JPS63281239A - 情報記録原盤 - Google Patents
情報記録原盤Info
- Publication number
- JPS63281239A JPS63281239A JP11469287A JP11469287A JPS63281239A JP S63281239 A JPS63281239 A JP S63281239A JP 11469287 A JP11469287 A JP 11469287A JP 11469287 A JP11469287 A JP 11469287A JP S63281239 A JPS63281239 A JP S63281239A
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- Japan
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- information recording
- recording master
- master disk
- disk
- pits
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学的に情報を記録・再生するディスクメモ
リーシステムに使用される情報記録原盤に関する。
リーシステムに使用される情報記録原盤に関する。
従来レプリカディスクの形成は、特開昭58−5063
5号に記載のように、基板上のホトレジストにピットま
たは案内溝の凹凸を形成した情報記録原盤にNiめつき
を施し、剥離してスタンバ−とした後、これを用いてイ
ンジェクション法、ホトポリマー法、ホトキャスト法に
よって行なっていた。
5号に記載のように、基板上のホトレジストにピットま
たは案内溝の凹凸を形成した情報記録原盤にNiめつき
を施し、剥離してスタンバ−とした後、これを用いてイ
ンジェクション法、ホトポリマー法、ホトキャスト法に
よって行なっていた。
近年、情報の転送速度の増加に伴い、装置のディスク回
転数が高くなっている。このような場合には、レプリカ
ディスクは、高速回転における耐破壊性が必要である。
転数が高くなっている。このような場合には、レプリカ
ディスクは、高速回転における耐破壊性が必要である。
従来は、このレプリカディスクにプラスチック基板やガ
ラス基板が使われていたが、その耐破壊性はAΩやCu
等の金属基板に優るものではない、上記従来技術のうち
、とくにホトポリマー法やホトキャスト法において、金
属基板を用いると、紫外線が透過しないので紫外線硬化
樹脂が硬化せず、したがって、これらの方法により、金
属基板にピットや案内溝等の凹凸が形成できない問題が
あった。
ラス基板が使われていたが、その耐破壊性はAΩやCu
等の金属基板に優るものではない、上記従来技術のうち
、とくにホトポリマー法やホトキャスト法において、金
属基板を用いると、紫外線が透過しないので紫外線硬化
樹脂が硬化せず、したがって、これらの方法により、金
属基板にピットや案内溝等の凹凸が形成できない問題が
あった。
本発明の目的は、基板が金属等の不透明なものであって
も、上記ホトポリマー法やホトキャスト法等によりピッ
トや案内溝を形成できる手法を提供することにある。
も、上記ホトポリマー法やホトキャスト法等によりピッ
トや案内溝を形成できる手法を提供することにある。
上記目的は、紫外線を透過する材料で上記情報記録原盤
作製することにより達成される。
作製することにより達成される。
情報記録原盤を紫外線を透過する材料で作製すると、紫
外線を上記原盤側から照射できるので、ホトポリマー法
において基板が金属等の不透明材料であっても紫外線硬
化樹脂を硬化させることができる。
外線を上記原盤側から照射できるので、ホトポリマー法
において基板が金属等の不透明材料であっても紫外線硬
化樹脂を硬化させることができる。
また、ホトキャスト法による場合には、紫外線硬化樹脂
の両面から紫外線を照射できる。
の両面から紫外線を照射できる。
以下1本発明の一実施例を第1図から第5図により説明
する。
する。
第1図において、1は精度よく研磨された原盤用ガラス
基板、2はホトレジスト層であり、アルゴンレーザ光を
開口数の大きなレンズでガラス基板1上に集束させ、光
変調器で光を断続させて情報を記録・現像し、ピットや
案内溝3を形成させたものである。ホトレジスト2は、
シラプレー社のAZ1350を使用した。これをエツチ
ングした後の状態を第2図に示す、エツチングは、ウェ
ットとドライのどちらでもよい。4は、エツチングによ
り形成されたピットと案内溝である。第3図は、ホトレ
ジストを除去して形成した情報記録原盤6を示すもので
ある。5は、レプリカに転写する目的のピットと案内溝
である。深さは、例えばピットが約140nm、案内溝
が約70nmである。
基板、2はホトレジスト層であり、アルゴンレーザ光を
開口数の大きなレンズでガラス基板1上に集束させ、光
変調器で光を断続させて情報を記録・現像し、ピットや
案内溝3を形成させたものである。ホトレジスト2は、
シラプレー社のAZ1350を使用した。これをエツチ
ングした後の状態を第2図に示す、エツチングは、ウェ
ットとドライのどちらでもよい。4は、エツチングによ
り形成されたピットと案内溝である。第3図は、ホトレ
ジストを除去して形成した情報記録原盤6を示すもので
ある。5は、レプリカに転写する目的のピットと案内溝
である。深さは、例えばピットが約140nm、案内溝
が約70nmである。
こうして形成された情報記録原盤を用いたレプリカディ
スクの作製法は次の通りである。第4図は、ホトポリマ
ー法における金属基板への転写を示す、情報記録原盤6
上に紫外線硬化樹脂7を形成し、さらに金属基板8を形
成する。そして、情報記録原盤6側から紫外線9を照射
する。情報記録原盤6は、例えば石英ガラス基板である
ので。
スクの作製法は次の通りである。第4図は、ホトポリマ
ー法における金属基板への転写を示す、情報記録原盤6
上に紫外線硬化樹脂7を形成し、さらに金属基板8を形
成する。そして、情報記録原盤6側から紫外線9を照射
する。情報記録原盤6は、例えば石英ガラス基板である
ので。
紫外線9を透過する。したがって紫外線9は、紫外線硬
化樹脂7に達することが可能となる。紫外線9を照射さ
れた紫外線硬化樹脂7は、硬化し。
化樹脂7に達することが可能となる。紫外線9を照射さ
れた紫外線硬化樹脂7は、硬化し。
その際に、情報記録原盤6のピットや案内溝5が形成さ
れ、また金属基板8と接着する。第5図は、情報記録原
盤6から剥離して、完成した金属基板によるレプリカデ
ィスクを示すものである。
れ、また金属基板8と接着する。第5図は、情報記録原
盤6から剥離して、完成した金属基板によるレプリカデ
ィスクを示すものである。
レプリカディスクの金属基板8は、AQ、Cu。
Fe、セラミック等である。情報記録原盤のガラス基板
1は、紫外線を透過するものであり、特に石英ガラスが
よい、紫外線硬化樹脂7は、波長が300nm〜400
nmが最つとも吸収が大きいので、ガラス基板1は、こ
の波長を透過するものであればよい、透過率は、50%
以上、好ましくは70%以上がよい。
1は、紫外線を透過するものであり、特に石英ガラスが
よい、紫外線硬化樹脂7は、波長が300nm〜400
nmが最つとも吸収が大きいので、ガラス基板1は、こ
の波長を透過するものであればよい、透過率は、50%
以上、好ましくは70%以上がよい。
本発明はホトキャスト法にも利用することができ、る、
従来、ホトキャスト法のレプリカディスクは、Niめつ
き膜に紫外線硬化樹脂をのせ、さらにその上に石英板を
置き、石英板とNiめつき膜の間隔が所定の厚さく例え
ば1.2nm)になるように調整した後1石英板側から
紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化していた。この
方法では、紫外線硬化樹脂の紫外線の吸収が大きいため
、厚さ方向に対する紫外線の吸収が一様でなくなり、硬
化が均一でなかった。本発明を利用した場合、紫外線硬
化樹脂に対して情報記録原盤側からも照射が同時に行え
るので、紫外線の吸収が一様になり、硬化が均一になり
1品質が向上するという効果もある。
従来、ホトキャスト法のレプリカディスクは、Niめつ
き膜に紫外線硬化樹脂をのせ、さらにその上に石英板を
置き、石英板とNiめつき膜の間隔が所定の厚さく例え
ば1.2nm)になるように調整した後1石英板側から
紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化していた。この
方法では、紫外線硬化樹脂の紫外線の吸収が大きいため
、厚さ方向に対する紫外線の吸収が一様でなくなり、硬
化が均一でなかった。本発明を利用した場合、紫外線硬
化樹脂に対して情報記録原盤側からも照射が同時に行え
るので、紫外線の吸収が一様になり、硬化が均一になり
1品質が向上するという効果もある。
本発明によれば、紫外線を透過する情報記録原盤を得る
ことができる。これにより、不透明基板を用いたレプリ
カディスクにピットや案内溝等の凹凸を形成することが
でき、高い耐破壊性をもつレプリカディスクが得られる
という効果がある。
ことができる。これにより、不透明基板を用いたレプリ
カディスクにピットや案内溝等の凹凸を形成することが
でき、高い耐破壊性をもつレプリカディスクが得られる
という効果がある。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例における情報記
録原盤の作成プロセスを示す図、第4図および第5図は
、本発明を利用したレプリカディスクの作成方法の一例
を示す図である。 1・・・ガラス基板、2・・・ホトレジスト、4,5・
・・エツチングにより形成されたピットまたは案内溝、
6・・・エツチング後のガラス基板、7・・・紫外線硬
化樹脂、8・・・不透明基板、9・・・紫外線。 第 1 図 第 Z 図 り エ・す千ジグLzJI)肴1へされT;ビ・1ト
ス11楽内11 第3図 茅 + 図 γ ビ1ミダトf七泉
録原盤の作成プロセスを示す図、第4図および第5図は
、本発明を利用したレプリカディスクの作成方法の一例
を示す図である。 1・・・ガラス基板、2・・・ホトレジスト、4,5・
・・エツチングにより形成されたピットまたは案内溝、
6・・・エツチング後のガラス基板、7・・・紫外線硬
化樹脂、8・・・不透明基板、9・・・紫外線。 第 1 図 第 Z 図 り エ・す千ジグLzJI)肴1へされT;ビ・1ト
ス11楽内11 第3図 茅 + 図 γ ビ1ミダトf七泉
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ピットあるいは案内溝等の凹凸が形成された情報記
録原盤において、上記情報記録原盤が紫外線透過性であ
ることを特徴とする情報記録原盤。 2、上記情報記録原盤がガラス製であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の情報記録原盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11469287A JPS63281239A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 情報記録原盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11469287A JPS63281239A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 情報記録原盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63281239A true JPS63281239A (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=14644244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11469287A Pending JPS63281239A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 情報記録原盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63281239A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5347510A (en) * | 1992-01-21 | 1994-09-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a master plate where its guide groove has an inclined angle |
US5761696A (en) * | 1996-04-02 | 1998-06-02 | International Business Machines Corporation | Parallel database serving mechanism for a single-level-store computer system |
WO2008111387A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Konica Minolta Opto, Inc. | 記録媒体用基板、及び記録媒体用基板の製造方法 |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP11469287A patent/JPS63281239A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5347510A (en) * | 1992-01-21 | 1994-09-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a master plate where its guide groove has an inclined angle |
US5761696A (en) * | 1996-04-02 | 1998-06-02 | International Business Machines Corporation | Parallel database serving mechanism for a single-level-store computer system |
WO2008111387A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Konica Minolta Opto, Inc. | 記録媒体用基板、及び記録媒体用基板の製造方法 |
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