヤ30の空気圧調整用バルブとして機能する車輪状態検出ユニット16が装着されている。車輪状態検出ユニット16は、その検出部61がタイヤ30とホイール50との間に形成された内部空間Sに配置されており、その内部空間Sに突出するとともに後述する各種センサを収容して支持する樹脂製のケース62と、ケース62に一体に設けられた通気部63とを含む。空気圧の調整の際には空気がこの通気部63を介して内部空間Sに導入されるが、通常時においては通気部63の先端部にバルブキャップ58が装着されて通気が確実に遮断されている。車輪状態検出ユニット16は、その通気部63の部分がホイール50のホイールリム52に設けられた取付孔54に弾性ゴムからなるグロメット56、ワッシャおよびボルトを介して取り付けられる。このため、ケース62は、通気部63との接続部を支点に片持ち状に内部空間Sに配置されている。グロメット56は、所定の剛性を有しており、タイヤ30内を気密に保持する。また、バルブキャップ58は、ホイールリム52の外側に突出しており、このバルブキャップ58を取り外して、図示しない弁口に空気供給装置のホースを接続することによりタイヤ30内に空気を供給可能となる。
図3は、車輪状態監視システム200における車両本体12の機能ブロック図である。車両本体12は、車体側受信機20、要求信号発信機22、車輪速センサ24、初期化スイッチ26、報知部28およびECU100を備える。ECU100は、操作入力受付部102、車両状態判定部104、発信制御部106、車輪状態情報取得部108、判定用閾値設定部110、警報処理部112および記憶部120を備える。
操作入力受付部102は、運転者による初期化スイッチ26の操作入力を受け付ける。既述したように、運転者が初期化スイッチ26を操作すると、ECU100が判定用閾値の設定処理を開始する。
車両状態判定部104は、車両が判定用閾値を設定してよい状態にあるか判定する。本実施例の車輪状態監視システム200において、判定用閾値は、初期化スイッチ26の操作により送信要求信号が発信され、その送信要求信号が車輪状態検出ユニット16において受信されたときに取得されるタイヤ空気圧を利用して求められる。そのため、運転者は、タイヤを交換すると、車両を停止した状態で初期化スイッチ26を操作して判定用閾値の設定処理を開始させる。車両走行中は、タイヤ内の空気温度が上昇するため、タイヤ空気圧を適切に取得することができない。したがって、車両状態判定部104は、車両が停止状態にあるか判定し、初期化スイッチ26が走行中に操作されたのであれば、判定用閾値の設定処理を強制終了するようにする。車両状態判定部104は、車輪速センサ24からの検出値をもとに、車両が走行状態にあるか否かを判定する。
車両状態判定部104により車両状態が所定の条件を満足していることが判定されると、発信制御部106が、要求信号発信機22a〜22dのそれぞれを、車輪状態情報の送信要求信号を発信させるように制御する。たとえば発信制御部106は、所定の時間間隔で、要求信号発信機22a〜22dのそれぞれを順番に発信させてもよい。たとえば発信制御部106は、3秒間隔で要求信号発信機22a、22b、22c、22dの順に、それぞれ1回ずつ発信させてもよい。
要求信号発信機22はLF(Low Frequency)発信機であり、送信要求信号をLF信号にのせて送信できる。要求信号発信機22は、発信制御部106から送信指示をうけると、対応する車輪状態検出ユニット16に対して送信要求信号を発信する。
図4は、実施例に係る車輪状態検出ユニット16の機能ブロック図である。車輪状態検出ユニット16は、車輪側受信機170、車輪側送信機172、空気圧センサ174、温度センサ176および処理装置150を備える。
空気圧センサ174および温度センサ176は、それぞれ車輪状態を検出する検出手段であり、空気圧センサ174は、タイヤ気室の空気圧(以下、「タイヤ空気圧」という)を検出し、温度センサ176は、タイヤ気室の温度を検出する。空気圧センサ174および温度センサ176は処理装置150に接続されており、空気圧センサ174および温度センサ176による検出結果は処理装置150に出力される。車輪側送信機172は、車輪状態情報を車体側受信機20に送信し、車輪側受信機170は、要求信号発信機22から発信される送信要求信号を受信する。
処理装置150はマイクロプロセッサによって構成され、要求信号取得部152、車輪状態情報生成部154、タイマ156、送信制御部158、確認信号取得部160および記憶部162を有する。タイマ156は時間を計時する。記憶部162は、車輪状態検出ユニット16を一意に識別するための識別情報として利用されるユニットIDを格納する。車輪状態情報生成部154は、空気圧センサ174および温度センサ176の検出結果を利用して、タイヤ空気圧情報およびタイヤ気室内温度情報(以下、「タイヤ空気圧情報等」ともよぶ)を取得する。車輪状態情報生成部154は、取得したタイヤ空気圧情報等を含む車輪状態情報を生成する。この車輪状態情報は、ユニットIDを含んだ所定のデータフォーマットで構成され、記憶部162に保持された後、送信制御部158からの送信指示により車輪側送信機172から送信される。車輪状態情報生成部154は、タイマ156からの時間情報をもとに所定の周期で車輪状態情報を生成し、車輪状態情報は、送信制御部158により車輪側送信機172から所定の周期で送信される。
本実施例の処理装置150は、定期的に車輪状態情報を生成して送信する機能だけでなく、車両本体12からの送信要求信号に応答して、その受信時における空気圧センサ174および温度センサ176の検出結果から生成した車輪状態情報を、送信周期とは無関係に強制的に送信する機能も有してよい。
具体的に、車輪側受信機170が、要求信号発信機22からの送信要求信号を受信すると、要求信号取得部152が、その送信要求信号を取得する。要求信号取得部152は、判定用閾値設定用の車輪状態情報を生成することを車輪状態情報生成部154に指示する。車輪状態情報生成部154は、空気圧センサ174および温度センサ176の検出結果を受け取り、送信要求信号の受信時における車輪状態であることを特定する指示情報とともに、タイヤ空気圧情報等を含む車輪状態情報を生成する。たとえば、この指示情報は、フラグ値により表現されてもよい。車輪状態情報のデータフォーマットに、応答フラグが設けられ、通常の定期的に送信される車輪状態情報の応答フラグ値は0にセットされ、車両本体12からの送信要求信号への応答として生成される車輪状態情報の応答フラグ値は1にセットされる。これにより、車両本体12側では、車輪状態情報の応答フラグ値を参照することで、判定用閾値の設定処理に利用する車輪状態情報を選択的に取得することが可能となる。
なお、車輪状態情報生成部154は、要求信号取得部152からの指示を受けると、その受信したタイミングで車輪状態情報を生成してもよく、または、定期的な生成周期における直近のタイミングで車輪状態情報を生成してもよい。前者の場合は、車輪状態情報を、生成周期とは異なって強制的に生成することになり、一方、後者の場合は、車輪状態情報を、通常の生成周期にあわせて生成することになる。なお、前者の場合、車輪状態情報生成部154により車輪状態情報が生成されると、その旨が送信制御部158に通知され、送信制御部158は、生成された車輪状態情報を車輪側送信機172より車体側受信機20に送信させる。これにより、車体側受信機20は、要求信号発信機22から送信要求信号を発信した後、比較的早いタイミングで、判定用閾値の設定処理に利用する車輪状態情報を受信できることになる。なお、送信制御部158は、所定の送信周期による送信タイミングで、車輪状態情報を車輪側送信機172より車体側受信機20に送信させてもよい。車輪状態情報生成部154は、送信要求信号に対する車輪状態情報を記憶部162に格納する。
図3に戻って、車体側受信機20は、車輪側送信機172から送信される車輪状態情報を受信し、車輪状態情報取得部108に引き渡す。車輪状態情報取得部108は、車輪状態情報を取得すると、応答フラグ値を参照して、判定用閾値の設定処理に利用するものであるか判定する。既述したように、応答フラグ値が1にセットされていれば、判定用閾値の設定処理用の車輪状態情報であることが判定される。応答フラグ値が1の場合、車輪状態情報取得部108は、その車輪状態情報を判定用閾値設定部110に引き渡す。判定用閾値設定部110は、その車輪状態情報に含まれるタイヤ空気圧情報から、判定用閾値を設定する。
たとえば、判定用閾値設定部110は、取得したタイヤ空気圧情報に対して0.75を乗じた値を、判定用閾値として設定してもよい。たとえば、取得したタイヤ空気圧情報が200kPaであれば、150kPa(=200kPa×0.75)を判定用閾値として設定する。この乗算係数は任意の値であってよいが、0.75を乗算することは、タイヤ空気圧が初期状態から25%低くなったときに、警報を発するポリシーであることを意味する。
なお判定用閾値設定部110は、車輪状態情報取得部108から引き渡された車輪状態情報に含まれる車輪状態が所定の条件を満足している場合に、判定用閾値を設定し、条件を満足していない場合には、判定用閾値の設定を行わない。たとえば、取得したタイヤ空気圧情報が異常に高い場合や、低い場合に、それをもとに判定用閾値を設定することは好ましくない。そこで、タイヤ空気圧の上限値および下限値を設定しておき、取得したタイヤ空気圧情報が、上限値および下限値で特定される範囲に入っていなければ、判定用閾値設定部110が、判定用閾値の設定処理を実行しないこととする。これにより、異常な判定用閾値が設定される状況を回避できる。
記憶部120は、車輪状態検出ユニット16のユニットIDと、車輪状態検出ユニット16の取付位置との対応表を格納している。タイヤ交換がなされたときには、運転者により、対応表が作成されてもよい。判定用閾値設定部110は、この対応表と、また車輪状態情報に含まれるユニットIDとを利用して、各輪における判定用閾値を定めることができる。
なお、要求信号発信機22に発信機IDをもたせることで、車輪状態検出ユニット16のユニットIDと、車輪状態検出ユニット16の取付位置との対応表を作成することも可能である。前提として、判定用閾値設定部110は、要求信号発信機22a〜22dの発信機IDと、その設置位置との対応表を保持している。
各要求信号発信機22は、自身の発信機IDを含めて、送信要求信号を発信する。車輪状態検出ユニット16において、要求信号取得部152が送信要求信号を取得すると、車輪状態情報生成部154に、発信機IDの情報も通知する。これにより、車輪状態情報生成部154は、発信機IDの情報も含めて車輪状態情報を生成することが可能となる。既述したように、車輪状態情報は、送信制御部158により車輪側送信機172から車体側受信機20に送信される。
車輪状態情報取得部108は、車輪状態情報を取得し、判定用閾値設定部110は、車輪状態情報に含まれる発信機IDを取得する。これにより、判定用閾値設定部110は、発信機IDとその設置位置との対応表を参照して、車輪状態情報が、右前輪14FR、左前輪14FL、右後輪14RR、左後輪14RLのいずれの車輪状態検出ユニット16から送信されたものであるかを特定できる。このようにして判定用閾値設定部110は、車輪状態検出ユニット16のユニットIDと、車輪状態検出ユニット16の取付位置との対応表を作成し、各輪における判定用閾値を設定してもよい。
以上のように判定用閾値が設定されると、警報処理部112は、定期的に各車輪状態検出ユニット16から送信される車輪状態情報から、タイヤ空気圧が判定用閾値を下回っているか判定する。なお、車両走行中はタイヤ気室内温度が上昇するため、その上昇分を加味して空気圧の判定処理を行うことが好ましい。警報処理部112は、タイヤ空気圧が判定用閾値を下回ったことを検出すると、報知部28から警報を発する。報知部28は、スピーカから音声により運転者にタイヤ空気圧が下がっていることを警告してもよく、また液晶パネルなどの画像出力装置から視覚的に警報を発してもよい。
なお本実施例において、判定用閾値の設定処理は、車両の停止状態において開始される。そのため車輪状態検出ユニット16の車輪側送信機172と、車両本体12の車体側受信機20との間の通信状態は、車輪14の停止位置に大きく影響されることになる。図2に示したように、車輪状態検出ユニット16は、バルブ位置に設けられているため、車輪14の停止位置によっては、車輪側送信機172からの送信信号が、車体側受信機20により受信できない状況も発生しうる。
したがって、車輪状態検出ユニット16では、送信要求信号への応答としての車輪状態情報が車両本体12において受信できたことを確認するまでは、その車輪状態情報を記憶部162に保持しつづける。車両本体12において、車輪状態情報取得部108が、応答フラグ値が1にセットされた車輪状態情報を取得すると、要求信号発信機22から、受信確認信号(いわゆるACK信号)を送信させる。確認信号取得部160は、受信確認信号を取得すると、車両本体12において車輪状態情報が適切に受信されたことを確認して、記憶部162に保持した車輪状態情報を削除する。
一方、確認信号取得部160は、受信確認信号を取得しなければ、送信制御部158にその旨を通知する。たとえば、確認信号取得部160は、車輪側送信機172より車輪状態情報を送信してから所定時間が経過するまでに受信確認信号を取得できなかったときに、送信制御部158にその旨を通知してもよい。この所定時間は、タイマ156により計時される。この通知を受けると、送信制御部158は、記憶部162に保持されている車輪状態情報を車輪側送信機172から再送信させることができる。
なお車両の停止中、車輪状態検出ユニット16の位置は変化しないため、車輪側送信機172と車体側受信機20との間の通信状況が改善されないことが想定される。したがって、送信制御部158による再送信処理は、たとえば所定回数を限度として実行されるようにしてもよい。これにより、再送信処理を無駄に継続する状況を回避でき、バッテリ消費量を低減できる。なお、車輪状態検出ユニット16が加速度センサを搭載し、車輪14が回転していることが検出されると、車輪状態検出ユニット16の位置が変化したことが分かるため、その時点で再送信処理を実行ないしは再開するようにしてもよい。これにより、車両走行中であっても、初期化スイッチ26が操作された時点の車輪状態情報が、適切に車体側受信機20において受信されることになる。
図5は、車両本体12において実行される判定用閾値設定処理のフローを示す。本フローは、運転者により初期化スイッチ26が操作されることで(S10のY)開始される。なお、初期化スイッチ26が操作されなければ(S10のN)、本フローは実行されない。
初期化スイッチ26が操作されると、車両状態判定部104が、車両が停止しているか判定する(S12)。車両が停止していなければ(S12のN)、判定用閾値の設定処理は終了し、車両が停止していれば(S12のY)、発信制御部106が、各要求信号発信機22を制御して、送信要求信号を発信させる(S14)。車輪状態情報取得部108が、送信要求信号に対する応答である車輪状態情報を取得すると(S16のY)、要求信号発信機22から受信確認信号を送信させる(S18)。なお、車輪状態情報取得部108が、送信要求信号に対する応答である車輪状態情報を、たとえば所定時間の間に受信できなければ(S16のN)、判定要閾値の設定処理が終了されてもよい。判定用閾値設定部110は、車輪状態情報に含まれるタイヤ空気圧情報をもとに、警報処理の判定用閾値を設定する(S20)。
図6は、車輪状態検出ユニット16において実行される車輪状態情報の送信処理のフローを示す。本フローは、要求信号取得部152が送信要求信号を取得することで(S30のY)開始される。送信要求信号が取得されなければ(S30のN)、本フローは実行されない。なお、本フローは、判定用閾値の設定に利用される車輪状態情報の送信処理フローを示し、定期的な車輪状態情報の送信処理については省略している。
車輪状態情報生成部154は、空気圧センサ174等により検出された車輪状態を、送信要求信号の受信時における車輪状態であることを特定する指示情報と関連づけて車輪状態情報を生成し、記憶部162に記憶する。車輪側送信機172は、その車輪状態情報を車体側受信機20に送信する(S32)。車輪側送信機172は、車輪状態情報が生成されたタイミングで送信してもよく、また所定の送信周期にしたがって送信してもよい。
確認信号取得部160は、要求信号発信機22から受信確認信号が送信されてきたか確認し、確認できなければ(S34のN)、記憶部162に記憶されている車輪状態情報を再送信する(S32)。確認信号取得部160は、受信確認信号を取得すると(S34のY)、車輪状態情報を記憶部162から削除する。
本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、実施例の各要素を適宜組み合わせたものも、本発明の実施例として有効である。また、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を実施例に対して加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施例も本発明の範囲に含まれうる。
実施例に係る車両に設けられる車輪状態監視システムを模式的に示す図である。 図1の車両に設けられる車輪の部分断面図である。 車輪状態監視システムにおける車両本体の機能ブロック図である。 実施例に係る車輪状態検出ユニットの機能ブロック図である。 車両本体において実行される判定用閾値設定処理のフローを示す図である。 車輪状態検出ユニットにおいて実行される車輪状態情報の送信処理のフローを示す図である。
符号の説明
10・・・車両、12・・・車両本体、14・・・車輪、16・・・車輪状態検出ユニット、20・・・車体側受信機、22・・・要求信号発信機、24・・・車輪速センサ、26・・・初期化スイッチ、28・・・報知部、100・・・ECU、102・・・操作入力受付部、104・・・車両状態判定部、106・・・発信制御部、108・・・車輪状態情報取得部、110・・・判定用閾値設定部、112・・・警報処理部、120・・・記憶部、150・・・処理装置、152・・・要求信号取得部、154・・・車輪状態情報生成部、156・・・タイマ、158・・・送信制御部、160・・・確認信号取得部、162・・・記憶部、170・・・車輪側受信機、172・・・車輪側送信機、174・・・空気圧センサ、176・・・温度センサ、200・・・車輪状態監視システム。

Claims (6)

  1. 複数の車輪のそれぞれに対応して設けられ、検出した車輪状態を車輪状態情報として無線で送信する複数の車輪状態検出ユニットと、
    前記複数の車輪が装着される車両本体に設けられ、車輪状態情報の送信要求信号を無線で発信する発信機と、
    前記車両本体に設けられ、前記車輪状態検出ユニットから無線で送信された車輪状態情報を受信する車体側受信機と、を備え、
    前記複数の車輪状態検出ユニットのそれぞれは、送信要求信号を受信すると、検出した車輪状態を、その受信時における車輪状態であることを特定する指示情報とともに、車輪状態情報として送信し、
    前記車輪状態検出ユニットは、前記車両本体から車輪状態情報の受信確認信号を受け取るまで、送信要求信号に応答して生成した車輪状態情報を記憶手段に保持することを特徴とする車輪状態監視システム。
  2. 前記車両本体に、送信要求信号に応答して前記車輪状態検出ユニットから送信される車輪状態情報に基づいて、タイヤ空気圧警報処理の判定用閾値を設定する設定手段が設けられることを特徴とする請求項1に記載の車輪状態監視システム。
  3. 前記車輪状態検出ユニットは、定期的に車輪状態情報を送信することを特徴とする請求項1または2に記載の車輪状態監視システム。
  4. 送信要求信号は運転者からの操作入力に基づいて前記発信機から発信され、
    前記設定手段は、車輪状態が所定の条件を満足している場合に、判定用閾値を設定することを特徴とする請求項2に記載の車輪状態監視システム。
  5. 送信要求信号は、車両状態が所定の条件を満足している場合に、運転者からの操作入力に基づいて前記発信機から発信されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の車輪状態監視システム。
  6. 車輪状態を検出する検出手段と、
    車両本体側から発信される送信要求信号を受信する受信機と、
    前記受信機において送信要求信号を受信したときに前記検出手段が検出した車輪状態に、送信要求信号の受信時における車輪状態であることを特定する指示情報を関連づけて記憶する記憶手段と、
    前記記憶手段に記憶された車輪状態を、前記指示情報とともに車輪状態情報として無線で送信する送信機と、
    車両本体側から発信される受信確認信号を取得する取得手段とを備え、
    前記取得手段は、前記受信確認信号を受け取るまで、送信要求信号に応答して生成した車輪状態情報を記憶手段に保持させ、受信確認信号を取得すると、記憶手段に保持した車輪状態情報を削除することを特徴とする車輪状態検出装置。
JP2007018821A 2007-01-30 2007-01-30 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置 Expired - Fee Related JP4270284B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007018821A JP4270284B2 (ja) 2007-01-30 2007-01-30 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置
US12/020,182 US7661299B2 (en) 2007-01-30 2008-01-25 Wheel state monitoring system and wheel state detecting apparatus
DE102008006556.0A DE102008006556B4 (de) 2007-01-30 2008-01-29 Radzustandsüberwachungssystem und Radzustandserfassungsvorrichtung
CN2008100002707A CN101234585B (zh) 2007-01-30 2008-01-30 车轮状态监视系统和车轮状态检测设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007018821A JP4270284B2 (ja) 2007-01-30 2007-01-30 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008184018A JP2008184018A (ja) 2008-08-14
JP4270284B2 true JP4270284B2 (ja) 2009-05-27

Family

ID=39666428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007018821A Expired - Fee Related JP4270284B2 (ja) 2007-01-30 2007-01-30 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7661299B2 (ja)
JP (1) JP4270284B2 (ja)
CN (1) CN101234585B (ja)
DE (1) DE102008006556B4 (ja)

Families Citing this family (344)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8507837B2 (en) * 2008-10-24 2013-08-13 Suncore Photovoltaics, Inc. Techniques for monitoring solar array performance and applications thereof
JP2010112931A (ja) 2008-11-10 2010-05-20 Toyota Motor Corp リセットシステム、当該システムで用いられる携帯機、通信機、及び方法
US10378106B2 (en) 2008-11-14 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming insulation film by modified PEALD
DE102009005904A1 (de) * 2009-01-23 2010-07-29 Continental Automotive Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Ermitteln von Radzustandsgrößen eines Rades
CN101509836B (zh) * 2009-03-23 2014-08-06 杨红光 汽车车轮轮胎状态监测系统
US9394608B2 (en) 2009-04-06 2016-07-19 Asm America, Inc. Semiconductor processing reactor and components thereof
US9297705B2 (en) * 2009-05-06 2016-03-29 Asm America, Inc. Smart temperature measuring device
US8382370B2 (en) 2009-05-06 2013-02-26 Asm America, Inc. Thermocouple assembly with guarded thermocouple junction
JP4922345B2 (ja) * 2009-05-27 2012-04-25 本田技研工業株式会社 タイヤ空気圧監視システム及び空気圧監視ユニット
JP4922343B2 (ja) * 2009-05-27 2012-04-25 本田技研工業株式会社 タイヤ空気圧監視システム及び空気圧監視ユニット
US8802201B2 (en) 2009-08-14 2014-08-12 Asm America, Inc. Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species
DE102010000919A1 (de) * 2009-10-14 2011-04-21 Sensordynamics Ag Verfahren zur Reifenluftdruckmessung und -auswertung mit einer Zuordnung von Radpositionen sowie Reifenluftdruckmesssystem
CN102336231A (zh) * 2010-07-20 2012-02-01 北汽福田汽车股份有限公司 车辆tpms自动定位方法及系统
JP4858734B1 (ja) * 2010-11-10 2012-01-18 横浜ゴム株式会社 送信装置
TWI460086B (zh) * 2010-12-17 2014-11-11 Orange Electronic Co Ltd Standard pressure setting method for wireless tire pressure sensor
CN102069688B (zh) * 2010-12-28 2013-11-20 奇瑞汽车股份有限公司 一种轮胎气压监测系统及其监测方法
US9312155B2 (en) 2011-06-06 2016-04-12 Asm Japan K.K. High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules
US10364496B2 (en) 2011-06-27 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Dual section module having shared and unshared mass flow controllers
US10854498B2 (en) 2011-07-15 2020-12-01 Asm Ip Holding B.V. Wafer-supporting device and method for producing same
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US9017481B1 (en) 2011-10-28 2015-04-28 Asm America, Inc. Process feed management for semiconductor substrate processing
WO2013132960A1 (ja) * 2012-03-06 2013-09-12 アルプス電気株式会社 タイヤ状態監視装置
EP2644411A1 (en) * 2012-03-30 2013-10-02 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd Apparatus for monitoring tire conditions and method thereof
US9659799B2 (en) 2012-08-28 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Systems and methods for dynamic semiconductor process scheduling
JP2014073793A (ja) * 2012-10-05 2014-04-24 Tokai Rika Co Ltd タイヤ空気圧監視システム
US10714315B2 (en) 2012-10-12 2020-07-14 Asm Ip Holdings B.V. Semiconductor reaction chamber showerhead
DE112012007179T5 (de) * 2012-11-28 2015-08-13 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Luftdrucküberwachungsvorrichtung und Fehlfunktionsermittlungsschwellwertsermittlungsverfahren
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US9484191B2 (en) 2013-03-08 2016-11-01 Asm Ip Holding B.V. Pulsed remote plasma method and system
US9589770B2 (en) 2013-03-08 2017-03-07 Asm Ip Holding B.V. Method and systems for in-situ formation of intermediate reactive species
US9240412B2 (en) 2013-09-27 2016-01-19 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor structure and device and methods of forming same using selective epitaxial process
US9057661B2 (en) * 2013-11-12 2015-06-16 Goodrich Corporation Tire pressure observation after detecting abnormal pressure condition
US10683571B2 (en) 2014-02-25 2020-06-16 Asm Ip Holding B.V. Gas supply manifold and method of supplying gases to chamber using same
US10167557B2 (en) 2014-03-18 2019-01-01 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system, reactor including the system, and methods of using the same
US11015245B2 (en) 2014-03-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase reactor and system having exhaust plenum and components thereof
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US9890456B2 (en) 2014-08-21 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method and system for in situ formation of gas-phase compounds
US9657845B2 (en) 2014-10-07 2017-05-23 Asm Ip Holding B.V. Variable conductance gas distribution apparatus and method
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
KR102263121B1 (ko) 2014-12-22 2021-06-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 및 그 제조 방법
US10529542B2 (en) 2015-03-11 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Cross-flow reactor and method
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
US10458018B2 (en) 2015-06-26 2019-10-29 Asm Ip Holding B.V. Structures including metal carbide material, devices including the structures, and methods of forming same
US10600673B2 (en) 2015-07-07 2020-03-24 Asm Ip Holding B.V. Magnetic susceptor to baseplate seal
FR3041286B1 (fr) * 2015-09-22 2017-10-06 Continental Automotive France Procede et unite de mesure pour vehicule automobile
US9960072B2 (en) 2015-09-29 2018-05-01 Asm Ip Holding B.V. Variable adjustment for precise matching of multiple chamber cavity housings
US10211308B2 (en) 2015-10-21 2019-02-19 Asm Ip Holding B.V. NbMC layers
JP2017087802A (ja) * 2015-11-04 2017-05-25 株式会社オートネットワーク技術研究所 空気圧監視システム及び監視装置
US10322384B2 (en) 2015-11-09 2019-06-18 Asm Ip Holding B.V. Counter flow mixer for process chamber
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10468251B2 (en) 2016-02-19 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Method for forming spacers using silicon nitride film for spacer-defined multiple patterning
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
JP6281715B2 (ja) * 2016-02-24 2018-02-21 トヨタ自動車株式会社 スナップインバルブの交換要否判定装置
US10501866B2 (en) 2016-03-09 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution apparatus for improved film uniformity in an epitaxial system
JP6572808B2 (ja) * 2016-03-14 2019-09-11 株式会社オートネットワーク技術研究所 通信システム及び通信装置
US10343920B2 (en) 2016-03-18 2019-07-09 Asm Ip Holding B.V. Aligned carbon nanotubes
US9892913B2 (en) 2016-03-24 2018-02-13 Asm Ip Holding B.V. Radial and thickness control via biased multi-port injection settings
US10190213B2 (en) 2016-04-21 2019-01-29 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides
US10865475B2 (en) 2016-04-21 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Deposition of metal borides and silicides
US10367080B2 (en) 2016-05-02 2019-07-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a germanium oxynitride film
US10032628B2 (en) 2016-05-02 2018-07-24 Asm Ip Holding B.V. Source/drain performance through conformal solid state doping
KR102592471B1 (ko) 2016-05-17 2023-10-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 배선 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US10388509B2 (en) 2016-06-28 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Formation of epitaxial layers via dislocation filtering
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10714385B2 (en) 2016-07-19 2020-07-14 Asm Ip Holding B.V. Selective deposition of tungsten
KR102354490B1 (ko) 2016-07-27 2022-01-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
KR102532607B1 (ko) 2016-07-28 2023-05-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 가공 장치 및 그 동작 방법
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US10395919B2 (en) 2016-07-28 2019-08-27 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
KR102613349B1 (ko) 2016-08-25 2023-12-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 장치 및 이를 이용한 기판 가공 장치와 박막 제조 방법
US10596866B2 (en) * 2016-10-05 2020-03-24 Autonetworks Technologies, Ltd. Tire air pressure detection system and vehicle body side device
US10410943B2 (en) 2016-10-13 2019-09-10 Asm Ip Holding B.V. Method for passivating a surface of a semiconductor and related systems
US10643826B2 (en) 2016-10-26 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for thermally calibrating reaction chambers
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10643904B2 (en) 2016-11-01 2020-05-05 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures
US10435790B2 (en) 2016-11-01 2019-10-08 Asm Ip Holding B.V. Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10229833B2 (en) 2016-11-01 2019-03-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
US10134757B2 (en) 2016-11-07 2018-11-20 Asm Ip Holding B.V. Method of processing a substrate and a device manufactured by using the method
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US10340135B2 (en) 2016-11-28 2019-07-02 Asm Ip Holding B.V. Method of topologically restricted plasma-enhanced cyclic deposition of silicon or metal nitride
KR20180068582A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
DE102016225496A1 (de) * 2016-12-19 2018-06-21 Continental Automotive Gmbh Elektronische Radeinheit und Steuereinrichtung für ein Radüberwachungssystem eines Fahrzeuges, Radüberwachungssystem für ein Fahrzeug sowie Verfahren zur Radüberwachung in einem Fahrzeug
KR102700194B1 (ko) 2016-12-19 2024-08-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10269558B2 (en) 2016-12-22 2019-04-23 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US10867788B2 (en) 2016-12-28 2020-12-15 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a structure on a substrate
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10655221B2 (en) 2017-02-09 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
JP6690583B2 (ja) * 2017-03-09 2020-04-28 株式会社オートネットワーク技術研究所 監視装置、タイヤ空気圧監視システム及び制御プログラム
US10529563B2 (en) 2017-03-29 2020-01-07 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10283353B2 (en) 2017-03-29 2019-05-07 Asm Ip Holding B.V. Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern
KR102457289B1 (ko) 2017-04-25 2022-10-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10446393B2 (en) 2017-05-08 2019-10-15 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures
US10892156B2 (en) 2017-05-08 2021-01-12 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US10504742B2 (en) 2017-05-31 2019-12-10 Asm Ip Holding B.V. Method of atomic layer etching using hydrogen plasma
US10886123B2 (en) 2017-06-02 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures
US12040200B2 (en) 2017-06-20 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
US10685834B2 (en) 2017-07-05 2020-06-16 Asm Ip Holdings B.V. Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US10541333B2 (en) 2017-07-19 2020-01-21 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11018002B2 (en) 2017-07-19 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10312055B2 (en) 2017-07-26 2019-06-04 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing film by PEALD using negative bias
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10605530B2 (en) 2017-07-26 2020-03-31 Asm Ip Holding B.V. Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US10249524B2 (en) 2017-08-09 2019-04-02 Asm Ip Holding B.V. Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly
US11139191B2 (en) 2017-08-09 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
USD900036S1 (en) 2017-08-24 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Heater electrical connector and adapter
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11056344B2 (en) 2017-08-30 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
KR102491945B1 (ko) 2017-08-30 2023-01-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102401446B1 (ko) 2017-08-31 2022-05-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US10607895B2 (en) 2017-09-18 2020-03-31 Asm Ip Holdings B.V. Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal
KR102630301B1 (ko) 2017-09-21 2024-01-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치
US10844484B2 (en) 2017-09-22 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10319588B2 (en) 2017-10-10 2019-06-11 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
US10910262B2 (en) 2017-11-16 2021-02-02 Asm Ip Holding B.V. Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure
KR102443047B1 (ko) 2017-11-16 2022-09-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11022879B2 (en) 2017-11-24 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer
JP7214724B2 (ja) 2017-11-27 2023-01-30 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置
WO2019103610A1 (en) 2017-11-27 2019-05-31 Asm Ip Holding B.V. Apparatus including a clean mini environment
US10290508B1 (en) 2017-12-05 2019-05-14 Asm Ip Holding B.V. Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
TWI799494B (zh) 2018-01-19 2023-04-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
JP7091877B2 (ja) * 2018-01-19 2022-06-28 株式会社デンソー タイヤシステム
CN111630203A (zh) 2018-01-19 2020-09-04 Asm Ip私人控股有限公司 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法
USD903477S1 (en) 2018-01-24 2020-12-01 Asm Ip Holdings B.V. Metal clamp
US11018047B2 (en) 2018-01-25 2021-05-25 Asm Ip Holding B.V. Hybrid lift pin
US10535516B2 (en) 2018-02-01 2020-01-14 Asm Ip Holdings B.V. Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures
USD880437S1 (en) 2018-02-01 2020-04-07 Asm Ip Holding B.V. Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
JP7124098B2 (ja) 2018-02-14 2022-08-23 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 周期的堆積プロセスにより基材上にルテニウム含有膜を堆積させる方法
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
US10658181B2 (en) 2018-02-20 2020-05-19 Asm Ip Holding B.V. Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
US11629406B2 (en) 2018-03-09 2023-04-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate
US11114283B2 (en) 2018-03-16 2021-09-07 Asm Ip Holding B.V. Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
US11088002B2 (en) 2018-03-29 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate rack and a substrate processing system and method
US11230766B2 (en) 2018-03-29 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US10510536B2 (en) 2018-03-29 2019-12-17 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber
KR102501472B1 (ko) 2018-03-30 2023-02-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
TWI843623B (zh) 2018-05-08 2024-05-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 藉由循環沉積製程於基板上沉積氧化物膜之方法及相關裝置結構
US12025484B2 (en) 2018-05-08 2024-07-02 Asm Ip Holding B.V. Thin film forming method
KR20190129718A (ko) 2018-05-11 2019-11-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 피도핑 금속 탄화물 막을 형성하는 방법 및 관련 반도체 소자 구조
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
TWI840362B (zh) 2018-06-04 2024-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 水氣降低的晶圓處置腔室
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
US11286562B2 (en) 2018-06-08 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Gas-phase chemical reactor and method of using same
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
WO2020003000A1 (en) 2018-06-27 2020-01-02 Asm Ip Holding B.V. Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material
TW202409324A (zh) 2018-06-27 2024-03-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於形成含金屬材料之循環沉積製程
KR102686758B1 (ko) 2018-06-29 2024-07-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법
US10612136B2 (en) 2018-06-29 2020-04-07 ASM IP Holding, B.V. Temperature-controlled flange and reactor system including same
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10767789B2 (en) 2018-07-16 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components
US10483099B1 (en) 2018-07-26 2019-11-19 Asm Ip Holding B.V. Method for forming thermally stable organosilicon polymer film
US11053591B2 (en) 2018-08-06 2021-07-06 Asm Ip Holding B.V. Multi-port gas injection system and reactor system including same
US10883175B2 (en) 2018-08-09 2021-01-05 Asm Ip Holding B.V. Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein
US10829852B2 (en) 2018-08-16 2020-11-10 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution device for a wafer processing apparatus
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
KR102707956B1 (ko) 2018-09-11 2024-09-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
US11049751B2 (en) 2018-09-14 2021-06-29 Asm Ip Holding B.V. Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith
TWI844567B (zh) 2018-10-01 2024-06-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材保持裝置、含有此裝置之系統及其使用之方法
US11232963B2 (en) 2018-10-03 2022-01-25 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
US10847365B2 (en) 2018-10-11 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD
US10811256B2 (en) 2018-10-16 2020-10-20 Asm Ip Holding B.V. Method for etching a carbon-containing feature
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR102605121B1 (ko) 2018-10-19 2023-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
USD948463S1 (en) 2018-10-24 2022-04-12 Asm Ip Holding B.V. Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus
US10381219B1 (en) 2018-10-25 2019-08-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a silicon nitride film
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR20200051105A (ko) 2018-11-02 2020-05-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US11031242B2 (en) 2018-11-07 2021-06-08 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a boron doped silicon germanium film
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US10847366B2 (en) 2018-11-16 2020-11-24 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process
US10559458B1 (en) 2018-11-26 2020-02-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming oxynitride film
US12040199B2 (en) 2018-11-28 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102634357B1 (ko) * 2018-12-04 2024-02-07 현대자동차주식회사 타이어 공기압 감시 장치 및 방법
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP7504584B2 (ja) 2018-12-14 2024-06-24 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
KR20200091543A (ko) 2019-01-22 2020-07-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
CN111524788B (zh) 2019-02-01 2023-11-24 Asm Ip私人控股有限公司 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法
KR102630561B1 (ko) * 2019-02-08 2024-01-30 현대자동차주식회사 차량 및 차량의 제어방법
KR102626263B1 (ko) 2019-02-20 2024-01-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치
TWI845607B (zh) 2019-02-20 2024-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
KR20200102357A (ko) 2019-02-20 2020-08-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
JP2020136678A (ja) 2019-02-20 2020-08-31 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
TWI842826B (zh) 2019-02-22 2024-05-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備及處理基材之方法
US11742198B2 (en) 2019-03-08 2023-08-29 Asm Ip Holding B.V. Structure including SiOCN layer and method of forming same
KR20200108243A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
KR20200108242A (ko) 2019-03-08 2020-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
KR20200116033A (ko) 2019-03-28 2020-10-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
KR20200116855A (ko) 2019-04-01 2020-10-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR20200123380A (ko) 2019-04-19 2020-10-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130118A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP2020188255A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP2020188254A (ja) 2019-05-16 2020-11-19 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD935572S1 (en) 2019-05-24 2021-11-09 Asm Ip Holding B.V. Gas channel plate
USD922229S1 (en) 2019-06-05 2021-06-15 Asm Ip Holding B.V. Device for controlling a temperature of a gas supply unit
KR20200141003A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
USD944946S1 (en) 2019-06-14 2022-03-01 Asm Ip Holding B.V. Shower plate
USD931978S1 (en) 2019-06-27 2021-09-28 Asm Ip Holding B.V. Showerhead vacuum transport
KR20210005515A (ko) 2019-07-03 2021-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
CN112216646A (zh) 2019-07-10 2021-01-12 Asm Ip私人控股有限公司 基板支撑组件及包括其的基板处理装置
KR20210010307A (ko) 2019-07-16 2021-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
KR20210010820A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
TWI839544B (zh) 2019-07-19 2024-04-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成形貌受控的非晶碳聚合物膜之方法
KR20210010817A (ko) 2019-07-19 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
CN112309843A (zh) 2019-07-29 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
CN112309900A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309899A (zh) 2019-07-30 2021-02-02 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
CN118422165A (zh) 2019-08-05 2024-08-02 Asm Ip私人控股有限公司 用于化学源容器的液位传感器
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
JP2021031769A (ja) 2019-08-21 2021-03-01 エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. 成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
USD940837S1 (en) 2019-08-22 2022-01-11 Asm Ip Holding B.V. Electrode
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
USD930782S1 (en) 2019-08-22 2021-09-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
USD949319S1 (en) 2019-08-22 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Exhaust duct
KR20210024420A (ko) 2019-08-23 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
CN110497745A (zh) * 2019-09-03 2019-11-26 深圳市全昇科技有限公司 一种用于轮胎压力检测的传感器搜索方法
CN110497746A (zh) * 2019-09-03 2019-11-26 深圳市全昇科技有限公司 一种用于轮胎压力检测的多传感器通讯方法
KR20210029090A (ko) 2019-09-04 2021-03-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR20210029663A (ko) 2019-09-05 2021-03-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
KR20210042810A (ko) 2019-10-08 2021-04-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
TWI846953B (zh) 2019-10-08 2024-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理裝置
KR20210043460A (ko) 2019-10-10 2021-04-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체
US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR20210047808A (ko) 2019-10-21 2021-04-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR20210054983A (ko) 2019-11-05 2021-05-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR20210062561A (ko) 2019-11-20 2021-05-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
CN112951697A (zh) 2019-11-26 2021-06-11 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112885693A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692A (zh) 2019-11-29 2021-06-01 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
JP7527928B2 (ja) 2019-12-02 2024-08-05 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
TW202125596A (zh) 2019-12-17 2021-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成氮化釩層之方法以及包括該氮化釩層之結構
US11527403B2 (en) 2019-12-19 2022-12-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures
TW202140135A (zh) 2020-01-06 2021-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體供應總成以及閥板總成
KR20210089079A (ko) 2020-01-06 2021-07-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 채널형 리프트 핀
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
KR102675856B1 (ko) 2020-01-20 2024-06-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TW202130846A (zh) 2020-02-03 2021-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括釩或銦層的結構之方法
TW202146882A (zh) 2020-02-04 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
US11781243B2 (en) 2020-02-17 2023-10-10 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon
TW202203344A (zh) 2020-02-28 2022-01-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 專用於零件清潔的系統
KR20210116249A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
CN113394086A (zh) 2020-03-12 2021-09-14 Asm Ip私人控股有限公司 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法
KR20210124042A (ko) 2020-04-02 2021-10-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TW202146689A (zh) 2020-04-03 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip控股公司 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法
TW202145344A (zh) 2020-04-08 2021-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
KR20210128343A (ko) 2020-04-15 2021-10-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
TW202146831A (zh) 2020-04-24 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 垂直批式熔爐總成、及用於冷卻垂直批式熔爐之方法
JP2021172884A (ja) 2020-04-24 2021-11-01 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化バナジウム含有層を形成する方法および窒化バナジウム含有層を含む構造体
KR20210134226A (ko) 2020-04-29 2021-11-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
TW202147543A (zh) 2020-05-04 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 半導體處理系統
KR20210141379A (ko) 2020-05-13 2021-11-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
TW202146699A (zh) 2020-05-15 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
KR20210143653A (ko) 2020-05-19 2021-11-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR20210145078A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
KR102702526B1 (ko) 2020-05-22 2024-09-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
TW202201602A (zh) 2020-05-29 2022-01-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
TW202212620A (zh) 2020-06-02 2022-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
TW202218133A (zh) 2020-06-24 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成含矽層之方法
TW202217953A (zh) 2020-06-30 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
KR102707957B1 (ko) 2020-07-08 2024-09-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
TW202219628A (zh) 2020-07-17 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於光微影之結構與方法
TW202204662A (zh) 2020-07-20 2022-02-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
US12040177B2 (en) 2020-08-18 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
KR20220027026A (ko) 2020-08-26 2022-03-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
TW202229601A (zh) 2020-08-27 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成圖案化結構的方法、操控機械特性的方法、裝置結構、及基板處理系統
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
KR20220045900A (ko) 2020-10-06 2022-04-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
CN114293174A (zh) 2020-10-07 2022-04-08 Asm Ip私人控股有限公司 气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR20220053482A (ko) 2020-10-22 2022-04-29 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
KR20220063551A (ko) * 2020-11-10 2022-05-17 현대자동차주식회사 타이어 공기압 모니터링 장치 및 그의 오작동 감지 방법
TW202235649A (zh) 2020-11-24 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充間隙之方法與相關之系統及裝置
TW202235675A (zh) 2020-11-30 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 注入器、及基板處理設備
US11946137B2 (en) 2020-12-16 2024-04-02 Asm Ip Holding B.V. Runout and wobble measurement fixtures
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19632150B4 (de) * 1996-08-09 2004-06-09 Conti Temic Microelectronic Gmbh Verfahren zur Kontrolle des Luftdrucks in den Reifen von Kraftfahrzeugrädern
FR2818586B1 (fr) * 2000-12-22 2003-08-29 Siemens Automotive Sa Procede de localisation automatique des roues d'un vehicule automobile et unite de localisation correspondante
JP4274453B2 (ja) 2001-07-02 2009-06-10 横浜ゴム株式会社 車両のタイヤ監視システム
JP3912146B2 (ja) 2002-03-13 2007-05-09 マツダ株式会社 車両の空気圧警報方法及びその装置
JP3671942B2 (ja) * 2002-07-24 2005-07-13 株式会社デンソー タイヤ空気圧センサのid登録方法、タイヤ空気圧監視装置及びタイヤ空気圧センサと、タイヤ空気圧監視プログラム
JP3636184B2 (ja) * 2002-07-31 2005-04-06 株式会社デンソー タイヤ空気圧センサのid登録方法及びid登録システムと、タイヤ空気圧監視システム、タイヤ空気圧センサ及びスマート制御システム
JP3997864B2 (ja) * 2002-08-14 2007-10-24 トヨタ自動車株式会社 車輪状態取得装置および車両状態取得装置
JP2004362536A (ja) 2003-05-12 2004-12-24 Toyota Motor Corp 車両状態取得装置
JP2005100100A (ja) * 2003-09-25 2005-04-14 Toyota Motor Corp 車輪情報処理装置および車輪情報処理方法
JP4165393B2 (ja) 2003-12-19 2008-10-15 トヨタ自動車株式会社 車輪状態判定装置
DE10360122C5 (de) * 2003-12-20 2016-01-07 Patentportfolio S. à. r. l. Verfahren zur Drucküberwachung von Kraftfahrzeugreifen
EP1547879A3 (en) * 2003-12-25 2006-03-01 Omron Corporation Vehicular remote control system and tire pressure monitoring system
JP4370941B2 (ja) * 2004-03-02 2009-11-25 トヨタ自動車株式会社 車輪およびホイール
JP2005309958A (ja) 2004-04-23 2005-11-04 Denso Corp 車両のタイヤ状態監視システム及びそのシステムに用いられる検出装置
JP4218586B2 (ja) * 2004-05-21 2009-02-04 株式会社デンソー タイヤ空気圧検出装置
JP2006007902A (ja) * 2004-06-24 2006-01-12 Denso Corp タイヤ状態監視装置
JP4241587B2 (ja) * 2004-11-25 2009-03-18 トヨタ自動車株式会社 車輪状態監視装置および車輪状態監視方法
JP4604755B2 (ja) * 2005-02-15 2011-01-05 横浜ゴム株式会社 タイヤ情報送信装置およびこれを用いたタイヤ情報取得システム
JP4650077B2 (ja) * 2005-04-20 2011-03-16 トヨタ自動車株式会社 車輪状態取得装置
JP4710472B2 (ja) * 2005-07-29 2011-06-29 トヨタ自動車株式会社 車両情報処理装置、車両情報処理装置の検査方法、および車両情報処理装置のid登録方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101234585A (zh) 2008-08-06
JP2008184018A (ja) 2008-08-14
US7661299B2 (en) 2010-02-16
US20080178667A1 (en) 2008-07-31
CN101234585B (zh) 2011-01-19
DE102008006556A1 (de) 2008-09-11
DE102008006556B4 (de) 2014-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4270284B2 (ja) 車輪状態監視システムおよび車輪状態検出装置
JP2010254018A (ja) タイヤ空気圧監視システム
US7705719B2 (en) Wheel position detecting device and tire air pressure detecting device using the same
JP6318835B2 (ja) タイヤ空気圧検出装置
JP5181965B2 (ja) 車輪位置検出装置およびそれを備えたタイヤ空気圧検出装置
JP2010274733A (ja) タイヤ空気圧監視システム及び空気圧監視ユニット
JP2010274749A (ja) タイヤ空気圧監視システム及び空気圧監視ユニット
JP6747415B2 (ja) タイヤ空気圧検出装置
JP6128136B2 (ja) タイヤ空気圧センサユニット、タイヤ空気圧報知装置、および、車両
US20080068148A1 (en) Wheel position detecting device that verifies accuracy of detection using trigger signal reception strength and tire air pressure detecting device including the same
JP2008155852A (ja) 車輪位置検出装置、それを備えたタイヤ空気圧検出装置および送受信機
JP2012140069A (ja) タイヤ空気圧監視装置
KR20080099159A (ko) 차륜 식별 장치
WO2012023379A1 (ja) センサユニット、及びタイヤ空気圧監視システムのセンサユニット登録方法
WO2020075776A1 (ja) タイヤ空気圧監視システム
JP2007245982A (ja) タイヤ位置判別方法、タイヤ位置判別システム、その無線送信ユニット、無線受信ユニット
JP2000355203A (ja) タイヤ空気圧警報装置
JP2006007902A (ja) タイヤ状態監視装置
JP2010241384A (ja) タイヤ空気圧監視システムおよびタイヤ空気圧監視ユニット
JP4461558B2 (ja) 車両用タイヤ空気圧監視システム
JP2006273077A (ja) 車輪装着位置判定装置、車輪位置情報設定装置、および車輪情報取得装置
JP2017087941A (ja) タイヤ空気圧検出システム
JP2009051347A (ja) 空気圧検出装置
JP2005170133A (ja) タイヤ空気圧モニタ装置
JP2010143485A (ja) 車輪位置特定システム

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081125

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090203

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090216

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140306

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees