JPS63131352A - 光学的記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents
光学的記録媒体用基板の製造方法Info
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- JPS63131352A JPS63131352A JP27666386A JP27666386A JPS63131352A JP S63131352 A JPS63131352 A JP S63131352A JP 27666386 A JP27666386 A JP 27666386A JP 27666386 A JP27666386 A JP 27666386A JP S63131352 A JPS63131352 A JP S63131352A
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ビームにより記録、再生を行うことが可能な
光学的記録媒体用基板の製造方法に関する。より詳しく
は、主にスタンパ−と呼ばれる型を用いて、案内溝のあ
る光学的記録媒体用基板を製造する際、スタンパ−と基
板との離型工程を簡易に行うことのできる方法に閉する
。
光学的記録媒体用基板の製造方法に関する。より詳しく
は、主にスタンパ−と呼ばれる型を用いて、案内溝のあ
る光学的記録媒体用基板を製造する際、スタンパ−と基
板との離型工程を簡易に行うことのできる方法に閉する
。
光学的記録媒体は、高密度記録を達成するために、使用
する基板上に光学的案内溝を形成する必要がある。それ
故従来からいくつかの案内溝形成方法が知られているが
、高品質な基板が得られるということから2P法と呼ば
れる成形方法が盛んに検討されている。
する基板上に光学的案内溝を形成する必要がある。それ
故従来からいくつかの案内溝形成方法が知られているが
、高品質な基板が得られるということから2P法と呼ば
れる成形方法が盛んに検討されている。
この2P法は、まず、案内溝の形状に対応する凹凸が刻
設された型(主にスタンパ−と呼ばれるもの)の上に紫
外線硬化型樹脂等1F!:塗布し、更に、との樹脂上に
基板を載フし、次いで、紫外線等を照射することにより
、樹脂を硬化させると共に基板に固@させて硬化型樹脂
製の案内溝を形成する方法である。
設された型(主にスタンパ−と呼ばれるもの)の上に紫
外線硬化型樹脂等1F!:塗布し、更に、との樹脂上に
基板を載フし、次いで、紫外線等を照射することにより
、樹脂を硬化させると共に基板に固@させて硬化型樹脂
製の案内溝を形成する方法である。
この方法は、案内溝形状の転写性が良く、基板材料とし
てプラスチック以外にも実質的に腐食が進まないガラス
を使用でき、長期間高い信頼性を維持できる記録媒体が
製造できる。
てプラスチック以外にも実質的に腐食が進まないガラス
を使用でき、長期間高い信頼性を維持できる記録媒体が
製造できる。
(発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、2P法では問題点も残っていた。この問
題点を図を用いて説明する。
題点を図を用いて説明する。
第1図はこの方法に於ける紫外線照射後の状態を示した
ものである。
ものである。
基板3に固着した紫外線硬化型の樹脂層2と、スタンバ
−1とを離型する場合は、基板3を真空ヂャックして引
張るか、樹脂層2とスタンバ−1の間に爪状のものを挿
入して離型する方法が採られる。しかし、真空チャック
により引張る方法は離型の為に必すしも適した方法とは
言えず、力かうまくかけられないため離型が困難である
場合が少なくない。一方、爪状のものを挿入する場合は
、離型はがなり容易にできるがスタンバ−3や樹脂層2
を傷つけたり、基板1にがなり局所的な力が加わるため
それを割ってしまったつすることがあり、歩留りの低下
という問題が残っていた。
−1とを離型する場合は、基板3を真空ヂャックして引
張るか、樹脂層2とスタンバ−1の間に爪状のものを挿
入して離型する方法が採られる。しかし、真空チャック
により引張る方法は離型の為に必すしも適した方法とは
言えず、力かうまくかけられないため離型が困難である
場合が少なくない。一方、爪状のものを挿入する場合は
、離型はがなり容易にできるがスタンバ−3や樹脂層2
を傷つけたり、基板1にがなり局所的な力が加わるため
それを割ってしまったつすることがあり、歩留りの低下
という問題が残っていた。
本発明は、以上の問題点を解決する為に成されたもので
あり、その目的はスタンバ−を使用して案内溝のある基
板を製造するに際して、基板に固着した樹脂製の案内溝
とスタンバ−との離型を容易に行い得る点に特徴をもつ
方法を提供することにある。
あり、その目的はスタンバ−を使用して案内溝のある基
板を製造するに際して、基板に固着した樹脂製の案内溝
とスタンバ−との離型を容易に行い得る点に特徴をもつ
方法を提供することにある。
上記の目的は、案内溝の形状に対応した凹凸を有する型
の上に、何らかのエネルキー賦与によって硬化する硬化
性の樹脂と中心孔のある基板とを順次積層し、樹脂を固
化すると共に基板に固着しで、案内溝付き光学的記録媒
体用の基板を製造する方法に於いて、樹脂の硬化型に、
基板と型の一方を固定した状態で他方の内周縁付近また
は中心部付近を押し上(することにより、基板に固着形
成した樹脂の層と型とを離型する工程を有することを特
徴とする光学的記録媒体用の基板の製造方法により達成
できる。
の上に、何らかのエネルキー賦与によって硬化する硬化
性の樹脂と中心孔のある基板とを順次積層し、樹脂を固
化すると共に基板に固着しで、案内溝付き光学的記録媒
体用の基板を製造する方法に於いて、樹脂の硬化型に、
基板と型の一方を固定した状態で他方の内周縁付近また
は中心部付近を押し上(することにより、基板に固着形
成した樹脂の層と型とを離型する工程を有することを特
徴とする光学的記録媒体用の基板の製造方法により達成
できる。
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
実施例1
表面にピッチ1.6μ、段差700人のスパイラル状の
案内溝を形成したNiスタンパ−1上に、紫外線によっ
て硬化するエポキシアクリレート系の樹脂(商品名:
MRA−5000会社名:三菱レイヨン)2を塗布し、
その上に直径130mmφ、内径15mmΦ、厚さ1.
Immのガラス製の基板3を積置した(第1工程)。樹
脂2が基板3の内周縁近傍部分(内縁部)まではまわり
込まない様にしてあき、こうした状態で、基板3側から
波長360nmの紫外線を基板上の光強度230mW/
cボで照射し、樹脂2を硬化させた(第2工程)。
案内溝を形成したNiスタンパ−1上に、紫外線によっ
て硬化するエポキシアクリレート系の樹脂(商品名:
MRA−5000会社名:三菱レイヨン)2を塗布し、
その上に直径130mmφ、内径15mmΦ、厚さ1.
Immのガラス製の基板3を積置した(第1工程)。樹
脂2が基板3の内周縁近傍部分(内縁部)まではまわり
込まない様にしてあき、こうした状態で、基板3側から
波長360nmの紫外線を基板上の光強度230mW/
cボで照射し、樹脂2を硬化させた(第2工程)。
次いで、一体化しているスタンバ−1、樹脂2及び基板
3−ヲ、スタンバ−1が下となるように、中心軸7の設
置されている担持体4上に積置し、続いて真空吸引管7
がらの真空吸引により、それらを担持体4土に固定し、
しかる後、中心軸6を中心軸7へ挿入した(第2図、第
3工程)。次に、中心軸6を押し下げ基板3を固定させ
た状態で、基板3の内締部における樹脂2が固着してな
い部分の下方に配=された中心軸7を、5 kg/c%
の力(中心軸6の押し下げ力より大きな力)で上に押し
上げ、その部分を上昇させる事により、基板3に固着形
成された樹脂2をスタンバ−1から離型して、光学的記
録媒体用の基板を製造した(第3図)。
3−ヲ、スタンバ−1が下となるように、中心軸7の設
置されている担持体4上に積置し、続いて真空吸引管7
がらの真空吸引により、それらを担持体4土に固定し、
しかる後、中心軸6を中心軸7へ挿入した(第2図、第
3工程)。次に、中心軸6を押し下げ基板3を固定させ
た状態で、基板3の内締部における樹脂2が固着してな
い部分の下方に配=された中心軸7を、5 kg/c%
の力(中心軸6の押し下げ力より大きな力)で上に押し
上げ、その部分を上昇させる事により、基板3に固着形
成された樹脂2をスタンバ−1から離型して、光学的記
録媒体用の基板を製造した(第3図)。
実施例2
実施例1の第1〜第3工程と同様な工程をまず実施した
(第4図)。ただし、中心軸7は、ガス吐出管8と○リ
ング10を設けるためのくぼみとが存在するものを使用
し、中心軸7と担持体4との間及び中心軸6と基板3と
の間に○リング5.10そ用いた。
(第4図)。ただし、中心軸7は、ガス吐出管8と○リ
ング10を設けるためのくぼみとが存在するものを使用
し、中心軸7と担持体4との間及び中心軸6と基板3と
の間に○リング5.10そ用いた。
次に、基板3の内周縁がらのガスもれを防ぐために、○
リング5を中心軸6により押し下げた。
リング5を中心軸6により押し下げた。
この状態で基板3の内締部の樹脂が固着しでない部分を
、中心軸7により押し上げるとともに、ガス吐出管8か
ら0.2pのフィルターを通した4kq/cmの窒素ガ
スを流した。こうすることにより、基板3に固着形成さ
れた樹脂2をスタンバ−1から離型して光学的記録媒体
用の基板を製造した(第5図)。不実施例では、離型が
実施例1よりも、ざらに容易となる効果かある。
、中心軸7により押し上げるとともに、ガス吐出管8か
ら0.2pのフィルターを通した4kq/cmの窒素ガ
スを流した。こうすることにより、基板3に固着形成さ
れた樹脂2をスタンバ−1から離型して光学的記録媒体
用の基板を製造した(第5図)。不実施例では、離型が
実施例1よりも、ざらに容易となる効果かある。
実施例3
一体化しでいるスタンバ−1、樹脂2及び基板3を、基
板3が下となるように担持体4上に固定した以外は、実
施例1と同様にして光学的記録媒体用の基板を製造した
(第6〜7図)。なお、スタンバ−1と基板3に閉じて
も、それらが中心軸6または7に嵌合するように、内径
のみは実施例1と変えである0本実施例では、スタンバ
−1が押し上げられるので、基板3は決して傷つかない
という効果かある。
板3が下となるように担持体4上に固定した以外は、実
施例1と同様にして光学的記録媒体用の基板を製造した
(第6〜7図)。なお、スタンバ−1と基板3に閉じて
も、それらが中心軸6または7に嵌合するように、内径
のみは実施例1と変えである0本実施例では、スタンバ
−1が押し上げられるので、基板3は決して傷つかない
という効果かある。
実施例4
担持体4上に、一体化しているスタンバ−1、樹脂2及
び基板3そ、基板3か下とするように固定した以外は実
施例2と同様にして光学的記録媒体用の基板を製造した
(第8〜9図)。、はあ、スタンバ−1と基板3の内径
も実施例2と変えである。本実施例では、スタンバ−1
が押し上げられるので、基板3は決して傷つかないとい
う効果と、離型が極めてスムーズであるという効果かあ
る。
び基板3そ、基板3か下とするように固定した以外は実
施例2と同様にして光学的記録媒体用の基板を製造した
(第8〜9図)。、はあ、スタンバ−1と基板3の内径
も実施例2と変えである。本実施例では、スタンバ−1
が押し上げられるので、基板3は決して傷つかないとい
う効果と、離型が極めてスムーズであるという効果かあ
る。
実施例5〜8
基板3またはスタンバ−1の内縁部を押し上げる中心軸
7の上端が傾斜しであり、基板3またはスタンバ−1を
傾斜させて離型する事以外は実施例1〜4の各々と同様
にして光学的記録媒体用の基板を製造した。実施例5.
6.7.8 (順に実施例1.2.3.4の変形例)の
実施過程を、順に第10〜11図、第12〜13図、第
14〜15図、第16〜17図に示す。各実施例では、
離型を徐々に進めることができるので、離型工程の進行
状況をコントロールしやすい。
7の上端が傾斜しであり、基板3またはスタンバ−1を
傾斜させて離型する事以外は実施例1〜4の各々と同様
にして光学的記録媒体用の基板を製造した。実施例5.
6.7.8 (順に実施例1.2.3.4の変形例)の
実施過程を、順に第10〜11図、第12〜13図、第
14〜15図、第16〜17図に示す。各実施例では、
離型を徐々に進めることができるので、離型工程の進行
状況をコントロールしやすい。
本発明は上記各実施例に限らず種々の応用が可能である
0例えば、基板はガラスに限らずポリカーボネイト、ア
クリル、エポキシ樹脂などを、まT:、離型時用のガス
も窒素ガスに限らず空気などを使用可能である。更に、
ガスの圧力や基板または型を押し上げる力は、離型状態
に応じで制御することが可能である。例えば、型と基板
が完全に離型される手前にガス圧力や押し上げ力を下げ
で完全に離型されるときの衝撃を押えることも可能であ
る。
0例えば、基板はガラスに限らずポリカーボネイト、ア
クリル、エポキシ樹脂などを、まT:、離型時用のガス
も窒素ガスに限らず空気などを使用可能である。更に、
ガスの圧力や基板または型を押し上げる力は、離型状態
に応じで制御することが可能である。例えば、型と基板
が完全に離型される手前にガス圧力や押し上げ力を下げ
で完全に離型されるときの衝撃を押えることも可能であ
る。
なお、中心孔のない型を用いるときには、その中心部を
中心軸のような部材で押し上げればよい、また、図中、
中心軸6は基板または型を押さえることができればよく
、離型後、型または基板を取りやすくするために中心軸
6は変形できるものであってもよい。
中心軸のような部材で押し上げればよい、また、図中、
中心軸6は基板または型を押さえることができればよく
、離型後、型または基板を取りやすくするために中心軸
6は変形できるものであってもよい。
(発明の9カ果〕
以上詳細に説明したような、本発明の光学記録媒体用基
板の製造法によれば、従来の真空チャックを利用した方
法よりも離型がスムーズに実施でき、爪を用いる従来法
よりも、明らかに基板が傷つきにくい。加えて、本発明
では、スタンバ−から基板を離型する際、基板の内縁部
の硬化型樹脂がない部分を押し上げればよいので、硬化
型樹脂層にキズやバリを発生させずに離型か出来る上に
、スタンバ−も傷つかす、その寿命も向上する。また、
本発明で、スタンバ−の内縁部を押し上げて離型する場
合も同様に硬化型樹脂層にキズやバリを発生させず離型
てきる。それ故、成形歩留が上昇し、エラーレートの低
い光学的記録媒体用基板の容易な製造が可能となる。ざ
らに、本発明において、基板またはスタンバ−を傾斜さ
せで離型すれば、それらの離型は徐々に進むので、押し
上げる力を制御しやすく基板のスタンバ−にキズをつけ
る事なく容易に光学的記録媒体用基板が製造できる。
板の製造法によれば、従来の真空チャックを利用した方
法よりも離型がスムーズに実施でき、爪を用いる従来法
よりも、明らかに基板が傷つきにくい。加えて、本発明
では、スタンバ−から基板を離型する際、基板の内縁部
の硬化型樹脂がない部分を押し上げればよいので、硬化
型樹脂層にキズやバリを発生させずに離型か出来る上に
、スタンバ−も傷つかす、その寿命も向上する。また、
本発明で、スタンバ−の内縁部を押し上げて離型する場
合も同様に硬化型樹脂層にキズやバリを発生させず離型
てきる。それ故、成形歩留が上昇し、エラーレートの低
い光学的記録媒体用基板の容易な製造が可能となる。ざ
らに、本発明において、基板またはスタンバ−を傾斜さ
せで離型すれば、それらの離型は徐々に進むので、押し
上げる力を制御しやすく基板のスタンバ−にキズをつけ
る事なく容易に光学的記録媒体用基板が製造できる。
第1図はスタンバ−を利用して案内溝を有する基板を製
造する従来の方法の実施工程を示す模式断面図である。 第2〜3図、第4〜5図、第6〜7図、第8〜9図、第
10〜11図、第12〜13図、笥14〜15図、第1
6〜17図は、各々、本発明の方法の実施態様を示す模
式断面図である。 1・・・スタンパ−
造する従来の方法の実施工程を示す模式断面図である。 第2〜3図、第4〜5図、第6〜7図、第8〜9図、第
10〜11図、第12〜13図、笥14〜15図、第1
6〜17図は、各々、本発明の方法の実施態様を示す模
式断面図である。 1・・・スタンパ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)案内溝の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化
性の樹脂と中心孔のある基板とを順次積層し、樹脂を固
化すると共に基板に固着して、案内溝付き光学的記録媒
体用の基板を製造する方法に於いて、樹脂の硬化後に、
基板と型の一方を固定した状態で他方の内周縁付近また
は中心部付近を押し上げることにより、基板に固着形成
した樹脂の層と型とを離型する工程を有することを特徴
とする光学的記録媒体用の基板の製造方法。 2)前記の押し上げを実施するとき同時に、型、樹脂の
層及び基板が構成する密閉空間に、ガスを流す特許請求
の範囲第1項記載の光学的記録媒体用の基板の製造方法
。 3)基板または型を傾斜状態で押し上げる特許請求の範
囲第1項または第2項記載の光学的記録媒体用基板の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27666386A JPS63131352A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光学的記録媒体用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27666386A JPS63131352A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光学的記録媒体用基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63131352A true JPS63131352A (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=17572582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27666386A Pending JPS63131352A (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 | 光学的記録媒体用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63131352A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0355215U (ja) * | 1989-09-30 | 1991-05-28 | ||
JP2003517727A (ja) * | 1999-10-29 | 2003-05-27 | ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | インプリント・リソグラフィのための高精度方向付けアライメントデバイスおよびギャップ制御デバイス |
WO2007108444A1 (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | エネルギ線硬化樹脂射出成形装置および成形品の製造方法 |
JP2008537513A (ja) * | 2005-01-31 | 2008-09-18 | モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド | 基板上に配置された固化層からモールドを分離させる方法 |
JP2009056762A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Toshiba Mach Co Ltd | 離型装置、給排システムおよび離型方法 |
JP2009202440A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Toray Ind Inc | 繊維強化プラスチックの脱型方法、製造方法 |
WO2010143302A1 (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-16 | パイオニア株式会社 | 転写装置及び転写方法 |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP27666386A patent/JPS63131352A/ja active Pending
Cited By (7)
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