JPH0423243A - 光学的情報記録媒体の製造方法 - Google Patents
光学的情報記録媒体の製造方法Info
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- JPH0423243A JPH0423243A JP12840690A JP12840690A JPH0423243A JP H0423243 A JPH0423243 A JP H0423243A JP 12840690 A JP12840690 A JP 12840690A JP 12840690 A JP12840690 A JP 12840690A JP H0423243 A JPH0423243 A JP H0423243A
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Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光ディスク等の光学的情報記録媒体の製造方
法に関し、より詳しくはスタンパからの剥離方法に関す
る。
法に関し、より詳しくはスタンパからの剥離方法に関す
る。
［従来の技術］
光ディスク等の情報記録媒体は、スタンパと呼ばれる金
型表面に形成されたビット、グループ等の凹凸を樹脂板
に複製することにより作製される。この複製方法の１つ
に感光性樹脂法があり、これは第２図（ａ）〜（ｅ）に
示すようにスタンパ５の表面に感光性樹脂６を滴下し、
透明基板７を押し当てて１０〜数１００μｍの厚さに引
き伸ばした後、紫外線を当てて感光性樹脂６を硬化させ
、最後にスタンパ５より剥離することにより光ディスク
８を作製する方法である。ここで、スタンパ５からディ
スク８を剥離する際、従来は第２図（ｄ）に示すように
ディスク８の端をスタンパ５の面に対し垂直方向に引張
ることにより、剥離していた。
型表面に形成されたビット、グループ等の凹凸を樹脂板
に複製することにより作製される。この複製方法の１つ
に感光性樹脂法があり、これは第２図（ａ）〜（ｅ）に
示すようにスタンパ５の表面に感光性樹脂６を滴下し、
透明基板７を押し当てて１０〜数１００μｍの厚さに引
き伸ばした後、紫外線を当てて感光性樹脂６を硬化させ
、最後にスタンパ５より剥離することにより光ディスク
８を作製する方法である。ここで、スタンパ５からディ
スク８を剥離する際、従来は第２図（ｄ）に示すように
ディスク８の端をスタンパ５の面に対し垂直方向に引張
ることにより、剥離していた。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、第２図（ｄ）に示した方法で剥離すると、ビ
ット、グループ等が深く、また急峻な場合には、ディス
ク８を剥離する際に起こるディスク８の応力の開放によ
り、ディスク８を剥離し始めた方向、即ち、外周側にデ
ィスク８が伸びるので、スタンバ５のビットとディスク
８のビット１０が再接触してビットの変形を生じ、複製
したディスクの歩留まりが悪いという問題があった。
ット、グループ等が深く、また急峻な場合には、ディス
ク８を剥離する際に起こるディスク８の応力の開放によ
り、ディスク８を剥離し始めた方向、即ち、外周側にデ
ィスク８が伸びるので、スタンバ５のビットとディスク
８のビット１０が再接触してビットの変形を生じ、複製
したディスクの歩留まりが悪いという問題があった。
本発明は上記の点を解決しようとするもので、その目的
はスタンバからディスクを剥離する際に、ディスクの応
力開放による伸びを防止することによって、ビット等の
変形のないディスクを製造することにある。
はスタンバからディスクを剥離する際に、ディスクの応
力開放による伸びを防止することによって、ビット等の
変形のないディスクを製造することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は、光学的情報記録媒体の製造方法において、感
光性樹脂を硬化後、情報記録媒体をスタンバから剥離す
る際に、該情報記録媒体の裏面全面を平面なディスク保
持盤に吸着させ剥離することを特徴とする光学的情報記
録媒体の製造方法、および、該情報記録媒体を冷却させ
剥離することを特徴とする光学的情報記録媒体の製造方
法に関する。
光性樹脂を硬化後、情報記録媒体をスタンバから剥離す
る際に、該情報記録媒体の裏面全面を平面なディスク保
持盤に吸着させ剥離することを特徴とする光学的情報記
録媒体の製造方法、および、該情報記録媒体を冷却させ
剥離することを特徴とする光学的情報記録媒体の製造方
法に関する。
［作用］
スタンバからディスクを剥離する際、ディスクを冷却さ
せてディスクを収縮させ、ディスクの内部応力を緩和す
る。また同時に、ディスク裏面全面に平面なディスク保
持盤を吸着させることにより、スタンバからの剥離時の
応力の開放によるディスクの伸びを抑え、またディスク
を平面に保持したまま剥離できる。
せてディスクを収縮させ、ディスクの内部応力を緩和す
る。また同時に、ディスク裏面全面に平面なディスク保
持盤を吸着させることにより、スタンバからの剥離時の
応力の開放によるディスクの伸びを抑え、またディスク
を平面に保持したまま剥離できる。
以上の剥離方法によりビット、グループ等の変形がな（
、ディスクを製造することができる。
、ディスクを製造することができる。
［実施例］
次に、本発明を実施例に基づいて説明する。まずスタン
バ表面に感光性樹脂を滴下し、基板を押し当てて引き伸
ばした後、紫外線照射を行ない感光性樹脂を硬化させた
。次にスタンバとディスクを別々に保持させる。この時
、第１図に示すように冷却手段を有する平面なディスク
保持盤４をディスク３の裏面全面に吸着させる。このデ
ィスク保持盤４はテフロン等のディスク３の裏面に傷を
つけない樹脂製であり、またその表面に真空吸引溝を有
し、ディスク３の裏面を吸着させる。またディスク保持
盤４は、その内部に冷却のための冷却水導入路２を有し
、吸着したディスクを冷却するもので、ディスク３を収
縮させて内部応力を緩和する。ディスク３の冷却は、ス
タンバ１からの剥離直前もしくは剥離中が良い。
バ表面に感光性樹脂を滴下し、基板を押し当てて引き伸
ばした後、紫外線照射を行ない感光性樹脂を硬化させた
。次にスタンバとディスクを別々に保持させる。この時
、第１図に示すように冷却手段を有する平面なディスク
保持盤４をディスク３の裏面全面に吸着させる。このデ
ィスク保持盤４はテフロン等のディスク３の裏面に傷を
つけない樹脂製であり、またその表面に真空吸引溝を有
し、ディスク３の裏面を吸着させる。またディスク保持
盤４は、その内部に冷却のための冷却水導入路２を有し
、吸着したディスクを冷却するもので、ディスク３を収
縮させて内部応力を緩和する。ディスク３の冷却は、ス
タンバ１からの剥離直前もしくは剥離中が良い。
このディスク保持盤４によって、ディスク３は冷却され
、かつ平面に保持される。このディスク保持盤４の一端
を矢印の方向に持ち上げることにより、応力開放による
ビット、グループ等の変形がなく、スタンバ１からディ
スク３を剥離できる。
、かつ平面に保持される。このディスク保持盤４の一端
を矢印の方向に持ち上げることにより、応力開放による
ビット、グループ等の変形がなく、スタンバ１からディ
スク３を剥離できる。
なお１本実施例では、ディスク保持盤４自身が冷却手段
を有するものであったが、ディスク３の平面保持手段と
冷却手段が別であっても良い。
を有するものであったが、ディスク３の平面保持手段と
冷却手段が別であっても良い。
［発明の効果］
以上の説明で明らかなように、本発明の光学的情報記録
媒体の製造方法によれば、ビット、グループ等の変形が
な（、ディスクをスタンバより剥離でき、歩留まりが向
上する。
媒体の製造方法によれば、ビット、グループ等の変形が
な（、ディスクをスタンバより剥離でき、歩留まりが向
上する。
第１図は本発明の一実施例のスタンバからのディスクの
剥離状態を示す斜視図、第２図（ａ）〜（ｅ）は従来の
ディスクの製造方法を示す断面図、第３図は従来のスタ
ンバからのディスクの剥離状態を示す断面図である。 １・・・スタンバ、 ２ ３・ 冷却水導入路、４ ５・・・スタンバ、 ６ ７ ・・透明基板、 ８・ ９ ・ ビット、 １０ ディスク、 ディスク保持盤、 感光性樹脂、 ディスク、 ビットの変形
剥離状態を示す斜視図、第２図（ａ）〜（ｅ）は従来の
ディスクの製造方法を示す断面図、第３図は従来のスタ
ンバからのディスクの剥離状態を示す断面図である。 １・・・スタンバ、 ２ ３・ 冷却水導入路、４ ５・・・スタンバ、 ６ ７ ・・透明基板、 ８・ ９ ・ ビット、 １０ ディスク、 ディスク保持盤、 感光性樹脂、 ディスク、 ビットの変形
Claims (2)
- （１）光学的情報記録媒体の製造方法において、感光性
樹脂を硬化後、情報記録媒体をスタンパから剥離する際
に、該情報記録媒体の裏面全面を平面なディスク保持盤
にて吸着させ剥離することを特徴とする光学的情報記録
媒体の製造方法。 - （２）光学的情報記録媒体の製造方法において、感光性
樹脂を硬化後、情報記録媒体をスタンパから剥離する際
に、該情報記録媒体を冷却させ剥離することを特徴とす
る光学的情報記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840690A JPH0423243A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840690A JPH0423243A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0423243A true JPH0423243A (ja) | 1992-01-27 |
Family
ID=14984000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12840690A Pending JPH0423243A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0423243A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999024258A1 (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-20 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6254809B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-07-03 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| EP1164009A2 (en) * | 1997-11-12 | 2001-12-19 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| JP2003517727A (ja) * | 1999-10-29 | 2003-05-27 | ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | インプリント・リソグラフィのための高精度方向付けアライメントデバイスおよびギャップ制御デバイス |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP12840690A patent/JPH0423243A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999024258A1 (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-20 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| EP1164009A2 (en) * | 1997-11-12 | 2001-12-19 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| EP1164009A3 (en) * | 1997-11-12 | 2005-01-26 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6254809B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-07-03 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6511616B1 (en) | 1998-05-19 | 2003-01-28 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| JP2003517727A (ja) * | 1999-10-29 | 2003-05-27 | ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム | インプリント・リソグラフィのための高精度方向付けアライメントデバイスおよびギャップ制御デバイス |
| JP2011029641A (ja) * | 1999-10-29 | 2011-02-10 | Board Of Regents The Univ Of Texas System | インプリントリソグラフィ |
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