JP5395769B2 - テンプレートチャック、インプリント装置、及びパターン形成方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態のナノインプリント装置の構成を示す側方断面図である。
図10及び図11は、第2実施形態のテンプレートチャック111の構成を示す側方断面図である。図11は、図10に示すテンプレートチャック111を拡大して示した側方断面図となっている。
図13及び図14は、第3実施形態のテンプレートチャック111の構成を示す側方断面図である。図14は、図13に示すテンプレートチャック111を拡大して示した側方断面図となっている。
111 テンプレートチャック
112 ベース
113 アライメントセンサ
114 UV光源
115 CCDカメラ
201 被転写基板
202 レジスト材
211 試料ステージ
212 試料チャック
301 テンプレート基板
302 パターン面
303 アライメントマーク
304 アライメントマーク
321 凹部
331 テーパー面
401 第1の構造体
402 第2の構造体
403 接触部材
404 変形制御装置
411 ピン
412 ピン
421 凸部
431 テーパー面
Claims (6)
- インプリント装置用のテンプレートチャックであって、
テンプレートの上面及び下面にそれぞれ接触させて、前記テンプレートを上下方向から挟み込むための第1及び第2の構造体と、
前記テンプレートの側面に接触させて、前記テンプレートを側面方向から挟み込むための複数の接触部材と、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させる変形制御装置とを備え、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し複数のピンで接触するよう構成されている、
ことを特徴とするテンプレートチャック。 - インプリント装置用のテンプレートチャックであって、
テンプレートの上面及び下面にそれぞれ接触させて、前記テンプレートを上下方向から挟み込むための第1及び第2の構造体と、
前記テンプレートの側面に接触させて、前記テンプレートを側面方向から挟み込むための複数の接触部材と、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させる変形制御装置とを備え、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し面接触するよう構成されており、
前記第2の構造体の上面には、前記テンプレートの下面に設けられた凹部に差し込むための凸部が設けられている、
ことを特徴とするテンプレートチャック。 - テンプレートの上面及び下面にそれぞれ接触させて、前記テンプレートを上下方向から挟み込むための第1及び第2の構造体と、
前記テンプレートの側面に接触させて、前記テンプレートを側面方向から挟み込むための複数の接触部材と、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させる変形制御装置と、
前記テンプレートを被転写基板上のレジスト材に接触させた状態で、前記レジスト材に光を照射して、前記レジスト材を硬化するための光源とを備え、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し複数のピンで接触するよう構成されている、
ことを特徴とするインプリント装置。 - テンプレートの上面及び下面にそれぞれ接触させて、前記テンプレートを上下方向から挟み込むための第1及び第2の構造体と、
前記テンプレートの側面に接触させて、前記テンプレートを側面方向から挟み込むための複数の接触部材と、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させる変形制御装置と、
前記テンプレートを被転写基板上のレジスト材に接触させた状態で、前記レジスト材に光を照射して、前記レジスト材を硬化するための光源とを備え、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し面接触するよう構成されており、
前記第2の構造体の上面には、前記テンプレートの下面に設けられた凹部に差し込むための凸部が設けられている、
ことを特徴とするインプリント装置。 - テンプレートの上面及び下面にそれぞれ第1及び第2の構造体を接触させて、前記テンプレートを前記第1及び第2の構造体により上下方向から挟み込み、
前記テンプレートの側面に複数の接触部材を接触させて、前記テンプレートを前記複数の接触部材により側面方向から挟み込み、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させ、
前記テンプレートを被転写基板上のレジスト材に接触させた状態で、前記レジスト材を硬化して、前記被転写基板上にレジストパターンを形成する、
パターン形成方法であって、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し複数のピンで接触するよう構成されている、
ことを特徴とするパターン形成方法。 - テンプレートの上面及び下面にそれぞれ第1及び第2の構造体を接触させて、前記テンプレートを前記第1及び第2の構造体により上下方向から挟み込み、
前記テンプレートの側面に複数の接触部材を接触させて、前記テンプレートを前記複数の接触部材により側面方向から挟み込み、
前記複数の接触部材を介して前記テンプレートに応力を加えることで、前記テンプレートを変形させ、
前記テンプレートを被転写基板上のレジスト材に接触させた状態で、前記レジスト材を硬化して、前記被転写基板上にレジストパターンを形成する、
パターン形成方法であって、
前記第1の構造体、前記第2の構造体、及び前記複数の接触部材は、それぞれが個別に駆動可能なよう構成されており、
前記第1及び第2の構造体はそれぞれ、前記テンプレートの上面及び下面に対し面接触するよう構成されており、
前記第2の構造体の上面には、前記テンプレートの下面に設けられた凹部に差し込むための凸部が設けられている、
ことを特徴とするパターン形成方法。
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