JP2010512261A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 基板及び液体を受ける液体チャンバを有する液滴排出装置であって、
   前記液体チャンバは、前記基板の上に位置し、かつノズルプレート、チャンバ壁、及びライナ層を有し、
   前記ノズルプレート及び前記チャンバ壁は有機材料を有し、
   前記ライナ層は無機材料を有し、
   前記ライナ層は前記ノズルプレート及び前記チャンバ壁上に設けられ、そのため、前記液体が前記チャンバ内に存在するときには、前記無機材料は前記液体と接することができる、
   液滴排出装置。
2. 前記基板上であって前記基板とノズルプレートの間に設けられた無機材料をさらに有する液滴排出装置であって、
   前記無機材料層は前記液体が前記チャンバ内に存在するときには前記液体と接することが可能で、かつ
   前記無機材料層は前記ライナ層の無機材料の一部と接する、
   請求項1に記載の液滴排出装置。
3. 液滴排出装置の作製方法であって、
   当該方法は、基板を供する工程、並びに、ノズルプレート、チャンバ壁、及びライナ層を有する液体チャンバを前記基板の上に形成する工程を有し、
   前記液体チャンバを前記基板の上に形成する工程は：
   前記基板の上に第1有機材料を供する工程；
   該第1有機材料をパターニングして前記チャンバ壁の位置を生成する工程；
   前記のパターニングされた第1有機材料の上に無機材料層を堆積することによって前記ライナ層を形成する工程；
   前記ライナ層の無機材料が前記ノズルプレートと前記チャンバ壁上に設けられ、かつ前記チャンバ内に液体が存在するときには該液体と接することが可能となるように、前記無機材料の上に第2有機材料を堆積することによって、前記ノズルプレートと前記チャンバ壁を形成する工程；並びに、
   前記のパターニングされた第1有機材料の一部を除去する工程；
   によって行われる、
   方法。