JP2014192268A5 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー - Google Patents
圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014192268A5 JP2014192268A5 JP2013065183A JP2013065183A JP2014192268A5 JP 2014192268 A5 JP2014192268 A5 JP 2014192268A5 JP 2013065183 A JP2013065183 A JP 2013065183A JP 2013065183 A JP2013065183 A JP 2013065183A JP 2014192268 A5 JP2014192268 A5 JP 2014192268A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- element according
- liquid ejecting
- piezoelectric
- buffer layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 14
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 9
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium(0) Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
Description
上記課題を解決する本発明の態様は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた圧電体層とを備え、前記圧電体層は、ビスマスと、アルミニウム、シリコン、クロム及びマンガンから選択される１つの元素とを含むバッファー層と、前記バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層とからなることを特徴とする圧電素子にある。
かかる態様では、ビスマスと、アルミニウム、シリコン、クロム及びマンガンから選択される１つの元素とを含むバッファー層と、複合酸化物層との積層構造の圧電体層とすることにより、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する圧電素子とすることができる。
かかる態様では、ビスマスと、アルミニウム、シリコン、クロム及びマンガンから選択される１つの元素とを含むバッファー層と、複合酸化物層との積層構造の圧電体層とすることにより、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する圧電素子とすることができる。
本発明の他の態様は、ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、前記何れかの態様に記載の圧電素子を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する液体噴射ヘッドとすることができる。
本発明の他の態様は、前記何れかの態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置とすることができる。
かかる態様では、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する液体噴射ヘッドとすることができる。
本発明の他の態様は、前記何れかの態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置とすることができる。
また、本発明の他の態様は、前記何れかの態様に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス、フィルター、又はセンサーにある。かかる態様では、クラックの発生が抑制され、結晶性及び圧電特性に優れた圧電体層を有する超音波デバイス、フィルター、又はセンサーとすることができる。
Claims (13)
- 第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた圧電体層とを備え、
前記圧電体層は、ビスマスと、アルミニウム、シリコン、クロム及びマンガンから選択される１つの元素とを含むバッファー層と、前記バッファー層上に設けられたビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物層とからなることを特徴とする圧電素子。 - 前記バッファー層は、ビスマスとアルミニウムを含み、
前記圧電体層は、結晶が（１１１）面に優先配向していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。 - 前記バッファー層は、ビスマスとシリコンを含み、
前記圧電体層は、結晶が（１１０）面に優先配向していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。 - 前記バッファー層は、ビスマスとマンガンを含み、
前記圧電体層は、結晶が（１００）面に優先配向していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。 - 前記バッファー層は、ビスマスとクロムを含み、
前記圧電体層は、結晶が任意の方向に強配向していることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子。 - 前記バッファー層は、１０ｎｍ以下の厚さであることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の圧電素子。
- 前記バッファー層は、島状に設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の圧電素子。
- 前記複合酸化物層は、さらにマンガンを含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の圧電素子。
- ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、
請求項１〜８の何れか一項に記載の圧電素子を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項９に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 請求項１〜８の何れか一項に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波デバイス。
- 請求項１〜８の何れか一項に記載の圧電素子を具備することを特徴とするフィルター。
- 請求項１〜８の何れか一項に記載の圧電素子を具備することを特徴とするセンサー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013065183A JP6168283B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー |
| US14/199,279 US9446588B2 (en) | 2013-03-26 | 2014-03-06 | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013065183A JP6168283B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014192268A JP2014192268A (ja) | 2014-10-06 |
| JP2014192268A5 true JP2014192268A5 (ja) | 2016-05-19 |
| JP6168283B2 JP6168283B2 (ja) | 2017-07-26 |
Family
ID=51620432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013065183A Expired - Fee Related JP6168283B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9446588B2 (ja) |
| JP (1) | JP6168283B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6011760B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法並びに液体噴射装置の製造方法 |
| JP6606866B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3095944B2 (ja) * | 1994-06-21 | 2000-10-10 | シャープ株式会社 | 酸化物結晶薄膜の製造方法及び薄膜素子 |
| JPH10313097A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Sharp Corp | 強誘電体薄膜、製造方法及び強誘電体薄膜を含んでなる素子 |
| JP4051654B2 (ja) | 2000-02-08 | 2008-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ |
| US7008669B2 (en) * | 2001-06-13 | 2006-03-07 | Seiko Epson Corporation | Ceramic and method of manufacturing the same, dielectric capacitor, semiconductor device, and element |
| JP2007287745A (ja) | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電材料および圧電素子 |
| JP5094334B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-12-12 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器および圧電素子 |
| WO2009096165A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Panasonic Corporation | 光学的情報記録媒体とその製造方法、及びターゲット |
| KR101235434B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2013-02-20 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 압전 세라믹 조성물 및 이것을 이용한 압전 소자 |
| JP5313792B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2013-10-09 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物、酸化物組成物、酸化物体、圧電素子、及び液体吐出装置 |
| JP5616130B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2014-10-29 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子及びそれを備えた圧電アクチュエータ、液体吐出装置、発電装置 |
| JP2011222849A (ja) * | 2010-04-13 | 2011-11-04 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および圧電素子 |
| JP5623134B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-11-12 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物、酸化物組成物、酸化物体、圧電素子、及び液体吐出装置 |
| JP5616126B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-10-29 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物、酸化物組成物、酸化物体、圧電素子、及び液体吐出装置 |
| JP5429385B2 (ja) * | 2010-08-12 | 2014-02-26 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜素子の製造方法、圧電薄膜素子及び圧電薄膜素子用部材 |
| JP5790922B2 (ja) * | 2011-04-22 | 2015-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー |
| JP2013001680A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-07 | Seiko Epson Corp | ニッケル酸ランタン膜形成用組成物の製造方法、ニッケル酸ランタン膜の製造方法、及び圧電素子の製造方法 |
| JP5834776B2 (ja) * | 2011-11-01 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、並びにセンサー |
-
2013
- 2013-03-26 JP JP2013065183A patent/JP6168283B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-03-06 US US14/199,279 patent/US9446588B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013226818A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー並びに圧電素子の製造方法 | |
| JP2014168055A5 (ja) | ||
| JP2014168056A5 (ja) | ||
| JP2015034124A5 (ja) | ||
| JP2015034121A5 (ja) | ||
| JP2014199910A5 (ja) | ||
| JP2012156493A5 (ja) | ||
| JP2014198460A5 (ja) | ||
| JP2013216565A5 (ja) | ||
| JP2015035587A5 (ja) | ||
| JP2008091877A5 (ja) | ||
| JP2014166942A5 (ja) | ||
| JP2014111522A5 (ja) | ||
| JP2014111523A5 (ja) | ||
| JP2014062034A5 (ja) | ||
| JP2014168054A5 (ja) | ||
| JP2013099916A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、圧電セラミックス、アクチュエーター、およびセンサー | |
| JP2014112665A5 (ja) | ||
| JP2014146772A5 (ja) | ||
| JP2015034125A5 (ja) | ||
| JP2013098370A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、並びにセンサー | |
| JP2014209616A5 (ja) | ||
| JP2014062035A5 (ja) | ||
| JP2011205066A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
| JP2013118232A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びセンサー |