JP4773729B2 - 転写装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
102 ウエハ
102b スクライブライン
200,200A〜200E モールドチャック
201 圧電素子アクチュエータ
206 アクチュエータ
301 モールドステージ
304 照明光学系
401 ウエハチャック
402 ウエハステージ
501 赤外線光源
603 ヒータ
702 UV導光系
Claims (7)
- 型を接触させることにより基板上の被転写物にパターンを転写する転写装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記型を保持する型ステージと、
前記基板ステージと前記型ステージとの相対的な位置決めを行う駆動手段と、
制御手段と、を有し、
前記型ステージは、前記型のパターン領域の外側にある前記型の所定領域が該パターン領域に対して反って前記被転写物からの離型が開始する開始領域となるように前記被転写物に接触している前記型の前記所定領域に力を加えるアクチュエータを含み、
前記駆動手段は、前記被転写物に対する前記型の接触および離型のために前記基板ステージと前記型ステージとを一方向において相対的に移動させ、
前記制御手段は、前記型ステージに前記型を保持させつつ、前記アクチュエータにより前記開始領域で前記離型が開始され、その状態から前記駆動手段により前記離型が行われるように、前記型ステージ、前記アクチュエータおよび前記駆動手段を制御する、
ことを特徴とする転写装置。 - 前記型ステージは、前記型を保持する型チャックを有し、前記アクチュエータは、力を加えて前記型チャックを反らせることにより前記型の前記所定領域に力を加える、ことを特徴とする請求項1に記載の転写装置。
- 前記アクチュエータは、圧電素子を含む、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の転写装置。
- 前記型チャックは、切込みを有し、前記圧電素子は、前記切込みの中に配置されている、ことを特徴とする請求項3に記載の転写装置。
- 前記型ステージは、前記型を保持する型チャックを有し、該型チャックは、前記型の側面に接する突き当て部を有し、前記アクチュエータは、前記突き当て部を介して前記型の前記所定領域に力を加える、ことを特徴とする請求項1に記載の転写装置。
- 前記突き当て部は、前記型を介し対向して前記型の側面に接するように2つ設けられ、該2つの突き当て部は、上下方向において互いに異なる位置で前記型の側面に接する、ことを特徴とする請求項5に記載の転写装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の転写装置を用いて基板上の被転写物にパターンを転写するステップ、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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