JP2008221652A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 液滴を吐出するノズルに連通する圧力発生室を含む第１の液体流路を有する流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極膜、圧電体層及び上電極膜からなる圧電素子と、前記流路形成基板の一方面側に接着剤によって接合され前記振動板に設けられた開口部を介して前記第１の液体流路に連通する第２の液体流路を有する接合基板とを有する液体噴射ヘッドの検査方法であって、
   前記流路形成基板上に前記圧電素子を形成する際に、前記圧電素子の前記下電極膜及び前記上電極膜とは電気的に独立する第１の独立電極層を前記振動板上に形成しておき、
   前記液体噴射ヘッドの前記第１及び第２の液体流路内に導電性液体を充填した状態で、前記圧電素子の下電極膜及び前記第１の独立電極層と、前記導電性液体との間での導通状態をそれぞれ検出する導通検査工程を実施することを特徴とする液体噴射ヘッドの検査方法。
2. 前記液体噴射ヘッドが、導電性を有する材料からなり前記流路形成基板の他方面側に接合されるノズル形成部材を具備するものであり、
   前記導通検査工程では、前記下電極膜及び前記第１の独立電極層と、前記ノズル形成部材との間での導通状態をそれぞれ検出することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
3. 前記流路形成基板上に前記圧電素子を形成する際に、前記下電極膜、前記上電極膜及び前記第１の独立電極層とは電気的に独立した第２の独立電極層を、前記第１の独立電極層と前記下電極膜との間の前記第１の液体流路に対向する領域にさらに設け、
   前記導通検出工程では、前記第２の独立電極層と、前記導電性液体との間での導通状態をさらに検出するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。