JP2016063152A - ナノインプリント用構造体の検査方法およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を参照して本発明の第1の実施の形態について説明する。
次に図9乃至図12により第2の実施の形態について説明する。
1A ナノインプリント用モールド
2 薄板
2a 第1面
2b 第2面
3 凹部
4 凹凸パターン
8 被転写体
10 ナノインプリント用接合体の検査装置
12 XYステージ
13a 投光部
13b 受光部
15 制御部
15a 高さ情報取得部
15b 凹部形状検出部
21 可動走査手段
22 コリメータレンズ
30 制御部
30a 厚み情報取得部
30b 凹部形状検出部
31 プリズム
Claims (6)
- パターンが形成される第1面と、この第1面に対向する第2面とを有し、この第2面に凹部が形成されたナノインプリント用構造体を準備する工程と、
前記ナノインプリント用構造体に対して光を照射して、前記ナノインプリント用構造体からの反射光に基づいて、前記第1面の高さ情報および前記第2面の高さ情報を取得する工程と、
前記第1面の高さ情報と前記第2面の高さ情報に基づいて、前記第1面を基準面として前記凹部の形状を検出する工程と、
を備えたことを特徴とするナノインプリント用構造体の検査方法。 - 前記第1面の高さ情報に基づいて、前記第2面の高さ情報を補正する工程を更に備えたことを特徴とする請求項1記載のナノインプリント用構造体の検査方法。
- パターンが形成される第1面と、この第1面に対向する第2面とを有し、この第2面に凹部が形成されたナノインプリント用構造体を準備する工程と、
前記ナノインプリント用構造体に対して光を照射して、前記ナノインプリント用構造体からの反射光に基づいて、前記第1面と前記第2面との間の厚み情報を取得する工程と、
前記厚み情報に基づいて、前記第1面を基準面として前記凹部の形状を検出する工程と、
を備えたことを特徴とするナノインプリント用構造体の検査方法。 - パターンが形成される第1面と、この第1面に対向する第2面とを有し、この第2面に凹部が形成されたナノインプリント用構造体を作製する工程と、
前記ナノインプリント用構造体に対して光を照射して、前記ナノインプリント用構造体からの反射光に基づいて、前記第1面の高さ情報および前記第2面の高さ情報を取得する工程と、
前記第1面の高さ情報と前記第2面の高さ情報に基づいて、前記第1面を基準面として前記凹部の形状を検出する工程と、
を備えたことを特徴とするナノインプリント用構造体の製造方法。 - 前記第1面の高さ情報に基づいて、前記第2面の高さ情報を補正する工程を更に備えたことを特徴とする請求項4記載のナノインプリント用構造体の製造方法。
- パターンが形成される第1面と、この第1面に対向する第2面とを有し、この第2面に凹部が形成されたナノインプリント用構造体を作製する工程と、
前記ナノインプリント用構造体に対して光を照射して、前記ナノインプリント用構造体からの反射光に基づいて、前記第1面と前記第2面との間の厚み情報を取得する工程と、
前記厚み情報に基づいて、前記第1面を基準面として前記凹部の形状を検出する工程と、
を備えたことを特徴とするナノインプリント用構造体の製造方法。
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Cited By (1)
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JP2020509950A (ja) * | 2017-04-06 | 2020-04-02 | 華南理工大学 | 感光マイクロアレイのマクロホットエンボス成形のリアルタイム制御装置及び方法 |
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2014
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