JP5069979B2 - 離型装置、給排システムおよび離型方法 - Google Patents

離型装置、給排システムおよび離型方法 Download PDF

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Description

本発明は、離型装置、給排システムおよび離型方法に係り、特に、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後、被成型品から型を離すものに関する。
ハードディスク等の磁気記録媒体を製造する方法として、基板表面にフォトリソグラフィによりレジストパターンを形成し、エッチングで基板に微細な凹凸形状を形成する方法が知られている（たとえば特許文献１参照）。
また、フォトリソグラフィによりレジストパターンを形成する方法よりも高いスループットを目指し、最近ではいわゆるナノプリントによって磁気記録媒体を製造する方法が知られている（たとえば、特許文献２参照）。
特開平７−２１５５２ 特開２００３−１５７５２０
ところで、前述したナノプリントによる製造方法では、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した直後の状態では、被成型品と型とがお互いにくっついており、被成型品から型を離すことが困難であるという問題がある。
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後、被成型品から型を離すことが容易である離型装置、この離型装置を用いた給排システムおよび離型方法を提供することを目的とする。
請求項１に記載の発明は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記被成型品を保持することによって保持するベース部材と、前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とのうちの前記型を、前記移動部材で保持するための保持手段と、前記移動部材で前記型を保持しているときに、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記型の一部を弾性変形させる押圧手段とを有し、前記保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、前記押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記保持手段で前記型を保持したときに圧縮される弾性体である離型装置である。
請求項２に記載の発明は、微細な転写パターンが形成されている第１の型と微細な転写パターンが形成されている第２の型とで被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、ベース部材と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを、前記第１の型を保持することによって、前記ベース部材で保持するためのベース部材側保持手段と、お互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを前記ベース部材が保持しているときに、前記第１の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押して前記第１の型の一部を弾性変形させるベース部材側押圧手段と、前記ベース部材に保持されている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、前記ベース部材に保持されている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とのうちの前記第２の型を、前記移動部材で保持するための移動部材側保持手段と、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに、前記第２の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記第２の型の一部を弾性変形させる移動部材側押圧手段とを有する離型装置である。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の離型装置において、前記各保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、前記ベース部材側押圧手段は、前記ベース部材に設けられ前記ベース部材側保持手段で前記第１の型を保持したときに圧縮される弾性体であり、前記移動部材側押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記移動部材側保持手段で前記第２の型を保持したときに圧縮される弾性体である離型装置である。
請求項４に記載の発明は、型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持する平面を備えたベース部材と、前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材に保持されている転写後の前記被成型品と前記型とが間に位置するようにして、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして前記移動部材に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す弾性体と、前記移動部材が前記型に近づいて前記弾性体の環の全長が前記型に接触したときに、前記移動部材と前記弾性体と前記型とで形成される閉空間を減圧する減圧手段とを有する離型装置である。
請求項５に記載の発明は、平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、平面を備えたベース部材と、前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記ベース部材の平面からの突出量が変化し、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用弾性体と、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用弾性体と、転写したことによってお互いがくっついている前記型第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する離型装置である。
請求項６に記載の発明は、型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持するベース部材と、前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す外側弾性体と、前記移動部材の平面から前記外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す内側弾性体と、転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記型に近づいたときに、前記移動部材と前記型と前記外側弾性体と前記内側弾性体とで形成される閉空間を減圧する閉空間減圧手段とを有する離型装置である。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の離型装置において、前記外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、前記内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している離型装置である。
請求項８に記載の発明は、平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、平面を備えたベース部材と、前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、前記ベース部材の平面から前記ベース部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、前記移動部材の平面から前記移動部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する離型装置である。
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の離型装置において、前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している離型装置である。
請求項１０に記載の発明は、平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、平面を備えたベース部材と、前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有し、前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している離型装置である。
請求項１１に記載の発明は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置に対して、前記被成型品と前記型とを自動的に供給しまた排出する給排システムにおいて、転写前の被成型品を格納することができる未転写ストッカと、転写後の被成型品を格納することができる転写済ストッカと、請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の離型装置と、前記未転写ストッカと前記離型装置との間で、また、前記離型装置と前記転写済ストッカとの間で、前記被成型品を搬送する第１の搬送手段と、前記離型装置と前記転写装置との間で、前記被成型品と前記型とをいっしょに搬送する第２の搬送手段とを有し、前記離型装置は、前記型を保持可能な装置であり、前記第１の搬送装置で前記被成型品を搬送するときには、前記離型装置で前記型を保持している給排システムである。
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の給排システムにおいて、前記型を交換可能な型交換装置を備えている給排システムである。
請求項１３に記載の発明は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型方法において、圧縮された弾性体の反発力で、前記型を保持している保持部材から離れる方向へ前記型の一部を押して前記型の一部を弾性変形させて前記被成型品から前記型を離す分離工程を有する離型方法である。
本発明によれば、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後、被成型品から型を離すことが容易になるという効果を奏する。
[第１の実施形態]
図１は、本発明の第１の実施形態に係る給排システム１の概略構成を示す平面図であり、図２は、給排システム１の概略構成を示すブロック図である。
以下、説明の便宜のために、水平方向の一方向をＸ軸方向とし、水平方向の他の一方向であってＸ軸方向に垂直な方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に垂直な方向（上下方向；鉛直方向）をＺ軸方向という場合がある。
給排システム１は、たとえば、トラックビットを有するディスクリートメディアＨＤＤ基板の製造に使用するシステムであり、より詳しくは、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置３に対して、被成型品（トラックビットを有するディスクリートメディアＨＤＤ基板の製造途中で得られる半製品）と型とを自動的に供給しまた排出するシステムである。給排システム１と転写装置３とを組み合わせることによって、型に形成されている微細な転写パターンを複数の被成型品に次々と連続して自動的に転写することができる転写システムが構成される。
給排システム１は、未転写ストッカ５と転写済ストッカ７と離型装置（段取・離型装置）９と第１の搬送手段（段取ロボット）１１と第２の搬送手段（搬入・搬出ロボット）１３とを具備した段取りユニット１９をたとえば複数備えて構成されている。
未転写ストッカ５は、転写前の被成型品を複数格納することができるように構成され、転写済ストッカ７は、転写後の被成型品を複数格納することができるように構成されている。
離型装置９は、微細な転写パターンが形成されている第１の型と微細な転写パターンが形成されている第２の型とで被成型品を挟み込んで、被成型品の一方の面と被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写装置３によって転写した後に、被成型品から各型を離す装置である。
第１の搬送手段１１は、未転写ストッカ５と離型装置９との間で、また、離型装置９と転写済ストッカ７との間で、被成型品を搬送するものであり、第２の搬送手段１３は、離型装置９と転写装置３との間で、被成型品と型とをいっしょに搬送するものである。
なお、給排システム１には、未転写ストッカ５に転写前の被成型品を供給可能であり転写済ストッカ７から転写後の被成型品を搬出可能である交換台車（交換装置）１５が設けられている。また、離型装置９は、型を保持可能な装置であり、第１の搬送手段１１で被成型品を搬送するときには、離型装置９で型を保持するようになっている。なお、第２の搬送手段１３で被成型品を搬送するときには、離型装置９は型を保持していない。
また、給排システム１に、離型装置９に配置されている型を交換可能な型交換装置１７を設けてあってもよい。型交換装置１７による型の交換は、所定回数（たとえば数十回〜数百回）の転写を行ったとき、または、型を変更する必要が生じたときに行なわれるようになっている。転写のために使用されていた型はクリーニング等のメンテナンス処理をされた後、再使用されるようになっている。
給排システム１と転写装置３とを備えて構成されている転写システムについてさらに説明する。
図１に示すように、交換台車１５は、複数の被成型品（転写前の被成型品、転写後の被成型品）を載置可能であると共に、転写システムの中央に設けられＹ軸方向で移動位置決め自在になっている。
交換台車１５の一方の側（Ｘ軸方向の一方の側）には、前述したように、未転写ストッカ５と転写済ストッカ７と離型装置９と第１の搬送手段１１と第２の搬送手段１３とを備えて構成される段取りユニット１９が、Ｙ軸方向で所定の間隔をあけて並んで複数設けられている。さらに、各段取りユニット１９の一方の側（Ｘ軸方向の一方の側）には、転写装置３が、Ｙ軸方向で所定の間隔をあけて並んで複数設けられている。なお、１つの段取りユニット１９に対して１つの転写装置３が設けられている。
交換台車１５の他方の側（Ｘ軸方向の他方の側）にも同様にして段取りユニット１９と転写装置３とが設けられている。
段取りユニット１９についてさらに説明する。
１つの段取りユニット１９は、段取りユニット２１を１組（２つ）備えて構成されている。段取りユニット２１は、１つの未転写ストッカ５と１つの転写済ストッカ７と１つの離型装置９と１つの第１の搬送手段１１と１つの第２の搬送手段１３とを備えて構成されている。
段取りユニット１９では、Ｙ軸方向の中央部に２つの第２の搬送手段１３を配置し、２つの第２の搬送手段１３の一方の側（Ｙ軸方向の一方の側）に、１つの未転写ストッカ５と１つの転写済ストッカ７と１つの離型装置９と１つの第１の搬送手段１１とを配置し、２つの第２の搬送手段１３の他方の側（Ｙ軸方向の他方の側）に、１つの未転写ストッカ５と１つの転写済ストッカ７と１つの離型装置９と１つの第１の搬送手段１１とを配置してある。
したがって、１つの段取りユニット１９のＹ軸方向の一方の側に１つの段取りユニット２１が配置され、前記１つの段取りユニット１９のＹ軸方向の他方の側に他の１つの段取りユニット２１が配置されていることになる。
ところで、図１に示す矢印ＡＲ１は、交換台車１５の移動方向を示してある。矢印ＡＲ２は、交換台車１５と一方の段取りユニット２１の未転写ストッカ５との間における被成型品の流れ、もしくは、交換台車１５と一方の段取りユニット２１の転写済ストッカ７との間における被成型品の流れを示している。
矢印ＡＲ４は、一方の段取りユニット２１において、未転写ストッカ５と離型装置９との間における被成型品の流れ、もしくは、離型装置９と転写済ストッカ７との間における被成型品の流れを示している。これらの被成型品の流れは、第１の搬送手段１１によってなされるようになっている。
矢印ＡＲ７、ＡＲ１１は、一方の段取りユニット２１において、離型装置９と転写装置３との間における被成型品の流れを示している。これらの被成型品の流れは、第２の搬送手段１３によってなされるようになっている。
また、同様にして、矢印ＡＲ３は、交換台車１５と他方の段取りユニット２１の未転写ストッカ５との間における被成型品の流れ、もしくは、交換台車１５と他方の段取りユニット２１の転写済ストッカ７との間における被成型品の流れを示している。
矢印ＡＲ５は、他方の段取りユニット２１において、未転写ストッカ５と離型装置９との間における被成型品の流れ、もしくは、離型装置９と転写済ストッカ７との間における被成型品の流れを示している。これらの被成型品の流れは、第１の搬送手段１１によってなされるようになっている。
矢印ＡＲ９、ＡＲ１１は、他方の段取りユニット２１において、離型装置９と転写装置３との間における被成型品の流れを示している。これらの被成型品の流れは、第２の搬送手段１３によってなされるようになっている。
上述したように、１つの転写装置３に対して２つの段取りユニット２１が設けられているので、被成型品への転写のスループットを向上させることができる。すなわち、転写装置３が転写を終了した時点で、一方の段取りユニット２１の第２の搬送手段１３で転写済みの被成型品を搬出し、この後直ちに他方の段取りユニット２１の第２の搬送手段１３で転写前の被成型品を転写装置３に搬入することができるので、転写装置３の稼動率を向上させることができ、転写を効率良く行うことができる。
ここで、上記被成型品（被成型品Ｗ２）について、例を掲げて詳しく説明する。
図３、図４は、被成型品Ｗ２の転写工程を含むＨＤＤ基板の製造工程を示す図である。被成型品Ｗ２は、上述したように、たとえば、トラックビットを有するディスクリートメディアＨＤＤ基板のもとになるものである。
図３（ａ）には、転写前の被成型品Ｗ２等が示されている。図３（ｂ）には、転写しているときの（各型ＭＡ、ＭＢで被成型品Ｗ２を挟み込んでいるときの）被成型品Ｗ２等が示されている。図４（ｃ）には、転写後の被成型品Ｗ２等が示されている。
被成型品Ｗ２への転写は、前述したように転写装置３でなされるようになっている。転写装置３には、第１の型ＭＡを保持するためのベース部材２３と、第２の型ＭＢを保持するための移動部材２５とが設けられている。移動部材２５は、ベース部材２３に対し接近・離反する方向で移動することができるようになっている。そして、移動部材２５がベース部材２３に接近したときに各型ＭＡ、ＭＢで被成型品Ｗ２を挟み込んで押圧し、各型ＭＡ、ＭＢに形成されている微細な転写パターンが被成型品Ｗ２に転写されるようになっている。
被成型品Ｗ２等についてさらに説明する。
転写前の被成型品Ｗ２は、図３（ａ）に示すように、たとえば、直径２．５インチの平板状のガラスディスク基板Ｗ１の厚さ方向の両面に、厚さ約３０ｎｍのパラジウム（Ｐｄ）下地層と厚さ約５０ｎｍの垂直磁気記録材料コバルト・クロム白金（ＣｏＣｒＰｔ）を堆積して磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂを形成し、さらに各磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂ上に厚さ約５０ｎｍのＳｉＯ２膜Ｗ５Ａ、Ｗ５Ｂを堆積してあり、各ＳｉＯ２膜Ｗ５Ａ、Ｗ５Ｂの上に各レジスト膜Ｗ７Ａ、Ｗ７Ｂをたとえばスピンコートにより塗布してある。
転写後の被成型品Ｗ２は、図４（ｃ）に示すように、各レジスト膜Ｗ７Ａ、Ｗ７Ｂの表面に各型ＭＡ、ＭＢの微細な凹凸パターンが転写されている。なお、レジスト膜Ｗ７Ａ、Ｗ７Ｂとして、紫外線硬化樹脂（ＵＶ樹脂）、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を採用することができ、図３（ａ）に示す状態では、レジスト膜Ｗ７Ａ、Ｗ７Ｂは硬化しておらず、図３（ｂ）に示す転写の際に硬化するようになっている。
続いて、図４（ｄ）に示したように、各磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂをパターニングする。具体的には、微細な凹凸を転写した各レジスト膜Ｗ７Ａ、Ｗ７Ｂをマスクとして、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）により各磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂの表面に達するまでＳｉＯ２膜Ｗ５Ａ、Ｗ５ＢをエッチングしてＳｉＯ２膜にパターンを転写し、さらに、このパターンを利用して磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂをエッチングする。このようにして形成された溝領域が分離領域となる。また、パターニングされた各磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂが記録トラック帯を形成する。
続いて、図４（ｅ）に示したように、基板全面に厚さ約５０ｎｍのＳｉＯ２膜Ｗ９Ａ、Ｗ９Ｂを成膜して各磁性層Ｗ３Ａ、Ｗ３Ｂの溝部分を埋め込んで分離領域を形成する。その後、ＳｉＯ２膜Ｗ９Ａ、Ｗ９Ｂの表面をケミカルメカニカルポリッシング（ＣＭＰ）により研磨して平坦化する。そして、全面に保護膜Ｗ１１Ａ、Ｗ１１Ｂとしてダイアモンドライクカーボンを成膜することにより、図４（ｆ）に表したように磁気記録媒体（ＨＤＤ基板）Ｗが得られる。
次に、段取りユニット１９について、例を掲げて詳しく説明する。
図５は、段取りユニット１９の概略構成を示す斜視図であり、図６は、段取りユニット１９の一方の段取りユニット２１の概略構成を示す斜視図である。
段取りユニット１９は、中央部（Ｙ軸方向での中央部）が低くなっている基台２７を備えており、基台２７中央の低部には、第２の搬送手段１３を構成するロボット２９が設けられている。ロボット２９は２つのアーム部３１Ａ、３１Ｂを備えている。そして、アーム部３１Ａ（３１Ｂ）の先端部に被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを載置して、離型装置９から転写装置３まで搬送し（図５に示す矢印ＡＲ９ａ、ＡＲ１１ａ）、また、転写装置３から離型装置９まで搬送する（図５に示す矢印ＡＲ９ｂ、ＡＲ１１ｂ）ことができるようになっている。なお、一方のアーム部３１Ａが一方の段取りユニット２１（２１Ａ）を構成しており、他方のアーム部３１Ｂが他方の段取りユニット２１（２１Ｂ）を構成している。
基台２７の一方の側（Ｙ軸方向の一方の側）の上部には、一方の段取りユニット２１Ａを構成している１つの未転写ストッカ５と１つの転写済ストッカ７と１つの離型装置９と１つの第１の搬送手段１１とが設けられている。また、基台２７の他方の側（Ｙ軸方向の他方の側）の上部には、他方の段取りユニット２１Ｂを構成している１つの未転写ストッカ５等が、一方の段取りユニット２１Ａの場合と同様に設けられている。
１つの段取りユニット２１Ａ（２１Ｂ）において、未転写ストッカ５と転写済ストッカ７とは、基台２７の一方の側（Ｘ軸方向の一方の側；転写装置３とは反対側；交換台車１５側）の上部に設けらており、Ｙ軸方向では、未転写ストッカ５が基台２７の中央側に設けられ、転写済ストッカ７が基台２７の端部側に設けられている。
未転写ストッカ５は、筐体３３を備えて構成されており、この筐体３３内に、板状の被成型品Ｗ２をこの厚さ方向が上下方向（Ｚ軸方向）になり上下方向で所定の間隔が開くようにして、多数収納することができるようになっている。また、筐体３３は、基台２７に対して上下方向で移動位置決め可能になっている。転写済ストッカ７も、未転写ストッカ５とほぼ同様に構成されている。
第１の搬送手段１１は、ロボット３５と、各搬送台車（搬送装置）３５Ａ、３５Ｂを備えて構成されている。ロボット３５は、アーム部３７を備えており、このアーム部３７は基端部側に設けられた旋回中心軸（Ｚ軸方向に延びた旋回中心軸）を中心にして水平面（ＸＹ平面）内で、たとえば、角度９０°のステップで（図６に示す位置ＰＳ１、位置ＰＳ２、位置ＰＳ３のところで）回動位置決め自在になっている。また、アーム部３７は、上下方向で移動位置決め自在になっていると共に、先端部側の部位で被成型品Ｗ２を保持して搬送することができるようになっている。
搬送台車３５Ａは、未転写ストッカ５やアーム部３７の下側で、Ｘ軸方向で移動位置決め自在になっている。そして、未転写ストッカ５側の所定の位置にあるときに、上下方向で移動位置決めされた未転写ストッカ５の筐体３３から被成型品Ｗ２を１つ受け取って載置し、アーム部３７側の所定の位置まで移動するようになっている。搬送台車３５Ａがアーム部３７側の所定の位置まで移動したときに、位置ＰＳ３のところに位置しているアーム部３７が被成型品Ｗ２を保持し、離型装置９のところ（位置ＰＳ１のところ）まで搬送するようになっている（図５に示す矢印ＡＲ５ａ）。
搬送台車３５Ｂも、転写済ストッカ７やアーム部３７の下側で、Ｘ軸方向で移動位置決め自在になっている。そして、搬送台車３５Ｂがアーム部３７側の所定の位置まで移動したときに、位置ＰＳ２のところに位置しているアーム部３７から転写済みの被成型品Ｗ２を受け取って載置し、搬送台車３５Ｂが転写済ストッカ７側の所定の位置まで移動したときに、上下方向で移動位置決めされた転写済ストッカ７に転写済みの被成型品Ｗ２をわたすようになっている（図５に示す矢印ＡＲ５ｂ）。
なお、被成型品Ｗ２の格納や搬送は、ＨＤＤ基板として使用しない被成型品Ｗ２の部位を保持する等してなされるようになっている。また、図４（ｄ）に示す工程以降の工程は、転写システムとは別の装置によってなされるようになっている。
次に、離型装置９について例を掲げて詳しく説明する。
図７は、離型装置９の概略構成を示す斜視図（一部が断面になっている図）であり、図８は、離型装置９の概略構成を示す側面図（一部が断面になっている図）である。
離型装置９は、たとえば、円形状で平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型ＭＡと、同様に構成されている第２の型ＭＢとで、円形状で平板状の被成型品Ｗ２を挟み込んで押圧することにより、被成型品Ｗ２の厚さ方向の一方の面と他方の面とに（被成型品Ｗ２の厚さ方向の両面に）微細な転写パターンを転写した後に、被成型品Ｗ２から各型ＭＡ、ＭＡを離すための装置である。
離型装置９は、ベース部材３９とベース部材側保持手段４１とベース部材側押圧手段４３と移動部材４５と移動部材側保持手段４７と移動部材側押圧手段４９とを備えて構成されている。
ベース部材側保持手段４１は、転写したことによってお互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとを、第１の型ＭＡを保持することによって、ベース部材３９で保持するための手段である。なお、ベース部材側保持手段４１は、被成型品Ｗ２とは反対側に位置する第１の型ＭＡの面（図３（ｂ）に示す型ＭＡの下面）をたとえばベース部材３９の平面状の面（上面）を用いて真空吸着することによって、各型ＭＡ、ＭＢと被成型品Ｗ２とを保持するようになっている。
ベース部材側押圧手段４３は、お互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとをベース部材３９が保持しているときに、第１の型ＭＡの一部をベース部材３９から離れる方向（ベース部材３９に保持されている被成型品Ｗ２の側；上側）に押す手段である。なお、ベース部材側押圧手段４３による押し付け力が存在しているにもかかわらず、ベース部材側保持手段４１で第１の型ＭＡを保持することができるようになっている。
移動部材４５は、ベース部材３９に保持されている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢと（お互いがくっついている被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢ）を間にして、ベース部材３９の反対側でベース部材３９に対して接近離反する方向で移動自在なようになっている。
移動部材側保持手段４７は、ベース部材３９に保持されている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢと（お互いがくっついている被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢ）のうちの第２の型ＭＢを、移動部材４５で保持するための手段である。なお、移動部材側保持手段４７は、被成型品Ｗ２とは反対側に位置する第２の型ＭＢの面（図３（ｂ）に示す型ＭＢの上面）をたとえば移動部材４５の平面状の面（下面）を用いて真空吸着することによって、第２の型ＭＢを保持するようになっている。
移動部材側押圧手段４９は、移動部材４５で第２の型ＭＢを保持しているときに、第２の型ＭＢの一部を移動部材４５から離れる方向（ベース部材３９やベース部材３９に保持されている被成型品Ｗ２の側；下側）に押す手段である。なお、移動部材側押圧手段４９による押し付け力が存在しているにもかかわらず、移動部材側保持手段４７で第２の型ＭＢを保持することができるようになっている。
このように構成された離型装置９によれば、各押圧手段４３、４９によって各型ＭＡ、ＭＢの一部を被成型品Ｗ２の側に押し付けるので、各型ＭＡ、ＭＢを被成型品Ｗ２から離すべく型ＭＢを保持している移動部材４５がベース部材３９から離れる方向へ移動するときに、各型ＭＡ、ＭＢが部分的もしくは局部的に弾性変形し、各型ＭＡ、ＭＢの一部が被成型品Ｗ２から離れ、この離れた部分が徐々に広がるようにして、各型ＭＡ、ＭＢが被成型品Ｗ２から分離される。
さらに、ベース部材側押圧手段４３は、ベース部材３９に設けられベース部材側保持手段４１で第１の型ＭＡを保持したときにベース部材３９と第１の型ＭＡとにより挟まれて圧縮される弾性体で構成されている。たとえば、ベース部材３９の平面（上面）の一部にゴム等で構成された弾性体が一体的に設けられている。この弾性体は、ベース部材３９が第１の型ＭＡを保持したときにベース部材３９と第１の型ＭＡとによって挟まれて圧縮され、この圧縮されているときの反発力によって、第１の型ＭＡの一部を被成型品Ｗ２側（上側）に押圧するようになっている。
また、移動部材側押圧手段４９は、ベース部材側押圧手段４３と同様に、移動部材に設けられ移動部材側保持手段で第２の型を保持したときに移動部材と第２の型とにより挟まれて圧縮される弾性体で構成されている。たとえば、移動部材４５の平面（下面）の一部にゴム等で構成された弾性体が一体的に設けられている。この弾性体は、移動部材４５が第２の型ＭＢを保持したときに移動部材４５と第２の型ＭＢとによって挟まれて圧縮され、この圧縮されているときの反発力によって、第２の型ＭＢの一部を被成型品Ｗ２側（下側）に押圧するようになっている。
なお、移動部材４５の移動方向（Ｚ軸方向）から見ると、各押圧手段４３、４９が押圧する各型ＭＡ、ＭＢの部位は、お互いがほぼ一致している。したがって、各押圧手段４３、４９によって各型ＭＡ、ＭＢと被成型品Ｗ２とが押圧され挟み込まれた場合、被成型品Ｗ２にモーメントがほとんど発生せず被成型品Ｗ２に不要な変形がおこらず、各型ＭＡ、ＭＢが被成型品Ｗ２から離れやすくなっている。
離型装置９についてさらに詳しく説明する。
ベース部材３９は、板状の下側部材（本体部）５１と上側部材５３とガイド部材５５と保持部材（ベース部材側保持部材）５７とで構成されている。下側部材５１の上面の外側には、ガイド部材５５が立設されており、ガイド部材５５の上端には、上側部材５３が一体的に設けられている。保持部材５７の上面には、転写したことによってお互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとのうちで、被成型品Ｗ２とは反対側に位置する第１の型ＭＡの平面と対向する平行な平面（たとえば、円形状の平面）が設けられている。
移動部材４５は、板状の本体部５９と保持部材（移動部材側保持部材）６１とで構成されている、本体部５９は、ガイド部材５５に係合しており、シリンダー等のアクチュエータ６３によって下側部材５１と上側部材５３との間で上下方向（保持部材５７の上面に対して直交する方向）で移動自在になっている。
保持部材６１の下面には、ベース部材３９の平面（保持部材５７の上面）と平行であって保持部材５７の上面と対向する平面（たとえば、円形状の平面）が設けられている。
そして、保持部材５７の上面で、第１の型ＭＡの平面（下面）を保持するようになっている。また、保持部材６１の下面で、第２の型ＭＢの平面（上面）を保持するようになっている。なお、すでに理解されるように、転写したことによってお互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとがベース部材に設置された状態（保持部材５７の上面に裁置された状態）では、これらは、各保持部材５７、６１の間に位置している。
ここで、保持部材（ベース部材側保持部材）５７と移動部材側保持部材６１についてさらに詳しく説明する。
図９、図１０は、各保持部材５７、６１の詳細を示す図であり、図１１は、図９におけるＸＩ矢視図である。なお、図９は、各保持部材５７、６１がお互いに離れている状態を示しており、図１０は、各保持部材５７、６１の間に被成型品Ｗ２を設置して挟んだ状態を示している。
保持部材５７（ベース部材３９）には、ベース部材用外側弾性体（たとえば、Ｏリング）６５が一体的に設けられている。Ｏリング６５は、ベース部材３９の平面（上面）に設けられた環状（たとえば、円環状）のＯリング用溝（たとえば一様な深さの溝）６７に設けられており、保持部材５７の平面（上面）から移動部材４５側（保持部材６１側；上側）に突出しており、移動部材４５の移動方向から見たときに環状（たとえば、円環状）になっている。
また、ベース部材３９には、ベース部材用内側弾性体（たとえば、Ｏリング）６９が、溝（たとえば一様な深さの溝）７１を用いてＯリング６５の場合と同様に設けられている。移動部材４５の移動方向から見たときにＯリング６９はＯリング６５の内側に位置している。保持部材５７の平面からのＯリング６５の突出高さｔ１に比べて、保持部材５７の平面からのＯリング６９の突出高さｔ２のほうが大きくなっている。なお、Ｏリング６５の突出高さｔ１のほうが、Ｏリング６９の突出高さｔ２より大きくなっていてもよい。
保持部材６１（移動部材４５）にも、保持部材５７の場合と同様にして、溝７５に移動部材用外側弾性体（たとえば、Ｏリング）７３が設けられており、溝７９に移動部材用内側弾性体（たとえば、Ｏリング）７７が設けられている。
また、離型装置９には、ベース部材側閉空間減圧手段８１と移動部材側閉空間減圧手段８３とが設けられている。
ベース部材側閉空間減圧手段８１は、転写したことによってお互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとが第１の型ＭＡの平面（下面）がベース部材３９の平面（保持部材５７上面）と対向するようにして保持部材５７に設置されたときに、保持部材５７と第１の型ＭＡとＯリング６５とＯリング６９とで形成されるベース部材側閉空間を減圧する（ベース部材側閉空間内の空気を吸い出して減圧する）手段である。
たとえば、保持部材５７に設けられている空気通路８５を介して真空ポンプでベース部材側閉空間を減圧するようになっている。ベース部材側閉空間減圧手段８１で減圧した場合、図１０に示すように、第１の型ＭＡの下面と保持部材５７の上面とがお互いに接触していてもよいが、ベース部材側閉空間減圧手段８１で減圧した場合、第１の型ＭＡの下面と保持部材５７の上面とが離れていてもよい。
移動部材側閉空間減圧手段８３は、転写したことによってお互いがくっついている第１の型ＭＡと被成型品Ｗ２と第２の型ＭＢとがベース部材３９（保持部材５７）に設置され移動部材４５（保持部材６１）が第２の型ＭＢに近づいたときに、保持部材６１と第２の型ＭＢとＯリング７３とＯリング７７とで形成される移動部材側閉空間を減圧する（移動部材側閉空間内の空気を吸い出して減圧する）手段である。
このように、各減圧手段８１、８３を設けたことによって、各型ＭＡ、ＭＢを真空吸着することができるようになっている。
移動部材４５の移動方向（Ｚ軸方向）から見ると、各型ＭＡ、ＭＢと被成型品Ｗ２とはお互いがほぼ重なっており、各型ＭＡ、ＭＢの中心ＣＬと被成型品Ｗ２の中心ＣＬと各弾性体６５、６９、７３、７７の中心ＣＬとはお互いがほぼ一致している。また、移動部材４５の移動方向から見ると、ベース部材３９（保持部材５７）の円形状の平面（上面）と移動部材４５（保持部材６１）の円形状の平面（下面）とはほぼお互いが重なっていると共に、保持部材５７の上面は、各型ＭＡ、ＭＢや被成型品Ｗ２が内側に入るように各型ＭＡ、ＭＢや被成型品Ｗ２よりも大きく形成されている。さらに、保持部材５７上面の中心ＣＬと保持部材６１下面の中心ＣＬと各型ＭＡ、ＭＢの中心ＣＬとはお互いがほぼ一致している。なお、図８から理解されるように、移動部材４５の移動方向から見たときに、保持部材５７の上面や保持部材６１の下面が、各型ＭＡ、ＭＢより小さく形成されていてもよい。
さらに、保持部材５７の上面の中央には、円柱状のガイド部材８９が立設されており、このガイド部材８９が被成型品Ｗ２の中央にあいている円形状の貫通孔に入り込むことによって、ベース部材３９に設置された被成型品Ｗ２の位置決めがなされるようになっている。なお、保持部材６１には、ガイド部材８９が入り込むための貫通孔９１が設けられている。
ところで、上述した離型装置９では、各Ｏリング６５、６９、７３、７７を設置するための各溝６７、７１、７５、７９の深さが変化しない所定の深さになっており、したがって、各Ｏリング６５、６９、７３、７７の周方向（環の延伸方向）において、各Ｏリング６５、６９、７３、７７の高さが変化していないが、各Ｏリング６５、６９、７３、７７の周方向において、各Ｏリング６５、６９、７３、７７の高さが変化していてもよい。
すなわち、ベース部材用外側弾性体（Ｏリング６５）において、この環の延伸方向で（周方向で）ベース部材３９からの突出量（保持部材５７の上面からの突出高さ）が変化しており、ベース部材用内側弾性体（Ｏリング６９）においても、この環の延伸方向でベース部材６９からの突出量が変化しており、移動部材用外側弾性体（Ｏリング７３）においても、この環の延伸方向で移動部材４５からの突出量が変化しており、移動部材用内側弾性体（Ｏリング７７）においても、この環の延伸方向で移動部材４５からの突出量が変化している構成であってもよい。
図１２は、各Ｏリング６５、６９、７３、７７を設置するための各溝６７、７１、７５、７９の深さの変化を示す図である。
図１２の横軸は、ＣＬを中心とした各溝６７、７１、７５、７９の部位の角度を示しており、図１２の縦軸は、各溝６７、７１、７５、７９の部位の深さを示している。図１２に示すグラフＧ１は、外側の各Ｏリング６５、７３の深さを示しており、Ｇ２は、内側の各Ｏリング６９、７７の深さを示している。
さらに説明すると、円環状のＯリング６５は、この周方向の所定の部位である第１の部位９３と、中心ＣＬに対し第１の部位９３とは対称な箇所に位置する第２の部位９５とで、ベース部材３９の平面からの突出量（突出高さ）が最も大きくなっており、中心ＣＬを回転中心にして第１の部位９３と第２の部位９５とを９０°回転したところに位置する第３の部位９７と第４の部位９９とで、ベース部材３９の平面からの突出量（突出高さ）が最も小さくなっており、各部位９３、９５、９７、９９の間では、ベース部材３９の平面からの突出量（突出高さ）がたとえば一定の割合で徐々に変化している。他のＯリング６９、７３、７７も同様になっている。
なお、ベース部材用内側弾性体（Ｏリング６９）の最も高くなっている部位と最も低くなっている部位とは、ベース部材用外側弾性体（Ｏリング６５）の最も高くなっている部位と最も低くなっている部位とお互いが同じ位相になっている。すなわち、移動部材４５の移動方向（Ｚ軸方向）から見ると、Ｏリング６５の最も高くなっている各部位とＯリング６９の最も高くなっている各部位と中心ＣＬとは１つの直線（第１の直線）上に存在しており、同様にして最も低くなっている各部位と中心ＣＬとが１つの直線（第２の直線）上に存在しており、前記各直線は中心ＣＬのところでお互いが直交している。
さらに、円環状の移動部材用外側弾性体（Ｏリング７３）や移動部材用内側弾性体（Ｏリング７７）も、同様になっている。そして、移動部材４５の移動方向から見ると、ベース部材用外側弾性体（Ｏリング６５）の最も高くなっている各部位等と移動部材用外側弾性体（Ｏリング７３）の最も高くなっている各部位等の位置はお互いに一致している。
これにより、図１１に示す「Ｈ」の領域では、各Ｏリング６５、６９（７３、７７）の突出高さが大きくなっており、「Ｌ」の領域では、各Ｏリング６５、６９（７３、７７）の突出高さが小さくなっている。
また、すでに理解されるように、各閉空間が形成されるときには、各Ｏリング６５、６９、７３、７７が押されて弾性変形し、各Ｏリング６５、６９、７３、７７の環の全長が各型ＭＡ、ＭＢに接触するようになっている。
ところで、上述した離型装置９においては、外側の各Ｏリング６５、７３の突出量と内側の各Ｏリング６９、７７の突出量との間で差をつけてあるが（図１２に示すグラフＧ１とグラフＧ２とが離れて描かれているが）外側の各Ｏリング６５、７３の突出量と内側の各Ｏリング６９、７７の突出量とに差をつけない構成であってもよい。すなわち、図１２に示すグラフＧ１とグラフＧ２とがお互いに重なっている構成であってもよい。
次に、離型装置９の動作を説明する。
まず、第１の搬送手段１１により未転写ストッカ５から被成型品Ｗ２（図３（ａ）参照）の供給を受け、この供給された被成型品Ｗ２に各型ＭＡ、ＭＢを設置し、第２の搬送手段１３により被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを転写装置３に供給する場合について説明する。
初期状態として、移動部材４５（保持部材６１）がベース部材３９（保持部材５７）から離れており（図７〜図９参照）、ベース部材３９（保持部材５７）が第１の型ＭＡを保持しており、移動部材４５（保持部材６１）が第２の型ＭＢを保持しているものとする（図８）参照。
上記初期状態（転写前初期状態）において、第１の搬送手段１１で各型ＭＡ、ＭＢの間に被成型品Ｗ２を設置する（型ＭＡの上に被成型品Ｗ２を載置して設置する）。続いて、移動部材４５を下降して、被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを一体化する。この後に、移動部材４５により型ＭＢの真空吸着を解除し移動部材４５を上昇し、ベース部材３９による真空吸着を解除し、一体化した被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを第２の搬送手段１３で転写装置３まで搬送し、転写装置３で転写をする。
次に、第２の搬送手段１３により転写装置３により転写がなされお互いがくっついている被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢの供給を受け、この供給された被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを分離し、分離された被成型品Ｗ２（図４（ｃ）参照）を第１の搬送手段１１により転写済ストッカ７に格納する場合について説明する。
初期状態として、移動部材４５（保持部材６１）がベース部材３９（保持部材５７）から離れており、各保持部材５７、６１は、各型ＭＡ、ＭＢや被成型品Ｗ２を保持していないものとする。
上記初期状態（転写後初期状態）において、転写されお互いがくっついている被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを第２の搬送手段１３で転写装置３から搬送してくる。そして、被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとがベース部材３９（保持部材５７）に載置されるようにして、被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを各保持部材５７、６１間で離型装置９に設置する。
続いて、移動部材４５を下降し、各保持部材５７、６１で被成型品Ｗ２と各型ＭＡ、ＭＢとを挟み込み、各保持部材５７、６１で各型ＭＡ、ＭＢを真空吸着し、この真空吸着をした状態で移動部材４５を上昇し、各型ＭＡ、ＭＢを被成型品Ｗ２から分離する。なお、この分離した状態では、第２の型ＭＢは、被成型品Ｗ２から間隔をあけて離れているが、被成型品Ｗ２は、重力により第１の型ＭＡの上に載置されている。
続いて、第１の搬送手段１１で被成型品Ｗ２を搬出し、転写済ストッカ７に格納し、前記転写前初期状態になる。
なお、転写装置３や離型装置９を含む給排システム１の動作は、図示しない制御装置の制御の下でなされるようになっている。
離型装置９によれば、被成型品Ｗ２から各型ＭＡ、ＭＢを離す場合、各型ＭＡ、ＭＢを弾性変形させることにより、まず型ＭＡ（ＭＢ）の一部が被成型品Ｗ２より離れ、この離れた部分が徐々に広がるようにして、各型ＭＡ、ＭＢが被成型品Ｗ２から分離されるので、各型ＭＡ、ＭＢにかける力を従来より小さくしても、各型ＭＡ、ＭＢを被成型品Ｗ２から容易に離すことができる。
また、離型装置９によれば、内側弾性体（各Ｏリング６９、７７）の突出量ｔ２が外側弾性体（各Ｏリング６５、７３）の突出量ｔ１よりも大きいので、各閉空間を減圧し移動部材４５をベース部材３９から離れる方向に移動したときに、各型ＭＡ、ＭＢの部位によって各型ＭＡ、ＭＢに加わる力に差が生じ、各型ＭＡ、ＭＢが部分的もしくは局部的に弾性変形し、各型ＭＡ、ＭＢの一部が被成型品Ｗ２から離れ、この離れた部分が徐々に広がるようにして、各型ＭＡ、ＭＢが被成型品Ｗ２から分離される。
具体的には、第１の型ＭＡの周辺部分（外周部分）が最初に被成型品Ｗ２から離れ、その後第１の型ＭＡが中心ＣＬに向かって被成型品Ｗ２から徐々に離れ、第１の型ＭＡが被成型品Ｗ２から分離される。第２の型ＭＢにおいても同様である。したがって、各型ＭＡ、ＭＢにかける力を従来より小さくしても、各型ＭＡ、ＭＢを被成型品Ｗ２から容易に離すことができる。
したがって、離型（被成型品Ｗ２から各型ＭＡ、ＭＢを離すこと）を短い時間で確実に行うことができ、転写のスループットを向上させることができる。
さらに、離型装置９において、各弾性体（各Ｏリング６５、６９、７３、７７）の突出量を、図１２に示すように環の長手方向で変化させれば、各閉空間を減圧し移動部材４５をベース部材３９から離れる方向に移動したときに、各型ＭＡ、ＭＢの部位によって各型ＭＡ、ＭＢに加わる力に差が生じ、各型ＭＡ、ＭＢが一層部分的もしくは局部的に弾性変形し、各型ＭＡ、ＭＢの一部が被成型品から離れ、この離れた部分が徐々に広がるようにして、各型ＭＡ、ＭＢが被成型品Ｗ２から一層容易に分離される。
具体的には、第１の型ＭＡの一部（型ＭＡの外周部であってＯリングの最も低くなっている部位；図１１に示す領域Ｌのうちの中心ＣＬから離れている部位）が最初に被成型品Ｗ２から離れ、その後第１の型ＭＡが中心等（中心ＣＬや弾性体の最も高くなっている領域Ｈ）に向かって被成型品Ｗ２から徐々に離れ、第１の型ＭＡが被成型品Ｗ２から分離される。第２の型ＭＢにおいても同様である。
ところで、図１３（転写の変形例を示す図であり、図１０に対応する図である。）に示すように、各型ＭＡ、ＭＢや真空吸着する部分が被成型品Ｗ２より広くなっていてもよい。
すなわち、移動部材４５の移動方向から見たときに、各外側弾性体（各Ｏリング６５、７３）の内側に形成される部位の一部（たとえば、外周の部位）が、被成型品Ｗ２よりも外側に位置していてもよい。この場合、移動部材４５の移動方向から見たときに、たとえば、各型ＭＡ、ＭＢのほうが被成型品Ｗ２より大きく、各型ＭＡ、ＭＢの内側に被成型品Ｗ２が存在していることが必要である。
これにより、各閉空間を減圧したときに各型ＭＡ、ＭＢの外周に大気圧（図１３に示す部位Ｒからの外力）がかかり、各型ＭＡ、ＭＢの外周が被成型品Ｗ２から容易に離れるものである。
ところで、上述した転写の形態は、被成型品Ｗ２の両面に転写をしているが、第２の型ＭＢのみを用いて被成型品Ｗ２の片面にのみ転写をする形態であってもよい。この場、合離型装置９は、被成型品Ｗ２から第２の型ＭＢのみを離すように構成される。
すなわち、離型装置９は、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置であり、転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを前記被成型品を保持することによって保持するベース部材と、このベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とのうちの前記型を前記移動部材で保持するための保持手段と、前記移動部材で前記型を保持しているときに、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す押圧手段と備えて構成されている。
[第２の実施形態]
図１４は、本発明の第２の実施形態に係る離型装置の移動部材１０１（保持部材１０３）の概略構成を示す図であり、図９や図１１に対応した図である。
本発明の第２の実施形態に係る離型装置は、移動部材１０１に設けられている弾性体（Ｏリング）１０５が１つである点が、本発明の第１の実施形態に係る離型装置９と異なり、その他の点は、本発明の第１の実施形態に係る離型装置９とほぼ同様に構成されており、また、その構成をほぼ同様に変形可能であり、本発明の第１の実施形態に係る離型装置９とほぼ同様の効果を奏する。
すなわち、第２の実施形態に係る離型装置は、平面を備えたベース部材（図示せず）と、このベース部材の平面と平行で対向する平面（下面）を備え前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材１０１と、前記ベース部材の平面から移動部材１０１側に突出し移動部材１０１の移動方向から見たときに環状になるようにして前記ベース部材に一体的に設けられ環の延伸方向で前記ベース部材の平面からの突出量が変化しているベース部材用弾性体（Ｏリング；図示せず）と、移動部材１０１の平面から前記ベース部材側に突出し移動部材１０１の移動方向から見たときに環状になるようにして移動部材１０１に一体的に設けられ環の延伸方向で移動部材１０１の平面からの突出量が変化している移動部材用弾性体（Ｏリング）１０５と、転写したことによってお互いがくっついている第１の型（図示せず）と被成型品（図示せず）と第２の型（図示せず）とが前記ベース部材に設置されたときに前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段（図示せず）と、転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され移動部材１０１が前記第２の型に近づいたときに移動部材１０１と前記第２の型と移動部材用弾性体１０５とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを備えて構成されている。
なお、第２の実施形態において、第１の実施形態の場合と同様に被成型品の一方の面にのみ転写を行なう態様とし、これに応じて離型装置等を変更してもよい。
また、第２の実施形態に係る離型装置では、Ｏリング１０５の環の延伸方向の突出高さを変えているが、Ｏリング１０５の環の延伸方向の突出高さを変えないで、代わりに、ゴム等でできた弾性体１０７（図１４参照）を設けてあってもよい。この場合、Ｏリング１０５の高さｔ４より弾性体１０７の高さｔ５が大きくなっているものとする。
ところで、上述した各実施形態に係る離型装置において、図１５（Ｏリングの設置形態の変形例を示す図であり、図１１に対応する図）に示すように、複数の各Ｏリング１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃを、中心ＣＬから離れたところに設けてもよい。この場合、各Ｏリング１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃは、たとえば、中心ＣＬを中心とする所定の円の円周を等分配する位置に設けられている。また、各Ｏリング１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃの突出高さは、Ｏリング１０９Ａ、Ｏリング１０９Ｂ、Ｏリング１０９Ｃの順に高くなっているものとする。なお、この場合、各Ｏリング１０９Ａ、１０９Ｂ、１０９Ｃの内側の部位が真空引きされ、型が保持されるものとする。
また、第１の実施形態に係る離型装置９において、図９に示すように突出高さｔ３（ｔ３＞ｔ２）の弾性体１１１を設けてあってもよい。
さらには、各型ＭＡ、ＭＢが石英ガラス等の剛性の高い材質で構成されている場合には、型の一部に溝等の切り欠きを設け、型の剛性を低下させて、被成型品から型を外すときに型が弾性変形しやすくなるようにしてもよい。
なお、上述した各実施形態に係る離型装置は、型の平面状の面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面状の面に、前記型の平面を前記被成型品の平面に面接触させて押圧することにより転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、前記被成型品から前記型を離すべく前記被成型品から離れる方向に前記型を引くときに、前記型を引く位置によって前記型を引く力を変えて前記型を弾性変形させる分離手段を有する離型装置の例である。
ここで、型に代えて被成型品を同様に引くように分離手段を構成してもよいし、型と被成型品との両方を同様に引くように分離手段を構成してもよい。
また、上述した各実施形態に係る離型装置は、型の平面状の面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面状の面に、前記型の平面を前記被成型品の平面に面接触させて押圧することにより転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、前記型、前記被成型品の少なくともいずれかを弾性変形させながら前記被成型品から前記型を離す分離手段を有する離型装置の例である。
本発明の第１の実施形態に係る給排システムの概略構成を示す平面図である。 給排システムの概略構成を示すブロック図である。 被成型品の転写工程を含むＨＤＤ基板の製造工程を示す図である。 被成型品の転写工程を含むＨＤＤ基板の製造工程を示す図である。 段取りユニットの概略構成を示す斜視図である。 段取りユニットの一方の段取りユニットの概略構成を示す斜視図である。 離型装置の概略構成を示す斜視図である。 離型装置の概略構成を示す側面図である。 各保持部材の詳細を示す図である。 各保持部材の詳細を示す図である。 図９におけるＸＩ矢視図である。 各Ｏリングを設置するための各溝の深さが変化を示す図である。 転写の変形例を示す図であり、図１０に対応する図である。 本発明の第２の実施形態に係る離型装置の移動部材の概略構成を示す図であり、図９や図１１に対応した図である。 Ｏリングの設置形態の変形例を示す図であり、図１１に対応する図である。
符号の説明
１ 給排システム
３ 転写装置
５ 転写前ストッカ
７ 転写済ストッカ
９ 離型装置
１１ 第１の搬送手段
１３ 第２の搬送手段
１９、２１ 段取りユニット
３９ ベース部材
４１ ベース部材側保持手段
４３ ベース部材側押圧手段
４５ 移動部材
４７ 移動部材側保持手段
４９ 移動部材側押圧手段
５７ 保持部材
６１ 保持部材
６５、６９、７３、７７ Ｏリング（弾性体）
８１ ベース部材側閉空間減圧手段
８３ 移動部材側閉空間減圧手段
ＭＡ 第１の型
ＭＢ 第２の型
Ｗ２ 被成型品

Claims (13)

  1. 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
    転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記被成型品を保持することによって保持するベース部材と、
    前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、
    前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とのうちの前記型を、前記移動部材で保持するための保持手段と、
    前記移動部材で前記型を保持しているときに、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記型の一部を弾性変形させる押圧手段とを有し、
    前記保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、
    前記押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記保持手段で前記型を保持したときに圧縮される弾性体である、
    ことを特徴とする離型装置。
  2. 微細な転写パターンが形成されている第１の型と微細な転写パターンが形成されている第２の型とで被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
    ベース部材と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを、前記第１の型を保持することによって、前記ベース部材で保持するためのベース部材側保持手段と、
    お互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを前記ベース部材が保持しているときに、前記第１の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押して前記第１の型の一部を弾性変形させるベース部材側押圧手段と、
    前記ベース部材に保持されている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、
    前記ベース部材に保持されている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とのうちの前記第２の型を、前記移動部材で保持するための移動部材側保持手段と、
    前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに、前記第２の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記第２の型の一部を弾性変形させる移動部材側押圧手段とを有する、
    ことを特徴とする離型装置。
  3. 請求項２に記載の離型装置において、
    前記各保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、
    前記ベース部材側押圧手段は、前記ベース部材に設けられ前記ベース部材側保持手段で前記第１の型を保持したときに圧縮される弾性体であり、
    前記移動部材側押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記移動部材側保持手段で前記第２の型を保持したときに圧縮される弾性体である、
    ことを特徴とする離型装置。
  4. 型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
    転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持する平面を備えたベース部材と、
    前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材に保持されている転写後の前記被成型品と前記型とが間に位置するようにして、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
    前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして前記移動部材に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す弾性体と、
    前記移動部材が前記型に近づいて前記弾性体の環の全長が前記型に接触したときに、前記移動部材と前記弾性体と前記型とで形成される閉空間を減圧する減圧手段とを有する、
    ことを特徴とする離型装置。
  5. 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
    平面を備えたベース部材と、
    前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
    前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記ベース部材の平面からの突出量が変化し、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用弾性体と、
    前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用弾性体と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記型第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する、
    ことを特徴とする離型装置。
  6. 型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
    転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持するベース部材と、
    前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
    前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す外側弾性体と、
    前記移動部材の平面から前記外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す内側弾性体と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記型に近づいたときに、前記移動部材と前記型と前記外側弾性体と前記内側弾性体とで形成される閉空間を減圧する閉空間減圧手段とを有する、
    ことを特徴とする離型装置。
  7. 請求項６に記載の離型装置において、
    前記外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
    前記内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
    ことを特徴とする離型装置。
  8. 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
    平面を備えたベース部材と、
    前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
    前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、
    前記ベース部材の平面から前記ベース部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、
    前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、
    前記移動部材の平面から前記移動部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する、
    ことを特徴とする離型装置。
  9. 請求項８に記載の離型装置において、
    前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
    前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
    前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
    前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
    ことを特徴とする離型装置。
  10. 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第１の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第２の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
    平面を備えたベース部材と、
    前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
    前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、
    前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第１の型を保持しているときに圧縮され、前記第１の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、
    前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、
    前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第２の型を保持しているときに圧縮され、前記第２の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第１の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
    転写したことによってお互いがくっついている前記第１の型と前記被成型品と前記第２の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第２の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第２の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有し、
    前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
    前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
    前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
    前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
    ことを特徴とする離型装置。
  11. 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置に対して、前記被成型品と前記型とを自動的に供給しまた排出する給排システムにおいて、
    転写前の被成型品を格納することができる未転写ストッカと、
    転写後の被成型品を格納することができる転写済ストッカと、
    請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の離型装置と、
    前記未転写ストッカと前記離型装置との間で、また、前記離型装置と前記転写済ストッカとの間で、前記被成型品を搬送する第１の搬送手段と、
    前記離型装置と前記転写装置との間で、前記被成型品と前記型とをいっしょに搬送する第２の搬送手段とを有し、
    前記離型装置は、前記型を保持可能な装置であり、
    前記第１の搬送装置で前記被成型品を搬送するときには、前記離型装置で前記型を保持している、
    ことを特徴とする給排システム。
  12. 請求項１１に記載の給排システムにおいて、
    前記型を交換可能な型交換装置を備えている、
    ことを特徴とする給排システム。
  13. 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型方法において、
    圧縮された弾性体の反発力で、前記型を保持している保持部材から離れる方向へ前記型の一部を押して前記型の一部を弾性変形させて前記被成型品から前記型を離す分離工程を有する、
    ことを特徴とする離型方法。
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