JPS59114031A - 光デイスク用スタンパの作製方法 - Google Patents
光デイスク用スタンパの作製方法Info
- Publication number
- JPS59114031A JPS59114031A JP22382882A JP22382882A JPS59114031A JP S59114031 A JPS59114031 A JP S59114031A JP 22382882 A JP22382882 A JP 22382882A JP 22382882 A JP22382882 A JP 22382882A JP S59114031 A JPS59114031 A JP S59114031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coated
- resin
- stamper
- metallic layer
- matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/263—Preparing and using a stamper, e.g. pressing or injection molding substrates
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光ディスクの作製方法に関する。
従来、ディスクの作製方法は記録済のフォトレジスト付
ガラス原盤から、メッキ技術によシ作製されたスタンパ
金型を基に、レプリカを作製していた。ところが、メッ
キで作られたスタンパ金型は、平坦性が悪い為にこれか
ら作られたレプリカは厚みムラがあり、回転させた際に
上下振れが大きいものとなる。また、レプリカの作製時
にレプリカ表面に１泡”を生じやすく、その為に信号の
欠落が起こシ、再生信号のドロップアウトとなシレプリ
カの性能劣化の一因となっている。
ガラス原盤から、メッキ技術によシ作製されたスタンパ
金型を基に、レプリカを作製していた。ところが、メッ
キで作られたスタンパ金型は、平坦性が悪い為にこれか
ら作られたレプリカは厚みムラがあり、回転させた際に
上下振れが大きいものとなる。また、レプリカの作製時
にレプリカ表面に１泡”を生じやすく、その為に信号の
欠落が起こシ、再生信号のドロップアウトとなシレプリ
カの性能劣化の一因となっている。
本発明の目的は、かかる欠点を除去する為ディスク複製
時に使用するスタンパ金型を平坦に作る方法を提供する
ことにある。
時に使用するスタンパ金型を平坦に作る方法を提供する
ことにある。
かかる目的を達成するために本発明は、スタンパ金型に
金属の２層構造を作成することを特徴とする。
金属の２層構造を作成することを特徴とする。
本発明に係るスタンパ金型の作製方法を第１図に示す。
まずガラス基板１の上に７オトレジスト２を塗布し、こ
れにレーザ光で所望の信号を記録し、現像して表面が凹
凸になったガラス原盤３を作る。このガラス原盤に、表
面の膨潤や変質を防ぐ為に、第１の金属層４−１、例え
ばＣｒ、ＡＶなどの材料を蒸着する。また、この金属は
、後から塗布する紫外線硬化樹脂の浸透を防止する働き
をも持っている。この上に第２の金属層４−２、例えば
Ａｔなどのはく離しやすい金属を付ける。
れにレーザ光で所望の信号を記録し、現像して表面が凹
凸になったガラス原盤３を作る。このガラス原盤に、表
面の膨潤や変質を防ぐ為に、第１の金属層４−１、例え
ばＣｒ、ＡＶなどの材料を蒸着する。また、この金属は
、後から塗布する紫外線硬化樹脂の浸透を防止する働き
をも持っている。この上に第２の金属層４−２、例えば
Ａｔなどのはく離しやすい金属を付ける。
さらに必要により剥離剤（例えばシリコンオイル、カル
コゲン化物、すなわちＴｅＳｅ、Ｓのうちの少なくとも
御名を含む混合物や化合物等）を蒸着等の方法でコーテ
ィングする。さらに紫外線硬化樹脂（以下ＵＶレジンと
称する）５を塗布し、透明なアクリル板あるいはガラス
板などの基板６を押し付けた後、紫外線を照射し、ＵＶ
レジン５を硬化させる。最後にＡｔ等の金属層４−２と
ＵＶレジン５の境界から剥離させると、原盤のパターン
を基板側に写しとることができる。ただし凹凸は逆とな
る為に、レコードプロセスでいうマスターあるいは、ス
タンパとして用いることができる。
コゲン化物、すなわちＴｅＳｅ、Ｓのうちの少なくとも
御名を含む混合物や化合物等）を蒸着等の方法でコーテ
ィングする。さらに紫外線硬化樹脂（以下ＵＶレジンと
称する）５を塗布し、透明なアクリル板あるいはガラス
板などの基板６を押し付けた後、紫外線を照射し、ＵＶ
レジン５を硬化させる。最後にＡｔ等の金属層４−２と
ＵＶレジン５の境界から剥離させると、原盤のパターン
を基板側に写しとることができる。ただし凹凸は逆とな
る為に、レコードプロセスでいうマスターあるいは、ス
タンパとして用いることができる。
なお剥離する際、剥離剤やＡｔ等の金属も同時にとれて
しまった場合は、あらためてガラス原盤３の全面につけ
直し、その後同様の工程を行うと、再ヒマスターあるい
はスタンパを作ることが可能であシ、この様にしてガラ
ス原盤３の凹凸パターンがこわれるまで何回も使って上
記のスタンパを作ることができる。フォトレジスト層ま
でスタンパ側に移ってしまった場合は溶媒またはアルカ
リでスタンパ上から除去する必要がある。しかし、金属
層や剥離剤は除去しなくても良いが、部分的にスタンパ
側に移った場合はＵＶレジン５以外は取シ去る必要があ
る。
しまった場合は、あらためてガラス原盤３の全面につけ
直し、その後同様の工程を行うと、再ヒマスターあるい
はスタンパを作ることが可能であシ、この様にしてガラ
ス原盤３の凹凸パターンがこわれるまで何回も使って上
記のスタンパを作ることができる。フォトレジスト層ま
でスタンパ側に移ってしまった場合は溶媒またはアルカ
リでスタンパ上から除去する必要がある。しかし、金属
層や剥離剤は除去しなくても良いが、部分的にスタンパ
側に移った場合はＵＶレジン５以外は取シ去る必要があ
る。
次に、出来あがったスタンパに偏心合わせリングを以下
の様に取シ付け、第１図のガラス原盤と置き換えて、同
様な手段で作ったものが、第２図７ に示すレプリカデ
ィスクとして使われる。第２図において、７はアクリル
板あるいはガラス板などの材料を用いた基板であシ、８
は反射膜あるいは記録膜である。ただし剥離剤がスタン
パ表面に移った場合は、金属層と剥離剤層の形成を省略
してもよい。またレプリカを作る際には、偏心を少々く
する為に偏心合わせを行う。
の様に取シ付け、第１図のガラス原盤と置き換えて、同
様な手段で作ったものが、第２図７ に示すレプリカデ
ィスクとして使われる。第２図において、７はアクリル
板あるいはガラス板などの材料を用いた基板であシ、８
は反射膜あるいは記録膜である。ただし剥離剤がスタン
パ表面に移った場合は、金属層と剥離剤層の形成を省略
してもよい。またレプリカを作る際には、偏心を少々く
する為に偏心合わせを行う。
偏心合わせリング（リング）の取シ付は方法を第３図に
示す。まず回転可能なＸＹ移動台９の上にスタンパ１０
をのせ、その上に回転中心軸に密着したリング１１をセ
ットする。拡大モニター１２によりスタンパ上の記録ト
ラックを回転中心に合わせるべ（ＸＹ移動台を調整する
。その後、リングをスタンパに接着する。以後このスタ
ンパにより光ディスク（レプリカ）を作成することによ
シ偏心を無くすことができる。このレプリカには反射膜
あるいは記録膜８が付けられていることによシ、光ディ
スクとして完成し、ディスクの再生装置あるいは記録再
生装置に取シ付けて情報を読み書きすることができる。
示す。まず回転可能なＸＹ移動台９の上にスタンパ１０
をのせ、その上に回転中心軸に密着したリング１１をセ
ットする。拡大モニター１２によりスタンパ上の記録ト
ラックを回転中心に合わせるべ（ＸＹ移動台を調整する
。その後、リングをスタンパに接着する。以後このスタ
ンパにより光ディスク（レプリカ）を作成することによ
シ偏心を無くすことができる。このレプリカには反射膜
あるいは記録膜８が付けられていることによシ、光ディ
スクとして完成し、ディスクの再生装置あるいは記録再
生装置に取シ付けて情報を読み書きすることができる。
以上説明したごとく、本発明はメッキ工程を含まない為
に、平坦性の良いスタンパ゛を、手軽に早く作ることが
でき、さらに、これを用いて作られたレプリカは、平坦
性の良いものとなる。
に、平坦性の良いスタンパ゛を、手軽に早く作ることが
でき、さらに、これを用いて作られたレプリカは、平坦
性の良いものとなる。
第１図は本発明の詳細な説明するための光ディスクの構
成を示す図、第２図は本発明の他の方法を説明するため
の光ディスクの構成を示す図、第３図は光ディスクの偏
心を無くすための装置の概略を示す図である。 １・・・原盤の基板、２・・・フオトレジスｌ’、４．
４−１・・・金属層、５・・・ＵＶレジン、９・・・Ｘ
Ｙステージ、第 １ ７ 罰 ２ 図 第 ３ 図 ２ 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 重松和男 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
成を示す図、第２図は本発明の他の方法を説明するため
の光ディスクの構成を示す図、第３図は光ディスクの偏
心を無くすための装置の概略を示す図である。 １・・・原盤の基板、２・・・フオトレジスｌ’、４．
４−１・・・金属層、５・・・ＵＶレジン、９・・・Ｘ
Ｙステージ、第 １ ７ 罰 ２ 図 第 ３ 図 ２ 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 重松和男 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
Claims (1)
- １、所定基板上のフォトレジスト材に光学的に情報を記
録された原盤と前記原盤に下地金属をコートする工程と
、光硬化性樹脂を塗布する工程と、前記樹脂を硬化する
工程と、硬化した樹脂を原盤からはく離する工程とから
なる光ディス性の良い金属との２層構造となることを特
徴とする請求範囲第１項記載の光デイスク用スタンパの
作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22382882A JPS59114031A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22382882A JPS59114031A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59114031A true JPS59114031A (ja) | 1984-06-30 |
Family
ID=16804349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22382882A Pending JPS59114031A (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 光デイスク用スタンパの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59114031A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62144919A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-29 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | マトリツクス |
| US5266136A (en) * | 1989-12-19 | 1993-11-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing a roll stamper for molding a substrate sheet for information recording mediums |
| US5324188A (en) * | 1989-12-19 | 1994-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Roller stamper for molding a substrate sheet to become an information recording medium |
| EP0608929A1 (en) * | 1993-01-22 | 1994-08-03 | ODME International B.V. | A substrate plate for the manufacture of a mould for the production of optical registration carriers and a method for manufacturing same |
| FR2702076A1 (fr) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Digipress Sa | Procédé de fabrication d'un substrat préformaté, disque optique et disque maître obtenus à partir du substrat préformaté ainsi que matrice de pressage obtenue à partir du disque maître et disque optique obtenu à partir de cette matrice de pressage. |
| US6190838B1 (en) * | 1998-04-06 | 2001-02-20 | Imation Corp. | Process for making multiple data storage disk stampers from one master |
| US6616867B2 (en) | 2001-02-07 | 2003-09-09 | Imation Corp. | Multi-generation stampers |
| US6638692B1 (en) | 2001-07-16 | 2003-10-28 | Imation Corp. | Replicated regions on optical disks |
| US6977052B1 (en) | 2002-01-18 | 2005-12-20 | Imation Corp | Check disk for optical data storage disk manufacturing |
| US7008208B1 (en) | 2002-01-17 | 2006-03-07 | Imation Corp. | Grounded molding tool for manufacture of optical components |
| US7919029B2 (en) * | 2006-12-01 | 2011-04-05 | Seagate Technology Llc | Thermal compensated stampers/imprinters |
-
1982
- 1982-12-22 JP JP22382882A patent/JPS59114031A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62144919A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-29 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | マトリツクス |
| US5266136A (en) * | 1989-12-19 | 1993-11-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing a roll stamper for molding a substrate sheet for information recording mediums |
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| US5516469A (en) * | 1989-12-19 | 1996-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing substrate sheet for information recording mediums |
| EP0608929A1 (en) * | 1993-01-22 | 1994-08-03 | ODME International B.V. | A substrate plate for the manufacture of a mould for the production of optical registration carriers and a method for manufacturing same |
| FR2702076A1 (fr) * | 1993-02-22 | 1994-09-02 | Digipress Sa | Procédé de fabrication d'un substrat préformaté, disque optique et disque maître obtenus à partir du substrat préformaté ainsi que matrice de pressage obtenue à partir du disque maître et disque optique obtenu à partir de cette matrice de pressage. |
| US6190838B1 (en) * | 1998-04-06 | 2001-02-20 | Imation Corp. | Process for making multiple data storage disk stampers from one master |
| US6365329B2 (en) | 1998-04-06 | 2002-04-02 | Imation Corp. | Process for making multiple data storage disk stampers from one master |
| US6616867B2 (en) | 2001-02-07 | 2003-09-09 | Imation Corp. | Multi-generation stampers |
| US6638692B1 (en) | 2001-07-16 | 2003-10-28 | Imation Corp. | Replicated regions on optical disks |
| US7008208B1 (en) | 2002-01-17 | 2006-03-07 | Imation Corp. | Grounded molding tool for manufacture of optical components |
| US6977052B1 (en) | 2002-01-18 | 2005-12-20 | Imation Corp | Check disk for optical data storage disk manufacturing |
| US7919029B2 (en) * | 2006-12-01 | 2011-04-05 | Seagate Technology Llc | Thermal compensated stampers/imprinters |
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