JP2009523915A5 - - Google Patents
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- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
Claims (3)
- デバイスを製造する際に表面上に層を形成する方法であって、
（a）気化した材料を受け取る分配部材であって、チェンバーを規定する1つ以上の壁面を持ち、1つの壁面の中に複数の開口部からなる多角形二次元パターンが形成されていて、その開口部が気化した材料を分子流として上記表面上に供給する構成の分配部材を用意するステップと；
（b）上記開口部からなる多角形二次元パターンに少なくとも4つの頂部を設け、第1の開口部セットをその頂部に配置し、縁部用の第2の開口部セットを第1の開口部セットの2つの開口部の間に配置して上記多角形二次元パターンの縁部を規定し、内側用の第3の開口部セットを、第1の開口部セットと第2の開口部セットによって規定される多角形二次元パターンの周辺部の中に配置するステップと；
（c）第2の開口部セットと第3の開口部セットからの壁面単位面積当たりの流速よりも第1の開口部セットからの単位壁面積当たりの流速が大きく、かつ第3の開口部セットからの壁面単位面積当たりの流速よりも第2の開口部セットからの壁面単位面積当たりの流速が大きくなるように、第1の開口部セット、第2の開口部セット、第3の開口部セットのサイズを決めるステップを含む方法。 - 第1の開口部セットが、少なくとも1つの頂部に複数の開口部を含む、請求項1に記載の方法。
- 上記サイズ決定ステップに、開口部の直径を決める操作が含まれる、請求項1に記載の方法。
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