JP2012129273A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー - Google Patents
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- 酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に形成された中間層と、
前記中間層の上に形成された第１電極と、
前記中間層の上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成された第２電極と、
ノズル孔に連通する圧力発生室と、を含み、
前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、
前記中間層は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項１において、
前記圧電体層は、前記中間層および前記第１電極の上に形成される、液体噴射ヘッド。 - 請求項１または２において、
前記複合酸化物は、マンガン、およびチタンを更に含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項３において、
前記複合酸化物は、カリウムを更に含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項１から４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
- 酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に形成された中間層と、
前記中間層の上に形成された第１電極と、
前記中間層の上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成された第２電極と、を含み、
前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、
前記中間層は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む、圧電素子。 - 請求項６に記載の圧電素子を具備することを特徴とする圧電センサー。
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