JP2009536591A - 厚さが変化するテンプレート - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 第1と第2の両側を有する本体であって、第1の面は前記第1の側に配置され、前記第2の側はその中に配置されたくぼみを有し、前記本体は第1と第2の領域を有し、前記第2の領域は前記第1の領域及び前記第1の領域に重なる前記くぼみを囲み、前記第1の領域と重なる前記第1の面の部分は前記第2の側から第1の距離だけ離れており、前記第2の領域と重なる前記第1の面の部分は前記第2の側から第2の距離だけ離れており、前記第2の距離は前記第1の距離よりも長い本体と、
前記第1の領域の部分と重なって、前記本体の前記第1の側上に配置されたモールドとを備える、ナノインプリント・リソグラフィ・テンプレート。 - 前記くぼみは、正方形、長方形、円形、楕円から成る一群の幾何学形状から選択される幾何学形状を有する請求項1に記載のテンプレート。
- 前記くぼみは、底面を備え、前記第1の領域と重なる前記第1の面の前記部分は、前記底面から第1の距離だけ離れている請求項1に記載のテンプレート。
- 前記第2の距離は、0.25インチ(0.635cm)の長さである請求項1に記載のテンプレート。
- 前記第1の距離は、700ミクロンの長さである請求項1に記載のテンプレート。
- 前記第1の距離は、1ミクロンから0.25インチ(0.635cm)の範囲の長さである請求項1に記載のテンプレート。
- 前記モールドは、複数の突起とくぼみを備える請求項1に記載のテンプレート。
- 第1と第2の両側を有する本体であって、前記第1の側に配置された第1の面は実質上平面であり、前記本体は第1と第2の領域を有し、前記第2の領域は前記第1の領域を囲み、前記第1の領域と重なる前記本体の部分は第1の厚さを有し、前記第2の領域と重なる前記本体の部分は第2の厚さを有し、前記第2の厚さは前記第1の厚さよりも厚い本体と、
前記第1の領域の部分と重なる前記第1の側上に配置されたモールドとを備える、ナノインプリント・リソグラフィ・テンプレート。 - 前記本体の前記第2の側は、その中に配置されたくぼみを有し、前記くぼみは前記本体の前記第1の領域と重なる請求項8に記載のテンプレート。
- 前記くぼみは、正方形、長方形、円形、楕円から成る一群の幾何学形状から選択される幾何学形状を有する請求項9に記載のテンプレート。
- 前記第2の厚さは、ほぼ0.25インチ(0.635cm)の厚さである請求項8に記載のテンプレート。
- 前記第1の距離は、ほぼ700ミクロンの長さである請求項8に記載のテンプレート。
- 前記第1の距離は、1ミクロンから0.25インチの範囲の長さを有する請求項8に記載のテンプレート。
- 前記モールドは、複数の突起とくぼみを備える請求項8に記載のテンプレート。
- 第1と第2の両側を有する本体であって、第1の面は前記第1の側に配置され、前記第2の側はその中に配置されたくぼみを有し、前記本体は第1と第2の領域を有し、前記第2の領域は前記第1の領域及び前記第1の領域と重なる前記くぼみを囲み、前記第1の領域と重なる前記第1の面の部分は前記第2の側から第1の距離だけ離れており、前記第2の領域と重なる前記第1の面の部分は前記第2の側から第2の距離だけ離れており、前記第2の距離は前記第1の距離よりも長く、前記本体は前記第1の領域の部分と重なる前記第1の側上に配置されたモールドをさらに有する本体と、
前記本体に連結されて、前記本体の前記第2の側から離れるように前記本体の前記第1の領域を湾曲させるために前記本体に力を加えるアクチュエータとを備える、ナノインプリント・リソグラフィ・システム。 - 複数のアクチュエータをさらに備える請求項15に記載のシステム。
- 前記アクチュエータの前記力は、前記本体の寸法を変化させてもよい請求項15に記載のシステム。
- 前記くぼみは、正方形、長方形、円形、楕円から成る一群の幾何学形状から選択される幾何学形状を有する請求項15に記載のシステム。
- 前記アクチュエータは、前記本体の周辺部に連結される請求項15に記載のシステム。
- 前記くぼみは、前記第1の側から離れている底面を備え、前記本体は、前記底面と前記第2の側との間に形成される境界面を備え、前記アクチュエータは、前記境界面に連結される請求項15に記載のシステム。
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