JPH02292029A

JPH02292029A - 光ディスク製造用スタンパ

Info

Publication number: JPH02292029A
Application number: JP11163489A
Authority: JP
Inventors: Fumio Ito; 文夫伊藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1989-04-28
Filing date: 1989-04-28
Publication date: 1990-12-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は光ディスクの製造に使用されるスタンパに関す
る。

（従来の技術）光ディスク基板としては、ガラス製のものまたはポリカ
ーボネート樹脂やアクリル樹脂などのプラスチック製の
ものが用いられる。

ガラス製のディスク基板は平面性がよく、寸法安定性が
良好で、変形しない利点があり、さらに水蒸気透過性が
なく，高い信頼性を有している。

一方、プラスチックに比べコストが高く、また割れやす
い欠点もあるが、化学強化ガラスによって割れにくいガ
ラス基板を製作することが可能となっている・光ディスクのピット、グループの形成方法として、２　
Ｐ　（Ｐｈｏｔｏ　Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ）法
、射出成形法、射出圧縮成形法、圧縮成形法などが用い
られている，２Ｐ法はガラス製とプラスチック製の双方
のディスク基板に適用することができるが、各種成形法
はプラスチック製のディスク基板にしか適用できない．ガラス製のディスク基板にピットなどを形成するには、
ディスク基板自体にエッチングによって形成する方法、
あるいは２Ｐ法によって形成する方法がとられる．第１０図に示すように２Ｐ法はピットの形状に対応する
凹凸からなるピット形成部を有するスタンパ部１と裏打
ち部材とからなるスタンパ３上に紫外線硬化樹脂を塗布
して、この上にガラス製のディスク基板５を載置し，次
いで紫外線硬化樹脂を硬化させることにより、ピットな
どをディスク基板上の紫外線硬化樹脂層４に形成するも
のである．裏打ち部材２は５から７０ｍｍの厚さの金属
板によって構成されている。

ガラス製のディスク基板にエッチングによってピットを
形成する方法はコストが非常に高い欠点がある。これに
対し２Ｐ法は，コストが低い利点をもっている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、ガラス製のディスク基板５では、基板の
剛性が大きく、また金属製の裏打ち部材２も剛性が大き
いため、双方゛とも殆ど湾曲させることができないので
、２Ｐ法によってガラス基板５上にピットなどを形成す
る工程において，紫外線硬化樹脂が固化した後，基板５
を樹脂層とともにスタンパ３から剥離することが困難で
ある．（課題を解決するための手段）本発明は，上記従来の問題点を解決するためになされた
ものであり、表面にピット形成部を有するスタンパ部と
、このスタンパ部の裏面に固着された裏打ち部材とから
なる光ディスク製造用スタンパにおいて、前記裏打ち部
材を、ガラス製のディスク基板を使用し、２Ｐ法によっ
て光ディスクを製造する場合に、ディスク基板上の樹脂
層をスタンパ部から剥がすことができる程、湾曲させる
ことが可能な弾性材料によって構成してなる光ディスク
製造用のスタンパである。

（作　用）本発明によれば、裏打ち部材を一定の弾性材料によって
構成したので．２Ｐ法による光ディスク製造工程におい
て、スタンパを湾曲させ、スタンパのスタンパ部とガラ
ス製のディスク基板上の樹脂層とを剥離する。

（実　施　例）以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

スタンパの製作工程について説明する．ソーダガラス製
の板ガラスを円盤状に切断し、ガラス原盤１１を製作し
，このガラス原盤の表面を精密に研磨し、さらに超音波
洗浄した後、このガラス原盤にフォトレジスト１２をむ
らなく塗布し，乾燥させる。

そしてガラス原盤１１にアルゴンレーザ光線によって信
号を書き込んでから、ガラス原盤１１を現像して、第２
図に示すようにフォトレジスト１２のレーザ光線オン（
信号あり）の部分を凹ませる。

次いで、ガラス原盤上１１に図示しない導電化皮膜を，
銀鏡法、真空蒸着法、スバッタ法などによって形成する
．その後ガラス原盤１１を電鋳槽に浸漬し、電鋳法によ
ってガラス原盤１１上にニッケルを析出させ、第３図に
示すようにスタンパ部１３を形成する．かかる電鋳の条件を以下に示す。

電鋳槽内の浴組成は、スルファミン酸ニッケル４００ｇ
／ｌ、ほう酸４０ｇ／ｌ、ラウリル硫酸ナトリウム０．
２ｇ／１である．浴温は５５度Ｃ、水素イオン濃度は４．０である．電流
値はＯ〜５０Ａ、通電量は１２０ＡＨである。

電流制御はスロープアップ方式のものを使用する．　か
かる条件の電鋳によってガラス原盤１１上には厚さ０．
３１程度のニッケル皮膜からなるスタンパ部１３が形成
される。

次にブスチック製の裏打ち部材による裏打ち工程につい
て説明する。

第４図に示すようにスタンパ部１３上にレジン（不飽和
ポリエステル（三井東圧製のエスター）と硬化触媒とし
ての過酸化ベンゾイルとの混合物）１５を塗布する。

そして，第５図に示すようにガラスクロス１６をレジン
１５の塗布面に載置する。このときガラスクロス（ユニ
チカ製のロービングクロス）１６にレジン１５が染み込
む．第６図に示すようにガラスクロス１６上にレジン１７を
塗布してから、レジン１７の塗布面をローラーによって
押圧し、平坦化する。このようにレジン１５、ガラスク
ロス１６，レジン１７と積層すると、使用するガラスク
ロスの種類やレジンの塗り方により異なるが，０．５〜
１ｍｍの厚さに塗布できる。更に厚く塗布する場合は、
本工程を数回繰り返すことにより１〜１０ＩＩＩｍの裏
打ちが可能であるが、４〜６ｍｍの厚さが望ましい。

レジンが固化した後，ニッケルスタンパ部１３とガラス
原盤１１のフォトレジスト１２とを剥がして、第７図に
示すスタンパ２０を完成する。このスタンパ２０はレジ
ン１５、ガラスクロス１６、レジン１７の各層によって
裏打ち部材１９が構成されている。

次にこのスタンパ２０を用い、２Ｐ法によってガラス製
のディスク基板にビットを形成する工程について説明す
る。

第８図に示すようにスタンパ２０の中心付近に紫外線硬
化樹脂２２を供給し，その上にガラス製のディスク基板
２１を設置して、加圧する．そして紫外線ランプ２５に
よってディスク基板２１の裏面から紫外線を紫外線硬化
樹脂２２に照射し、樹脂を固化させて、ディスク基板２
１上に樹脂２２を固着させると同時にピット、グループ
、を形成する．その後上下を逆にして剥離台に載置する
．そして、第９図に示すようにスタンパ２０を湾曲させ
、スタンパ部１３を樹脂２２の層と剥離させる．スタン
パ２ｏの裏打ち部材１９はガラスクロスｌ６とレジン１
５．１７とが貼合されて構成されているので、一定の弾
性をもっており、スタンパ２０を湾曲させることによっ
てスタンパ２０のスタンパ部１３をディスク基板２１上
の紫外線硬化樹脂層２２から剥離することが可能である
。

上記実施例では裏打ち部材としてガラスクロスとレジン
を貼合したものを使用したが、ガラスクロスのかわりに
，ガラスチ３ツプマット（ユニチカ製のチョップドスト
ランドマット）、カーボン繊維、金属繊維を用いるよう
にしてもでもよい．（発明の効果）以上のように本発明によれば，スタンパの裏打ち部材を
一定の弾性を有する材料によって構成したので、ガラス
製のディスク基板を用い、２Ｐ法によってディスク基板
上にピット、グループを形成する場合、スタンパを湾曲
させ，ディスク基板をスタンパから剥離させることがで
きるようになる。したがってガラス基板に２Ｐ法を応用
することが可能となり，低コストで信頼性の高い光ディ
スクを提供することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第７図は本発明の光ディスク製造用のスタン
パの製作工程を示す図、第８図と第９図は本発明の光デ
ィスク製造用のスタンパを用い、ディスク基板にピット
、グループを２Ｐ法によって形成する工程を示す図，第
１０図は従来のスタンパによりガラス基板にビット、グ
ループを形成した場合の問題点を説明するための図であ
る．１１・・・ガラス製のディスク基板、１３・・・ス
タンパ部、１９・・・裏打ち部材、２０・・・光ディス
ク製造用スタンパ第１図第２図第ク図％図ノ４第図ｌ７％ δ 図莞｛Ｏ図

Claims

【特許請求の範囲】

表面にピット形成部を有するスタンパ部と、このスタン
パ部の裏面に固着された裏打ち部材とからなる光ディス
ク製造用スタンパにおいて、前記裏打ち部材を、ガラス
製のディスク基板を使用し、２Ｐ法によって光ディスク
を製造する場合に、ディスク基板上の樹脂層をスタンパ
部から剥がすことができる程、湾曲させることが可能な
弾性材料によって構成したことを特徴とする光ディスク
製造用スタンパ。