JPS62145553A - プレグル−ブ付き光デイスク用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は透過型および反射型プレグルーブ付ディスク用
基板の製造方法に関するものである。

更に詳しくはガラス−クロムよりなるプレグルーブ付き
原盤をそのままスタンパとして用いて２Ｐ法により従来
者えられなかった紫外光線の透過性の悪い基板にプレグ
ルーブを形成させる方法に関するものである。

〔従来技術〕

従来２Ｐ法によりプラスチック又はガラス基板上にプレ
グルーブを形成する場合に用いられるスタンパはＮｉ電
鋳法により作製されるＮｉスタンパが種として用いられ
てきた。又これらのＮ１電鋳スタンパを作るのにガラス
−クロムよりなるプレグルーブ付き原盤上にＮｉ電鋳を
施している。

しかし、これらのＮｉスタンパは光に関し非透過性であ
るため、基板側から紫外光を照射せざるを得ず、アルミ
ニウム基板もしくは紫外線透過率の小さいプラスチック
基板については２Ｐ法を適応することは全く不可能であ
った。これらの紫外線透過率の悪いプラスチック基板に
は機会特性に優れ、しかも耐熱性、寸法安定性に優れて
おり光ディスク用基板としての特性に適したものが多く
あるにもかかわらず２Ｐ法によるプレグルーブ形成に不
適のため光ディスクとして用いられることがなかった。

また、これらの紫外線透過率を有ざないものや、殆どな
いもの等に２Ｐ法を適応すべく種々のスタンパについて
検討がなされはじめているが、プレグルーブが容易に形
成でき、しかもプレグルーブの転写性の良いものは未だ
用いられていない。

〔発明の目的〕

本発明は従来不可能であった紫外線光透過性のないもの
又は殆どない基板に容易にプレグルーブを形成せしめる
方法を種々検討した結果容易に、しかも非常に精度良く
作製できるガラス−クロムによるプレグルーブ付き原盤
をそのままスタンパとして用い、該スタンパ側より紫外
線を照射することによりプレグルーブ付き光ディスク基
板を得ることが可能であることを見出し本発明を完成す
るに至ったものである。

〔考案の構成〕

本発明はカラス板上にクロムを蒸着し、該クロム上にレ
ジストを施こした後にレーザーカッティング−酸エッチ
ング−プラズマエッチング工程により作製されたカラス
−クロムよりなるプレグルーブ付き原盤をスタンパとし
て用い、プラスチック、カラス又はアルミニウム基板に
２Ｐ法により、プレグルーブ付きスタンパ側より紫外線
光を照射することによりプレグルーブを転写しプレグル
ーブ付き光ディスク基板を製造することにある。

本発明において用いられるガラス−クロムよりなるプレ
グルーブ付きスタンパはガラス板上にクロムを蒸着し、
レジストを施こしレーザーカッティング−エツチングに
よりプレグルーブを形成したものである。

該スタンパはガラス板上に紫外線光に対して不透過であ
るクロムによってプレグルーブを形成させたものでおり
、従来この様なスタンパをスタンパ側より紫外線を照射
する２Ｐ法に適応するということは全く考えられ得なか
ったが、本発明者らはガラス板上のクロム膜にレジスト
を施こしレーザーカッティング−酸エッチング−プラズ
マエッチングによって、クロムによるプレグルーブを形
成させることにより、プレグルーブの形状が非常に精密
に形成でき、しかもプレグルーブの山と谷の部分におい
て、ガラス板側に対して谷となっている部分は、クロム
層が付着されておらず充分紫外光線を通過させ１ｑるこ
とを見出してスタンパとして充分活用できることに着目
して本発明をなしたものである。

尚カラス板側に対して山となる部分は紫外線を透過しな
いが、谷となっている部分を透過した紫外、線光が、光
の回折により２Ｐ法用の紫外線硬化型樹脂を硬化させる
のに充分なエネルギーを与える。

本発明において用いられる基板は従来より知られたディ
スク基板としては例えば、ポリカーボネートポリメチル
メタクリレートエポキシ樹脂等に適用されるが反射型デ
ィスク用として用いられるアルミニウム基板にも適用さ
れる。ざらには、従来利用されなかった紫外線に対し不
透明なプラスチック材＊」についても適用できその意義
は大きいといえる。２Ｐ法で用いる紫外線硬化樹脂は公
知のものの組み合わせが適用される、基板に関しては密
着性改良のためシランカップリング処理、ホーニング等
表面処理が適宜利用される。次に本発明による２Ｐ法の
工程について説明する。基板上に紫外線硬化樹脂を流延
させる次にスタンパ側より紫外線を照射する事により樹
脂層を硬化させる。

クロムでマスクされた部分は透明部分からの光の回り込
みにより充分硬化可能である。以下実施例にて具体的に
説明する。用いられる材料は一例であり何ら制限される
ものではない。

実施例１ 乾式ホーニングにて最大面粗ざｐｍａｘ＜　０．１Ｍに
粗化されたアルミニウム基板にシランカップリング剤と
してγ−アクリロキシプロピルトリスメトキシシラン／
エタノール−８／１（重量化）を用いデツピング法にて
均一塗布し、１００°Ｃ１時間乾燥せしめた。該基板に
両面又は片面に次の処方からなる紫外線硬化樹脂を調整
し、塗布する。

処方 ２−ヒドロキシブチルアクリレート　　２０次にガラス
板上にクロム薄膜をスパッタリング法により０．５μｍ
厚に形成し、更にこの上にノボラックキノンジアシド系
レジストを１μｍ厚に施し、レーザーカッティングによ
りグループを形成させた後、塩酸エツチングによりカッ
ティングされた部分のクロムを除去する。更に後プラズ
マエツチングにより残存するレジストを除去し、ガラス
−クロムからなるプレグルーブ付き原盤を得、これをス
タンパとして両側または片側より圧締し、樹脂を流延さ
せる。次にスタンパ側より紫外線を照射する事により樹
脂層を硬化せしめる。脱型後アルミニウム基板上に両面
または片面にプレグルー１が形成された反射型アルミニ
ウム基板が得られた。グループは溝形状転写率、トラッ
ク中等良好な基板であった。

実施例２ 射出成形によって得られた紫外線透過率の悪いポリエー
テルイミド基板を用い実施例１と同様にディスク上にプ
レグルーブが形成された基板を１ｑだ。溝形状はすべて
良好であった。

以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガラス板上にクロムを蒸着し、該クロム上にレジストを
   塗布した後にレーザーカッティング−酸エッチング−プ
   ラズマエッチング工程により作製されたガラス−クロム
   よりなるプレグルーブ付き原盤をスタンパとして用い、
   プラスチック、ガラス又はアルミニウム基板に２Ｐ（Ｐ
   ｈｏｔｏ−Ｐｏｌｙｍｅｒ）法により、プレグルーブ付
   きスタンパ側より紫外線を照射しプレグルーブを転写形
   成することを特徴とするプレグルーブ付き光ディスク用
   基板の製造方法。