JPH03127342A - 情報記録ディスク用原盤 - Google Patents
情報記録ディスク用原盤Info
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- JPH03127342A JPH03127342A JP26577489A JP26577489A JPH03127342A JP H03127342 A JPH03127342 A JP H03127342A JP 26577489 A JP26577489 A JP 26577489A JP 26577489 A JP26577489 A JP 26577489A JP H03127342 A JPH03127342 A JP H03127342A
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
情報記録ディスク用原盤、特に、相変化材料を使用する
情報記録ディスク用原盤の改良に関し、情報記録ディス
クを底形するときに、情報記録ディスク用原盤に形成さ
れている凹凸のパターンを、情報記録ディスクとなるプ
ラスチック円板上に忠実に転写することができ、しかも
、成形工程を繰り返し実行しても十分な耐久性を有する
情報記録ディスク用原盤を提供することを目的とし、こ
の目的は、下記いずれかの手段をもって達成される。第
1の手段は、金属円板上に光照射に応答ルて相変化する
相変化材料の層が形成され、この相変化材料の層に、記
録すべき情報に対応して選択的に光照射がなされ、この
光照射された前記の相変化材料の層を選択的にエツチン
グして前記の記録すべき情報に対応する凹凸が形成され
ている情報記録ディスク用原盤をもって構成される。
情報記録ディスク用原盤の改良に関し、情報記録ディス
クを底形するときに、情報記録ディスク用原盤に形成さ
れている凹凸のパターンを、情報記録ディスクとなるプ
ラスチック円板上に忠実に転写することができ、しかも
、成形工程を繰り返し実行しても十分な耐久性を有する
情報記録ディスク用原盤を提供することを目的とし、こ
の目的は、下記いずれかの手段をもって達成される。第
1の手段は、金属円板上に光照射に応答ルて相変化する
相変化材料の層が形成され、この相変化材料の層に、記
録すべき情報に対応して選択的に光照射がなされ、この
光照射された前記の相変化材料の層を選択的にエツチン
グして前記の記録すべき情報に対応する凹凸が形成され
ている情報記録ディスク用原盤をもって構成される。
第2の手段は、金属円板上にプラスチック薄層が形成さ
れ、このプラスチック薄層上に、光照射に応答して相変
化する相変化材料の層が形成され、この相変化材料の層
に、記録すべき情報に対応して選択的に光照射がなされ
、この光照射された前記の相変化材料の層を選択的にエ
ツチングして前記の記録すべき情報に対応する凹凸が形
成されている情報記録ディスク用原盤をもって構成され
る。
れ、このプラスチック薄層上に、光照射に応答して相変
化する相変化材料の層が形成され、この相変化材料の層
に、記録すべき情報に対応して選択的に光照射がなされ
、この光照射された前記の相変化材料の層を選択的にエ
ツチングして前記の記録すべき情報に対応する凹凸が形
成されている情報記録ディスク用原盤をもって構成され
る。
本発明は、情報記録ディスク用原盤、特に、相変化材料
を使用する情報記録ディスク用原盤の改良に関する。
を使用する情報記録ディスク用原盤の改良に関する。
従来技術に係る情報記録ディスク用原盤の製造方法につ
いて、以下に説明する。
いて、以下に説明する。
ガラス円板上にレジスト膜を形成し、このレジスト膜に
、記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなして現
像し、ガラス円板上にレジスト膜よりなる凹凸のパター
ンを形成する1次いで、全面に二ンケル、コバルト等の
薄膜を蒸着し、この薄膜を一方の電極として電気メツキ
をなして300μ厚程度の金属膜を形成し、この金属膜
をガラス円板上から剥離して情報記録ディスク用原盤を
形成する。この情報記録ディスク用原盤は、射出成形機
の金型に装着して情報記録ディスクを射出成形するのに
使用される。
、記録すべき情報に対応して選択的に光照射をなして現
像し、ガラス円板上にレジスト膜よりなる凹凸のパター
ンを形成する1次いで、全面に二ンケル、コバルト等の
薄膜を蒸着し、この薄膜を一方の電極として電気メツキ
をなして300μ厚程度の金属膜を形成し、この金属膜
をガラス円板上から剥離して情報記録ディスク用原盤を
形成する。この情報記録ディスク用原盤は、射出成形機
の金型に装着して情報記録ディスクを射出成形するのに
使用される。
ところで、上記の情報記録ディスク用原盤は、その製造
工程が複雑であるため、近年、以下に述べる情報記録デ
ィスク用原盤が新たに開発された。
工程が複雑であるため、近年、以下に述べる情報記録デ
ィスク用原盤が新たに開発された。
それは、ガラス円板上に、光照射に応答して相変化して
エツチングレートが変化する相変化材料の層を形成し、
この層に、記録すべき情報に対応して選択的に光照射を
なした後、選択的にエツチングをなして、ガラス円板上
に、記録すべき情報に対応して相変化材料よりなる凹凸
のパターンを形成したものである。この情報記録ディス
ク用原盤は、情報記録ディスクを圧m成形、射出成形、
または、エンボス成形する時の原盤として使用される。
エツチングレートが変化する相変化材料の層を形成し、
この層に、記録すべき情報に対応して選択的に光照射を
なした後、選択的にエツチングをなして、ガラス円板上
に、記録すべき情報に対応して相変化材料よりなる凹凸
のパターンを形成したものである。この情報記録ディス
ク用原盤は、情報記録ディスクを圧m成形、射出成形、
または、エンボス成形する時の原盤として使用される。
ところで、ガラスは熱伝導度が低いため、情報記録ディ
スク用原盤を金型に装着して金型を加熱したときに、情
報記録ディスク用原盤の表面が効率よく加熱されないた
め、プラスチック円板上にこの情報記録ディスク用原盤
を押圧したときに、情報記録ディスク用原盤に形成され
ている凹凸のパターンが忠実にプラスチック円板上に転
写されないという欠点がある。また、ガラスは押圧力に
対して脆性が大きいため、成形サイクルを繰り返すうち
に破壊しやすいという欠点もある。
スク用原盤を金型に装着して金型を加熱したときに、情
報記録ディスク用原盤の表面が効率よく加熱されないた
め、プラスチック円板上にこの情報記録ディスク用原盤
を押圧したときに、情報記録ディスク用原盤に形成され
ている凹凸のパターンが忠実にプラスチック円板上に転
写されないという欠点がある。また、ガラスは押圧力に
対して脆性が大きいため、成形サイクルを繰り返すうち
に破壊しやすいという欠点もある。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、情報
記録ディスクを成形するときに、情報記録ディスク用原
盤に形成されている凹凸のパターンを、情報記録ディス
クとなるプラスチック円板上に忠実に転写することがで
き、しかも、成形工程を繰り返し実行しても十分な耐久
性を有する情報記録ディスク用原盤を提供することにあ
る。
記録ディスクを成形するときに、情報記録ディスク用原
盤に形成されている凹凸のパターンを、情報記録ディス
クとなるプラスチック円板上に忠実に転写することがで
き、しかも、成形工程を繰り返し実行しても十分な耐久
性を有する情報記録ディスク用原盤を提供することにあ
る。
上記の目的は、下記いずれかの手段によって遠戚される
。
。
第1の手段は、金属円板(1)上に光照射に応答して相
変化する相変化材料の層(2)が形成され、この相変化
材料の層(2)に、記録すべき情報に対応して選択的に
光照射がなされ、この光照射された前記の相変化材料の
層(2)を選択的にエツチングして前記の記録すべき情
報に対応する凹凸(4)が形成されている情報記録ディ
スク用原盤である。
変化する相変化材料の層(2)が形成され、この相変化
材料の層(2)に、記録すべき情報に対応して選択的に
光照射がなされ、この光照射された前記の相変化材料の
層(2)を選択的にエツチングして前記の記録すべき情
報に対応する凹凸(4)が形成されている情報記録ディ
スク用原盤である。
第2の手段は、金属円板(1)上にプラスチック薄層(
8)が形成され、このプラスチック薄層(8)上に、光
照射に応答して相変化する相変化材料の層(2)が形成
され、この相変化材料の層(2)に、記録すべき情報に
対応して選択的に光照射がなされ、この光照射された前
記の相変化材料の層(2)を選択的にエツチングして前
記の記録すべき情報に対応する凹凸(4)が形成されて
いる情報記録ディスク用原盤である。
8)が形成され、このプラスチック薄層(8)上に、光
照射に応答して相変化する相変化材料の層(2)が形成
され、この相変化材料の層(2)に、記録すべき情報に
対応して選択的に光照射がなされ、この光照射された前
記の相変化材料の層(2)を選択的にエツチングして前
記の記録すべき情報に対応する凹凸(4)が形成されて
いる情報記録ディスク用原盤である。
本発明に係る情報記録ディスク用原盤においては、情報
記録ディスク用原盤の基板に金属円板が使用されている
ので、この情報記録ディスク用原盤を金型に装着して金
型を加熱したときに、金型から情報記録ディスク用原盤
への熱伝導が良好になされて情報記録ディスク用原盤の
表面が効率よく加熱される。参考までに、各種金属及び
ガラスの熱伝導率は下記のとおりである。
記録ディスク用原盤の基板に金属円板が使用されている
ので、この情報記録ディスク用原盤を金型に装着して金
型を加熱したときに、金型から情報記録ディスク用原盤
への熱伝導が良好になされて情報記録ディスク用原盤の
表面が効率よく加熱される。参考までに、各種金属及び
ガラスの熱伝導率は下記のとおりである。
W/m−に
40
4
03
5
0.75
1.5
アルミニウム
ニッケル
銅
ステンレス
ソーダガラス
石英ガラス
表面が良好に加熱された情報記録ディスク用原盤をプラ
スチック円板上に押圧するので、記録すべき情報に対応
して情報記録ディスク用原盤に形成されている凹凸のパ
ターンが、プラスチック円板上に忠実に転写され、良質
の情報記録ディスクが製造される。また、金属はガラス
に比べて押圧力に対する強度が強いので、情報記録ディ
スクの製造工程を繰り返し実行しても、十分な耐久性が
ある。
スチック円板上に押圧するので、記録すべき情報に対応
して情報記録ディスク用原盤に形成されている凹凸のパ
ターンが、プラスチック円板上に忠実に転写され、良質
の情報記録ディスクが製造される。また、金属はガラス
に比べて押圧力に対する強度が強いので、情報記録ディ
スクの製造工程を繰り返し実行しても、十分な耐久性が
ある。
情報記録ディスク用原盤に使用する基板の表面粗さは5
0λ程度以下であることが必要であるが、金属の表面粗
さをこの程度に平坦化することは、これまで困難であっ
たため、金属円板を情報記録ディスク用原盤の基板とし
て使用することはできなかった0本願発明者は、加工方
法について研究した結果、金属円板の回転速度を高くし
、ダイヤモンドバイトの送り速度を低くして研削するこ
とによって、金属円板の表面粗さを50人程度以下にす
ることを可能にし、本発明を実現させることができた。
0λ程度以下であることが必要であるが、金属の表面粗
さをこの程度に平坦化することは、これまで困難であっ
たため、金属円板を情報記録ディスク用原盤の基板とし
て使用することはできなかった0本願発明者は、加工方
法について研究した結果、金属円板の回転速度を高くし
、ダイヤモンドバイトの送り速度を低くして研削するこ
とによって、金属円板の表面粗さを50人程度以下にす
ることを可能にし、本発明を実現させることができた。
以下、図面を参照して、本発明の二つの実施例に係る情
報記録ディスク用原盤の製造方法について説明し、本発
明の槽底を明らかにする。
報記録ディスク用原盤の製造方法について説明し、本発
明の槽底を明らかにする。
星工班
外径130m、厚さ1.9mのアルミニウム円板の表面
をダイヤモンドバイトをもって研削して平坦化し、これ
をスパッタ装置内に装入し、インジュウムアンチモン合
金をターゲットとしてスパッタをなし、アルくニウム円
板上にインジュウム37%とアンチモン63%とからな
るインジュウムアンチモン合金の層をL 15n−厚に
形成する。
をダイヤモンドバイトをもって研削して平坦化し、これ
をスパッタ装置内に装入し、インジュウムアンチモン合
金をターゲットとしてスパッタをなし、アルくニウム円
板上にインジュウム37%とアンチモン63%とからな
るインジュウムアンチモン合金の層をL 15n−厚に
形成する。
第2図参照
第2図に示すように、上記のインジニウムアンチモン合
金層2の形成されているアルミニウム円板1を周速1.
4m/sをもって回転し、これに記録すべき情報に対応
して強度変調されたレーザビーム3を1.6−のピッチ
をもって螺旋状に照射する。
金層2の形成されているアルミニウム円板1を周速1.
4m/sをもって回転し、これに記録すべき情報に対応
して強度変調されたレーザビーム3を1.6−のピッチ
をもって螺旋状に照射する。
第1図参照
上記のアル込ニウム円板1をスパッタエツチング装置に
装入し、圧力が2mTorrになるようにアルゴンガス
を導入し、200Wの電力を印加して1分間エツチング
を実行する0強度の強いレーザビームが照射された領域
のインジニウムアンチモン合金層は、結晶相が変化して
エツチングレートが小さくなるので、強度の強いレーザ
ビームの照射されなかった領域のインジニウムアンチモ
ン合金層のみが選択的にエツチング除去され、第1図に
示すように、アルミニウム円板1上に、記録すべき情報
に対応する凹凸のパターン4が形成された情報記録ディ
スク用原盤5が完成する。
装入し、圧力が2mTorrになるようにアルゴンガス
を導入し、200Wの電力を印加して1分間エツチング
を実行する0強度の強いレーザビームが照射された領域
のインジニウムアンチモン合金層は、結晶相が変化して
エツチングレートが小さくなるので、強度の強いレーザ
ビームの照射されなかった領域のインジニウムアンチモ
ン合金層のみが選択的にエツチング除去され、第1図に
示すように、アルミニウム円板1上に、記録すべき情報
に対応する凹凸のパターン4が形成された情報記録ディ
スク用原盤5が完成する。
なお、場合によっては、情報記録ディスク用原盤5の耐
久性を増すために、情報記録ディスク用原盤5の表面に
クローム、ニッケル等の金属薄膜を形成してもよい。
久性を増すために、情報記録ディスク用原盤5の表面に
クローム、ニッケル等の金属薄膜を形成してもよい。
第3図参照
この情報記録ディスク用原盤5を、第3図に示すように
、エンボス底形用の金型6に装着して190°Cに加熱
し、その上に表面が平坦なポリカーボネートよりなるブ
ランク基板7を載置し、その上から50にg/dの圧力
をもって30秒間押圧する。
、エンボス底形用の金型6に装着して190°Cに加熱
し、その上に表面が平坦なポリカーボネートよりなるブ
ランク基板7を載置し、その上から50にg/dの圧力
をもって30秒間押圧する。
第4図参照
この結果、第4図に示すように、ポリカーボネート基板
7の表面に、情報記録ディスク用原盤5に形成されてい
る凹凸のパターンが忠実に転写された0反射率を高める
ため、表面に凹凸のパターンが形成されたポリカーボネ
ート基板7の表面に、アルミニウムをスパッタリングし
て200nm厚のアル電ニウム膜を形成しく図示せず)
、さらにその上に紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照
射して硬化させて保護膜を形成して(図示せず)、情報
記録ディスクを完成する。市販のCDプレーヤを使用し
て、情報記録ディスクに記録されている音楽情報を再生
したところ、通常のCDディスクと全く同様に再生する
ことができた。
7の表面に、情報記録ディスク用原盤5に形成されてい
る凹凸のパターンが忠実に転写された0反射率を高める
ため、表面に凹凸のパターンが形成されたポリカーボネ
ート基板7の表面に、アルミニウムをスパッタリングし
て200nm厚のアル電ニウム膜を形成しく図示せず)
、さらにその上に紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照
射して硬化させて保護膜を形成して(図示せず)、情報
記録ディスクを完成する。市販のCDプレーヤを使用し
て、情報記録ディスクに記録されている音楽情報を再生
したところ、通常のCDディスクと全く同様に再生する
ことができた。
ポリカーボネート基板7に情報記録ディスク用原盤5の
凹凸パターンを転写する上記の成形工程を500回繰り
返しても情報記録ディスク用原盤5は破壊することがな
く、しかも、成形された情報記録ディスクには何らの欠
陥も認められなかった。
凹凸パターンを転写する上記の成形工程を500回繰り
返しても情報記録ディスク用原盤5は破壊することがな
く、しかも、成形された情報記録ディスクには何らの欠
陥も認められなかった。
また、ポリカーボネート基板7の表面に金を1]00n
厚に蒸着形成した基板を使用し、この基板を予め80℃
に加熱しておいて、前記と同一の方法をもって情報記録
ディスク用原盤5をこの基板に押圧したところ、金膜の
形成されたポリカーボネート基板に情報記録ディスク用
原盤5の凹凸パターンを忠実に転写することができ、転
写後に、反射率を高めるための金属膜を形成する工程が
不要になった。成形回数も500回以上可能であった。
厚に蒸着形成した基板を使用し、この基板を予め80℃
に加熱しておいて、前記と同一の方法をもって情報記録
ディスク用原盤5をこの基板に押圧したところ、金膜の
形成されたポリカーボネート基板に情報記録ディスク用
原盤5の凹凸パターンを忠実に転写することができ、転
写後に、反射率を高めるための金属膜を形成する工程が
不要になった。成形回数も500回以上可能であった。
なお、音楽情報を記録する代わりに、コンピュータのプ
ログラム情報を記録して、いわゆるCD−ROMを製造
する場合にも良好な結果が得られた。
ログラム情報を記録して、いわゆるCD−ROMを製造
する場合にも良好な結果が得られた。
1己す歿
第5図参照
外径130曽、厚さ1.9mのアルミニウム円板の表面
を、ダイヤモンドバイトを使用して研削して平坦化し、
そのアルミニウム円板1上にプラスチックI18を30
〜50μ厚に形成する。以下、第1例と同様に、このプ
ラスチック膜の上にインジュウムアンチモン合金層を形
成し、記録すべき情報に対応するレーザビームをインジ
ュウムアンチモン合金層に照射した後エツチングして、
凹凸のパターン4を有する情報記録ディスク用原盤を製
造する。
を、ダイヤモンドバイトを使用して研削して平坦化し、
そのアルミニウム円板1上にプラスチックI18を30
〜50μ厚に形成する。以下、第1例と同様に、このプ
ラスチック膜の上にインジュウムアンチモン合金層を形
成し、記録すべき情報に対応するレーザビームをインジ
ュウムアンチモン合金層に照射した後エツチングして、
凹凸のパターン4を有する情報記録ディスク用原盤を製
造する。
金属基板表面に存在する微細な欠陥や凹凸がプラスチッ
ク膜によって覆われて、基板表面の平坦性がさらに良好
になり、良質の情報記録ディスクを製造することができ
た。
ク膜によって覆われて、基板表面の平坦性がさらに良好
になり、良質の情報記録ディスクを製造することができ
た。
以上説明せるとおり、本発明に係る情報記録ディスク用
原盤においては、基板に金属円板が使用されているため
、この情報記録ディスク用原盤を金型に装着したときの
金型からの熱伝導が良好になって、情報記録ディスク用
原盤の表面が効率よく加熱されるので、この情報記録デ
ィスク用原盤をプラスチック円板に押圧したときに、情
報記録ディスク用原盤に形成されている凹凸のパターン
がプラスチック円板に忠実に転写される。また、基板に
金属円板を使用しているため、押圧力に対する強度が強
く、情報記録ディスクの成形工程を繰り返し実行しても
、十分な耐久性がある。
原盤においては、基板に金属円板が使用されているため
、この情報記録ディスク用原盤を金型に装着したときの
金型からの熱伝導が良好になって、情報記録ディスク用
原盤の表面が効率よく加熱されるので、この情報記録デ
ィスク用原盤をプラスチック円板に押圧したときに、情
報記録ディスク用原盤に形成されている凹凸のパターン
がプラスチック円板に忠実に転写される。また、基板に
金属円板を使用しているため、押圧力に対する強度が強
く、情報記録ディスクの成形工程を繰り返し実行しても
、十分な耐久性がある。
第1図は、本発明の第1の実施例に係る情報記録ディス
ク用原盤の断面図である。 第2図は、相変化材料の層にレーザビームを照射する工
程を示す図である。 第3図は、プラスチック円板に情報記録ディスク用原盤
を押圧する工程を示す図である。 第4図は、情報記録ディスクの断面図である。 第5図は、本発明の第2の実施例に係る情報記録ディス
ク用原盤の断面図である。 1・・・金属円板、 2・・・相変化材料(インジニウムアンチモン)の層、 3・・・レーザビーム、 4・・・凹凸のパターン、 5・・・情報記録ディスク用原盤、 6・・・金型、 7・・・プラスチック円板、 8・・・プラスチック膜。
ク用原盤の断面図である。 第2図は、相変化材料の層にレーザビームを照射する工
程を示す図である。 第3図は、プラスチック円板に情報記録ディスク用原盤
を押圧する工程を示す図である。 第4図は、情報記録ディスクの断面図である。 第5図は、本発明の第2の実施例に係る情報記録ディス
ク用原盤の断面図である。 1・・・金属円板、 2・・・相変化材料(インジニウムアンチモン)の層、 3・・・レーザビーム、 4・・・凹凸のパターン、 5・・・情報記録ディスク用原盤、 6・・・金型、 7・・・プラスチック円板、 8・・・プラスチック膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1]金属円板(1)上に光照射に応答して相変化する
相変化材料の層(2)が形成され、 該相変化材料の層(2)に、記録すべき情報に対応して
選択的に光照射がなされ、 該光照射された前記相変化材料の層(2)を選択的にエ
ッチングして前記記録すべき情報に対応する凹凸(4)
が形成されてなる ことを特徴とする情報記録ディスク用原盤。 [2]金属円板(1)上にプラスチック薄層(8)が形
成され、 該プラスチック薄層(8)上に、光照射に応答して相変
化する相変化材料の層(2)が形成され、該相変化材料
の層(2)に、記録すべき情報に対応して選択的に光照
射がなされ、 該光照射された前記相変化材料の層(2)を選択的にエ
ッチングして前記記録すべき情報に対応する凹凸(4)
が形成されてなる ことを特徴とする情報記録ディスク用原盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26577489A JPH03127342A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 情報記録ディスク用原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26577489A JPH03127342A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 情報記録ディスク用原盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03127342A true JPH03127342A (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=17421851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26577489A Pending JPH03127342A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 情報記録ディスク用原盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03127342A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008257863A (ja) * | 2008-07-28 | 2008-10-23 | Hitachi Ltd | 光情報記録媒体、その再生方法及びその製造方法 |
JP2013033291A (ja) * | 2008-10-14 | 2013-02-14 | Asahi Kasei Corp | 熱反応型レジスト材料、それを用いた熱リソグラフィ用積層体及びそれらを用いたモールドの製造方法 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP26577489A patent/JPH03127342A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008257863A (ja) * | 2008-07-28 | 2008-10-23 | Hitachi Ltd | 光情報記録媒体、その再生方法及びその製造方法 |
JP2013033291A (ja) * | 2008-10-14 | 2013-02-14 | Asahi Kasei Corp | 熱反応型レジスト材料、それを用いた熱リソグラフィ用積層体及びそれらを用いたモールドの製造方法 |
US9257142B2 (en) | 2008-10-14 | 2016-02-09 | Asahi Kasei E-Materials Corporation | Heat-reactive resist material, layered product for thermal lithography using the material, and method of manufacturing a mold using the material and layered product |
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