JP2011031559A5 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッド及びその製造方法に関し、特に、
インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法に関する。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、振動板の割れの発生を比較的容易に検出することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明は、圧力発生手段により圧力発生室に圧力変動を生じさせて当該圧力発生室内に充填された液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、前記圧力発生室を含む液体流路が形成された第１の流路形成基板と、該第１の流路形成基板上に設けられて前記液体流路の一方の面を構成する振動板と、前記第１の流路形成基板の前記振動板側の面に接合される第２の流路形成基板と、を具備し、前記振動板上には、前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続される第１の電極層と、該第１の電極層及び前記液体とは電気的に独立する第２の電極層と、が設けられ、且つこれら第１及び第２の電極層が、前記第１の流路形成基板と前記第２の流路形成基板とが接合されている接合部の外側まで引き出された端子部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
さらに本発明は、このような構成の液体噴射ヘッドの前記第１の液体流路内に液体を充填した状態で、前記第１の電極層の端子部と前記第２の電極層の端子部との間で導通状態を検出する検査工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、第１の液体流路内に導電性を有する液体を充填した状態で、第１の電極の端子部と第２の電極の端子部との間で導通状態を検出することで、振動板の有無を比較的容易且つ正確に判定することができる。特に、第１及び第２の電極層の端子部が、第１及び第２の流路形成基板の接合部の外側に設けられていることで、検査工程において第１及び第２の電極層間の導通状態を容易に検出することができる。これにより振動板の割れの無い良品のみが出荷されるため、初期不良の発生が大幅に抑制される。
ここで、前記第１の電極層は、例えば、前記液体流路内に露出する露出部を有し該露出部によって前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続されている。前記露出部は、例えば、前記第２の流路形成基板を前記第１の流路形成基板側に接合する接着剤層に前記第１の電極層が埋もれた部分である。これにより、第１の電極層と液体とが確実に電気的に接続される。
また前記第２の流路形成基板と前記振動板との間には、前記圧力発生手段が収容される密封空間である保持部が設けられており、前記第２の電極層が、前記振動板上の前記保持部に対応する部分に設けられていることが好ましい。これにより、振動板の主要部における割れの有無をより確実に検出することができる。

Claims (6)

  1. 圧力発生手段により圧力発生室に圧力変動を生じさせて当該圧力発生室内に充填された液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、
    前記圧力発生室を含む液体流路が形成された第１の流路形成基板と、
    該第１の流路形成基板上に設けられて前記液体流路の一方の面を構成する振動板と、
    前記第１の流路形成基板の前記振動板側の面に接合される第２の流路形成基板と、
    を具備し、
    前記振動板上には、
    前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続される第１の電極層と、
    該第１の電極層及び前記液体とは電気的に独立する第２の電極層と、
    が設けられ、
    且つこれら第１及び第２の電極層が、前記第１の流路形成基板と前記第２の流路形成基板とが接合されている接合部の外側まで引き出された端子部を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記第１の電極層は、前記液体流路内に露出する露出部を有し該露出部によって前記液体流路内に充填されている液体と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
  3. 前記露出部が、前記第２の流路形成基板を前記第１の流路形成基板側に接合する接着剤層に前記第１の電極層が埋もれた部分であることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記第２の流路形成基板と前記振動板との間には、前記圧力発生手段が収容される密封空間である保持部が設けられており、前記第２の電極層が、前記振動板上の前記保持部に対応する部分に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記第２の電極層が、前記保持部の周縁部に対向する部分に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
  6. 請求項１〜５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドの前記第１の液体流路内に導電性液体を充填した状態で、前記第１の電極層の端子部と前記第２の電極層の端子部との間で導通状態を検出する検査工程を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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