JP6024388B2 - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、内部に設けられた流路を通じて圧力室に導入された液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置に関するものである。

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

上記の液体噴射ヘッドは、液体が貯留されたカートリッジから圧力室に液体を導入し、当該圧力室の液体に圧力変動を生じさせて、この圧力室に通じるノズルから液体を噴射するように構成されている。このような液体噴射ヘッドは、積層された複数の部材によって構成され、これらの内部に設けられた複数の通路を介して、カートリッジと圧力室とが連通されている。そして、積層される部材の通路同士を連通させるために、弾性材からなるシール部材が用いられる場合がある。

例えば、特許文献１では、ノズルに連通するヘッド流路を有するヘッド本体と、インクカートリッジからのインクをヘッド流路へ導くホルダ流路が形成されたヘッドホルダと、を備え、これらの間に配置されたシール部材によってホルダ流路とヘッド流路とを連通させる構成が開示されている。より具体的には、ヘッド流路の開口縁とホルダ流路の開口縁との間にシール部材を挟んで押し潰すことによって、シール部材に設けられた連通口を介してヘッド流路とホルダ流路とを連通している。

特開２００３−３９６７２号公報

しかしながら、上記のような液体噴射ヘッドでは、シール部材の押し潰された部分に反力が発生し、この反力に起因する応力が上下の部材やその他の部材に伝達して液体噴射ヘッド全体を変形させる虞があった。液体噴射ヘッドが変形すると、ノズルから噴射する液滴の着弾位置がずれる等の噴射（吐出）不良が起こる虞がある。一方、シール部材を押し潰す力を小さくして、反力を減らす方法も考えられるが、シール部材によって連通される流路間のシール性が低下する虞がある。また、シール部材が十分に押し潰されない場合、シール部材の連通口の内面と流路の内面とが面一に接続されず、これらの間に段差が生じる。このような段差が生じると、液体を充填したときに当該段差に気泡が残り、噴射不良の原因となる虞がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、異なる部材に挟持されたシール部材によってこれらの部材にそれぞれ設けられた２つの流路を連通しつつ、挟持されたシール部材の反力を低減した液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１の流路を備えた第１のヘッド構成部材と、
第２の流路を備えた第２のヘッド構成部材と、
前記第１のヘッド構成部材と前記第２のヘッド構成部材の間に配置され、前記第１の流路と前記第２の流路を連通させるシール部材と、
を積層して備え、
前記第１の流路および前記第２の流路を通じて導入した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記第１または第２のヘッド構成部材のうち少なくとも一方は、前記シール部材に向かって突出した第１の凸部を備えると共に、該第１の凸部の先端に当該ヘッド構成部材の流路を開口し、
前記シール部材は、前記第１の流路と前記第２の流路とを連通させる連通孔と、前記第１の凸部の外周面と嵌合して、当該第１の凸部の先端部と嵌合する第１の凹部と、前記第１の凹部の底面に、該第１の凹部の内周面に沿って窪んだ第２の凹部とを設けたことを特徴とする。

この構成によれば、第１の凹部内の第２の凹部によって、第１の流路と第２の流路との連通部分におけるシール部材の変形を許容でき、シール部材の反力を低減することができる。これにより、反力によって液体噴射ヘッド自体が変形することを抑制でき、液滴の噴射（吐出）不良を抑制することができる。また、第１の凹部によって、第１の凸部の位置を規制できるため、たとえ弾性率の低いシール部材を用いたとしても、位置ずれが抑制されて第１の流路と第２の流路とを確実に連通させることができる。その結果、例えば、ゴム等の超弾性材をシール部材に使用でき、シール部材の反力を一層低減することができる。

上記構成において、前記シール部材が弾性材で形成されていることが望ましい。

この構成によれば、シール部材の反力を低減することができる。

上記各構成において、前記第１の凹部は、前記第１の凸部側の面から同側に突設された筒状部分の内側に形成されていることが望ましい。

この構成によれば、第１の凹部の内周面を構成する外壁を薄くすることができ、当該外壁を撓み易くすることができる。これにより、第１の凹部と第１の凸部の先端部とを嵌合し易くすることができ、これらの接続が容易になる。

さらに、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。

この構成によれば、シール部材の反力を低減し、ひいては液滴の噴射（吐出）不良を抑制することができるため、装置の信頼性が向上する。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの断面図である。 記録ヘッド本体の断面図である。 図２における領域Ａの拡大図である。 第２実施形態におけるシール部材の説明図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げる。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３（後述するホルダ１４）に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。

本実施形態の記録ヘッド３は、図２に示すように、インク導入針１３、ホルダ１４（本発明における第１のヘッド構成部材に相当）、接続部材１５（本発明における第２のヘッド構成部材に相当）、記録ヘッド本体１６（液体噴射ヘッド本体の一種）、接続基板１７、および、シール部材１８等を備えている。なお、本実施形態では、接続部材１５の下面に４つの記録ヘッド本体１６を、間隔を開け並設している。

ホルダ１４は、接続部材１５の上面側（記録ヘッド本体１６とは反対側）に取り付けられた樹脂等からなる部材である。このホルダ１４の上面には、インクカートリッジ７が着脱可能に取り付けられるカートリッジ装着部２０が設けられている。また、このカートリッジ装着部２０の上面には、インク導入針１３が複数立設されている。インク導入針１３は、インクカートリッジ７からのインクを導入する部材であり、内部に導入針流路２２が形成されている。また、インク導入針１３の尖端部には、インク導入針１３の外部と導入針流路２２とを連通する導入孔２３が複数開設されている。これにより、カートリッジ装着部２０に装着されたインクカートリッジ７から、導入孔２３を介して導入針流路２２にインクを導入することができる。本実施形態では、８本のインク導入針１３が、一直線状に列設されている。なお、プリンター１の本体側にインクカートリッジ７を配置し、当該インクカートリッジ７から供給チューブを通じて記録ヘッド３側にインクを供給する構成においても本発明を適用することができる。

また、本実施形態のホルダ１４の下面側（接続部材１５側）には、接続基板１７、および、シール部材１８を収容できる収容空部２５が、下面から反対側の途中まで凹んだ状態で設けられている。また、ホルダ１４の内部には、上端がインクを濾過するフィルター２４を介して導入針流路２２と連通し、下端が収容空部２５内に開口したホルダ流路２７（本発明における第１の流路に相当）が設けられている。そして、収容空部２５内の底面（接続部材１５に対向する面）には、接続部材１５側に突出したホルダ凸部２６（本発明における第１の凸部に相当）が設けられている。このホルダ凸部２６の先端（下端）に、ホルダ流路２７の下端が開口している。なお、本実施形態のホルダ流路２７およびホルダ凸部２６は、８本のインク導入針１３に対応して、８つ設けられている。また、本実施形態のホルダ凸部２６は円柱状に形成されている。そして、ホルダ１４の下面のうち収容空部２５の開口縁が、ネジ等を用いて接続部材１５と接続固定されている。

接続部材１５は、上面側にホルダ１４が接続され、下面側に記録ヘッド本体１６が接続されている。この接続部材１５の内部には、フレキシブルケーブル２９を挿通させる接続空間３０およびホルダ１４からの液体を記録ヘッド本体１６に導入する接続流路３１（本発明における第２の流路に相当）が板厚方向に貫通して形成されている。本実施形態では、４つの記録ヘッド本体１６に対応して、４つの接続空間３０が設けられている。また、８つのホルダ流路２７に対応して８つの接続流路３１が設けられている。そして、接続部材１５の上面には、ホルダ１４側に突出した接続凸部３２（本発明における第１の凸部に相当）が設けられている。この接続凸部３２の先端に、接続流路３１の上端が開口している。なお、本実施形態の接続凸部３２はホルダ凸部２６よりも径が小さい円柱状に形成されている（図４参照）。

接続基板１７は、フレキシブルケーブル２９の一端が接続される配線基板の一種であり、このフレキシブルケーブル２９を介して、制御部（図示せず）からの電気信号を後述する圧電素子４０に送っている。本実施形態の接続基板１７は、接続部材１５の上面に載置された状態で収容空部２５内に収容されている。また、この接続基板１７には、接続部材１５の接続凸部３２を挿通させる開口部（図示せず）が、各接続凸部３２に対応して設けられている。このため、各接続凸部３２は、接続基板１７が接続部材１５の上面に載置された状態において、接続基板１７の開口部を通じて上方（収容空部２５内）に突出する。

接続基板１７の上方には、厚さが均一な板状（シート状）のシール部材１８が配置されている。具体的には、シール部材１８は、ホルダ１４のホルダ凸部２６と接続部材１５の接続凸部３２との間に配置（挟持）され、ホルダ流路２７と接続流路３１とを連通させる、可撓性を有する弾性材である。本実施形態のシール部材１８は、例えば、ゴム等からなる超弾性材によって形成されている。なお、このシール部材１８のホルダ流路２７と接続流路３１とを接続する部分の構成については、後で詳しく説明する。

次に記録ヘッド本体１６について説明する。
記録ヘッド本体１６は、図３に示すように、流路基板３８、ノズルプレート３９、圧電素子４０（圧力発生手段の一種）、保護基板４１、コンプライアンス基板４２、およびヘッドケース４３を備えている。

流路基板３８は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン単結晶基板からなり、同方向に沿って細長な連通部４５が２本形成されている。これらの連通部４５に挟まれた領域には、複数の圧力室４６が、ノズル列方向に並んだ状態で形成されている。本実施形態では、連通部４５ごとに２列に並んだ状態で形成されている。そして、各圧力室４６は、圧力室４６よりも狭い幅で形成されたインク供給路４７を介して、連通部４５と連通している。

流路基板３８の下面（圧電素子４０とは反対側の面）には、ノズルプレート３９が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート３９は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はシリコン単結晶等で形成されており、各圧力室４６のインク供給路４７とは反対側で連通するノズル４８が複数穿設されている。これらのノズル４８は、例えば、３６０ｄｐｉのピッチで列設されたノズル列を構成する。

流路基板３８の上面（ノズルプレート３９とは反対側の面）には、弾性膜５０が積層されている。この弾性膜５０上には、下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電素子４０が、各圧力室４６に対向した状態で、２列並設されている。この圧電素子４０の一側（中央側）の端部には、上電極膜と導通するリード電極（図示せず）の一端が接続されている。このリード電極の他端は、絶縁体膜上においてヘッド本体の中央部側に延在し、フレキシブルケーブル２９の他端と電気的に接続されている。

また、弾性膜５０上には、圧電素子４０に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持空間５１を有する保護基板４１が接合されている。この保護基板４１には、連通部４５に対向する位置に厚さ方向に貫通した長尺な液室空部５２が２本設けられると共に、フレキシブルケーブル２９とリード電極を接続可能な配置空間５４が中央部に設けられている。この配置空間５４は、ヘッドケース４３の挿通空間５９に対応する位置に形成され、この挿通空間５９と連通されている。なお、液室空部５２は各連通部４５と連通し、圧力室４６にインクを供給するリザーバー５３（共通液室）を構成している。

コンプライアンス基板４２は、可撓性を有する封止膜５５と金属等の硬質の部材からなる固定基板５６とを積層した基板であり、保護基板４１の上側（流路基板３８とは反対側）に接合されている。このコンプライアンス基板４２には、リザーバー５３にインクを導入するインク導入口５７が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板４２のリザーバー５３に対向する領域のうちインク導入口５７以外の領域は、固定基板５６が除去された封止膜５５のみからなる封止部５８となっている。これにより、リザーバー５３は可撓性を有する封止部５８により封止され、コンプライアンスが得られることになる。

ヘッドケース４３は、コンプライアンス基板４２の上側（保護基板４１とは反対側）に接合された中空箱体状部材である。ヘッドケース４３の内部には、下端が保護基板４１の配置空間５４と連通すると共に、上端が接続部材１５の接続空間３０と連通する挿通空間５９がその高さ方向に貫通して形成されている。これにより、フレキシブルケーブル２９は、接続空間３０、挿通空間５９、および、配置空間５４を通じて、接続基板１７と圧電素子４０に導通するリード電極とを接続する。

また、ヘッドケース４３の内部には、ケース流路６０がその高さ方向に貫通して形成されている。このケース流路６０は、接続部材１５からのインクをリザーバー５３に供給するための流路であり、上端が接続流路３１に連通され、下端がインク導入口５７と連通されている。また、ヘッドケース４３の下面のうち封止部５８に対向する部分には、封止膜５５の可撓変形を阻害しない程度の封止空間が備えられている。

そして、インクカートリッジ７からのインクは、導入針流路２２、ホルダ流路２７、接続流路３１を通じて記録ヘッド本体１６のケース流路６０内に取り込まれる。ケース流路６０内に取り込まれたインクは、リザーバー５３、および、インク供給路４７を介して圧力室４６に供給される。この状態で、制御部からの電気信号が接続基板１７、フレキシブルケーブル２９、および、リード電極を介して圧電素子４０に供給されると、圧電素子４０が駆動して圧力室４６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することでノズル４８からインクを噴射している。

次に、シール部材１８における、ホルダ流路２７と接続流路３１とを接続する部分の構成について、図４を用いて詳しく説明する。ホルダ流路２７と接続流路３１とを接続する部分のシール部材１８は、ホルダ凸部２６と接続凸部３２との間に挟まれた状態（両者からの押圧力により部分的に弾性変形して押し潰された状態）で、ホルダ流路２７と接続流路３１とを連通させる連通孔６２を備えている。この連通孔６２は、ホルダ凸部２６と接続凸部３２との間でその開口周縁部が押し潰された状態において、上面側の開口径がホルダ流路２７の下端の開口径と同じ大きさになるように形成され、下面側の開口径が接続流路３１の上端の開口径と略同じ大きさになるように形成されている。すなわち、ホルダ流路２７と接続流路３１とが連通された状態において、ホルダ流路２７の内面と連通孔６２の内面との間、および連通孔６２の内面と接続流路３１の内面との間に段差が生じ難いように形成されている。このような構成にするために、シール部材１８は、ホルダ凸部２６と接続凸部３２との間で押し潰される前の状態において、連通孔６２の上下の開口がホルダ流路２７の下端の開口および接続流路３１の上端の開口よりも大きくなるように形成されている。

この連通孔６２の外側において、ホルダ１４側の面には、ホルダ凸部２６の外周面と嵌合して、当該ホルダ凸部２６の位置を規制する（位置を決める）ホルダ側嵌合凹部６３（本発明における第１の凹部に相当）が設けられている。言い換えると、ホルダ側嵌合凹部６３の底面に連通孔６２の上端が開口している。そして、このホルダ側嵌合凹部６３の底面にホルダ凸部２６の先端（下端面）が当接して、この当接部分を押圧する。本実施形態のホルダ側嵌合凹部６３は、ホルダ１４側の面から円筒状に突設された部分の内部空間であり、この内径がホルダ凸部２６の外径と略同じ大きさに形成されている。これにより、ホルダ１４とシール部材１８とを接続する際に、ホルダ側嵌合凹部６３の内周面とホルダ凸部２６の外周面とが嵌合し、両者の相対位置が決定される。また、本実施形態では、ホルダ側嵌合凹部６３の開口縁を内側に向けて下り傾斜させたテーパ部分が設けられている。言い換えると、ホルダ側嵌合凹部６３の開口部分は、上側開口に向けて拡径している。このため、ホルダ側嵌合凹部６３とホルダ凸部２６と嵌合させる際に、容易にこれらを嵌合（位置決め）させることができる。

同様に、連通孔６２の外側において、接続部材１５側の面には、接続凸部３２の外周面と嵌合して、当該接続凸部３２の位置を規制する（位置を決める）接続部材側嵌合凹部６４（本発明における第１の凹部に相当）が設けられている。言い換えると、接続部材側嵌合凹部６４の底面に連通孔６２の下端が開口している。そして、この接続部材側嵌合凹部６４の底面に接続凸部３２の先端（上端面）が当接して、この当接部分を押圧する。本実施形態の接続部材側嵌合凹部６４は、接続部材１５側の面から円筒状に突設された部分の内部空間であり、この内径が接続凸部３２の外径と略同じ大きさに形成されている。これにより、接続部材１５とシール部材１８とを接続する際に、接続部材側嵌合凹部６４の内周面と接続凸部３２の外周面とが嵌合し、両者の相対位置が決定される。また、本実施形態では、接続部材側嵌合凹部６４の開口縁を内側に向けて上り傾斜させたテーパ部分が設けられている。言い換えると、ホルダ側嵌合凹部６３の開口部分は、下側開口に向けて拡径している。このため、接続部材側嵌合凹部６４と接続凸部３２と嵌合させる際に、容易にこれらを嵌合（位置決め）させることができる。

そして、ホルダ側嵌合凹部６３の底面にホルダ凸部２６の先端を当接すると共に接続部材側嵌合凹部６４の底面に接続凸部３２の先端を当接し、ホルダ凸部２６および接続凸部３２によってシール部材１８を挟圧することで、ホルダ流路２７と接続流路３１とを連通孔６２を介して連通することができる。

ここで、ホルダ側嵌合凹部６３の底面には、ホルダ１４とは反対側へ凹状に窪んだホルダ側凹溝部６６が、ホルダ側嵌合凹部６３の内周面に沿って連通孔６２の開口を囲繞する状態で環状に形成されている。したがって、このホルダ側凹溝部６６よりも内側（連通孔６２側）の部分は筒状に形成されている。そして、この筒状部分の先端面が、ホルダ凸部２６の先端が当接される部分である。また、接続部材側嵌合凹部６４の底面には、接続部材１５とは反対側へ凹状に窪んだ接続部材側凹溝部６７が、接続部材側嵌合凹部６４の内周面に沿って連通孔６２の開口を囲繞する状態で環状に形成されている。したがって、この接続部材側凹溝部６７よりも内側の部分は筒状に形成されている。そして、この筒状部分の先端面が、接続凸部３２の先端が当接される部分である。このため、ホルダ凸部２６および接続凸部３２によってシール部材１８を挟圧する際に、シール部材１８のホルダ凸部２６と当接した部分の肉をホルダ側凹溝部６６に逃がすことができると共に、シール部材１８の接続凸部３２と当接した部分の肉を接続部材側凹溝部６７に逃がすことができる。これにより、この部分におけるシール部材１８からの反力を低減することができる。なお、ホルダ側凹溝部６６および接続部材側凹溝部６７が本発明における第２の凹部に相当する。

このように本発明の記録ヘッド３では、ホルダ側凹溝部６６および接続部材側凹溝部６７によって、ホルダ流路２７と接続流路３１との連通部分におけるシール部材１８の変形を許容でき、シール部材１８の反力を低減することができる。これにより、反力によって記録ヘッド３自体が変形することを抑制でき、インク滴の噴射（吐出）不良を抑制することができる。また、ホルダ側嵌合凹部６３および接続部材側嵌合凹部６４によって、ホルダ凸部２６および接続凸部３２の位置を規制できるため、弾性率の低いシール部材１８を用いたとしても、位置ずれが抑制されてホルダ流路２７と接続流路３１とを確実に連通させることができる。その結果、例えば、ゴム等の超弾性材をシール部材１８に使用でき、シール部材１８の反力を一層低減することができる。さらに、ホルダ側嵌合凹部６３および接続部材側嵌合凹部６４は、ホルダ凸部２６の面（上面）および接続凸部３２側の面（下面）から同側に突設された部分の内側に形成されているので、ホルダ側嵌合凹部６３および接続部材側嵌合凹部６４の内周面を構成する外壁を薄くすることができ、当該外壁を撓み易くすることができる。これにより、ホルダ側嵌合凹部６３とホルダ凸部２６の先端部との嵌合、および、接続部材側嵌合凹部６４と接続凸部３２の先端部との嵌合が容易になり、これらの接続が容易になる。

ところで、上記した実施形態では、シール部材のホルダ側嵌合凹部および接続部材側嵌合凹部を円筒状部分の内部に形成したが、これには限られない。例えば、図５に示す第２実施形態では、シール部材１８′のホルダ側嵌合凹部６３′および接続部材側嵌合凹部６４′が、シール部材１８′の表面から窪んだ凹状に形成されている。すなわち、ホルダ側嵌合凹部６３′は、ホルダ１４側の面から反対側の途中まで凹状に窪んだ状態で形成されており、この内径がホルダ凸部の外径と略同じ大きさに形成されている。そして、このホルダ側嵌合凹部６３′の底面に連通孔６２′の上端が開口し、この周囲にホルダ側凹溝部６６′が形成されている。また、接続部材側嵌合凹部６４′は、接続部材１５側の面から反対側の途中まで凹状に窪んだ状態で形成されており、この内径が接続凸部の外径と略同じ大きさに形成されている。そして、この接続部材側嵌合凹部６４′の底面に連通孔６２′の下端が開口し、この周囲に接続部材側凹溝部６７′が形成されている。さらに、本実施形態のシール部材１８′では、ホルダ側嵌合凹部６３′および接続部材側嵌合凹部６４′以外の部分の板厚を、上記した実施形態のシール部材１８′に比べて厚くしている。これにより、シール部材１８′のうちホルダ側嵌合凹部６３′および接続部材側嵌合凹部６４′以外の部分の剛性を高めることができ、シール部材１８′が撓んで位置がずれることを抑制できる。なお、その他の構成は上記した実施形態と同じであるため、説明を省略する。

ところで、上記した各実施形態では、ホルダのホルダ流路と接続部材の接続流路との接続部分にシール部材を用いる構成を例示したが、これには限られない。要は、異なる部材にそれぞれ設けられた２つの流路をシール部材によって連通する構成であれば、どのようなものでも本発明を適用することができる。また、上記した各実施形態では、接続凸部がホルダ凸部よりも小さい径に形成されたが、これには限られない。例えば、接続凸部をホルダ凸部よりも大きい径に形成してもよく、接続凸部とホルダ凸部とを略同じ大きさの径に形成してもよい。さらに、上記した各実施形態では、ホルダ側凹溝部と接続部材側凹溝部との両方を設けたが、これには限られない。ホルダ側凹溝部または接続部材側凹溝部のうち少なくとも一方を設けていればよい。また、ホルダ側凹溝部および接続部材側凹溝部の形状は、上記した各実施形態に限られない。例えば、開口部に向けて次第に開口幅が広がるような台形状やＶ字状に設けてもよい。要は、接続凸部およびホルダ凸部によって押圧された際に、この部分のシール部材が逃げられれば、どのような形状であってもよい。

そして、上述した実施形態では、インクジェットプリンターに搭載されるインクジェット式記録ヘッドを例示したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，１４…ホルダ，１５…接続部材，１６…記録ヘッド本体，１７…接続基板，１８…シール部材，２５…収容空部，２６…ホルダ凸部，２７…ホルダ流路，２９…フレキシブルケーブル，３０…接続空間，３１…接続流路，３２…接続凸部，３８…流路基板，３９…ノズルプレート，４０…圧電素子，４１…保護基板，４２…コンプライアンス基板，４３…ヘッドケース，４５…連通部，４６…圧力室，４７…インク供給路，４８…ノズル，５３…リザーバー，５９…挿通空間，６０…ケース流路，６２…連通孔，６３…ホルダ側嵌合凹部，６４…接続部材側嵌合凹部，６６…ホルダ側凹溝部，６７…接続部材側凹溝部

Claims (11)

1. 第１の流路を備えた第１のヘッド構成部材と、
   第２の流路を備えた第２のヘッド構成部材と、
   前記第１のヘッド構成部材と前記第２のヘッド構成部材の間に配置され、前記第１の流路と前記第２の流路を連通させるシール部材と、
   を積層して備え、
   前記第１の流路および前記第２の流路を通じて導入した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
   前記第１または第２のヘッド構成部材のうち少なくとも一方は、前記シール部材に向かって突出した第１の凸部を備えると共に、該第１の凸部の先端に当該ヘッド構成部材の流路を開口し、
   前記シール部材は、前記第１の流路と前記第２の流路とを連通させる連通孔と、前記第１の凸部の外周面と嵌合して、当該第１の凸部の先端部と嵌合する第１の凹部と、前記第１の凹部の底面に、該第１の凹部の内周面に沿って窪んだ第２の凹部とを有し、
   前記第１の凸部の外径と、前記第１の凹部の内径は略同じ大きさであり、
   前記シール部材が弾性材で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 第１の流路を備えた第１のヘッド構成部材と、
   第２の流路を備えた第２のヘッド構成部材と、
   前記第１のヘッド構成部材と前記第２のヘッド構成部材の間に配置され、前記第１の流路と前記第２の流路を連通させるシール部材と、
   を積層して備え、
   前記第１の流路および前記第２の流路を通じて導入した液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
   前記第１または第２のヘッド構成部材のうち少なくとも一方は、前記シール部材に向かって突出した第１の凸部を備えると共に、該第１の凸部の先端に当該ヘッド構成部材の流路を開口し、
   前記シール部材は、前記第１の流路と前記第２の流路とを連通させる連通孔と、前記第１の凸部の外周面と嵌合して、当該第１の凸部の先端部と嵌合する第１の凹部と、前記第１の凹部の底面に、該第１の凹部の内周面に沿って窪んだ第２の凹部とを有し、
   前記第１の凸部の外周面と、前記第１の凹部の内周面が当接し、
   前記シール部材が弾性材で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 前記第１の凹部は、前記第１の凸部側の面から同側に突設された筒状部分の内側に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 液体を噴射するノズルを更に有し、
   前記第２の流路は、前記連通孔と前記ノズルの間との流路に配置され、
   前記第１の流路は、前記連通孔に対し前記ノズルとは反対側の流路に配置され、
   前記第１のヘッド構成部材は前記第１の凸部を備え、
   前記第１の凸部における前記第１の流路が前記連通孔側に開口する端部の開口径と、前記連通孔における前記第１の凸部側における端部の開口径とが略同じ大きさであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 液体を噴射するノズルを更に有し、
   前記第２の流路は、前記連通孔と前記ノズルの間との流路に配置され、
   前記第１の流路は、前記連通孔に対し前記ノズルとは反対側の流路に配置され、
   前記第２のヘッド構成部材は前記第１の凸部を備え、
   前記第１の凸部における前記第２の流路が前記連通孔側に開口する端部の開口径と、前記連通孔における前記第１の凸部側における端部の開口径とが略同じ大きさであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 液体を噴射するノズルを更に有し、
   前記第２の流路は、前記連通孔と前記ノズルの間との流路に配置され、
   前記第１の流路は、前記連通孔に対し前記ノズルとは反対側の流路に配置され、
   前記第１及び第２のヘッド構成部材は、前記シール部材に向かって突出した第１の凸部を備え、
   前記第２ヘッド構成部材の前記第１の凸部の外径は、前記第１ヘッド構成部材の前記第１の凸部の外径よりも小さいことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 液体を噴射するノズルを更に有し、
   前記第２の流路は、前記連通孔と前記ノズルの間との流路に配置され、
   前記第１の流路は、前記連通孔に対し前記ノズルとは反対側の流路に配置され、
   前記第１及び第２のヘッド構成部材は、前記シール部材に向かって突出した第１の凸部を備え、
   前記第２ヘッド構成部材の前記第１の凸部の外径は、前記第１ヘッド構成部材の前記第１の凸部の外径よりも大きいことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記第１の凹部は、前記底面における内径よりも、前記第１の凸部側端部の内径のほうが大きいことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１の凹部は、円柱状の凹部であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記第１の凸部は、円柱状であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 請求項1から請求項１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。

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