JPS62117154A - レプリカの転写・剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の、？￥綱な説明 技術分野 本発明は、光ディスク、光磁気ディスク等の樹脂ディス
ク（レプリカ）成形用に供されるレプリカの転写・剥離
装置に関する。

従来技術 近年、同心円又はスパイラル状の信号ビット溝による情
報記録構造を持つ光ディスクの複製技術としては、射出
成形による転写法に代わる方式として次のようなものが
ある。これは、スタンパのスタンパ面と透明樹脂板との
間に紫外線硬化型の感光性液状樹脂を充填した後で、加
圧して薄層化し、紫外線を照射して液状樹脂を硬化させ
てスタンパ面のレーザー光再生用微小溝（信号ビット溝
）の形状を転写し、透明樹脂板をスタンパから剥離して
レプリカを形成する方式である。この方式によれば、射
出成形による転写方式に比べ、設備が筒便であり、多品
種少欲生産や射出成形用スタンバの品質評価用として有
効に利用できる。

第３図はこのような方式による複製方式を示すものであ
り、外周全体、局部的の何れであっても斜め剥離方式が
一般的である。まず、１はＮｊによるスタンパ（金型）
であり、そのスタンパ面２には微小な信号ビット溝３が
記録されている。この信号ピット溝３はレーザー光再生
用微小溝であり、レーザー露光によるレジストワーキン
グの電鋳転写面として形成されているものである。そし
て、信号ピット溝３の側壁面４はレーザー露光条件によ
って若干傾斜面となっている。又、スタンパ１の裏面は
その平面性を維持するための裏打ち板５により裏打ち補
強されている。

このようなスタンパ１のスタンパ面２に対して紫外線硬
化型の感光性樹脂層６を介在させた透明樹脂板７を密着
させ、紫外線照射により紫外線硬化樹脂層６部分を硬化
させてスタンパ面２の信号ピット溝３形状を転写させた
後、この透明樹脂板７をスタンパ１から斜めに剥離させ
るものである。

これにより、レプリカが形成される。

ところが、この剥離工程において、側壁面４は多少傾斜
しているが、金型の溝形状の微妙な傾斜の違いがあり、
透明樹脂板７の剥離時に第４図に示すようにこの側壁面
４と紫外線硬化樹脂層６の溝転写突起部８との間で引っ
掛かり抵抗ノＪが作用して、溝転写突起部８の角部にひ
げ状の変形部８ａあるいは欠落部分等の欠陥形状を生ず
る。このようなひげ状の変形部８ａが生じたレプリカを
用いてレーザー光で再生を行なうと、Ｓ／Ｎ比の低下や
ドロップアウトの原因となって、誤信号発生の原因とな
る。

目的 本発明は、このような点に鑑みなされたもので、紫外線
硬化型の感光性樹脂層に信号ビット溝形状を転写した後
剥離する際にひげ状の変形部等を生じさせることなく剥
離を容易に行なう二とができるレプリカの転写・剥離装
置を得ることを目的とする。

構成 本発明は、上記目的を達成するため、凹凸状の信号ピッ
ト溝を有するスタンパと透明樹脂板との間に紫外線硬化
型の感光性樹脂層を介在させ前記透明樹脂板側から紫外
線を照射し前記信号ピット溝を転写し、硬化した前記感
光性樹脂層をスタンパから剥離させるようにしたレプリ
カの転写・剥離装置において、前記スタンパの裏面を裏
打ち補強する裏打ち板とこのスタンパとの間に電歪振動
子を設け、これらの電歪振動子と裏打ち板とを備えたス
タンパ及び感光性樹脂層を備えた前記透明樹脂板を急速
冷却する室を有するチャンバー内に位置させて設けたこ
とを特徴とするものである。

以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。まず、同心円状又はスパイラル状の信号ピッ
ト溝１０が形成されたＮｉによるスタンパ１１が設けら
れている。、このようなスタンパ１１の裏面にはスタン
パ１１の平面性を維持するための裏打ち板１２が設けら
才ｔて固定台１３上に固定されている。ここで、この人
タンパ１１と裏打ち板１２との間には電歪振動子１４が
介在されている。そして、スタンパ１１と電歪振動子１
４との間及び電歪振動子１４と裏打ち板１２との間には
各々接合層１５．１６が設けられている。

これらの接合層１５．１６としては、十分に剛性を有し
、かつ、熱膨張係数の小さい接着剤、例えば金属粉末混
合方式のものが好ましい。ここで、前記接合層１６上に
は前記電歪振動子１４に直流電圧を印加するための電極
板１７が設けられている。又、電歪振動子１４の外周に
は接地用の電極板１８がリング状に密着取付けされてい
る。更に、ｔ」１４記スタンバ１」上には紫外線照射に
より硬化する感光性樹脂層】９が前記信号ピット溝１０
の転写材として一体化されたアクリル等の透明面ｎ）７
板２ｏが密着状態で設けられている。この透明樹脂板２
０は真空吸着盤２１により上から吸着保持され、転写後
に脱着されるものである。これらのスタンパＩＪ−１透
明樹脂板２０等はすべてチャンバー２２内に設置されて
いる。このチャンバー２２は断熱膨張冷却の如く、この
室内を急速に冷却することが可能なものである。

このような構成において、透明樹脂板２０をスタンパ１
１から剥離する際には、第２図に示すような各種剥離力
が作用する。まず、電歪振動子１４に負電圧を印加する
ことにより、この電歪振動子１４が上下方向に振動して
その収縮量が感光性樹脂層１９の界面に作用する。これ
が第２図中にＰ、で示す垂直剥離力である。又、アクリ
ル、ボリカーボ等による感光性樹脂層１９、透明樹脂板
２ｏとＮｉによるスタンパ１１とでは熱収縮量に差があ
り、感光性樹脂層１９、透明樹脂板２０の方が熱収縮量
が大きい。この結果、スタンパ１１、透明樹脂板２０等
をチャンバー２２内に設置して急速冷却する雰す■気と
することにより、信号ビット溝】０の斜面に直角に剥離
力Ｐ２　が作用する。

Ｐ、は真空吸着盤２１の真空吸着力による」二方向への
剥離力である。

ここで、従来にあっては、真空吸着力に基づく力Ｐ、の
みによる剥離が試みられているものであるが、このよう
な面荷重による全面剥離では非常に大きな力を必要とす
ると同時に、各界面、例えばスタンパ１１と感光性樹脂
層１９、感光性樹脂Ｎ１９と透明樹脂板２０の密着力の
バラツキによってはスタンパ１１側に感光性樹脂層１９
が残留して欠陥が発生することもある。しかし、本実施
例方式によれば、真空吸着力に基づく力Ｐ３　を作用さ
せて剥離する際に、電歪振動子１４に基づく剥離力Ｐ、
及び急速冷却雰囲気による剥離力Ｐ２がスタンパ１１と
感光性樹脂層１９との間に作用しているので、スタンパ
１１と感光性樹脂層１９との間の密着力がミクロ的なオ
ーダーで補助的に低下されることになり、垂直剥離に必
要な力Ｐ。

を軽減させてスムースかつ均一に剥離できるものである
。これにより、レプリカにはひげ状突起等の欠陥を生ず
ることがない。又、スタンパ１１に対して無理な剥離応
力を必要としない点からも、複製金型としての耐久性が
向上するものとなる。

効果 本発明は、上述したようにスタンパと裏打ち板との間に
電歪振動子を設けるとともに、これらの部材を急速冷却
可能なチャンバー内に設置したので、電歪振動子の振動
に基づく剥離力と、熱収縮量の差を利用して急速冷却雰
囲気とすることによる剥離力とをスタンパと感光性樹脂
層との間に補助的に作用させることができ、よって、ス
タンパからの感光性樹脂層の剥離に際しての垂直剥離に
必要な力を軽減させることができ、感光性樹脂層の信号
ビット溝対応部分にひげ状突起、欠落部分等の欠陥を生
ずることなく、正常なレプリカを作成できるものである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は各種
剥離力を示す断面図、第３図は従来例を示す剥離状態の
概略断面図、第７１図はその一部を拡大して示す断面図
である。 １０・・・信号ビット溝、１１・・スタンパ、１２・・
・裏打ち板、１４・・・電歪振動子、１９・・感光性樹
脂層、２０・・・透明樹脂板、２２・・チャンバー−実
　１　図 ３３遍 ｕ　５、．１ 一７５ｚ時 Ｊ、Ｕ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 凹凸状の信号ピット溝を有するスタンパと透明樹脂板と
   の間に紫外線硬化型の感光性樹脂層を介在させ前記透明
   樹脂板側から紫外線を照射し前記信号ピット溝を転写し
   、硬化した前記感光性樹脂層をスタンパから剥離させる
   ようにしたレプリカの転写・剥離装置において、前記ス
   タンパの裏面を裏打ち補強する裏打ち板とこのスタンパ
   との間に電歪振動子を設け、これらの電歪振動子と裏打
   ち板とを備えたスタンパ及び感光性樹脂層を備えた前記
   透明樹脂板を急速冷却する室を有するチャンバー内に位
   置させて設けたことを特徴とするレプリカの転写・剥離
   装置。