JP5611112B2 - インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5611112B2 JP5611112B2 JP2011102983A JP2011102983A JP5611112B2 JP 5611112 B2 JP5611112 B2 JP 5611112B2 JP 2011102983 A JP2011102983 A JP 2011102983A JP 2011102983 A JP2011102983 A JP 2011102983A JP 5611112 B2 JP5611112 B2 JP 5611112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imprint
- substrate
- template
- wafer
- processing station
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
Description
2 ウェハ搬入出ステーション
3 ウェハ処理ステーション
4 インプリント処理ステーション
5 テンプレート搬入出ステーション
30〜33 レジスト塗布ユニット
42、43、52、53 加熱ユニット
60 インプリントユニット
200 制御部
250 成膜ユニット
300 テンプレート搬入出ステーション
E1、E2 インプリントブロック
E3 搬送領域
C 転写パターン
P レジストパターン
R1 第1のレジスト膜
R2 第2のレジスト膜
S 離型剤
T テンプレート
W ウェハ
Claims (13)
- 表面に転写パターンが形成されたテンプレートを用いて、基板上に所定のレジストパターンを形成するインプリントシステムであって、
基板上に第1のレジスト膜を形成する基板処理ステーションと、
前記第1のレジスト膜が形成された基板上の当該第1のレジスト膜の上に第2のレジスト膜を形成し、前記転写パターンを前記第2のレジスト膜に転写して当該第2のレジスト膜に所定のレジストパターンを形成するインプリントユニットが複数配置され、前記基板処理ステーションに接続されたインプリント処理ステーションと、
前記基板処理ステーションに接続され、当該基板処理ステーションに基板を搬入出する基板搬入出ステーションと、
前記インプリント処理ステーションに接続され、当該インプリント処理ステーションにテンプレートを搬入出するテンプレート搬入出ステーションと、を有することを特徴とする、インプリントシステム。 - 前記基板処理ステーションは、基板上に第1のレジスト膜を形成するための塗布液を塗布する塗布ユニットを有することを特徴とする、請求項1に記載のインプリントシステム。
- 前記インプリント処理ステーションには、前記複数のインプリントユニットを水平方向に並べて配置した2列のインプリントブロックが形成され、
前記2列のインプリントブロック間には、前記各インプリントユニットに基板を搬送するための搬送領域が形成されていることを特徴とする、請求項1又は2のいずれかに記載のインプリントシステム。 - 前記テンプレート搬入出ステーションは、前記各インプリントユニット毎に複数設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のインプリントシステム。
- 前記搬送領域では、前記各インプリントユニットにテンプレートを搬送することを特徴とする、請求項3に記載のインプリントシステム。
- 前記第1のレジスト膜が形成された基板上の当該第1のレジスト膜の上に、前記第2のレジスト膜との密着性を高める密着剤を塗布する密着剤塗布ユニットを、前記基板処理ステーションに有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のインプリントシステム。
- 前記密着剤塗布ユニットは、密着剤の蒸気を前記第1のレジスト膜が形成された基板上の当該第1のレジスト膜の上に供給するものであることを特徴とする、請求項6に記載のインプリントシステム。
- 前記密着剤塗布ユニットは、基板に対して水蒸気を供給する機能を有していることを特徴とする、請求項7に記載のインプリントシステム。
- インプリントシステムにおいて、表面に転写パターンが形成されたテンプレートを用いて、基板上に所定のレジストパターンを形成するインプリント方法であって、
前記インプリントシステムは、
基板上に第1のレジスト膜を形成する基板処理ステーションと、
前記第1のレジスト膜が形成された基板上の当該第1のレジスト膜の上に第2のレジスト膜を形成し、前記転写パターンを前記第2のレジスト膜に転写して当該第2のレジスト膜に所定のレジストパターンを形成するインプリントユニットが複数配置され、前記基板処理ステーションに接続されたインプリント処理ステーションと、
前記基板処理ステーションに接続され、当該基板処理ステーションに基板を搬入出する基板搬入出ステーションと、
前記インプリント処理ステーションに接続され、当該インプリント処理ステーションにテンプレートを搬入出するテンプレート搬入出ステーションと、を有し、
前記基板処理ステーションにおいて複数の基板上に第1のレジスト膜を形成し、
前記基板処理ステーションから前記インプリント処理ステーションに前記第1のレジスト膜が形成された複数の基板を連続して搬送すると共に、前記テンプレート搬入出ステーションから前記インプリント処理ステーションに複数のテンプレートを連続して搬送し、
前記インプリント処理ステーションでは、各テンプレートを用いた各基板に対する前記所定のレジストパターンの形成が前記各インプリントユニットで並行してわれることを特徴とする、インプリント方法。 - 前記基板処理ステーションにおいて、基板上に第1のレジスト膜を形成するための塗布液が塗布されることを特徴とする、請求項9に記載のインプリント方法。
- 前記インプリントシステムは、前記第1のレジスト膜が形成された基板上に、前記第2のレジスト膜との密着性を高める密着剤を塗布する密着剤塗布ユニットを、前記基板処理ステーションに有し、第1のレジスト膜形成後に、前記密着剤が基板上に塗布される工程を有することを特徴とする、請求項9又は10のいずれかに記載のインプリント方法。
- 請求項9〜11のいずれかに記載のインプリント方法をインプリントシステムによって実行させるように、当該インプリントシステムを制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項12に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011102983A JP5611112B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-02 | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
PCT/JP2011/061298 WO2011145607A1 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-17 | インプリントシステム、インプリント方法及びコンピュータ記憶媒体 |
TW100117604A TW201212148A (en) | 2010-05-21 | 2011-05-19 | Imprinting system, imprinting method, program, and computer storage medium |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010117708 | 2010-05-21 | ||
JP2010117708 | 2010-05-21 | ||
JP2011102983A JP5611112B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-02 | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012006380A JP2012006380A (ja) | 2012-01-12 |
JP5611112B2 true JP5611112B2 (ja) | 2014-10-22 |
Family
ID=44991709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011102983A Expired - Fee Related JP5611112B2 (ja) | 2010-05-21 | 2011-05-02 | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5611112B2 (ja) |
TW (1) | TW201212148A (ja) |
WO (1) | WO2011145607A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013222728A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-28 | Canon Inc | インプリントシステム |
JP6297001B2 (ja) | 2014-03-19 | 2018-03-20 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、リソグラフィ方法、リソグラフィシステム、プログラム、および物品の製造方法 |
JP2015204401A (ja) * | 2014-04-15 | 2015-11-16 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
JP2015231036A (ja) | 2014-06-06 | 2015-12-21 | キヤノン株式会社 | リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
JP6953259B2 (ja) * | 2017-09-28 | 2021-10-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および、物品製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2931820B2 (ja) * | 1991-11-05 | 1999-08-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 板状体の処理装置及び搬送装置 |
JP2005153091A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | 転写方法及び転写装置 |
JP4531659B2 (ja) * | 2005-08-25 | 2010-08-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 |
US8011915B2 (en) * | 2005-11-04 | 2011-09-06 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP4930679B2 (ja) * | 2005-12-14 | 2012-05-16 | 日本ゼオン株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP2007329276A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ナノインプリントリソグラフィによるレジストパターンの形成方法 |
JP5173311B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2013-04-03 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置および半導体製造方法 |
JP5069979B2 (ja) * | 2007-09-03 | 2012-11-07 | 東芝機械株式会社 | 離型装置、給排システムおよび離型方法 |
JP5279397B2 (ja) * | 2008-08-06 | 2013-09-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、およびデバイス製造方法 |
JP5227701B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2013-07-03 | 東京応化工業株式会社 | 基板処理システム |
JP5443070B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2014-03-19 | 東京エレクトロン株式会社 | インプリントシステム |
-
2011
- 2011-05-02 JP JP2011102983A patent/JP5611112B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-17 WO PCT/JP2011/061298 patent/WO2011145607A1/ja active Application Filing
- 2011-05-19 TW TW100117604A patent/TW201212148A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011145607A1 (ja) | 2011-11-24 |
TW201212148A (en) | 2012-03-16 |
JP2012006380A (ja) | 2012-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5060517B2 (ja) | インプリントシステム | |
JP5443070B2 (ja) | インプリントシステム | |
WO2010150741A1 (ja) | インプリントシステム、インプリント方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2011145611A1 (ja) | インプリントシステム、インプリント方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5611112B2 (ja) | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5411201B2 (ja) | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2012227318A (ja) | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、基板処理装置及びインプリントシステム | |
WO2011114926A1 (ja) | テンプレート処理方法、コンピュータ記憶媒体及びテンプレート処理装置 | |
JP2011104910A (ja) | テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム | |
JP5285515B2 (ja) | テンプレート処理装置、インプリントシステム、離型剤処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2010150740A1 (ja) | テンプレート処理装置、インプリントシステム、テンプレート処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5149244B2 (ja) | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5231366B2 (ja) | テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒、テンプレート処理装置及びインプリントシステム | |
JP5285514B2 (ja) | テンプレート処理装置、インプリントシステム、離型剤処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5108834B2 (ja) | テンプレート処理装置、インプリントシステム、離型剤処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5282077B2 (ja) | 基板の表面改質方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の表面改質装置 | |
JP5355615B2 (ja) | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、基板処理装置及びインプリントシステム | |
JP5487064B2 (ja) | テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム | |
WO2011040466A1 (ja) | テンプレート処理装置、インプリントシステム、テンプレート処理方法、及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2011035186A (ja) | 塗布処理装置、塗布処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140826 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5611112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |