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藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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(ja)
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基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
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(ja)
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2019-02-20 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
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(zh)
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(zh)
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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(ko)
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2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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用於改良高k可靠度之摻氟氮化物膜
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基板支撑组件及包括其的基板处理装置
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기판 처리 장치
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라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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(zh)
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用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
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Vertical batch furnace assembly
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包括冷却装置的加热器组件及其使用方法
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Susceptor support
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Susceptor shaft
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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기판 처리 장치
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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