JP2009279830A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 液体をノズル開口から噴射させる液体噴射ヘッドであって、
   一部が振動板で構成されている圧力発生室および前記液体の流路が形成された第１の流路形成基板と、
   前記第１の流路形成基板の前記振動板とは反対側の面に接合された第２の流路形成基板と、
   前記振動板を備え、前記圧力発生室内に圧力を加え、前記液体を前記ノズル開口から噴射させるアクチュエータと、
   前記第１の流路形成基板の前記圧力発生室および前記流路の内面に形成された耐液体性を有する第１の保護膜と、
   前記第２の流路形成基板の少なくとも前記第１の流路形成基板に接合する面に形成された耐液体性を有する第２の保護膜と、
   を備え、
   前記第１の流路形成基板と前記第２の流路形成基板とは、前記第１の保護膜と前記第２の保護膜との間に設けられた接着剤によって接着され、
   前記第１の保護膜の表面における硬化前の前記接着剤に対する接触角θ１が、前記第２の保護膜の表面における硬化前の前記接着剤に対する接触角θ２より大きい
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記接着剤はエポキシ系接着剤であり、
   前記第１の保護膜は酸化タンタルであり、
   前記第２の保護膜は酸化ケイ素であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記第１の流路形成基板および前記第２の流路形成基板は、シリコンからなることを特徴とする液体噴射ヘッド。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。