JP2009184176A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 液滴を吐出するノズル部と、前記ノズル部より断面積が大きく前記ノズル部と同軸上に設けられた導入部とを少なくとも備えたノズル孔を複数備えたノズル基板であって、
少なくとも前記ノズル孔の内壁に複数層の耐吐出液保護膜を形成し、
前記ノズル孔の内壁及び吐出面と反対側の面に形成された第１の耐吐出液保護膜と、
前記ノズル孔の内壁及び吐出面と反対側の面で前記第１の耐吐出液保護膜の上に形成された第２の耐吐出液保護膜と、
前記吐出面、及び前記ノズル孔の内壁上の前記第１の耐吐出液保護膜の上に、形成された第３の耐吐出液保護膜とを有し、
前記ノズル孔の内壁及び前記吐出面と反対側の面を除く前記吐出面側で前記第３の耐吐出液保護膜の上に撥水膜を有することを特徴とするノズル基板。 - 前記第１の耐吐出液保護膜は、シリコン酸化膜であることを特徴とする請求項１記載のノズル基板。
- 前記第２の耐吐出液保護膜及び前記第３の耐吐出液保護膜は、金属酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズル基板。
- 前記金属酸化物は、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化ニオブ、酸化チタン、または酸化ジルコニウムのいずれかであることを特徴とする請求項３記載のノズル基板。
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