JP2013159034A - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体噴射ヘッド本体と固定板との接着を容易に行うことができ、かつ、固定板をグラウンドに容易に導通できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧力室３６内の液体に圧力変動を付与することにより、ノズル面３９に形成されたノズル３８から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド本体１５と、液体噴射ヘッド本体１５のノズル面３９が固定される固定部５３と、該固定部５３の外周縁から前記ノズル面方向の側方に向けて突出した屈曲部５４と、を有する固定板１６と、を備えた液体噴射ヘッド２の製造方法であって、固定部５３に接着剤５８を塗布する塗布工程と、該接着剤５８を介して液体噴射ヘッド本体１５を固定部５３に固定する接合工程と、該接合工程の後、屈曲部５４を液体噴射ヘッド本体１５側へ折り曲げる屈曲工程と、を含む。
【選択図】図５

Description

本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法に関する。

この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッドがあるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

例えば、上記のような液体噴射ヘッドには、液体を噴射する液体噴射ヘッド本体を複数備えたものがある。液体噴射ヘッド本体は、圧電素子（圧力発生手段の一種）を駆動することにより圧力室内の液体に圧力変化を与え、この圧力変化を利用してノズル面に開口したノズルから液体を噴射することができる。また、液体噴射ヘッド本体のノズル面側には、固定板が固定されている。この固定板により、各液体噴射ヘッド本体の相対位置が規定されると共に、ノズル面が保護されている。そして、このような液体噴射ヘッドの中には、固定板の周縁部を液体噴射ヘッド本体側へ折り曲げ、部分液体噴射ヘッド本体の側面に沿わせたものがある（例えば、特許文献１）。この固定板の折り曲げ部分をグラウンドに導通させる（接地させる）ことで、液体噴射ヘッド本体のノズル面を静電気等から保護している。

特開２００９−０５６６５８号公報

ところで、液体噴射ヘッド本体と固定板との接合には接着剤が用いられる。この接着剤の量がばらつき、液体噴射ヘッド本体と固定板との間から接着剤がはみ出た場合、ノズル面を汚損する可能性があった。この問題を解決するために、接着剤の量が管理し易いスクリーン印刷や転写印刷等により接着剤を固定板に塗布する方法を採用することが考えられる。しかしながら、上記した特許文献１のような固定板では、固定板の折り曲げ部分が邪魔になるため、スクリーン印刷や転写印刷等を行い難かった。例えば、スクリーン印刷を行う場合、固定板の折り曲げ部分が邪魔になり、スクリーン版を固定板に当接させることが困難になっていた。一方、折り曲げられていない平らな固定板を用いることも考えられるが、このような固定板では、グラウンドとの導通部分がノズル面の近傍に位置するので、当該導通部分に記録紙が接触する等して所謂紙ジャムを発生させる虞がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射ヘッド本体と固定板との接着を容易に行うことができ、かつ、固定板をグラウンドに容易に導通できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、圧力室内の液体に圧力変動を付与することにより、ノズル面に形成されたノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記液体噴射ヘッド本体のノズル面が固定される固定部と、該固定部の外周縁から前記ノズル面方向の側方に向けて突出した屈曲部と、を有する固定板と、
を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記固定部に接着剤を塗布する塗布工程と、
該接着剤を介して前記液体噴射ヘッド本体を前記固定部に固定する接合工程と、
該接合工程の後、前記屈曲部を前記液体噴射ヘッド本体側へ折り曲げる屈曲工程と、
を含むことを特徴とする。

本発明の液体噴射ヘッドの製造方法によれば、固定部に接着剤を塗布する塗布工程において平らな固定板を使用することができるため、接着剤の量を管理し易いスクリーン印刷や転写印刷等を用いて接着剤を固定板に容易に塗布することができる。これにより、液体噴射ヘッド本体と固定板との接着精度を高めつつ、両者を容易に固定することができる。また、例えばスクリーン印刷を行う場合、複数の固定板を平面状に並べ、一枚のスクリーン版を用いて、一度に接着剤を塗布することができるため、製造効率が向上する。さらに、屈曲工程において固定板の屈曲部を液体噴射ヘッド本体側へ折り曲げるため、この屈曲部を通じて容易にグラウンドへ導通させることができる。

また、上記構成において、前記液体噴射ヘッドは、折り曲げられた前記屈曲部が接合される屈曲部接合領域を有し、
前記塗布工程において前記屈曲部に接着剤を塗布し、
前記屈曲工程の後、該接着剤を介して前記屈曲部を前記屈曲部接合領域に接合する屈曲部接合工程を含むことが望ましい。

この構成によれば、屈曲部を、接着剤を介して屈曲部接合領域に固定したので、記録紙等の記録媒体が接触することによる屈曲部の破損や紙ジャムの発生を抑制することができる。また、屈曲部を接合するための接着剤を、接着工程で一度に塗布することができ、屈曲部接合領域と屈曲部とを容易に接合することができる。

さらに、上記各構成において、前記屈曲部を接地する接地工程を含むことが望ましい。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの組み立て前における分解斜視図である。 記録ヘッドの断面図である。 図３における領域Ａの拡大図である。 記録ヘッドの製造方法を説明する模式図である。 第２実施形態における記録ヘッドの断面図である。 図６における領域Ｂの拡大図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式プリンター１（本発明の液体噴射装置の一種）を例に挙げて行う。

図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、記録ヘッド）が取り付けられると共に、内部に液体を貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。

キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。

また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル面３９（ノズルプレート２９：図４参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル面３９を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。

次に記録ヘッド２について、図を用いて説明する。
図２は本実施形態の記録ヘッド２の組み立て前における分解斜視図である。図３は記録ヘッド２の断面図である。図４は、図３における領域Ａの拡大図である。本実施形態における記録ヘッド２は、保持部材の一種であるホルダー１４、液体噴射ヘッド本体の一種である記録ヘッド本体１５、および固定板１６により構成されている。また、記録ヘッド２には、記録ヘッド本体１５が間隔を空けて４つ並設されている。

ホルダー１４は、インクカートリッジ３が装着されるカートリッジ装着部１８と、カートリッジ装着部１８の下方において記録ヘッド本体１５が接続されるヘッド接続部１９とから構成される。カートリッジ装着部１８には、複数の液体導入針２０が上方（インクカートリッジ３側）向けて突設されている。また、ホルダー１４の内部には、図３等に示すように、液体導入針２０からカートリッジ装着部１８の内部を通ってヘッド接続部１９の下面に開口する液体導入流路２１が形成されている。この液体導入流路２１の下端は、後述するケース流路５１に連通されている。そして、インクカートリッジ３を記録ヘッド２に装着すれば、液体導入針２０がインクカートリッジ３の内部に挿入される。これにより、インクカートリッジ３からのインクが、液体導入流路２１を通じて記録ヘッド本体１５側に導入される。

また、ヘッド接続部１９の下端には、記録ヘッド本体１５が接合されている。本実施形態では、液体導入流路２１とケース流路５１との連通部分の周囲を接着剤２４で充填することで、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド接続部１９の下面とを接着している。なお、接着剤２４は弾力性を有する接着剤が用いられ、液体導入流路２１とケース流路５１との連通部分をシールすることができる。また、液体導入流路２１の下面側の開口縁、またはケース流路５１の上面側の開口縁にパッキンを設け、このパッキンを対向する面に当接することよって液体導入流路２１とケース流路５１を連通してもよい。この場合、パッキンの周囲に接着剤を充填する。

次に記録ヘッド本体１５について説明する。
記録ヘッド本体１５は、図４に示すように、流路基板２８、ノズルプレート２９、圧電素子３０（圧力発生手段の一種）、保護基板３１、コンプライアンス基板３２、およびヘッドケース３３を備えている。

流路基板２８は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン単結晶基板からなり、長手方向に沿って細長な連通部３５が２本形成されている。これらの連通部３５に挟まれた領域には、複数の圧力室３６が、ノズル列方向に並んだ状態で、連通部３５ごとに合計２列形成されている。各圧力室３６は、圧力室３６よりも狭い幅で形成されたインク供給路３７を介して、連通部３５と連通している。

流路基板２８の下面（圧電素子３０とは反対側の面）には、ノズルプレート２９が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート２９は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はシリコン単結晶等で形成されており、各圧力室３６のインク供給路３７とは反対側で連通するノズル３８が複数穿設されている。これらのノズル３８は、例えば、３６０ｄｐｉのピッチで列設されたノズル列を構成する。なお、ノズルプレート２９の下面が本発明におけるノズル面３９に相当する。また、ノズル面３９の周縁部には、固定板１６が接合されている。

流路基板２８の上面（ノズルプレート２９とは反対側の面）には、弾性膜４０が積層されている。この弾性膜４０上には、例えば下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電素子３０が、各圧力室３６に対向した状態で２列並設されている。この圧電素子３０の一側（中央側）の端部には、上電極膜と導通するリード電極（図示せず）の一端が接続されている。このリード電極の他端は、絶縁体膜上において記録ヘッド本体１５の中央部側に延在し、フレキシブルケーブル４１の一端と電気的に接続されている。なお、フレキシブルケーブル４１の他端は、図示しない制御部と接続されている。

また、弾性膜４０上には、圧電素子３０に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持空間４２を有する保護基板３１が接合されている。この保護基板３１には、連通部３５に対向する位置に厚さ方向に貫通した長尺なリザーバー部４３が２本設けられると共に、フレキシブルケーブル４１とリード電極を接続可能な配置空間４５が中央部に設けられている。なお、リザーバー部４３は各連通部３５と連通し、圧力室３６にインクを供給するリザーバー（共通液室）４４を構成している。

コンプライアンス基板３２は、可撓性を有する封止膜４６と金属等の硬質の部材からなる固定基板４７とを積層した基板であり、保護基板３１の上側（流路基板２８とは反対側）に接合されている。このコンプライアンス基板３２には、リザーバー４４にインクを導入するインク導入口４８が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板３２のリザーバー４４に対向する領域のうちインク導入口４８以外の領域は、固定基板４７が除去された封止膜４６のみからなる封止部４９となっている。これにより、リザーバー４４は可撓性を有する封止部４９により封止され、コンプライアンスが得られることになる。

ヘッドケース３３は、コンプライアンス基板３２の上側（保護基板３１とは反対側）に接合された中空箱体状部材である。ヘッドケース３３の内部には、保護基板３１の配置空間４５と連通する挿通空間５０、およびケース流路５１がその高さ方向に貫通して形成されている。この挿通空間５０内には、フレキシブルケーブル４１が挿通されている。ケース流路５１は、ホルダー１４側からのインクをリザーバー４４に供給するための流路であり、上端が液体導入流路２１に連通され、下端がインク導入口４８と連通されている。また、ヘッドケース３３の下面のうち封止部４９に対向する部分には、封止膜４６の可撓変形を阻害しない程度の封止空間が備えられている。

このように構成された記録ヘッド本体１５は、インクカートリッジ３からのインクを液体導入流路２１を通じてケース流路５１内に取り込んでいる。ケース流路５１内に取り込まれたインクは、リザーバー４４、インク供給路３７を介して圧力室３６に供給される。そして、記録ヘッド本体１５は、圧電素子３０を駆動させることで圧力室３６内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズル３８からインクを噴射している。

次に固定板１６について説明する。
固定板１６はステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成され、図２に示すように、記録ヘッド本体１５に固定される前において平板状に形成されている。詳しく説明すると、この固定板１６は、記録ヘッド本体１５のノズル面３９が固定される固定部５３と、該固定部５３の外周縁からノズル面方向の側方に向けて突出した屈曲部５４と、を有している。固定部５３には、記録ヘッド本体１５のノズル面３９におけるノズル３８を露出させる開口領域５５と、開口領域５５の周囲の領域であってノズル面３９の一部に重なる状態で接合される接合領域５６とが設けられている。すなわち、この接合領域５６が接着剤５８ａを介してノズル面３９と接合されている。

なお、本実施形態では、４つの記録ヘッド本体１５が間隔を空けて並設された状態で固定板１６に固定されているため、これらに対応して固定部５３には４つの開口領域５５が、ノズル列方向に直交する方向に並設されている。また、開口領域５５は、固定板１６の厚さ方向に貫通した矩形の開口部であり、少なくともノズル面３９の全てのノズル３８を露出可能な大きさに設定されている。この開口領域５５の周縁部であって、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の周縁部と接合される部分が接合領域５６となっている。

そして、屈曲部５４は、固定板１６が記録ヘッド本体１５に固定される前において、固定部５３と同一平面に形成されている。本実施形態の屈曲部５４は、固定部５３の幅よりも狭い幅に形成され、固定板１６において記録ヘッド本体１５の並列方向の両側に突設されている。また、屈曲部５４の固定部５３側の基端部分（固定部５３との境界部分）には、その幅方向の両側から切り欠いて幅を狭くすることで、屈曲部５４の他の部分よりも強度を弱くした脆弱部５９が形成されている。そして、記録ヘッド２を製造する際に、屈曲部５４はこの脆弱部５９を変曲点として折り曲げられ、図４に示すように、記録ヘッド本体１５の側面に接着剤５８ｂを介して固定される。この状態において、屈曲部５４は電極パッドとして機能し、例えば、図示しない回路基板のグラウンド電極や、回路基板のグラウンド電極と接続された板金等に接続される。これにより、固定板１６がグラウンドに導通（接地）され、記録ヘッド本体１５のノズル面３９を静電気等から保護することができる。

次に、記録ヘッド２の製造方法について説明する。図５（ａ）〜（ｄ）は、記録ヘッド２の製造工程を説明した模式図である。

まず、図５（ａ）に示すように、平らな状態（屈曲部５４が屈曲されていない状態）の固定板１６上に所定の量（記録ヘッド本体１５と接合したときに固定板１６からはみ出さない程度の量）の接着剤５８が塗布される（塗布工程）。本実施形態では、固定部５３（接合領域５６）と屈曲部５４との両方に接着剤５８ａ，５８ｂが塗布されている。なお、接着剤５８の塗布方法としては、固定板１６が平板状に形成されているため、接着剤５８の塗布量を管理し易いスクリーン印刷や転写印刷等を用いることができる。もちろん、ディスペンサー等を用いて接着剤５８を塗布しても良い。

次に、図５（ｂ）に示すように、記録ヘッド本体１５が固定板１６（固定部５３）の所定の位置に接着剤５８ａを介して接合（固定）される（接合工程）。この際、固定板１６に対し記録ヘッド本体１５のノズル面３９が押し当てられて接着されるが、接着剤５８ａの量が管理されているため、接着剤５８ａが固定板１６の接合領域５６から開口領域５５側にはみ出さない。なお、本実施形態では、４つの記録ヘッド本体１５が固定板１６に接合されている。

その後、図５（ｃ）に示すように、固定板１６の屈曲部５４が、脆弱部５９を変曲点として記録ヘッド本体１５側に折り曲げられる（屈曲工程）。本実施形態では、屈曲部５４に接着剤５８ｂが塗布されているため、屈曲部５４を折り曲げた後、記録ヘッド本体１５の側面側に押し当てることで、この屈曲部５４が接着剤５８ｂを介して記録ヘッド本体１５の側面に接合される（屈曲部接合工程）。なお、本実施形態では、２つの屈曲部５４が、記録ヘッド本体１５の並列方向の両端部に位置する記録ヘッド本体１５の側面に、それぞれ接合されている。また、この記録ヘッド本体１５の側面が本発明における屈曲部接合領域に相当する。

屈曲部５４が記録ヘッド本体１５の側面に接合された後、図５（ｄ）に示すように、記録ヘッド本体１５の上端面（ノズル面３９とは反対側の面）に、接着剤２４を介してホルダー１４（ヘッド接続部１９）の下端が接合される。そして、屈曲部５４は、図示しない回路基板のグラウンド電極等に接続されて、接地される（接地工程）。

このように、固定部５３に接着剤５８を塗布する塗布工程において平らな固定板１６を使用することができるため、接着剤５８の量を管理し易いスクリーン印刷や転写印刷等を用いて接着剤５８を固定板１６に容易に塗布することができる。これにより、記録ヘッド本体１５と固定板１６との接着精度を高めつつ、両者を容易に固定することができる。また、例えばスクリーン印刷を行う場合、複数の固定板１６を平面状に並べ、一枚のスクリーン版を用いて、一度に接着剤５８を塗布することができるため、製造効率が向上する。さらに、屈曲工程において固定板１６の屈曲部５４を記録ヘッド本体１５側へ折り曲げるため、この屈曲部５４を通じて容易にグラウンドへ導通させることができる。また、屈曲部５４を、接着剤４８ｂを介して記録ヘッド本体１５の側面に固定したので、記録紙５等が接触することによる屈曲部５４の破損や紙ジャムの発生を抑制することができる。さらに、屈曲部５４を接合するための接着剤４８ｂを、接着工程で一度に塗布することができ、記録ヘッド本体１５の側面と屈曲部５４とを容易に接合することができる。

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、図６および図７に示す、第２の実施形態における記録ヘッド２′では、ホルダー１４′のヘッド接続部１９′に記録ヘッド本体１５が収容される収容空部６１を備え、この収容空部６１の開口縁、および、記録ヘッド本体１５のノズル面３９が固定板１６′に固定されている。

具体的に説明すると、本実施形態のホルダー１４′のヘッド接続部１９′には、下端面（固定板１６′との接合面）から反対側（固定板１６′との接合面とは反対面側）に窪んだ収容空部６１が設けられている。この収容空部６１内に、本実施形態では４つの記録ヘッド本体１５が収容されている。言い換えると、ヘッド接続部１９′の下部において記録ヘッド本体１５が装着されるヘッド装着面６２と、ヘッド装着面６２の外周縁において当該ヘッド装着面６２から下側（固定板１６′側）に向けて延出された壁部６３とが備えられている。このヘッド装着面６２と壁部６３に囲まれた空間が収容空部６１となっている。また、液体導入流路２１′の下端は、ヘッド装着面６２に開口されている。

また、本実施形態では、記録ヘッド本体１５の高さがばらついたとしても、記録ヘッド本体１５を収容空部６１内に収容できるように、壁部６３の高さが記録ヘッド本体１５の高さの設計値よりも僅かに高く設定されている（図７参照）。このため、記録ヘッド本体１５を収容空部６１内に収容した状態では、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド装着面６２との間に僅かな隙間６４が形成される。この隙間６４のうち液体導入流路２１′とケース流路５１との連通部分の周囲を接着剤２４′で充填することで、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド装着面６２とが接着されている。なお、本実施形態では、図７に示すように、収容空部６１内に収容された記録ヘッド本体１５の側面と、壁部６３との間に空間が設けられるように構成されている。

そして、本実施形態の固定板１６′の固定部５３′には、図６、図７に示すように、記録ヘッド本体１５のノズル面３９が接合される部分である第１の接合部６６と、第１の接合部６６よりもノズル面３９との接合面方向の外側に形成され、ホルダー１４′（壁部６３）が接合される部分である第２の接合部６７とを有している。この第１の接合部６６に、開口領域５５′と接合領域５６′とが設けられている。また、本実施形態の屈曲部５４′は、第２の接合部６７の外周縁からノズル面方向の側方に向けて突出して形成されている。なお、その他の構成は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。

次に、本実施形態の記録ヘッド２′の製造方法について説明する。
まず、塗布工程において、平らな状態の固定板１６′上に所定の量の接着剤５８′が塗布される。本実施形態では、第１の接合部６６（接合領域５６′）、および、屈曲部５４′に接着剤５８ａ′，５８ｂ′が塗布される。次に、接合工程において、固定板１６′の第１の接合部６６に対し、開口領域５５′からノズル３８を露出させた状態で、それぞれ記録ヘッド本体１５が接合される。

接合工程の後、ホルダー１４′の収容空部６１の開口周縁部（壁部６３の下端面）に接着剤６９（図７参照）が塗布されると共に、ヘッド装着面６２の所定の位置に接着剤２４′が塗布される。この状態で、収容空部６１内に記録ヘッド本体１５を収容すると、ヘッド装着面６２と記録ヘッド本体１５の上面とが接着剤２４′を介して接合されると共に、ホルダー１４′と固定板１６′の第２の接合部６７とが接着剤６９を介して接合される。その後、屈曲工程において、屈曲部５４′が、脆弱部５９′を変曲点として記録ヘッド本体１５側に折り曲げられ、屈曲部接合工程において、接着剤５８ｂ′を介してホルダー１４′の側面に接合される。なお、本実施形態では、ホルダー１４′の側面が本発明における屈曲部接合領域に相当する。そして、接地工程において、屈曲部５４が接地される。なお、ホルダー１４′と固定板１６′の第２の接合部６７とを接着する接着剤６９は、ホルダー１４′側に塗布せず、固定板１６′の第２の接合部６７に塗布することもできる。この場合、塗布工程において、接着剤５８ａ′，５８ｂ′，６９を一度に塗布することができる。

そして、本実施形態においても、固定部５３′に接着剤５８′を塗布する塗布工程において平らな固定板１６′を使用することができるため、接着剤５８′の量を管理し易いスクリーン印刷や転写印刷等を用いて接着剤５８′を固定板１６′に容易に塗布することができる。これにより、記録ヘッド本体１５と固定板１６′との接着精度を高めつつ、両者を容易に固定することができる。また、屈曲工程において固定板１６′の屈曲部５４′を記録ヘッド本体１５側へ折り曲げるため、この屈曲部５４′を通じて容易にグラウンドへ導通させることができる。さらに、屈曲部５４′を接着剤４８ｂ′を介してホルダー１４′の側面に固定したので、記録紙５等が接触することによる屈曲部５４′の破損を抑制することができる。また、屈曲部５４′を接合するための接着剤４８ｂ′を、接着工程で一度に塗布することができ、記録ヘッド本体１５の側面と屈曲部５４′とを容易に接合することができる。

ところで、上記した各実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電素子３０を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。その他、圧力発生手段としては、発熱によりインクを突沸させることで圧力変動を生じさせる発熱素子や、静電気力により圧力室の区画壁を変位させることで圧力変動を生じさせる静電アクチュエーターなどの圧力発生手段を採用する構成においても本発明を適用することが可能である。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２を備えたプリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備えた液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録ヘッド，１４…ホルダー，１５…記録ヘッド本体，１６…固定板，１８…カートリッジ装着部，１９…ヘッド接続部，２０…液体導入針，２１…液体導入流路，２８…流路基板，２９…ノズルプレート，３０…圧電素子，３１…保護基板，３２…コンプライアンス基板，３３…ヘッドケース，３６…圧力室，３７…インク供給口，３８…ノズル，３９…ノズル面，４４…リザーバー，４８…インク導入口，５１…ケース流路，５３…固定部，５４…屈曲部，５５…開口領域，５６…接合領域，５８…接着剤，５９…脆弱部

Claims (3)

1. 圧力室内の液体に圧力変動を付与することにより、ノズル面に形成されたノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド本体と、
   前記液体噴射ヘッド本体のノズル面が固定される固定部と、該固定部の外周縁から前記ノズル面方向の側方に向けて突出した屈曲部と、を有する固定板と、
   を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   前記固定部に接着剤を塗布する塗布工程と、
   該接着剤を介して前記液体噴射ヘッド本体を前記固定部に固定する接合工程と、
   該接合工程の後、前記屈曲部を前記液体噴射ヘッド本体側へ折り曲げる屈曲工程と、
   を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
2. 前記液体噴射ヘッドは、折り曲げられた前記屈曲部が接合される屈曲部接合領域を有し、
   前記塗布工程において前記屈曲部に接着剤を塗布し、
   前記屈曲工程の後、該接着剤を介して前記屈曲部を前記屈曲部接合領域に接合する屈曲部接合工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
3. 前記屈曲部を接地する接地工程を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。

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