JP5069979B2 - 離型装置、給排システムおよび離型方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る給排システム1の概略構成を示す平面図であり、図2は、給排システム1の概略構成を示すブロック図である。
図14は、本発明の第2の実施形態に係る離型装置の移動部材101(保持部材103)の概略構成を示す図であり、図9や図11に対応した図である。
3 転写装置
5 転写前ストッカ
7 転写済ストッカ
9 離型装置
11 第1の搬送手段
13 第2の搬送手段
19、21 段取りユニット
39 ベース部材
41 ベース部材側保持手段
43 ベース部材側押圧手段
45 移動部材
47 移動部材側保持手段
49 移動部材側押圧手段
57 保持部材
61 保持部材
65、69、73、77 Oリング(弾性体)
81 ベース部材側閉空間減圧手段
83 移動部材側閉空間減圧手段
MA 第1の型
MB 第2の型
W2 被成型品
Claims (13)
- 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記被成型品を保持することによって保持するベース部材と、
前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、
前記ベース部材に保持されている前記被成型品と前記型とのうちの前記型を、前記移動部材で保持するための保持手段と、
前記移動部材で前記型を保持しているときに、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記型の一部を弾性変形させる押圧手段とを有し、
前記保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、
前記押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記保持手段で前記型を保持したときに圧縮される弾性体である、
ことを特徴とする離型装置。 - 微細な転写パターンが形成されている第1の型と微細な転写パターンが形成されている第2の型とで被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
ベース部材と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とを、前記第1の型を保持することによって、前記ベース部材で保持するためのベース部材側保持手段と、
お互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とを前記ベース部材が保持しているときに、前記第1の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押して前記第1の型の一部を弾性変形させるベース部材側押圧手段と、
前記ベース部材に保持されている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とを間にして、前記ベース部材の反対側で前記ベース部材に対して接近離反する方向で移動自在な移動部材と、
前記ベース部材に保持されている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とのうちの前記第2の型を、前記移動部材で保持するための移動部材側保持手段と、
前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに、前記第2の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押して前記第2の型の一部を弾性変形させる移動部材側押圧手段とを有する、
ことを特徴とする離型装置。 - 請求項2に記載の離型装置において、
前記各保持手段は、真空吸着によって前記型を保持する手段であり、
前記ベース部材側押圧手段は、前記ベース部材に設けられ前記ベース部材側保持手段で前記第1の型を保持したときに圧縮される弾性体であり、
前記移動部材側押圧手段は、前記移動部材に設けられ前記移動部材側保持手段で前記第2の型を保持したときに圧縮される弾性体である、
ことを特徴とする離型装置。 - 型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持する平面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材に保持されている転写後の前記被成型品と前記型とが間に位置するようにして、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして前記移動部材に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す弾性体と、
前記移動部材が前記型に近づいて前記弾性体の環の全長が前記型に接触したときに、前記移動部材と前記弾性体と前記型とで形成される閉空間を減圧する減圧手段とを有する、
ことを特徴とする離型装置。 - 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第1の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第2の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
平面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記ベース部材の平面からの突出量が変化し、前記ベース部材で前記第1の型を保持しているときに圧縮され、前記第1の型の一部を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用弾性体と、
前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、環の延伸方向で前記移動部材の平面からの突出量が変化し、前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに圧縮され、前記第2の型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用弾性体と、
転写したことによってお互いがくっついている前記型第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第1の型と前記ベース部材用弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第2の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第2の型と前記移動部材用弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する、
ことを特徴とする離型装置。 - 型の平面に形成されている微細な転写パターンを被成型品の平面に転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型装置において、
転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とを、前記型とは反対側に位置する前記被成型品の平面を真空吸着することによって保持するベース部材と、
前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す外側弾性体と、
前記移動部材の平面から前記外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記型を保持しているときに圧縮され、前記型の一部を前記移動部材から離れる方向に押す内側弾性体と、
転写したことによってお互いがくっついている前記型と前記被成型品とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記型に近づいたときに、前記移動部材と前記型と前記外側弾性体と前記内側弾性体とで形成される閉空間を減圧する閉空間減圧手段とを有する、
ことを特徴とする離型装置。 - 請求項6に記載の離型装置において、
前記外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
前記内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
ことを特徴とする離型装置。 - 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第1の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第2の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
平面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第1の型を保持しているときに圧縮され、前記第1の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、
前記ベース部材の平面から前記ベース部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第1型を保持しているときに圧縮され、前記第1の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、
前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに圧縮され、前記第2の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、
前記移動部材の平面から前記移動部材用外側弾性体よりも多く突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに圧縮され、前記第2の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第1の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第2の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第2の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有する、
ことを特徴とする離型装置。 - 請求項8に記載の離型装置において、
前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
ことを特徴とする離型装置。 - 平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第1の型と平板状に形成され厚さ方向の一方の面に微細な転写パターンが形成されている第2の型とで平板状に形成されている被成型品を挟み込んで、前記被成型品の一方の面と前記被成型品の他方の面とに微細な転写パターンを転写した後に、前記被成型品から前記各型を離す離型装置において、
平面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の平面と平行で対向する平面を備え、前記ベース部材の平面に対して直交する方向で移動自在である移動部材と、
前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第1の型を保持しているときに圧縮され、前記第1の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用外側弾性体と、
前記ベース部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記ベース部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記ベース部材に一体的に設けられ、前記ベース部材で前記第1の型を保持しているときに圧縮され、前記第1の型を前記ベース部材から離れる方向に押すベース部材用内側弾性体と、
前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になるようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに圧縮され、前記第2の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用外側弾性体と、
前記移動部材の平面から突出し、前記移動部材の移動方向から見たときに環状になると共に前記移動部材用外側弾性体の内側に入るようにして、前記移動部材に一体的に設けられ、前記移動部材で前記第2の型を保持しているときに圧縮され、前記第2の型を前記移動部材から離れる方向に押す移動部材用内側弾性体と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置されたときに、前記ベース部材と前記第1の型と前記ベース部材用外側弾性体と前記ベース部材用内側弾性体とで形成されるベース部材側閉空間を減圧するベース部材側閉空間減圧手段と、
転写したことによってお互いがくっついている前記第1の型と前記被成型品と前記第2の型とが前記ベース部材に設置され前記移動部材が前記第2の型に近づいたときに、前記移動部材と前記第2の型と前記移動部材用外側弾性体と前記移動部材用内側弾性体とで形成される移動部材側閉空間を減圧する移動部材側閉空間減圧手段とを有し、
前記ベース部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
前記ベース部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記ベース部材からの突出量が変化しており、
前記移動部材用外側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化しており、
前記移動部材用内側弾性体は、この環の延伸方向で前記移動部材からの突出量が変化している、
ことを特徴とする離型装置。 - 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するための転写装置に対して、前記被成型品と前記型とを自動的に供給しまた排出する給排システムにおいて、
転写前の被成型品を格納することができる未転写ストッカと、
転写後の被成型品を格納することができる転写済ストッカと、
請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の離型装置と、
前記未転写ストッカと前記離型装置との間で、また、前記離型装置と前記転写済ストッカとの間で、前記被成型品を搬送する第1の搬送手段と、
前記離型装置と前記転写装置との間で、前記被成型品と前記型とをいっしょに搬送する第2の搬送手段とを有し、
前記離型装置は、前記型を保持可能な装置であり、
前記第1の搬送装置で前記被成型品を搬送するときには、前記離型装置で前記型を保持している、
ことを特徴とする給排システム。 - 請求項11に記載の給排システムにおいて、
前記型を交換可能な型交換装置を備えている、
ことを特徴とする給排システム。 - 型に形成されている微細な転写パターンを被成型品転写した後に、前記被成型品から前記型を離す離型方法において、
圧縮された弾性体の反発力で、前記型を保持している保持部材から離れる方向へ前記型の一部を押して前記型の一部を弾性変形させて前記被成型品から前記型を離す分離工程を有する、
ことを特徴とする離型方法。
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