JPS61214249A - 光デイスク用レプリカの作製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は光ディスク用レプリカの作製方法に係り、特に
金属基板を有する光ディスクに好適なレプリカの作製方
法に関するものである。

〔発明の背景〕

従来の光ディスク用レプリカ作製の代表例としては、コ
ンパクトディスク（ＣＤ）製造に使用されるインジェク
ションといわれるもの、あるいはホトポリマー（Ｐｈｏ
ｔｏ　Ｐｏｌｙｍｅｒ、　２　Ｐ　）を用いた方法など
がある。例えば、特開昭５５−４７９３号参照。この方
法は、光学的に不透明なＮｉ金属の表面に凹凸の信号を
持つ母型を使用している為に、金属基板付きレプリカを
作製することは、本質的に不可能であった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上述の従来例ではできなかった、金属
を基板とする光ディスクの表面に、案内溝あるいはプリ
フォーマットされた信号を容易に形成することができる
レプリカ作製方法を提供することにある。

〔発明の概要〕

かかる目的を達成するため、本発明においては、パター
ン付き原盤から、金属製スタンパを作り。

これから樹脂製母型を作った後、これを第２のスタンパ
として金属を基板とするレプリカを、２Ｐ法によって作
るものであり、第２スタンパとじてキャスティングある
いはインジェクション等によリ一体成形された透明な樹
脂を使用しており、これを通してレプリカ用の紫外線硬
化樹脂を固化することができるものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の一実施例を第１図により説明する。同図
（イ）は、ガラス基板１に、フォトレジスト２をコーテ
ィングした後、光照射により所定の信号（案内溝及びプ
リフォーマット信号）を記録し、現像を行ない、記録信
号に従った凹凸２−１を形成し原盤１０とする。その後
、フォトレジスト２の上に導電性薄膜３を蒸着、スパッ
タ、コーティングなどの方法で形成した後、（ロ）に示
す様にＮｉなどの金属４をメッキ手法により付着させた
後、原盤を引き剥がすと、マスター金型２０ができあが
る。この金型２０からインジェクションあるいはキャス
ティングなどの手法により（ハ）に示すレプリカ５を得
る。本発明においては、このレプリカ５をスタンパとし
てさらにレプリカを作るものであり、同図（ニ）におい
て、金属基板６の上に紫外線硬化樹脂７を塗布し、その
上に先はどのレプリカスタンパ５を押し当て、紫外光８
を照射して、樹脂７を硬化した後スタンパ５から引き剥
がすと、金属基板６上に凹凸の信号パターンを持つレプ
リカ３０を容易に作製できる。

以上説明した方法においては原盤１０の凹凸パターンと
、最終的なレプリカ３０の凹凸は反転したものとなって
いる。これを避けるにはつどの方法がある。

先のマスター金型２０から、その反転金型であるマザー
金型を作り、これからレプリカスタンパ。

金属基板レプリカと作製することにより、凹凸の反転は
解消される。

ここでレプリカスタンパの表面に離型剤、例えば、フッ
素を含むシランカップリング剤などを、あらかじめコー
ティングしておくと、レプリカ作製の時スタンバからの
剥離が容易に行なえる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、透明なレプリカをスタンパとして利用
するため二金属を基板としてレプリカを作製することが
でき、しかも、機能的に強いレプリカができ、高速回転
できる光ディスクを作製する上で効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光ディスク用レプリカの作製の一例を
示す工程図である。 １・・・ガラス基板、２・・・フォトレジスト、５・・
・レプリカスタンパ、６・・・金属基板、７・・・紫外
線硬化樹脂。 代理人　弁理士　小　川　ａ　男へ 零　ノ図 ■　８　　計−４

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ガラス基板に光感光剤を塗布し、該光感光剤にレー
   ザを照射しその表面に凹凸を形成して原盤とし、該原盤
   から金属母型を製作し、この母型から樹脂製レプリカを
   作製する方法において、上記レプリカを第２の母型とし
   て、金属基板上に光硬化樹脂を塗布し、その上に上記第
   ２の母型を押し当て、上記光硬化樹脂を硬化後、母型か
   ら剥離してレプリカを作製することを特徴とする光ディ
   スク用レプリカの作製方法。