JPH06195763A - 裏打部材付スタンパ及びその製造方法 - Google Patents
裏打部材付スタンパ及びその製造方法Info
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- JPH06195763A JPH06195763A JP35663792A JP35663792A JPH06195763A JP H06195763 A JPH06195763 A JP H06195763A JP 35663792 A JP35663792 A JP 35663792A JP 35663792 A JP35663792 A JP 35663792A JP H06195763 A JPH06195763 A JP H06195763A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 平坦性の優れた裏打ちスタンパを得る。
【構成】 スタンパ１を第１の接着剤２ａを用いて裏打
部材３に接着させるのみならず、裏打部材３のスタンパ
を接着してない側に更に第２の接着剤２ｂを用いて金属
板４を接着して積層構造とした。裏打部材３をはさんで
厚さ方向にほぼ対称的に接着剤と金属板を配置した構造
になっている。
部材３に接着させるのみならず、裏打部材３のスタンパ
を接着してない側に更に第２の接着剤２ｂを用いて金属
板４を接着して積層構造とした。裏打部材３をはさんで
厚さ方向にほぼ対称的に接着剤と金属板を配置した構造
になっている。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、裏打部材付スタンパ及びその製
造方法に関し、より詳細には、接着剤の硬化時に発生す
る歪や、温度変化による材質の違いによる熱膨張率の違
いによって発生する歪等を打ち消し、平坦性の良い裏打
部材付スタンパ及びその製造方法に関する。
造方法に関し、より詳細には、接着剤の硬化時に発生す
る歪や、温度変化による材質の違いによる熱膨張率の違
いによって発生する歪等を打ち消し、平坦性の良い裏打
部材付スタンパ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】本発明に係る従来技術であるスタンパの裏
打ち法についての公知文献としては、以下のものがあ
る。例えば、特開昭６４−４３８２９号公報のものは、
紫外線硬化樹脂を用いてスタンパの案内溝面にガラス板
を担持した後にスタンパ裏面に接着用を用いて裏打ち部
材を接着せしめた後、紫外線硬化樹脂層とスタンパ表面
の間で剥離するものである。また、特開平３−２３０３
３６号公報のものは、剛性平板上に接着剤を介してスタ
ンパ案内溝面を上にして載置し、更に、スタンパ上に紫
外線硬化樹脂透明平板、紫外線硬化樹脂、ガラス板の順
に積層し、接着剤、紫外層硬化樹脂を硬化した後、スタ
ンパと紫外線硬化樹脂間で剥離するものである。さら
に、特開平２−３１２０２４号公報のものは、保護板、
放射線硬化型樹脂層、スタンパ、放射線硬化型接着層、
スタンパ裏打ち部材をこの順で積層し、硬化した後、放
射線硬化型樹脂層とスタンパ間で剥離するものである。
打ち法についての公知文献としては、以下のものがあ
る。例えば、特開昭６４−４３８２９号公報のものは、
紫外線硬化樹脂を用いてスタンパの案内溝面にガラス板
を担持した後にスタンパ裏面に接着用を用いて裏打ち部
材を接着せしめた後、紫外線硬化樹脂層とスタンパ表面
の間で剥離するものである。また、特開平３−２３０３
３６号公報のものは、剛性平板上に接着剤を介してスタ
ンパ案内溝面を上にして載置し、更に、スタンパ上に紫
外線硬化樹脂透明平板、紫外線硬化樹脂、ガラス板の順
に積層し、接着剤、紫外層硬化樹脂を硬化した後、スタ
ンパと紫外線硬化樹脂間で剥離するものである。さら
に、特開平２−３１２０２４号公報のものは、保護板、
放射線硬化型樹脂層、スタンパ、放射線硬化型接着層、
スタンパ裏打ち部材をこの順で積層し、硬化した後、放
射線硬化型樹脂層とスタンパ間で剥離するものである。
【０００３】スタンパを用いてディスクを複製する方法
には、圧縮成形法、射出成形法、射出圧縮成形法、２Ｐ
法（photo polymarization）等各種の方法がある。その
うちの一つである２Ｐ法の原理について、図５（ａ）〜
（ｃ）に基づいて説明する。図５（ａ）に示すように、
スタンパ上に紫外線硬化樹脂をのせ、次に透明プラスチ
ック平板をのせて加圧する。次いで、図５（ｂ）に示す
ように ｍ紫外線を透明プラスチック平板を通して照射
し、紫外線硬化樹脂を硬化した後、図５（ｃ）に示すよ
うに、紫外線硬化樹脂が接着した透明プラスチック基板
をスタンパより剥離することによりディスクが複製され
る。２Ｐ法は、圧縮成形法、射出成形法等と比べて簡単
な設備でディスクの複製が出来るだけでなく、これらの
方法と比べて転写精度の良いディスクが得られるという
特徴がある。特に、高精度なディスクを得るためには上
記説明中のプラスチック平板の代りにガラス板を用いる
が、この場合には、２Ｐ法以外の前述の方法ではディス
ク化することは出来ない。ここで用いられるスタンパは
一般にはガラス板上にフォトレジストを塗布し、必要な
パターンを露光し、現像後、表面を導電化した後、電鋳
を行って作製する。
には、圧縮成形法、射出成形法、射出圧縮成形法、２Ｐ
法（photo polymarization）等各種の方法がある。その
うちの一つである２Ｐ法の原理について、図５（ａ）〜
（ｃ）に基づいて説明する。図５（ａ）に示すように、
スタンパ上に紫外線硬化樹脂をのせ、次に透明プラスチ
ック平板をのせて加圧する。次いで、図５（ｂ）に示す
ように ｍ紫外線を透明プラスチック平板を通して照射
し、紫外線硬化樹脂を硬化した後、図５（ｃ）に示すよ
うに、紫外線硬化樹脂が接着した透明プラスチック基板
をスタンパより剥離することによりディスクが複製され
る。２Ｐ法は、圧縮成形法、射出成形法等と比べて簡単
な設備でディスクの複製が出来るだけでなく、これらの
方法と比べて転写精度の良いディスクが得られるという
特徴がある。特に、高精度なディスクを得るためには上
記説明中のプラスチック平板の代りにガラス板を用いる
が、この場合には、２Ｐ法以外の前述の方法ではディス
ク化することは出来ない。ここで用いられるスタンパは
一般にはガラス板上にフォトレジストを塗布し、必要な
パターンを露光し、現像後、表面を導電化した後、電鋳
を行って作製する。
【０００４】一般には、ニッケル製で厚みが０.３ｍｍ
位のものであり、２Ｐ法に適用する場合には、裏打ち部
材をスタンパ裏面に接着して補強することが行われてい
る。しかし、いずれの場合にも出来上ったスタンパの構
成は、図６に示すように、スタンパ、接着剤、裏打部材
を積層した形になっており、従来例のように方法で裏打
ちを行っても、加圧、接着した状態では平坦性がよくて
も裏打ちスタンパを剥離すると、接着剤の固化に伴う収
縮や温度変化に帰因する伸縮のため、裏打ちしたスタン
パにも反り、歪などの変形が発生する。すなわち、 各々熱膨張率が異り、温度が変ると歪が発生する。 接着剤は固化する時、数パーセント収縮し、内部応力
として作用し反りをもたらす。
位のものであり、２Ｐ法に適用する場合には、裏打ち部
材をスタンパ裏面に接着して補強することが行われてい
る。しかし、いずれの場合にも出来上ったスタンパの構
成は、図６に示すように、スタンパ、接着剤、裏打部材
を積層した形になっており、従来例のように方法で裏打
ちを行っても、加圧、接着した状態では平坦性がよくて
も裏打ちスタンパを剥離すると、接着剤の固化に伴う収
縮や温度変化に帰因する伸縮のため、裏打ちしたスタン
パにも反り、歪などの変形が発生する。すなわち、 各々熱膨張率が異り、温度が変ると歪が発生する。 接着剤は固化する時、数パーセント収縮し、内部応力
として作用し反りをもたらす。
【０００５】図７（ａ）〜（ｈ）は、従来法のマスター
スタンパーの製造工程を示す図で光ディスク原盤は、一
般に表面を研磨した原盤４１に（図（ａ））フォトレジ
スト４３を塗布し（図（ｂ））、これを記録すべき情報
信号に応じて強度変調したレーザ光を用いて感光させ
（図（ｃ））、現像してその感光度に対応した凹凸状の
信号と溝の少なくとも一方を形成して作製される。以
下、この凹凸状の信号と溝を一括して信号ピットと呼ぶ
ことにする。この光ディスク原盤４５からマスタースタ
ンパ４８が製造される。光ディスク原盤４５の信号ピッ
ト４２を形成した面にニッケル等の金属の薄い膜を蒸着
法・スパッタ法等によって付着させて、電極層４６とし
（図（ｅ））、電解メッキによって数百ミクロンの金属
層７を形成する（図（ｆ））。その後、この電極層４６
と金属層４７からなる部分を光ディスク原盤４５から剥
離し（図（ｇ））、電極層４６の表面に付着しているフ
ォトレジスト４３を洗い落としてマスタースタンパ４８
を製造している（図（ｈ））。
スタンパーの製造工程を示す図で光ディスク原盤は、一
般に表面を研磨した原盤４１に（図（ａ））フォトレジ
スト４３を塗布し（図（ｂ））、これを記録すべき情報
信号に応じて強度変調したレーザ光を用いて感光させ
（図（ｃ））、現像してその感光度に対応した凹凸状の
信号と溝の少なくとも一方を形成して作製される。以
下、この凹凸状の信号と溝を一括して信号ピットと呼ぶ
ことにする。この光ディスク原盤４５からマスタースタ
ンパ４８が製造される。光ディスク原盤４５の信号ピッ
ト４２を形成した面にニッケル等の金属の薄い膜を蒸着
法・スパッタ法等によって付着させて、電極層４６とし
（図（ｅ））、電解メッキによって数百ミクロンの金属
層７を形成する（図（ｆ））。その後、この電極層４６
と金属層４７からなる部分を光ディスク原盤４５から剥
離し（図（ｇ））、電極層４６の表面に付着しているフ
ォトレジスト４３を洗い落としてマスタースタンパ４８
を製造している（図（ｈ））。
【０００６】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、スタンパの裏打部材付補強方法の改良と、平坦
性の優れた裏打ちスタンパ及びその製造方法を提供する
ことを目的としてなされたものである。
もので、スタンパの裏打部材付補強方法の改良と、平坦
性の優れた裏打ちスタンパ及びその製造方法を提供する
ことを目的としてなされたものである。
【０００７】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
所定の表面パターンを形成した紫外線硬化型樹脂層を有
する光ディスク基板を複製する際に用いるスタンパにお
いて、スタンパと、第１の接着層と、裏打部材と、第２
の接着層と、金属層とを積層体構造とすること、更に
は、（２）前記接着層がエポキシ系接着剤であること、
更には、（３）前記接着層が金属粉入りエポキシ系接着
剤であること、更には、（４）前記第１の接着層の厚さ
と、前記第２の接着層の厚さがほぼ等しいこと、更に
は、（５）前記金属層がニッケル又は銅であること、更
には、（６）前記金属層の厚さがスタンパの厚さとほぼ
等しいこと、或いは、（７）スタンパの表面パターン形
成面に保護膜を塗布した後、スタンパと、第１の接着層
と、裏打部材と、第２の接着層と金属層の順に積層し、
前記接着層を硬化した後、保護膜を剥離すること、或い
は、（８）ガラス盤上に電鋳法により形成したスタンパ
を裏打ちするに際し、ガラス盤上のスタンパと、第１の
接着層と、裏打部材と、第２の接着層と、ガラス盤上の
ニッケルの順に積層し、前記接着層を硬化した後、ガラ
ス盤を剥離すること、更には、（９）前記（８）におい
て、ガラス盤上に電鋳法により形成したスタンパを裏打
ちするに際し、間隙充填法を用いて接着することを特徴
としたものである。以下、本発明の実施例に基づいて説
明する。
所定の表面パターンを形成した紫外線硬化型樹脂層を有
する光ディスク基板を複製する際に用いるスタンパにお
いて、スタンパと、第１の接着層と、裏打部材と、第２
の接着層と、金属層とを積層体構造とすること、更に
は、（２）前記接着層がエポキシ系接着剤であること、
更には、（３）前記接着層が金属粉入りエポキシ系接着
剤であること、更には、（４）前記第１の接着層の厚さ
と、前記第２の接着層の厚さがほぼ等しいこと、更に
は、（５）前記金属層がニッケル又は銅であること、更
には、（６）前記金属層の厚さがスタンパの厚さとほぼ
等しいこと、或いは、（７）スタンパの表面パターン形
成面に保護膜を塗布した後、スタンパと、第１の接着層
と、裏打部材と、第２の接着層と金属層の順に積層し、
前記接着層を硬化した後、保護膜を剥離すること、或い
は、（８）ガラス盤上に電鋳法により形成したスタンパ
を裏打ちするに際し、ガラス盤上のスタンパと、第１の
接着層と、裏打部材と、第２の接着層と、ガラス盤上の
ニッケルの順に積層し、前記接着層を硬化した後、ガラ
ス盤を剥離すること、更には、（９）前記（８）におい
て、ガラス盤上に電鋳法により形成したスタンパを裏打
ちするに際し、間隙充填法を用いて接着することを特徴
としたものである。以下、本発明の実施例に基づいて説
明する。
【０００８】図１は、本発明による裏打部材付スタンパ
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はスタ
ンパ、２ａは第１の接着剤、２ｂは第２の接着剤、３は
裏打部材、４は金属板である。スタンパの裏打補強は、
通常、金属やガラスの厚板等の裏打部材をスタンパ裏面
に接着剤により接着することにより行われている。しか
し、一般的な裏打法によるスタンパを含む積層構造では
前述のように欠点を除くことは出来ない。本発明のスタ
ンパ裏打構造は、図１に示すように、スタンパ１を第１
の接着剤２ａを用いて裏打部材３に接着させるのみなら
ず、裏打部材３のスタンパを接着してない側に更に第２
の接着剤２ｂを用いて金属板４を接着して積層構造とし
たものである。すなわち、裏打部材３をはさんで厚さ方
向にほぼ対称的に接着剤２ａ，２ｂと金属板４を配置し
た構造になっているものである。
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１はスタ
ンパ、２ａは第１の接着剤、２ｂは第２の接着剤、３は
裏打部材、４は金属板である。スタンパの裏打補強は、
通常、金属やガラスの厚板等の裏打部材をスタンパ裏面
に接着剤により接着することにより行われている。しか
し、一般的な裏打法によるスタンパを含む積層構造では
前述のように欠点を除くことは出来ない。本発明のスタ
ンパ裏打構造は、図１に示すように、スタンパ１を第１
の接着剤２ａを用いて裏打部材３に接着させるのみなら
ず、裏打部材３のスタンパを接着してない側に更に第２
の接着剤２ｂを用いて金属板４を接着して積層構造とし
たものである。すなわち、裏打部材３をはさんで厚さ方
向にほぼ対称的に接着剤２ａ，２ｂと金属板４を配置し
た構造になっているものである。
【０００９】図２（ａ）,（ｂ）は、本発明による裏打
部材付スタンパの製造方法を示す図で、図中、１１はス
タンパ、１２は塩化ビニール系樹脂、１３は平坦な台、
１４ａ，１４ｂはエポキシ系接着剤、１５はアルミニウ
ム製裏打板、１６はニッケル板、１７はディスク複製用
スタンパである。
部材付スタンパの製造方法を示す図で、図中、１１はス
タンパ、１２は塩化ビニール系樹脂、１３は平坦な台、
１４ａ，１４ｂはエポキシ系接着剤、１５はアルミニウ
ム製裏打板、１６はニッケル板、１７はディスク複製用
スタンパである。
【００１０】従来法により作製したスタンパ１１の信号
記録面に塩化ビニール系樹脂１２をスタンパ１１の記録
面の保護のために塗布し、該塗布面をスタンパ１１より
大きな平坦な台１３に接する形で配置し、その後、エポ
キシ系接着剤１４ａ、アルミニウム製裏打板１５（大き
さは、例えば、φ１３０ｍｍ×１５ｍｍｔ）、エポキシ
系接着剤１４ｂ、ニッケル板１６の順で積層した後、ニ
ッケル板の上から加圧（０.５〜１.０ｋｇ／ｃｍ2）し
た状態で、エポキシ系接着剤１４ａ，１４ｂを固化させ
た。この時、ニッケル板１６は市販のニッケル板でスタ
ンパとほぼ同じ厚さのものを用いることも出来るが、一
般にはスタンパ製作工程と同様の工程で作製したニッケ
ル板を用いるのが好ましい。すなわち、正規のスタンパ
としては使用出来ないキズ物のスタンパ等を流用するこ
とも適切である。ここで、従来例のスタンパ１１は、例
えば、電鋳ニッケル製でφ２２０ｍｍ×０.３ｍｍｔで
ある。接着剤が固化したら平坦な台１３より積層スタン
パを取りはずし、外径加工等必要な加工を行った後、ス
タンパの信号記録面に塗布した塩化ビニール系樹脂１２
を剥離して２Ｐ工法によるディスク複製用スタンパ１７
を得る。
記録面に塩化ビニール系樹脂１２をスタンパ１１の記録
面の保護のために塗布し、該塗布面をスタンパ１１より
大きな平坦な台１３に接する形で配置し、その後、エポ
キシ系接着剤１４ａ、アルミニウム製裏打板１５（大き
さは、例えば、φ１３０ｍｍ×１５ｍｍｔ）、エポキシ
系接着剤１４ｂ、ニッケル板１６の順で積層した後、ニ
ッケル板の上から加圧（０.５〜１.０ｋｇ／ｃｍ2）し
た状態で、エポキシ系接着剤１４ａ，１４ｂを固化させ
た。この時、ニッケル板１６は市販のニッケル板でスタ
ンパとほぼ同じ厚さのものを用いることも出来るが、一
般にはスタンパ製作工程と同様の工程で作製したニッケ
ル板を用いるのが好ましい。すなわち、正規のスタンパ
としては使用出来ないキズ物のスタンパ等を流用するこ
とも適切である。ここで、従来例のスタンパ１１は、例
えば、電鋳ニッケル製でφ２２０ｍｍ×０.３ｍｍｔで
ある。接着剤が固化したら平坦な台１３より積層スタン
パを取りはずし、外径加工等必要な加工を行った後、ス
タンパの信号記録面に塗布した塩化ビニール系樹脂１２
を剥離して２Ｐ工法によるディスク複製用スタンパ１７
を得る。
【００１１】接着剤１４ａ，１４ｂによりスタンパ１１
又はニッケル板１６とアルミニウム裏打板１５とを接着
するに先だって、スタンパ１１、ニッケル板１６、アル
ミニウム裏打板１５の各々の接着面をイソプロピルアル
コール等の溶剤を用いて油脂分を取除き、その後、濃度
硝酸にて表面を粗化することにより、これらの接着強度
を増大させることが出来る。このようにして得たスタン
パ１７の信号記録面の平面性は良好で１５μｍ以下であ
った。又、ニッケル板１６の代りに、寸法形状のほぼ等
しい銅板を用いても平面性は良好であった。銅板を用い
た場合は、スタンパ１１との区別が銅色の有無で出来る
ため、取扱いに好都合であった。又、エポキシ系接着剤
は金属どうしを接着するのに好都合であった。
又はニッケル板１６とアルミニウム裏打板１５とを接着
するに先だって、スタンパ１１、ニッケル板１６、アル
ミニウム裏打板１５の各々の接着面をイソプロピルアル
コール等の溶剤を用いて油脂分を取除き、その後、濃度
硝酸にて表面を粗化することにより、これらの接着強度
を増大させることが出来る。このようにして得たスタン
パ１７の信号記録面の平面性は良好で１５μｍ以下であ
った。又、ニッケル板１６の代りに、寸法形状のほぼ等
しい銅板を用いても平面性は良好であった。銅板を用い
た場合は、スタンパ１１との区別が銅色の有無で出来る
ため、取扱いに好都合であった。又、エポキシ系接着剤
は金属どうしを接着するのに好都合であった。
【００１２】図３（ａ）,（ｂ）は、本発明による裏打
部材付スタンパの他の製造方法を示す図で、図中、２０
はガラス原質、２１はニッケル層、２２はレジスト、２
３はガラス盤、２４ａ，２４ｂは接着剤、２５は裏打
板、２６はニッケル板、２７は裏打板付スタンパであ
る。従来法に従ってガラス盤２３上に形成したレジスト
２２上に、信号に応じた凹凸を形成したガラス原盤２０
上に電鋳法によりスタンパとなるニッケル層２１を形成
した状態のガラス原盤２０付スタンパ２１を準備する
（図２の実施例や通常工程ではこの次の工程でスタンパ
２１をガラス原盤から剥離する）。スタンパ２１のガラ
ス原盤２０の側と反対側の面に図２の実施例に示したと
同様に接着剤２４ａ、裏打板２５、接着剤２４ｂ、ニッ
ケル板２６の順に図３（ａ）に示すように、積層した。
部材付スタンパの他の製造方法を示す図で、図中、２０
はガラス原質、２１はニッケル層、２２はレジスト、２
３はガラス盤、２４ａ，２４ｂは接着剤、２５は裏打
板、２６はニッケル板、２７は裏打板付スタンパであ
る。従来法に従ってガラス盤２３上に形成したレジスト
２２上に、信号に応じた凹凸を形成したガラス原盤２０
上に電鋳法によりスタンパとなるニッケル層２１を形成
した状態のガラス原盤２０付スタンパ２１を準備する
（図２の実施例や通常工程ではこの次の工程でスタンパ
２１をガラス原盤から剥離する）。スタンパ２１のガラ
ス原盤２０の側と反対側の面に図２の実施例に示したと
同様に接着剤２４ａ、裏打板２５、接着剤２４ｂ、ニッ
ケル板２６の順に図３（ａ）に示すように、積層した。
【００１３】各材料の特性は以下の通りである。 ガラス盤２３；サイズφ２５０ｍｍ×６ｍｍｔ ソーダ
ガラスを研磨して使用 レジスト２２；東京応化製 ＯＦＰＲ−８００ ポジ型
フォトレジスト スタンパ２１；電鋳ニッケル板 φ２５０ｍｍ×０.３
ｍｍｔ 接着剤２４ａ，２４ｂ；金属粉末含有エポキシ樹脂、常
温硬化型、２液タイプ、 裏打板２５；アルミニウム製
φ２５０ｍｍ×１５ｍｍｔ ニッケル板２６；電鋳ニッケル板 φ２５０ｍｍ×０.
３ｍｍｔ
ガラスを研磨して使用 レジスト２２；東京応化製 ＯＦＰＲ−８００ ポジ型
フォトレジスト スタンパ２１；電鋳ニッケル板 φ２５０ｍｍ×０.３
ｍｍｔ 接着剤２４ａ，２４ｂ；金属粉末含有エポキシ樹脂、常
温硬化型、２液タイプ、 裏打板２５；アルミニウム製
φ２５０ｍｍ×１５ｍｍｔ ニッケル板２６；電鋳ニッケル板 φ２５０ｍｍ×０.
３ｍｍｔ
【００１４】その後、上下逆にし、すなわちガラス盤２
３が上になるようにして、平坦な板上に置き、ガラス盤
２３の重みで接着剤２４ａ，２４ｂがゆっくりとスタン
パ２１と裏打板２５の間及び裏打板２５とニッケル板２
６の間に行きわたらせた。その状態で保持して接着剤を
硬化させた。次に、スタンパ２１とガラス盤２３との間
で剥離して、スタンパ２１上に残留しているレジスト２
２を洗浄除去することにより、図３（ｂ）に示す裏打板
付スタンパ２７を得た。本発明によるスタンパは平面性
が良好で１５μｍ以下であるだけでなく、金属粉末入り
エポキシ樹脂を接着剤として用いているので実際に２Ｐ
法に適用した時に変形しにくくスタンパの寿命が長かっ
た。
３が上になるようにして、平坦な板上に置き、ガラス盤
２３の重みで接着剤２４ａ，２４ｂがゆっくりとスタン
パ２１と裏打板２５の間及び裏打板２５とニッケル板２
６の間に行きわたらせた。その状態で保持して接着剤を
硬化させた。次に、スタンパ２１とガラス盤２３との間
で剥離して、スタンパ２１上に残留しているレジスト２
２を洗浄除去することにより、図３（ｂ）に示す裏打板
付スタンパ２７を得た。本発明によるスタンパは平面性
が良好で１５μｍ以下であるだけでなく、金属粉末入り
エポキシ樹脂を接着剤として用いているので実際に２Ｐ
法に適用した時に変形しにくくスタンパの寿命が長かっ
た。
【００１５】図４は、本発明による裏打部材付スタンパ
の更に他の製造方法を示す図で、図中、３０はガラス原
盤、３１はスタンパ（ニッケル層）、３２はレジスト、
３３はガラス盤、３４ａ，３４ｂは接着剤、３５はアル
ミニウム裏打板、３６はニッケル、３７はガラス盤、３
８は定盤、３９ａ，３９ｂはジャッキ、４０はガラス原
盤である。
の更に他の製造方法を示す図で、図中、３０はガラス原
盤、３１はスタンパ（ニッケル層）、３２はレジスト、
３３はガラス盤、３４ａ，３４ｂは接着剤、３５はアル
ミニウム裏打板、３６はニッケル、３７はガラス盤、３
８は定盤、３９ａ，３９ｂはジャッキ、４０はガラス原
盤である。
【００１６】従来法に従ってガラス盤３３上に形成した
レジスト３２上に、信号に応じた凹凸を形成したガラス
原盤３０上に電鋳他によりスタンパとなるニッケル層３
１を形成したガラス原盤３０付スタンパ３１を準備す
る。これとは別にガラス盤３３より外径の小さなガラス
盤３７上に電鋳法によりニッケル３６を折出させたガラ
ス原盤４０を準備する。該ガラス原盤４０を表面の平坦
性のよい定盤３８上にガラス面を定盤と接するように配
置し、接着剤３４ｂを電鋳法によるニッケル３６上に塗
布し、その上からアルミニウム裏打板３５をのせる。こ
の時、アルミニウム裏打板３５は、定盤３８を基準とし
てジャッキ３９ｂにより定盤との間の寸法を一定に保つ
ように保持する。接着剤３４ｂはガラス原盤４０と裏打
板３５との間にジャッキ３９ａにより形成された空間を
充填するのに充分な量を塗布することが好ましい。
レジスト３２上に、信号に応じた凹凸を形成したガラス
原盤３０上に電鋳他によりスタンパとなるニッケル層３
１を形成したガラス原盤３０付スタンパ３１を準備す
る。これとは別にガラス盤３３より外径の小さなガラス
盤３７上に電鋳法によりニッケル３６を折出させたガラ
ス原盤４０を準備する。該ガラス原盤４０を表面の平坦
性のよい定盤３８上にガラス面を定盤と接するように配
置し、接着剤３４ｂを電鋳法によるニッケル３６上に塗
布し、その上からアルミニウム裏打板３５をのせる。こ
の時、アルミニウム裏打板３５は、定盤３８を基準とし
てジャッキ３９ｂにより定盤との間の寸法を一定に保つ
ように保持する。接着剤３４ｂはガラス原盤４０と裏打
板３５との間にジャッキ３９ａにより形成された空間を
充填するのに充分な量を塗布することが好ましい。
【００１７】その後、裏打板３５上に接着剤３４ａを塗
布し、先に準備したガラス原盤３０付スタンパ３１をス
タンパ面を接着剤３４ａと相対する向きに配置し、ガラ
ス原盤３０付スタンパ３１をジャッキ３９ａにて定盤３
８を基準として定盤とスタンパとの間の寸法を一定に保
つように保持する。接着剤３４ａは裏打板３５とスタン
パ３１とがつくる空間を充填するのに充分な量を塗布す
るのが好ましい。ジャッキ３９ａ，３９ｂを調節するこ
とにより接着剤３４ａ，３４ｂの厚みが等しくなるよう
に調節し、そのまま保持することにより接着剤を固化さ
せる。その後に、ガラス盤３７とニッケル３６との間及
びガラス盤３３およびスタンパ３１との間で各々ガラス
盤を剥離し、スタンパ面上に残留するレジスト３２を洗
浄し、必要な加工を施すことにより平坦性のよいスタン
パ（形状は図３（ｂ）と同じ）を得ることが出来た。
布し、先に準備したガラス原盤３０付スタンパ３１をス
タンパ面を接着剤３４ａと相対する向きに配置し、ガラ
ス原盤３０付スタンパ３１をジャッキ３９ａにて定盤３
８を基準として定盤とスタンパとの間の寸法を一定に保
つように保持する。接着剤３４ａは裏打板３５とスタン
パ３１とがつくる空間を充填するのに充分な量を塗布す
るのが好ましい。ジャッキ３９ａ，３９ｂを調節するこ
とにより接着剤３４ａ，３４ｂの厚みが等しくなるよう
に調節し、そのまま保持することにより接着剤を固化さ
せる。その後に、ガラス盤３７とニッケル３６との間及
びガラス盤３３およびスタンパ３１との間で各々ガラス
盤を剥離し、スタンパ面上に残留するレジスト３２を洗
浄し、必要な加工を施すことにより平坦性のよいスタン
パ（形状は図３（ｂ）と同じ）を得ることが出来た。
【００１８】各材料の特性は次の通り。 スタンパ３１；電鋳ニッケル板 φ２５０ｍｍ×０.３
ｍｍｔ レジスト３２；東京応化製 ポジ型フォトレジスト Ｏ
ＦＰＲ−８００ ガラス盤３３；ソーダガラス φ２５０ｍｍ×６ｍｍｔ 接着剤３４ａ，３４ｂ；金属粉末含有エポキシ系接着
剤、常温硬化型、２液タイプ 裏打板３５；アルミニウム板 φ２２０ｍｍ×１５ｍｍ
ｔ ニッケル３６；電鋳ニッケル板 φ１９０ｍｍ×０.３
ｍｍｔ ガラス盤３７；ソーダガラス φ１９０ｍｍ×６ｍｍｔ このような接着方法は間隙充填法という、接着剤の厚さ
をコントロール出来るので好都合である。
ｍｍｔ レジスト３２；東京応化製 ポジ型フォトレジスト Ｏ
ＦＰＲ−８００ ガラス盤３３；ソーダガラス φ２５０ｍｍ×６ｍｍｔ 接着剤３４ａ，３４ｂ；金属粉末含有エポキシ系接着
剤、常温硬化型、２液タイプ 裏打板３５；アルミニウム板 φ２２０ｍｍ×１５ｍｍ
ｔ ニッケル３６；電鋳ニッケル板 φ１９０ｍｍ×０.３
ｍｍｔ ガラス盤３７；ソーダガラス φ１９０ｍｍ×６ｍｍｔ このような接着方法は間隙充填法という、接着剤の厚さ
をコントロール出来るので好都合である。
【００１９】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１のスタンパにおいては、裏打部材を中心
として厚み方向に対称な構造になっているので、接着剤
の硬化時に発生する歪や、温度変化による材質の違いに
よる熱膨張率の違いによって発生する歪等が厚み方向に
対称的に発生するため、互いに打ち消し合い平坦性の良
いスタンパが得られる。 （２）請求項２は、スタンパと裏打部材に各々金属を用
いた時にエポキシ系接着剤は充分な強度をもった接着層
が得られる。 （３）請求項３は、エポキシ系接着剤に金属粉を液入す
ることにより、接着剤の固化時の収縮量が少くなるのみ
ならず、熱膨張率が金属のそれに近づくためスタンパが
変形しにくい。 （４）請求項４及び請求項６は、厚み管理のむずかしい
接着剤層の厚みを裏打材を中心に厚み方向に対称に限定
することにより平坦性のよいスタンパが得られる。 （５）請求項５は、ニッケルの場合は請求項４と同じ意
味であり、銅の場合は特性はニッケルとほぼ等しいが、
銅色を足すためスタンパ面と表裏の区別がやり易く誤っ
て用いることがない。 （６）請求項７は、スタンパを裏打するに際し、表面パ
ターン面を保護することにより、裏打工程で発生するキ
ズ、汚れ等を防止することが出来る。 （７）請求項８は、ガラス盤に形成したままの状態のス
タンパを用いることでスタンパのパターン形成面を保護
することが出来る。 （８）請求項９は、間隙充填法を用いることにより接着
剤層の厚さを任意に設定出来るだけでなく接着剤の量や
加圧力に関係なく均一な厚みの接着層が得られ、請求項
４の効果を充分に発揮出来る。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１のスタンパにおいては、裏打部材を中心
として厚み方向に対称な構造になっているので、接着剤
の硬化時に発生する歪や、温度変化による材質の違いに
よる熱膨張率の違いによって発生する歪等が厚み方向に
対称的に発生するため、互いに打ち消し合い平坦性の良
いスタンパが得られる。 （２）請求項２は、スタンパと裏打部材に各々金属を用
いた時にエポキシ系接着剤は充分な強度をもった接着層
が得られる。 （３）請求項３は、エポキシ系接着剤に金属粉を液入す
ることにより、接着剤の固化時の収縮量が少くなるのみ
ならず、熱膨張率が金属のそれに近づくためスタンパが
変形しにくい。 （４）請求項４及び請求項６は、厚み管理のむずかしい
接着剤層の厚みを裏打材を中心に厚み方向に対称に限定
することにより平坦性のよいスタンパが得られる。 （５）請求項５は、ニッケルの場合は請求項４と同じ意
味であり、銅の場合は特性はニッケルとほぼ等しいが、
銅色を足すためスタンパ面と表裏の区別がやり易く誤っ
て用いることがない。 （６）請求項７は、スタンパを裏打するに際し、表面パ
ターン面を保護することにより、裏打工程で発生するキ
ズ、汚れ等を防止することが出来る。 （７）請求項８は、ガラス盤に形成したままの状態のス
タンパを用いることでスタンパのパターン形成面を保護
することが出来る。 （８）請求項９は、間隙充填法を用いることにより接着
剤層の厚さを任意に設定出来るだけでなく接着剤の量や
加圧力に関係なく均一な厚みの接着層が得られ、請求項
４の効果を充分に発揮出来る。
【図１】 本発明による裏打部材付スタンパの一実施例
を説明するための構成図である。
を説明するための構成図である。
【図２】 本発明による裏打部材付スタンパの製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図３】 本発明による裏打部材付スタンパの他の製造
方法を示す図である。
方法を示す図である。
【図４】 本発明による裏打部材付スタンパの更に他の
製造方法を示す図である。
製造方法を示す図である。
【図５】 従来の２Ｐ法を説明するための図である。
【図６】 従来のスタンパの構成図である。
【図７】 従来のマスタースタンパの製造方法を示す図
である。
である。
１…スタンパ、２ａ…第１の接着剤、２ｂ…第２の接着
剤、３…裏打部材、４…金属板、１１…スタンパ、１２
…塩化ビニール系樹脂、１３…平坦な台、１４ａ，１４
ｂ…エポキシ系接着剤、１５…アルミニウム製裏打板、
１６…ニッケル板、１７…ディスク複製用スタンパ。
剤、３…裏打部材、４…金属板、１１…スタンパ、１２
…塩化ビニール系樹脂、１３…平坦な台、１４ａ，１４
ｂ…エポキシ系接着剤、１５…アルミニウム製裏打板、
１６…ニッケル板、１７…ディスク複製用スタンパ。
Claims (9)
- 【請求項１】 所定の表面パターンを形成した紫外線硬
化型樹脂層を有する光ディスク基板を複製する際に用い
るスタンパにおいて、スタンパと、第１の接着層と、裏
打部材と、第２の接着層と、金属層とを積層体構造とす
ることを特徴とする裏打部材付スタンパ。 - 【請求項２】 前記接着層がエポキシ系接着剤であるこ
とを特徴とする請求項１記載の裏打部材付スタンパ。 - 【請求項３】 前記接着層が金属粉入りエポキシ系接着
剤であることを特徴とする請求項１記載の裏打部材付ス
タンパ。 - 【請求項４】 前記第１の接着層の厚さと、前記第２の
接着層の厚さがほぼ等しいことを特徴とする請求項１記
載の裏打部材付スタンパ。 - 【請求項５】 前記金属層がニッケル又は銅であること
を特徴とする請求項１記載の裏打部材付スタンパ。 - 【請求項６】 前記金属層の厚さがスタンパの厚さとほ
ぼ等しいことを特徴とする請求項１記載の裏打部材付ス
タンパ。 - 【請求項７】 スタンパの表面パターン形成面に保護膜
を塗布した後、スタンパと、第１の接着層と、裏打部材
と、第２の接着層と金属層の順に積層し、前記接着層を
硬化した後、保護膜を剥離することを特徴とする裏打部
材付スタンパの製造方法。 - 【請求項８】 ガラス盤上に電鋳法により形成したスタ
ンパを裏打ちするに際し、ガラス盤上のスタンパと、第
１の接着層と、裏打部材と、第２の接着層と、ガラス盤
上のニッケルの順に積層し、前記接着層を硬化した後、
ガラス盤を剥離することを特徴とする裏打部材付スタン
パの製造方法。 - 【請求項９】 ガラス盤上に電鋳法により形成したスタ
ンパを裏打ちするに際し、間隙充填法を用いて接着する
請求項８記載のことを特徴とする裏打部材付スタンパの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35663792A JPH06195763A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 裏打部材付スタンパ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35663792A JPH06195763A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 裏打部材付スタンパ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06195763A true JPH06195763A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18450026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35663792A Pending JPH06195763A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 裏打部材付スタンパ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06195763A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269869A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Canon Inc | インプリント用原盤、該インプリント用原盤を備えたインプリント装置、及び該インプリント用原盤の製造方法 |
| JP2010005899A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 成形型 |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP35663792A patent/JPH06195763A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269869A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Canon Inc | インプリント用原盤、該インプリント用原盤を備えたインプリント装置、及び該インプリント用原盤の製造方法 |
| JP4612852B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2011-01-12 | キヤノン株式会社 | インプリント用原盤、該インプリント用原盤を備えたインプリント装置、及び該インプリント用原盤の製造方法 |
| JP2010005899A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 成形型 |
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