JP2014166728A5 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサー - Google Patents
圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサー Download PDFInfo
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Description
本発明は、圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサーに関する。
本発明はこのような事情に鑑み、発熱による性能低下を防止した圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサーを提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、第１電極と、前記第１電極上に設けられて複数の圧電体膜が積層された圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた第２電極と、前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた能動部を備え、前記圧電体層の側面には、前記第１電極側に臨む内面を有する溝が前記第１電極から前記第２電極に向かう方向とは交差する方向に沿って前記各圧電体層の界面ごとに複数形成されており、前記第２電極は、前記複数の溝を含めた前記圧電体層の表面全体を連続して覆っていることを特徴とする圧電素子にある。
かかる態様では、ノズル開口の高密度化に対応して圧電素子を高密度化しても、圧電素子の発熱による性能低下を防止できる。
ここで、前記圧電体層は、前記第１電極側の前記圧電体膜が前記第２電極側の前記圧電体膜よりも外側に突出するように形成されていることが好ましい。これにより、より一層放熱し易くすることができる。
また、前記第２電極は、前記圧電体層上に形成された導電性酸化金属からなる第１層と、該第１層上に形成された導電性を有する第２層とを備えることが好ましい。これによれば、圧電体層と第１層との界面に欠陥などが生じることを防止することができる。これにより、圧電特性に優れた圧電素子を得ることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された液体噴射ヘッドを実現できる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された液体噴射装置を実現できる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサーにある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された超音波センサーを実現できる。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、第１電極、前記第１電極上に設けられて複数の圧電体膜が積層された圧電体層、前記圧電体層上に設けられた第２電極、及び前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた能動部を複数備えた圧電素子と、液体を噴射するノズル開口に連通し、前記圧電素子により圧力変化が生じる圧力発生室とを備え、前記圧電体層の側面には、前記第１電極側に臨む内面を有する溝が前記第１電極から前記第２電極に向かう方向とは交差する方向に沿って前記各圧電体膜の界面ごとに複数形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、ノズル開口の高密度化に対応して圧電素子を高密度化しても、圧電素子の発熱による性能低下を防止できるため、液体噴射ヘッドとしては、高密度なノズル開口から液体を安定して高精細に吐出することができる。
かかる態様では、ノズル開口の高密度化に対応して圧電素子を高密度化しても、圧電素子の発熱による性能低下を防止できる。
ここで、前記圧電体層は、前記第１電極側の前記圧電体膜が前記第２電極側の前記圧電体膜よりも外側に突出するように形成されていることが好ましい。これにより、より一層放熱し易くすることができる。
また、前記第２電極は、前記圧電体層上に形成された導電性酸化金属からなる第１層と、該第１層上に形成された導電性を有する第２層とを備えることが好ましい。これによれば、圧電体層と第１層との界面に欠陥などが生じることを防止することができる。これにより、圧電特性に優れた圧電素子を得ることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された液体噴射ヘッドを実現できる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された液体噴射装置を実現できる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサーにある。
かかる態様では、圧電素子の発熱による性能低下が防止された超音波センサーを実現できる。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、第１電極、前記第１電極上に設けられて複数の圧電体膜が積層された圧電体層、前記圧電体層上に設けられた第２電極、及び前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた能動部を複数備えた圧電素子と、液体を噴射するノズル開口に連通し、前記圧電素子により圧力変化が生じる圧力発生室とを備え、前記圧電体層の側面には、前記第１電極側に臨む内面を有する溝が前記第１電極から前記第２電極に向かう方向とは交差する方向に沿って前記各圧電体膜の界面ごとに複数形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、ノズル開口の高密度化に対応して圧電素子を高密度化しても、圧電素子の発熱による性能低下を防止できるため、液体噴射ヘッドとしては、高密度なノズル開口から液体を安定して高精細に吐出することができる。
Claims (6)
- 第１電極と、
前記第１電極上に設けられて複数の圧電体膜が積層された圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられた第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極とで挟まれた能動部を備え、
前記圧電体層の側面には、前記第１電極側に臨む内面を有する溝が前記第１電極から前記第２電極に向かう方向とは交差する方向に沿って前記各圧電体層の界面ごとに複数形成されており、
前記第２電極は、前記複数の溝を含めた前記圧電体層の表面全体を連続して覆っている
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項１に記載する圧電素子において、
前記圧電体層は、前記第１電極側の前記圧電体膜が前記第２電極側の前記圧電体膜よりも外側に突出するように形成されている
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項１又は請求項２に記載する圧電素子において、
前記第２電極は、前記圧電体層上に形成された導電性酸化金属からなる第１層と、該第１層上に形成された導電性を有する第２層とを備える
ことを特徴とする圧電素子。 - 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の圧電素子を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項４に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサー。
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|---|---|---|---|
| JP2013039856A JP6064677B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサー |
| US14/179,187 US9283757B2 (en) | 2013-02-28 | 2014-02-12 | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, piezoelectric element, and ultrasonic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013039856A JP6064677B2 (ja) | 2013-02-28 | 2013-02-28 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサー |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JP6064677B2 JP6064677B2 (ja) | 2017-01-25 |
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Family Applications (1)
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- 2014-02-12 US US14/179,187 patent/US9283757B2/en not_active Expired - Fee Related
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