JP2015531956A - 同一位置に配置されるジンバルベースの２段始動ディスクドライブサスペンション - Google Patents

Abstract

種々の実施形態は、ジンバル形撓み部材にＤＳＡ構造部を有するサスペンションに関する。サスペンションは、ロードビーム、及びロードビームに取着される撓み部材を備える。撓み部材は、一対のばねアーム、ばねアーム間に位置するとともに一対のばねアームによって構造的に支持されるタング、及び、一対の支柱を備える。一対の支柱は、一対のばねアームとタングとの間にそれぞれ位置決めされる。支柱の長手方向軸は互いに対してずらされる。サスペンションは、撓み部材に取り付けられるスライダ及びモータを更に備える。モータは、支柱の軸に平行であるとともにロードビームの長手方向軸に垂直な長手方向軸を有する。モータの電気的起動によって一対の支柱が曲がり、スライダを移動させる。

Description

本発明は、ディスクドライブ、及び、ディスクドライブのサスペンションに関する。特に、本発明は２段始動（ｄｕａｌ ｓｔａｇｅ ａｃｔｕａｔｉｏｎ（ＤＳＡ））サスペンションに関する。

ＤＳＡディスクドライブヘッドサスペンション、及び、ＤＳＡサスペンションを組み込んだディスクドライブが一般的に既知であり、市販されている。例えば、サスペンションのベースプレート又は他の取付部分上、すなわちサスペンションのばね又はヒンジ領域に対して近位のアクチュエーション構造部を有するＤＳＡサスペンションが、Ｏｋａｗａｒａの特許文献１、Ｓｈｕｍの特許文献２、Ｆｕｃｈｉｎｏの特許文献３、及び、Ｉｍａｍｕｒａの特許文献４に記載されている。サスペンションのロードビーム又はジンバル部分、すなわちばね又はヒンジ領域に対して遠位に位置するアクチュエーション構造部を有するＤＳＡサスペンションも既知であり、例えば、Ｊｕｒｇｅｎｓｏｎの特許文献５、Ｋｒｉｎｋｅの特許文献６及びＹａｏの特許文献７に開示されている。上記で明記した特許及び特許出願は全て、あらゆる目的でそれらの全体が参照により本明細書に援用される。

米国特許出願公開第２０１０／００６７１５１号明細書 米国特許出願公開第２０１２／０００２３２９号明細書 米国特許出願公開第２０１１／０２４２７０８号明細書 米国特許第５，７６４，４４４号明細書 米国特許第５，６５７，１８８号明細書 米国特許第７，２５６，９６８号明細書 米国特許出願公開第２００８／０１４４２２５号明細書

改良されたＤＳＡサスペンションが依然として必要とされている。性能を高めたＤＳＡサスペンションが望ましい。サスペンションは効率的に製造できることが望まれる。

種々の実施形態は、ジンバル形撓み部材（ｆｌｅｘｕｒｅ）に２段始動構造部を有するサスペンションに関する。サスペンションは、長手方向軸を有するロードビーム、及び、ロードビームに取着される撓み部材を備える。撓み部材は、一対のばねアーム、ばねアーム間に位置するとともに一対のばねアームによって構造的に支持されるタング、及び、一対の支柱を備える。これらの支柱は、一対のばねアームとタングとの間にそれぞれ位置決めされる。各支柱は長手方向軸を有する。支柱の長手方向軸は互いに対して平行であるとともにずらされる。サスペンションは、撓み部材に取り付けられるスライダ及びモータを更に備える。モータは、支柱の軸に平行であるとともにロードビームの長手方向軸に垂直な長手方向軸を有する。モータの電気的起動によって一対の支柱が曲がり、スライダを移動させる。

種々の実施形態は、ジンバル形撓み部材に２段始動構造部を有するサスペンションに関する。サスペンションは、それ自体が一対のばねアーム、ばねアーム間に位置するタング、及び、一対の支柱を備える撓み部材を備え、一対の支柱は、一対のばねアーム及びタングをそれぞれ接続する。サスペンションは、タングに取り付けられるスライダを更に備える。サスペンションは、一対のばねアームにそれぞれ取り付けられる両端を有するモータを更に備える。モータの電気的起動によって一対の支柱が曲がり、スライダを移動させる。そのような起動によってタングが回転するが、ばねアームは相対的に静止したままである。

種々の実施形態は、ジンバル形撓み部材に２段始動構造部を有するサスペンションに関する。撓み部材は、一対のばねアーム、ばねアーム間に位置するとともに一対のばねアームによって構造的に支持されるタング、及び、一対のモータ取付パッドを備え、モータ取付パッドは一対の支柱によってタングにそれぞれ接続される。サスペンションは、スライダ、及び、一対のモータ取付パッドにそれぞれ取り付けられる両端を有するモータを更に備え、スライダはモータに取り付けられ、モータの電気的起動によって一対の支柱が曲がり、スライダを移動させる。タングは、スライダがモータの電気的起動によって移動される間に相対的に静止したままである。

種々の実施形態の更なる特徴及び変更形態が、本明細書において更に説明されるとともに図面に示される。複数の実施形態が開示されるが、本開示の更に他の実施形態が、本開示の例示的な実施形態を示し記載する以下の詳細な説明から当業者には明らかとなるであろう。したがって、図面及び詳細な説明は、事実上例示的なものとみなされ、限定的であるとみなされるべきではない。

本発明の１つの実施形態による、２段始動（ＤＳＡ）構造部を有する撓み部材を有するサスペンションのロードビーム側の等角図である。 図１に示されているサスペンションの遠位端のロードビーム側の等角図である。 図１に示されているサスペンションの遠位端の撓み部材側（すなわち、図２に示されているものと反対の側）の等角図である。 図１に示されている撓み部材のステンレス鋼側の等角図である。 図４Ａの図であるが、圧電モータが取り外されている。 図１に示されている撓み部材のトレース側（すなわち、図４Ａに示されているものと反対の側）の等角図である。 図５Ａの図であるが、ヘッドスライダが取り外されている。 図５Ｂの図であるが、ポリイミドカバーレイが取り外されている。 図５Ｃの図であるが、導電性材料層が取り外されている。 図５Ｄの図であるが、誘電材料層が取り外されている。 図５Ｅの図であるが、圧電モータが取り外されている。 図１に示されているサスペンションの遠位端の側面図である。 ディンプル、モータ及びヘッドスライダを示す図６の一部の拡大図である。 ＤＳＡ構造部の動作を示す、図１に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 ＤＳＡ構造部の動作を示す、図１に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 ＤＳＡ構造部の動作を示す、図１に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 本発明の第２の実施形態（トレース側バージョン）による、２段始動（ＤＳＡ）構造部を有する撓み部材を有するサスペンションのロードビーム側の等角図である。 図９に示されているサスペンションの遠位端のロードビーム側の等角図である。 図９に示されているサスペンションの遠位端の撓み部材側（すなわち、図１０に示されているものと反対の側）の等角図である。 図９に示されている撓み部材のステンレス鋼側の等角図である。 図９に示されている撓み部材のトレース側（すなわち、図１２に示されているものと反対の側）の等角図である。 図１３Ａの図であるが、ヘッドスライダが取り外されている。 図１３Ｂの図であるが、モータが取り外されている。 図１３Ｃの図であるが、カバーレイが取り外されている。 図１３Ｄの図であるが、導電性材料層が取り外されている。 図１３Ｅの図であるが、誘電材料層が取り外されている。 図９に示されているサスペンションの遠位端の側面図である。 ディンプル、モータ及びヘッドスライダを示す図１４の一部の拡大図である。 図９に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 図９に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 図９に示されている撓み部材のステンレス鋼側の俯瞰図である。 図１６Ａ１に示されている撓み部材のトレース側の俯瞰図である。 図１６Ｂ１に示されている撓み部材のトレース側の俯瞰図である。 図１６Ｃ１に示されている撓み部材のトレース側の俯瞰図である。 本発明の種々の実施形態によるトリステージ作動式サスペンションの等角図である。 本発明の別の実施形態によるサスペンションの等角図である。 図１８のサスペンションの撓み部材及びＤＳＡ構造部の等角図である。 図１８のサスペンションからの撓み部材の等角図である。 図１９の撓み部材及びＤＳＡ構造部の等角図である。 図１９の撓み部材の等角図である。 図１９の撓み部材の等角図である。 図１９の撓み部材の等角図である。 図１９の撓み部材のばね用金属層の等角図である。 図１８のサスペンションの側面図である。 図１８のサスペンションのモータ取付部の詳細図である。 図１９の撓み部材の正面図である。 異なる移動状態にある図１９の撓み部材の等角図である。 異なる移動状態にある図１９の撓み部材の等角図である。 異なる移動状態にある図１９の撓み部材の等角図である。 サスペンションにおいて用いることができる撓み部材の俯瞰図である。 異なる移動状態にある図３０の撓み部材の等角図である。 異なる移動状態にある図３０の撓み部材の等角図である。 異なる移動状態にある図３０の撓み部材の等角図である。

本開示の主題は種々の変更形態及び代替形態が可能であるが、特定の実施形態が例として図面に示され、以下で詳細に記載される。しかしながら、本発明は、本開示を、開示される特定の実施形態に限定しない。それどころか、本開示は、添付の特許請求の範囲によって規定されるような本開示の範囲内に入る全ての変更形態、均等物及び代替形態を包含することが意図される。

図１は、本発明の第１の実施形態（すなわち、ステンレス鋼側バージョン）による、同一位置に配置されるか又はジンバルベースの２段始動（ＤＳＡ）構造部１４を備える撓み部材１２を有するサスペンション１０のロードビーム側の等角図である。図２は、サスペンション１０の遠位端の詳細な等角図である。図３は、サスペンション１０の遠位端の撓み部材側の詳細な等角図であり、図２に示されているものと反対の側を示す。図１に示されているように、サスペンション１０は、近位取付構造部としてベースプレート１６を含む。図１に更に示されているように、サスペンション１０は、ばね又はヒンジ領域２２に沿ってベースプレート１６に連結される剛性の又はビーム領域２０を有するロードビーム１８を含む。ロードビーム１８はステンレス鋼から形成することができる。

撓み部材１２は、撓み部材１２の遠位端にジンバル２４を含む。ＤＳＡ構造部１４が、ロードビーム１８の遠位端に隣接してジンバル２４に配置される。図２に最も良く示されているように、サスペンション１０は、ロードビーム１８の止め部分３０に係合するように構成されているタブ２８を含むジンバルリミッタ２６を備える。ヘッドスライダ３２が、サスペンション１０の、ロードビーム１８とは反対の側の、ジンバル２４のスライダ取付領域又はタング３３に取り付けられる。ＤＳＡ構造部１４は、ロードビーム１８とヘッドスライダ３２との間で撓み部材１２のジンバル２４に取り付けられる、図示の実施形態ではＰＺＴ又は他の圧電アクチュエータであるモータ３４を含む。以下で更に詳細に記載するように、モータ３４に印加される電気的な駆動信号に応じて、モータは、タング３３及びスライダ３２を含むジンバル２４の部分を、概ね横断方向のトラッキング軸を中心に駆動する。

図４Ａ及び図４Ｂは、図１に示されている撓み部材１２及びＤＳＡ構造部１４のステンレス鋼側の等角図である。モータ３４は、タング３３の更なる詳細を示すために図４Ｂには示されていない。図５Ａ〜図５Ｆは、撓み部材１２及びＤＳＡ構造部１４のトレース側（すなわち、図４Ａ及び図４Ｂに示されているものと反対の側）の等角図である。具体的には、図５Ａ〜図５Ｆは、撓み部材１２及びＤＳＡ構造部１４を含む種々の層を示している。図５Ｂは、図５Ａの図であるが、タング３３の詳細を更に示すためにヘッドスライダ３２が取り外されている。図５Ｃは、図５Ｂの図であるが、導電性材料層４４を露出させるためにポリイミドカバーレイ４６が取り外されており、導電性材料層４４は、そうでなければポリイミドカバーレイ４６の下にある、導電性材料層に形成されるトレース６０及び他の構造を含む。図５Ｄは、図５Ｃの図であるが、そうでなければ導電性材料層４４の下にある誘電体層４２をより十分に露出させるために導電性材料層４４が取り外されている。図５Ｅは、図５Ｄの図であるが、ステンレス鋼層４０及びモータ３４のみを示すために誘電材料層４２が取り外されている。図５Ｆは、図５Ｅの図であるが、撓み部材１２のステンレス鋼層４０のみを示すためにモータ３４が取り外されている。ステンレス鋼層４０を代替的に別の金属又は剛性材料から形成してもよい。

図５Ａ〜図５Ｆに示されているように、撓み部材１２は、ステンレス鋼層４０、ポリイミド又は他の誘電体層４２、銅又は他の導電性材料層４４及びポリイミドカバーレイ４６等の、重なり合うばね用金属から形成される。誘電体層４２は、ステンレス鋼層４０の隣接する部分から、導電性材料層４４に形成される構造を概ね絶縁する。カバーレイ４６は、導電性材料層４４に形成される構造を概ね覆って保護する。ジンバル２４は、ベース部分５０、ばねアーム５２、及び、ステンレス鋼層４０に形成される取付部分５４を含む。ばねアーム５２はベース部分５０から延びる。タング３３の一部である取付部分５４は、ばねアーム５２の遠位端部分の支持領域５８から延びる一対の支柱５６によってばねアーム５２間で支持される。幾つかの実施形態では、一対の支柱５６は、ばねアーム５２間でタング３３に接続するか又は別様に支持するステンレス鋼層４０の唯一の部分である。具体的には、支柱５６は、ばねアーム５２とタング３３との間の唯一の構造的な連結部であるものとすることができる。また、支柱５６は、タング３３に接続することによって、ベース部分５０の遠位でばねアーム５２間を接続するステンレス鋼層４０の唯一の部分であるものとすることができる。図示のように、支柱５６は、撓み部材１２の長手方向軸に対して互いからずらされるか、又は、ばねアーム５２に対してトラッキング軸を中心とした取付部分５４の回転運動を提供するように別様に構成される。図８Ｂに最も良く示されているように（本明細書において更に説明する）、一対の支柱５６のうちの一方の支柱５６はモータ３４の近位に配置され、一方で、一対の支柱５６のうちの他方の支柱５６はモータ３４の遠位に配置され、モータ３４が一対の支柱５６の間にあるようにする。各支柱５６は、サスペンション１０の長手方向軸に対して概ね垂直に延びる長手方向軸を有する。支柱５６の長手方向軸は、平行に延び、支柱５６が応力を受けていない（例えば曲がっていない）ときは互いに交差しないか又は別様に重ならない。図５Ｆに示されているように、支柱５６は、それぞれ、（図８Ｂの俯瞰斜視図から見て）Ｘ−Ｙ平面においてステンレス鋼層４０の最も狭い部分であるものとすることができ、一方で、ステンレス鋼層４０の厚さは撓み部材１２に沿って一貫しているものとすることができる。

図４Ａ及び図５Ｅに最も良く示されているように、モータ３４の両端は、ばねアーム５２の支持領域５８に（例えばエポキシ等の構造接着剤によって）付着する。このように、支持領域５８はモータ取付パッドとして役立つ。誘電体層４２の部分は、図４Ｂでは支柱５６の下に延びる。図５Ｃに示されているように、導電性材料層４４に形成されている複数のトレース６０が、ベース部分５０とタング３３との間に、誘電体層４２に形成される支持部分６２上に延在する。複数のトレース６０が、タング３３の遠位領域の位置において終端し、スライダ３２の読み書きヘッド（図示せず）の端子に電気的に取着されるように構成されている。他のトレース６０は、モータ３４の下でタング３３の銅パッド６４等の接点で終端する。図示の実施形態では、銅パッド６４は、ばねアーム５２間の概ね中央に位置付けられている。図４Ｂに最も良く示されているように、誘電体層４２はパッド６４上に開口を有する。例えば導電性接着剤を用いた構造的及び電気的な接続が、銅パッド６４と、モータ３４の電気端子との間でなされる。モータ３４の端子（例えば接地端子）への別の電気的接続が、ディンプル３６を通じてなされる（すなわち、ディンプル３６はモータ３４上の端子と電気的に接触する）。他の実施形態では、モータ３４への電気的接続は、他の手法及び構造によってなすことができる。

図５Ａ及び図５Ｂに示されているように、スライダ３２はタング３３のカバーレイ４６に着座する。カバーレイ４６はトレース６０を保護する。支持部分６２が撓み部材１２の長手方向に対してずらされることを示す図５Ａ〜図５Ｃに示されているように、撓み部材１２の反対側のトレース６０の部分は、支柱５６と同様に互いからずらされる（例えば、トレースの部分は、図示の実施形態では支柱に重なる）。このタイプのずらされたトレースは、ＤＳＡ構造部１４のストローク性能を高めることができる。本発明の他の実施形態（図示せず）はずらされたトレースを有しない。なお、幾つかの実施形態では、支持部分６２は、支柱５６に対して、タング３３へのごく僅かな機械的な支持を提供することができる。

図６及び図７は、ジンバル２４及びＤＳＡ構造部１４を示す、サスペンション１０の側面図である。図示のように、ディンプル３６は、ロードビーム１８を形成するステンレス鋼材料に形成される構造であり、かつ、ロードビーム１８から延び、モータ３４に係合し、更に、撓み部材１２のベース部分５０に対して面外でモータ３４に接続されるジンバル２４の部分を付勢することによって荷重点として機能する。撓み部材１２の曲がり又は遷移部は、ディンプル３６によってジンバル２４を付勢するために、ばねアーム５２に沿う任意の所望の位置に生じることができる。ディンプル３６は、ディンプルが係合するモータ３４の部分の端子（図示せず）に電気接触も提供することができる。例えば、ステンレス鋼ロードビーム１８が電気的に接地されるか又は別様に電気回路の部分である場合、ディンプル３６は、電気的接地電位、又は、モータ３４の端子への電気的接続を提供することができる。本発明の他の実施形態（図示せず）は、これらの機能を提供するめっき構造等の他のディンプル構造を含む。ディンプル３６は、金等の導電性材料でめっきし、同様に金等の導電性材料でめっきすることができるモータ３４の端子への電気的接続を高めることができる。更に他の実施形態（図示せず）は、モータ３４への接地又は他の電気的接続を提供するためにディンプル３６以外の構造を用いる。１つのそのような実施形態では、例えば、支持領域５８のうちの一方の端に別の銅パッドがあり、電気的接続（例えば接地接続）は、モータ３４の端子と撓み部材１２の支持領域の導電性材料パッドとの間の導電性接着剤等の構造によってなすことができる。幾つかの実施形態では、モータ３４は、タング３３の反対側の横方向端部分の間の位置でタング３３に構造的に取着される。そのような実施形態では、モータ３４は、ばねアーム５２の支持領域５８に取着されることに加えて、ジンバル２４のタング３３に取着される。

ＤＳＡ構造部１４の動作を、撓み部材１２のジンバル２４のステンレス鋼側の平面図である図８Ａ〜図８Ｃを参照して記載する。図８Ｂに示されているように、ＤＳＡ構造部１４及びタング３３は、トラッキング駆動信号がモータ３４に印加されないときは、タング３３がばねアーム５２間の概ね中央に位置する状態で、中立の駆動されない状態にある。図８Ａに示されているように、第１の電位（例えばプラス）のトラッキング駆動信号がモータ３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね広がる。この形状の変化によって、図８Ａに示されているように支持領域５８間の距離が増大し、これは、連結支柱５６の機械的な作用と関連して、タング３３を、トラッキング軸を中心にばねアーム５２に対して第１の方向に移動又は回転させる。図示のように、モータ３４の延長によって、ジンバル２４が横方向に伸張し、支柱５６が曲がる（例えば内方に撓む）。支柱５６のずれた配置によって、支柱５６は、タング３３が第１の方向に回転するように曲がる。

図８Ｃに示されているように、第２の電位（例えばマイナス）のトラッキング駆動信号がモータ３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね収縮する。この形状の変化によって、図８Ｃに示されているように支持領域５８間の距離が減少し、これは、連結支柱５６の機械的な作用と関連して、トラッキング軸を中心にばねアーム５２に対して、タング３３を第２の方向に移動又は回転させる。第２の方向は第１の方向とは反対である。図示のように、モータ３４の短縮によって、ジンバル２４が横方向に圧縮され、支柱５６が曲がる（例えば外方に撓む）。支柱５６のずれた配置によって、支柱５６は、タング３３が第２の方向に回転するように曲がる。ジンバル２４の他の部分の、比較的僅かであるが、幾らかの面外の動きが、上述したようなＤＳＡ構造部１４のトラッキング作用の間に生成される。本発明のこの実施形態の場合、タング３３のスライダ取付領域が、ばねアーム５２が静止しているか又は僅かに移動するため、ばねアーム５２に対して概ね回転する。

図９は、本発明の第２の実施形態（すなわちトレース側バージョン）による、同一位置に配置されるか又はジンバルベースの２段始動（ＤＳＡ）構造部１１４を有する撓み部材１１２を備えるサスペンション１１０のロードビーム側の等角図である。サスペンション１１０の構成要素は、別途記載されるか又は図示されない限り、前述したサスペンション１０と同様に構成することができる。図１０は、サスペンション１１０の遠位端の等角図である。図１１は、図１０に示されているものと反対の側を示す、サスペンション１１０の遠位端の撓み部材側の等角図である。図１０に示されているように、サスペンション１１０は、近位取付構造部としてベースプレート１１６を含む。図１１に更に示されているように、サスペンション１１０は、ばね又はヒンジ領域１２２に沿ってベースプレート１１６に結合される剛性又はビーム領域１２０を有するロードビーム１１８を含む。ロードビーム１１８はステンレス鋼から形成することができる。撓み部材１１２は、その遠位端にジンバル１２４を含む。ＤＳＡ構造部１１４は、ロードビーム１１８の遠位端に隣接してジンバル１２４に位置する。サスペンション１１０の図示の実施形態は、ロードビーム１１８の止め部分１３０に係合するように構成されているタブ１２８を含むジンバルリミッタ１２６も含む。ＤＳＡ構造部１１４は、図示の実施形態では、撓み部材１１２の、ロードビーム１１８とは反対の側でタング１３３のモータ取付領域に取り付けられるＰＺＴアクチュエータであるモータ１３４を含む。ヘッドスライダ１３２が、モータ１３４の、撓み部材１１２とは反対の側に取り付けられる。以下でより詳細に記載するように、モータ１３４に印加される電気駆動信号に応じて、モータは、タング１３３、モータ１３４及びスライダ１３２の部分を含むジンバル１２４の部分を、概ね横断方向のトラッキング軸を中心に駆動する。

図１２は、図９に示されている撓み部材１１２及びＤＳＡ構造部１１４のステンレス鋼側の詳細な等角図である。図１３Ａ〜図１３Ｆは、図１２に示されているものと反対の側を示す、撓み部材１１２及びＤＳＡ構造部１１４の等角図である。具体的には、図１３Ａ〜図１３Ｆは、撓み部材１１２及びＤＳＡ構造部１１４を含む種々の層を示している。図１３Ｂは、図１３Ａの図であるが、タング１３３のモータ１３４の詳細を更に示すためにヘッドスライダ１３２が取り外されている。図１３Ｃは、図１３Ｂの図であるが、タング１３３の細部を露出させるためにモータ１３４が取り外されている。図１３Ｄは、図１３Ｃの図であるが、トレース１６０を含む導電性材料層１４４、及び、導電性材料層１４４に形成される他の構造を露出させるためにカバーレイ１４６が取り外されている。図１３Ｅは、図１３Ｄの図であるが、誘電体層１４２を更に露出させるために導電性材料層１４４が取り外されている。図１３Ｆは、図１３Ｅの図であるが、撓み部材１１２のステンレス鋼層１４０のみを示すために誘電体層１４２が取り外されている。ステンレス鋼層１４０を代替的に別の金属又は剛性材料から形成してもよい。図示のように、撓み部材１１２は、ステンレス鋼層１４０、ポリイミド又は他の誘電体層１４２、銅又は他の導電性材料層１４４及びカバーレイ１４６等の、重なり合うばね用金属から形成される。誘電体層１４２は、導電性材料層１４４に形成される構造を、ステンレス鋼層１４０の隣接する部分から概ね絶縁する。カバーレイ１４６は、導電性材料層１４４に形成される構造を概ね覆って保護する。

ジンバル１２４は、ベース部分１５０、ばねアーム１５２及びタング１３３の中央領域１５４を含む。ベース部分１５０、ばねアーム１５２及び中央領域１５４は、ステンレス鋼層１４０からそれぞれ形成される。ばねアーム１５２はベース部分１５０から延びる。タング１３３の中央部分である中央領域１５４は、ばねアーム１５２の遠位端に接続され、ばねアーム１５２間で支持される。同様にステンレス鋼層１４０に形成されるのは、一対の支柱１５３である。支柱１５３のそれぞれは、中央領域１５４の反対側の側面のうちの一方から延び、その外側端にモータ取付フラッグ又はパッド１５５を有する。図示のように、支柱１５３は、撓み部材１１２の長手方向軸に対して互いからずらされるか、又は、モータ１３４、及び、モータ１３４に取り付けられるヘッドスライダ１３２の、中央領域１５４に対するトラッキング軸を中心とした回転運動を提供するように別様に構成される。各支柱１５３は、サスペンション１１０の長手方向軸に対して概ね垂直に延びる長手方向軸を有する。支柱１５３の長手方向軸は、平行に延び、支柱１５３が応力を受けていない（例えば曲がっていない）ときは互いに交差しないか又は別様に重ならない。支柱１５３は、中央領域１５４とパッド１５５との間の唯一の構造的な連結部であるものとすることができる（例えば、中央領域１５４とパッド１５５とを接続するステンレス鋼層１４０の唯一の部分が支柱１５３であり、各パッド１５５につき１つの支柱１５３）。図１３Ｆに示されているように、支柱１５３は、それぞれ、（図１６Ｂ１の俯瞰斜視図から見て）Ｘ−Ｙ平面においてステンレス鋼層１４０の最も狭い部分であるものとすることができ、一方で、ステンレス鋼層１４０の厚さは撓み部材１１２に沿って一貫しているものとすることができる。

図１３Ｄに示されているように、複数のトレース１６０が導電性材料層１４４に形成され、ベース部分１５０とタング１３３との間に、ばねアーム１５２の外側で概ね横方向に経路に沿って、誘電体層１４２に形成される支持部分１６２上に延びる。複数のトレース１６０は、タング１３３の遠位領域に隣接する位置で終端し、スライダ１３２の読み書きヘッド端子（図示せず）に電気的に取着されるように構成されている。モータ１３４に給電する一対の給電トレース１６１も、導電性材料層１４４に形成され、ベース部分１５０とタング１３３の近位部分との間に、概ねばねアーム１５２の内側の経路に沿って、かつ、誘電体層１４２に形成される支持部分１６３上に延びる。モータ給電トレース１６１は、モータ取付パッド１５５のうちの一方の第１のモータ端子パッド１６７で終端する。第２のモータ端子パッド１６９が、他方のモータ取付パッド１５５の導電性材料層１４４に形成され、トレース１７１によって、モータ取付パッド１５５間の位置でタング１３３に示されている導電ビア１７３に結合される。図１３Ｄにおいて最も良く見えるように、ビア１７３は、（図１３Ｅに示されている）誘電体層１４２の開口１７５を通って延び、撓み部材１１２のステンレス鋼層１４０に電気的に接触する。モータ端子パッド１６９は、トレース１７１及びビア１７３によってステンレス鋼層１４０において接地電位に電気的に接続することができる。図１２に示されているように、ステンレス鋼層１４０のタブ１５７等の構造が、ステンレス鋼層の面外に形成され、トレース支持部分１６２の遠位部分に係合し、トレース１６１の端子の端を押し下げることで、スライダ１３２の端子を、モータ１３４の厚さに対応しながら、（例えばはんだ結合によって）トレースに正確に電気的に取着することができる。図１３Ｅは、導電ビアに関連して用いて、（例えば接地）トレース及び導電性材料層１４４の他の構造をステンレス鋼層１４０に電気的に接続することができる、誘電体層の他の孔も示している。他の実施形態では、他の手法及び構造を用いてトラッキング駆動信号をモータ１３４の端子に結合することができる。

モータ１３４の電気端子は、同じ側（例えば上部又は底部）にあるが、モータ１３４の反対側の長手方向端にあるものとすることができる。図１３Ｂ及び図１３Ｃに示されているように、モータ１３４は、導電性接着剤を用いてモータ１３４の電気端子をモータ端子パッド１６７，１６９に結合することによってジンバル１２４に取着することができる。この手法によって、モータ１３４は、ジンバル１２４に構造的かつ電気的に接続される。図１３Ｃに示されているように、モータ端子パッド１６７，１６９は、カバーレイ１４６の開口を通して露出され、導電性接着剤へのアクセスを提供する。

図１４及び図１５は、ジンバル１２４及びＤＳＡ構造部１１４を示す、サスペンション１１０の側面図である。図示のように、ディンプル１３６は、ロードビーム１１８のステンレス鋼に形成される構造であり、ロードビーム１１８から突出し、タング１３３の、モータ１３４とは反対の側でステンレス鋼層１４０の中央領域１５４に係合する。ディンプル１３６は、撓み部材１１２のベース部分１５０に対して面外でモータ１３４に接続されるジンバル１２４の部分を付勢することによって、荷重点として機能する。図示の実施形態では、モータ１３４は、タング１３３とヘッドスライダ１３２との間に位置する（例えば、モータ１３４は垂直軸で挟まれる）。図１４及び図１５に示されているように、スライダ１３２は、撓み部材１１２とスライダ１３２との間の唯一の構造的な連結部がモータ１３４を通って延びるか又は別様にモータ１３４を含むように、モータ１３４によって構造的に支持される。トレース１６０の端子端が正確なｚ高さにあり、読み書きヘッドの端子を含むヘッドスライダ１３２の部分に隣接する状態で、ステンレス鋼タブ１５７が誘電体層１４２の部分を位置付ける方法が図１５に示されている。

ＤＳＡ構造部１１４の動作を、撓み部材１１２のジンバル１２４の平面図である図１６Ａ１、図１６Ａ２、図１６Ｂ１、図１６Ｂ２、図１６Ｃ１及び図１６Ｃ２を参照して記載することができる。図１６Ａ１、図１６Ｂ１及び図１６Ｃ１は、撓み部材１１２のステンレス鋼側を示しており、また、図１６Ａ２、図１６Ｂ２及び図１６Ｃ２は、撓み部材１１２のトレース側を示しており、モータ１３４及びヘッドスライダ１３２が示されている。図１６Ｂ１及び図１６Ｂ２に示されているように、ＤＳＡ構造部１１４及びタング１３３、並びに、モータ取付パッド１５５及び支柱１５３によって形成される連結部上のモータ１３４は、トラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されないときは、ヘッドスライダが撓み部材１１２の長手方向軸に概ね平行に位置決めされる状態で、中立の駆動されない状態にある。支柱１５３は、この状態では曲がらないか又は別様に応力を受けない。図１６Ａ１及び図１６Ａ２に示されているように、第１の電位（例えばプラス）のトラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね広がる。この形状の変化によって、モータ取付パッド１５５間の距離が増大し、これは、連結支柱１５３の機械的な作用と関連して、モータ１３４、及びしたがってモータ１３４に取り付けられているヘッドスライダ１３２を、トラッキング軸を中心に撓み部材１１２の長手方向軸に対して第１の方向に移動又は回転させる。図示のように、モータ１３４の延長によって、支柱１５３が横方向に伸張し、支柱１５３が曲がる（例えば内方に撓む）。支柱１５３のずれた配置によって、支柱１５３は、モータ１３４及びヘッドスライダ１３２が第１の方向に回転するように曲がる。

図１６Ｃ１及び図１６Ｃ２に示されているように、第２の電位（例えばマイナス）のトラッキング駆動信号がモータ１３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね収縮する。この形状の変化によって、モータ取付パッド１５５間の距離が減少し、これは、支柱１５３を含む連結部の機械的な作用と関連して、モータ１３４、及びしたがってモータ１３４に取り付けられているヘッドスライダ１３２を、トラッキング軸を中心に撓み部材１１２の長手方向軸に対して第２の方向に移動又は回転させる。第２の方向は第１の方向とは反対である。図示のように、モータ１３４の短縮によって、支柱１５３が横方向に圧縮され、支柱１５３が曲がる（例えば外方に撓む）。支柱１５３のずれた配置によって、支柱１５３は、モータ１３４及びヘッドスライダ１３２が第２の方向に回転するように曲がる。

ジンバル１２４の他の部分の、比較的僅かであるが、幾らかの面外の動きを、ＤＳＡ構造部１１４のトラッキング作用の間に生成することができる。支柱１５３によって提供される連結部が、モータ１３４の動きに対応するため、タング１３３の残りの部分は、このトラッキング作用の間に撓み部材１１２の長手方向軸に対して概ね位置合わせされたままである。例えば、モータ１３４及びスライダ１３２は回転するが、中央領域１５４（又はより広範にはタング１３３）は回転しないか、又は、僅かな若しくは小さい量だけ回転する。

図１７は、本発明の別の実施形態によるサスペンション２１０の図である。図示のように、サスペンション２１０は、同一位置に配置されるか又はジンバルベースのＤＳＡ構造部２１４、及び、ロードビーム又はベースプレートタイプのＤＳＡ構造部２９０を含む。このように、サスペンション２１０はトリステージ作動式サスペンションである。１つの実施形態では、ＤＳＡ構造部２１４は、別途明記又は示されるものを除き、上述したＤＳＡ構造部１１４と実質的に同じである（例えば、図９〜図１６Ｃ２に関連して記載又は示した任意の態様を有して構成される）。別の実施形態では、ＤＳＡ構造部２１４は、別途明記又は示されるものを除き、上述したＤＳＡ構造部１４と実質的に同じである（例えば、図１〜図８Ｃに関連して記載又は示した任意の態様を有して構成される）。サスペンション２１０の他の実施形態は、他のジンバルベースのＤＳＡ構造部を含む。ＤＳＡ構造部２９０は、背景技術の項において上述したもののうちのいずれかのような、任意の既知の又は従来のＤＳＡ構造部であるものとすることができる。

図１８は、サスペンション３１０の遠位端の同一位置に配置されるか又はジンバルベースのＤＳＡ構造部３１４の詳細な等角図である。サスペンション３１０は、別途記載又は図示されない限り、前述したサスペンション１０と同様に構成することができる。例えば、サスペンション３１０の近位端（図示せず）は、前述したサスペンション１０の近位端と同様に構成することができる。

撓み部材３１２は、撓み部材３１２の遠位端にジンバル３２４を含む。ＤＳＡ構造部３１４が、ロードビーム３１８の遠位端に隣接してジンバル３２４に配置される。サスペンション３１０は、ロードビーム３１８の止め部分３３０に係合するように構成されているタブ３２８を含むジンバルリミッタ３２６を備える。ヘッドスライダ３３２が、サスペンション３１０の、ロードビーム３１８とは反対の側の、ジンバル３２４のスライダ取付領域又はタング３３３に取り付けられる。ＤＳＡ構造部３１４は、撓み部材３１２のジンバル３２４に、ロードビーム３１８とヘッドスライダ３３２との間に取り付けられる、図示の実施形態ではＰＺＴ又は他の圧電アクチュエータであるモータ３３４を含む。以下で更に詳細に記載するように、モータ３３４に印加される電気的な駆動信号に応じて、モータ３３４は、タング３３３及びスライダ３３２を含むジンバル３２４の部分を、概ね横断方向のトラッキング軸を中心に駆動する。

図１９は、図１８に示されている撓み部材３１２及びＤＳＡ構造部３１４のステンレス鋼側の等角図である。図示のように、補強材３３９がモータ３３４に取り付けられている。補強材３３９は非対称な補強材である。２０１２年１０月１０日に出願された、米国仮特許出願第６１／７１１，９８８号（参照によりその全体が本明細書に援用される）において言及されている任意のタイプの補強材又は他の構成要素若しくは構造を、本開示の任意の実施形態において用いることができる。なお、幾つかの実施形態は補強材３３９を含まなくてもよい。図１９は、モータ３３４のそれぞれの陽極端子及び陰極端子に接続する電気コネクタ３４５を更に示している。電気コネクタ３４５は、可撓性回路３４９のそれぞれのトレースに接続することができる。可撓性回路３４９は、前述したサスペンション１０の誘電体層４２、導電性材料層４４のトレース６０及びカバーレイ４６の層と同様に構成することができる。

図２０は、図１９の図に対して、撓み部材３１２の反対の側の、スライダ３３２を有しない等角図である。図２１〜図２５は、撓み部材３１２及びＤＳＡ構造部３１４の等角図である。具体的には、図２１〜図２５は、撓み部材３１２及びＤＳＡ構造部３１４を含む種々の層を示している。図２１は、図１９の図であるが、補強材３３９がモータ３３４から取り外されている。図２１に示されているように、モータ３３４は、モータ３３４の陽極及び陰極の端子を絶縁することができる、モータ３３４の非導電性セクション３３８を含む。図２２は、図１９の図であるが、タング３３３の詳細を更に示すためにモータ３３４が取り外されている。図２２は一対の支柱３５６を示している。図２２に示されているように、サスペンション３１０は、ステンレス鋼層３４０上にモータパッド３４１を含む。モータパッド３４１は粘弾性材料であるものとすることができ、タング３３３及び／又はモータ３３４に取着されるように更に接着性であってもよい。モータパッド３４１は防振可能である。モータパッド３４１又は他のダンパは、上記で本明細書に援用した、２０１２年１０月１０日に出願された米国仮特許出願第６１／７１１，９８８号に記載されているように構成することができる。図２２は、２片の接着剤３４３を更に示している。接着剤３４３は、エポキシ等の非導電性接着剤であるものとすることができる。図示のように、接着剤３４３の片は、ステンレス鋼層３４０のばねアーム３５２に配置される。接着剤３４３の片は、モータ３３４を一対のばねアーム３５２に取着することができる。図２３は、図２２の図であるが、ばねアーム３５２にそれぞれ位置決めされる導電性パッド３４７を露出させるために電気コネクタ３４５が取り外されている。電気コネクタ３４５は、はんだ、（例えば銀が充填された）導電性エポキシ、又は、電極の接続部を形成する他の材料を含むことができる。電気コネクタ３４５は、モータ３３４のそれぞれの陽極及び陰極の端子に電気的に接続することができる。導電性パッド３４７は誘電体層上に銅面を含むことができる。導電性パッド３４７は、モータ３３４の両端に印加される電気信号を制御するために可撓性回路３４９のそれぞれの回路に電気的に接続することができる。

図２４は、図２３の図であるが、モータパッド３４１及び接着剤３４３の片が取り外されている。図２５はステンレス鋼層３４０のみを示している。図２５に示されているように、ステンレス鋼層３４０は、ばねアーム３５２、支柱３５６及びタング３３３を形成する。一対の支柱３５６は、ばねアーム３５２間でタング３３３に接続するか又は別様に支持するステンレス鋼層３４０の唯一の部分である。具体的には、支柱３５６は、ばねアーム３５２とタング３３３との間の唯一の構造的な連結部であるものとすることができる。また、支柱３５６は、タング３３３に接続することによって、ベース部分３５０の遠位でばねアーム３５２間を接続するステンレス鋼層３４０の唯一の部分であるものとすることができる。図示のように、支柱３５６は、撓み部材３１２の長手方向軸に対して互いからずらされるか、又は、ばねアーム３５２に対してトラッキング軸を中心としたタング３３３の回転運動を提供するように別様に構成される。図２２に最も良く示されているように、一対の支柱３５６のうちの一方の支柱３５６はモータ３３４の近位に位置し、一方で、一対の支柱３５６のうちの他方の支柱はモータ３３４の遠位に位置して、モータ３３４が一対の支柱３５６の間にあるようにする。各支柱３５６は、サスペンション３１０の長手方向軸に対して概ね垂直に延びる長手方向軸を有する。支柱３５６の長手方向軸は、平行に延び、支柱３５６が応力を受けていない（例えば曲がっていない）ときは互いに交差しないか又は別様に重ならない。図２５に示されているように、支柱３５６は、それぞれ、Ｘ−Ｙ平面においてステンレス鋼層３４０の最も狭い部分であるものとすることができ、一方で、ステンレス鋼層３４０の厚さは撓み部材３１２に沿って一貫しているものとすることができる。

図２６は、ジンバル３２４及びＤＳＡ構造部３１４を示す、サスペンション３１０の側面図である。図示のように、ディンプル３３６は、ロードビーム３１８のステンレス鋼に形成される構造であり、また、ロードビーム３１８から延びており、補強材３３９又は代替的にはモータ３３４に係合し、撓み部材３１２のベース部分３５０に対して面外でモータ３３４に接続されるジンバル３２４の部分を付勢することによって、荷重点として機能する。撓み部材３１２の曲がり又は遷移部が、ディンプル３３６によって、ジンバル３２４を付勢することに起因してばねアーム３５２に沿う任意の所望の位置に生じる。幾つかの実施形態では、モータ３３４は、タング３３３の反対側の横方向端部分の間の位置でタング３３３に構造的に取着される。そのような実施形態では、モータ３３４は、ばねアーム３５２に取着されることに加えて、タング３３３に取着される。幾つかの他の実施形態では、モータ３３４は、ばねアーム３５２に取着されるが、タング３３３には取着されないことで、モータ３３４がタング３３３に対して移動することを可能にする。

図２７は、撓み部材３１２に取り付けられているモータ３３４の詳細図を示している。図示のように、電気コネクタ３４５は導電性パッド３４７に結合され、モータ３３４の上部に巻き付き、モータ３３４の端子と機械的及び電気的に接続する。図２８は、モータ３３４の上部に巻き付く電気コネクタ３４５を更に示す撓み部材３１２の正面図を示している。図２８に示されているように、補強材は上部層３４８及び底部層３５１を含む。上部層３４８は、ステンレス鋼等の金属材料の層を含むことができる。底部層３５１は接着剤を含むことができ、接着剤は、上部層３４８とモータ３３４の上面とを隔てるとともに結合する。

ＤＳＡ構造部３１４の動作については、図２９Ａ〜図２９Ｃを参照して記載することができ、これらの図は、モータ３３４の起動又は非起動の幾つかの段階の間の撓み部材３１２の俯瞰図をそれぞれ示す。図２９Ｂに示されているように、ＤＳＡ構造部３１４及びタング３３３は、トラッキング駆動信号がモータ３３４に印加されないときは、タング３３３がばねアーム３５２間の概ね中央に位置する状態で、中立の駆動されない状態にある。図２９Ａに示されているように、第１の電位（例えばプラス）のトラッキング駆動信号がモータ３３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね広がる。この形状の変化によって、支柱３５６を含む連結部の機械的な作用と関連して、トラッキング軸を中心にばねアーム３５２に対してタング３３３を第１の方向に移動又は回転させる。図示のように、モータ３３４の延長によって、ジンバル３２４が横方向に伸張し、支柱３５６が曲がる（例えば内方に撓む）。支柱３５６のずれた配置によって、支柱３５６は、タング３３３が第１の方向に回転するように曲がる。

図２９Ｃに示されているように、第２の電位（例えばマイナス）のトラッキング駆動信号がモータ３３４に適用されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね収縮する。この形状の変化によって、連結支柱３５６の機械的な作用と関連して、トラッキング軸を中心にばねアーム３５２に対して、タング３３３を第２の方向に移動又は回転させる。第２の方向は第１の方向とは反対である。図示のように、モータ３３４の短縮によって、ジンバル３２４が横方向に圧縮され、支柱３５６が曲がる（例えば外方に撓む）。支柱３５６のずれた配置によって、支柱３５６は、タング３３３が第２の方向に回転するように曲がる。ジンバル３２４の他の部分の、比較的僅かであるが、幾らかの面外の動きを、上述したようなＤＳＡ構造部３１４のトラッキング作用の間に生成することができる。本発明のこの実施形態の場合、撓み部材のタング３３３のスライダ取付領域が、ばねアーム３５２が静止しているか又は僅かに移動するため、ばねアーム３５２に対して概ね回転する。

図３０は、撓み部材４１２の俯瞰図を示している。撓み部材４１２は、図１〜図８Ｃのサスペンション１０又は他のサスペンションにおいて具現することができる。撓み部材４１２は、別途記載又は示されるものを除いて、図１〜図８Ｃの撓み部材１２と同様に構成することができる。図３１Ａ〜図３１Ｃは、異なる移動状態で示されており、撓み部材４１２の更なる態様を明らかにするためにモータ４３４を有しない、撓み部材４１２のジンバル４２４のステンレス鋼側の俯瞰図である。撓み部材４１２は、ベース部分４５０、及び、ベース部分４５０から分岐するばねアーム４５２を含む。ばねアーム４５２は、モータ取付パッドとしてそれぞれ機能することができる支持領域４５８を含む。図３０に示されているように、モータ４３４が撓み部材４１２に取り付けられる。具体的には、モータ４３４の反対側の長手方向端が支持領域４５８に取り付けられる。接着剤を用いて、本明細書において記載するようにモータ４３４を取り付けることができる。スライダ（図示せず）を、例えば図１〜図８Ｃの実施形態と同様に、本明細書において言及される任意の方法でタング４３３に取り付けることができる。例えば、スライダは、モータ４３４に対して、撓み部材４１２の反対側に位置することができる。

図３１Ａに示されているように、タング４３３は、一対の支柱４５６によってばねアーム４５２（具体的には支持領域４５８）に接続される。タング４３３、支柱４５６、ばねアーム４５２及びベース部分４５０は、ステンレス鋼層４４０（又は他の種類の金属）から形成することができる。撓み部材４１２は、本明細書において説明される他のジンバルのように機能することができるジンバル４２４を含む。図１〜図８Ｃの撓み部材１２は、互いに平行であるとともにモータ３４の長手方向軸に平行なそれぞれの長手方向軸を有する支柱５６を示しているが、撓み部材４１２の支柱４５６は、互いに対して平行であるがモータ４３４の長手方向軸に対しては平行ではないそれぞれの長手方向軸を有する。また別の実施形態では、撓み部材は、撓み部材の支柱の長手方向軸が互いに対して平行に延びず、また、支柱の長手方向軸がモータの長手方向軸に平行に延びないことを除いて、図３１Ａに示されているものと同様であるものとすることができる。図３１Ａの実施形態に戻ると、一対の支柱４５６は、ばねアーム４５２間でタング４３３を接続するか又は別様に構造的に支持するステンレス鋼層４４０の唯一の部分である。具体的には、支柱４５６は、ばねアーム４５２とタング４３３との間の唯一の構造的な連結部であるものとすることができる。また、支柱４５６は、タング４３３に接続することによって、ベース部分４５０の遠位でばねアーム４５２間を接続するステンレス鋼層４４０の唯一の部分であるものとすることができる。

撓み部材４１２のＤＳＡ構造部の動作を、図３１Ａ〜図３１Ｃを参照して記載する。図３１Ａに示されているように、タング４３３は、トラッキング駆動信号がモータ４３４（図３０に示されているが図３１Ａ〜図３１Ｃには示されていない）に印加されないときは、タング４３３がばねアーム４５２間の概ね中央に位置する状態で、中立の駆動されない状態にある。第１の電位（例えばプラス）のトラッキング駆動信号がモータ４３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね広がる。この形状の変化によって、図３１Ｂに示されているように支持領域４５８間の距離が増大し、これは、連結支柱４５６の機械的な作用と関連して、トラッキング軸を中心にばねアーム４５２に対して、タング４３３を第１の方向に移動又は回転させる。図示のように、モータ４３４の延長によって、ジンバル４２４が横方向に伸張し、支柱４５６が曲がる（例えば内方に撓む）。支柱４５６のずれた配置によって、支柱４５６は、タング４３３が第１の方向に回転するように曲がる。

第２の電位（例えばマイナス）のトラッキング駆動信号がモータ４３４に印加されると、モータの形状が変化し、その長さが概ね収縮する。この形状の変化によって、図３１Ｃに示されているように支持領域４５８間の距離が減少し、これは、連結支柱４５６の機械的な作用と関連して、トラッキング軸を中心にばねアーム４５２に対して、タング４３３を第２の方向に移動又は回転させる。第２の方向は第１の方向とは反対である。図示のように、モータ４３４の短縮によって、ジンバル４２４が横方向に圧縮され、支柱４５６が曲がる（例えば外方に撓む）。支柱４５６のずれた配置によって、支柱４５６は、タング４３３が第２の方向に回転するように曲がる。ジンバル４２４の他の部分の、比較的僅かであるが、幾らかの面外の動きが、上述したようなトラッキング作用の間に生成される。本発明のこの実施形態の場合、撓み部材のタング４３３のスライダ取付領域が、ばねアーム４５２が静止しているか又は僅かに移動するため、ばねアーム４５２に対して概ね回転する。

なお、図１〜図３１Ｃの実施形態は、単一のモータによって作動される種々のＤＳＡ構造部を示している。しかしながら、代替的に、本発明の態様を用いながら、種々の実施形態において複数のモータを用いることができる。

本発明の実施形態は重要な利点を提供する。例えば、幾つかの場合、サーボ帯域幅を大幅に高めることができる（例えばベースプレート又はロードビームベースのＤＳＡ構造部の約３〜４ｋＨｚから５〜８ｋＨｚ以上に）。ストロークを増大させることができる。ＤＳＡ構造部を効率的に製造することができる。

本発明を、好ましい実施形態を参照して記載したが、当業者は、本発明の主旨及び範囲から逸脱することなく形態及び詳細に変更を加えることができることを認識するであろう。本発明の範囲から逸脱することなく、種々の変更及び付加を説明した例示的な実施形態に加えることができる。例えば、上述した実施形態は特定の特徴に言及しているが、本発明の範囲は、特徴の異なる組み合わせを有する実施形態、及び、上述した特徴の全ては含まない実施形態も含む。

Claims (30)

1. ２段始動（ＤＳＡ）構造部を有するジンバル形撓み部材であって、
   一対のばねアームと、
   前記一対のばねアーム間に位置するとともに前記一対のばねアームによって構造的に支持されるタングと、
   一対の支柱であって、前記一対のばねアームと前記タングとの間にそれぞれ位置決めされ、各支柱は長手方向軸を有し、前記一対の支柱の長手方向軸は互いに対して平行であるとともにずれている、一対の支柱と、を備える、撓み部材、
   スライダ取付部、並びに
   前記撓み部材に取り付けられるモータであって、前記一対の支柱の軸に平行な長手方向軸を有し、前記モータの電気的起動によって前記一対の支柱が曲がり、トラッキング軸を中心に前記スライダ取付部を移動させる、モータ、
   を備える、ジンバル形撓み部材。
2. 前記一対のばねアーム、前記タング及び前記一対の支柱のそれぞれは、金属の層から形成される、請求項１に記載のジンバル形撓み部材。
3. 前記撓み部材はロードビームから片持ち式に支持され、前記ロードビームのディンプルの周りでジンバル状である、請求項１又は２に記載のジンバル形撓み部材。
4. 前記一対の支柱のうちの第１の支柱は、前記モータの近位に位置し、前記一対の支柱のうちの第２の支柱は、前記モータの遠位に位置する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
5. 前記モータの両端が前記一対のばねアームにそれぞれ取り付けられる、請求項１〜４のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
6. 前記一対の支柱は、前記一対のばねアーム及び前記タングをそれぞれ接続する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
7. 前記スライダ取付部は、前記タングの第１の側の表面であり、前記モータは、前記タングの第１の側とは反対の、第２の側に位置決めされる、請求項１〜６のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
8. 前記スライダ取付部に取り付けられるスライダを更に備える、請求項１〜７のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
9. 前記モータが電気的に起動されると、前記タングは回転し、前記一対のばねアームは相対的に静止したままである、請求項１〜８のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
10. 前記ジンバル形撓み部材はロードビームを更に備え、前記ロードビームはディンプルを含み、前記撓み部材は前記ディンプルの周りでジンバル状であり、前記ディンプルは前記モータに当接する、請求項１〜９のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
11. 前記ディンプルと前記モータの端子との間の接点を通じて、該端子との電気的接続がなされる、請求項１０に記載のジンバル形撓み部材。
12. 前記ジンバル形撓み部材は前記一対の支柱にそれぞれ接続される一対のモータ取付パッドを更に備え、前記一対の支柱は前記タングから分岐し、前記支柱は前記ばねアームに取着されず、前記モータは前記一対のモータ取付パッドに取り付けられる、請求項１〜５、７、８、１０及び１１のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
13. 前記スライダ取付部は前記モータの表面である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
14. 前記モータが電気的に起動されると、該モータは回転するが、前記タングは前記トラッキング軸を中心に回転しない、請求項１〜８又は１０〜１３のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
15. ２段始動（ＤＳＡ）構造部を有するジンバル形撓み部材であって、
    一対のばねアームと、
    前記ばねアーム間に位置するタングと、
    一対の支柱であって、前記一対のばねアーム及び前記タングをそれぞれ接続する、一対の支柱と、を備える、撓み部材、
    前記タングのスライダ取付部、並びに
    前記一対のばねアームにそれぞれ取付られる両端を有するモータであって、該モータの電気的起動によって前記一対の支柱が曲がり、前記スライダ取付部を、トラッキング軸を中心に移動させる、モータ、
    を備える、ジンバル形撓み部材。
16. 前記ばねアーム、前記タング及び前記一対の支柱のそれぞれは、金属の層から形成される、請求項１５に記載のジンバル形撓み部材。
17. 前記一対の支柱は互いに対して長手方向にずらされる、請求項１５又は１６に記載のジンバル形撓み部材。
18. 前記ジンバル形撓み部材はロードビームを更に備え、該ロードビームは荷重点のディンプルを含み、前記撓み部材は前記ロードビームから片持ち式に支持され、前記ディンプルの周りでジンバル状である、請求項１５〜１７のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
19. 前記ディンプルは前記モータに当接する、請求項１８に記載のジンバル形撓み部材。
20. 前記ディンプルと前記モータの端子との間の接点を通じて、該端子との電気的接続がなされる、請求項１９に記載のジンバル形撓み部材。
21. 前記一対の支柱のうちの第１の支柱は、前記モータの近位に位置し、前記一対の支柱のうちの第２の支柱は、前記モータの遠位に位置する、請求項１５〜２０のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
22. 前記スライダ取付部は、前記タングの第１の側の表面であり、前記モータは、前記タングの第１の側とは反対の、該タングの第２の側に位置決めされる、請求項１５〜２１のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
23. 前記モータが電気的に起動されると、前記タングは回転し、前記一対のばねアームは相対的に静止したままである、請求項１５〜２２のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
24. 前記ジンバル形撓み部材は前記一対のばねアームにそれぞれ位置する一対の導電パッドを更に備え、前記モータは一対の端子を含み、該一対の端子は、前記一対の導電パッドにそれぞれ電気的に接続される、請求項１５〜２３のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
25. 前記一対の支柱のそれぞれの支柱はそれぞれの長手方向軸を有し、該支柱の長手方向軸は互いに対して平行であり、
    前記モータは、前記支柱の長手方向軸と平行ではない長手方向軸を有する、請求項１５〜２４のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
26. 前記一対の支柱のそれぞれの支柱はそれぞれの長手方向軸を有し、該支柱の長手方向軸は互いに対して平行ではなく、
    前記モータは、前記支柱の長手方向軸のいずれとも平行ではない長手方向軸を有する、請求項１５〜２４のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。
27. ２段始動（ＤＳＡ）構造部を有するジンバル形撓み部材であって、
    一対のばねアームと、
    前記ばねアーム間に位置するとともに前記一対のばねアームによって構造的に支持されるタングと、
    一対のモータ取付パッドであって、一対の支柱によって前記タングにそれぞれ接続される、一対のモータ取付パッドと、を備える、撓み部材、
    スライダ取付部、並びに
    前記一対のモータ取付パッドにそれぞれ取り付けられる両端を有するモータであって、前記スライダ取付部は該モータに取り付けられ、該モータの電気的起動によって前記一対の支柱が曲がり、前記スライダ取付部を、トラッキング軸を中心に移動させる、モータ、
    を備える、ジンバル形撓み部材。
28. 前記タングは、前記スライダ取付部が前記モータの電気的起動によって前記トラッキング軸を中心に移動される間に該トラッキング軸を中心に回転しない、請求項２７に記載のジンバル形撓み部材。
29. 前記ばねアーム、前記タング及び前記一対の支柱のそれぞれは、金属の層から形成される、請求項２７又は２８に記載のジンバル形撓み部材。
30. 前記一対の支柱は互いに対して長手方向にずらされる、請求項２７〜２９のいずれか一項に記載のジンバル形撓み部材。

Images