JP5923963B2

JP5923963B2 - 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置

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Publication number: JP5923963B2
Application number: JP2011272045A
Authority: JP
Inventors: 宏明奥井; 峻介渡邉
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-12-13
Filing date: 2011-12-13
Publication date: 2016-05-25
Anticipated expiration: 2031-12-13
Also published as: US20130147882A1; JP2013123802A

Description

本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。

この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

例えば、上記のような記録ヘッドでは、図６に示すように、インクを噴射（吐出）する記録ヘッド本体８９を保持部材９０に複数備えたものがある（例えば、特許文献１）。保持部材９０は、その内部に液体導入流路９１が設けられており、インクを封入したインクカートリッジが上部に装着されると、インクカートリッジからのインクを液体導入流路９１を介して各記録ヘッド本体８９に導入可能になっている。記録ヘッド本体８９は、図７に示すように、一端が液体導入流路９１と連通する液体流路９２、この液体流路９２の他端が、共通液室９３を介して連通する圧力室９４、および圧力室９４内に圧力変動を生じさせる圧電振動子９５が内部に設けられている。また、圧力室９４には、ノズル面９６に開口されたノズル９７が連通されている。これにより、圧電振動子９５の駆動によって圧力室９４内に圧力変動を生じさせて、ノズル９７からインクを液滴として噴射（吐出）させている。

そして、各記録ヘッド本体８９は、ノズル面９６とは反対側の面で保持部材９０に接着されている。このとき、液体導入流路９１と液体流路９２とが連通されるように、これらの連通部分の周囲が接着剤９９により接着される。また、記録ヘッド本体８９のノズル面９６には、ノズル９７を露出する開口部が設けられた固定板９８が接合される。この固定板９８は、複数の記録ヘッド本体８９の相対位置を規定する部材であり、従来では、各記録ヘッド本体８９のノズル面９６のみに接合されており、保持部材９０には接合されていなかった。

特開２０１０−２４０８５６号公報

上記した記録ヘッド本体８９では、複数の基板等が積層されて構成されるため、製造公差が累積して大きくなり、その高さがばらつく虞がある。そのため、各記録ヘッド本体８９の高さがばらつきを考慮して、保持部材９０と記録ヘッド本体８９との間にある程度の間隙を設けて接続していた。この間隙に充填されている接着剤９９の厚みにより、各記録ヘッド本体８９の高さばらつきが吸収される。しかしながら、このように接着剤９９に厚みがある分、当該接着剤９９が大気にさらされ、液体導入流路９１と液体流路９２との連通部分のインクから接着剤９９を介して水分が蒸発し、インクが増粘するという問題があった。また、保持部材９０と記録ヘッド本体８９との間の接着剤９９の層が厚くなるほど、記録ヘッド本体８９の固定強度が落ちる傾向にある。さらに、保持部材９０と記録ヘッド本体８９との間隙を調整するには、治具等を用いる必要があり、製造効率の低下を招いていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、保持部材と液体噴射ヘッド本体との接着部分からの水分の蒸発を防ぐと共に、保持部材と液体噴射ヘッド本体との接続強度を高めつつ、液体噴射ヘッド本体のノズル面の位置管理が容易な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路を備えた保持部材と、
前記液体導入流路と連通する液体流路を通じて液体を圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズル面に形成されたノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記液体噴射ヘッド本体が固定される固定板と、を備え、
該固定板は、前記液体噴射ヘッド本体のノズル面が接合される第１の接合部と、当該第１の接合部よりもノズル面との接合面方向の外側に形成され、前記保持部材が接合される第２の接合部と、を有し、
前記第１の接合部は、前記液体噴射ヘッド本体のノズル面における前記ノズルを露出させる開口領域と、当該開口領域の周囲に設けられ、前記ノズル面の一部に重なる状態で接合される接合領域と、を有し、
前記保持部材は、前記固定板との接合面から前記固定板の反対面側に窪んだ収容空部を有し、
前記固定板の第１の接合部にノズル面が接合された前記液体噴射ヘッド本体を前記収容空部内に収容した状態で、前記液体導入流路と前記液体流路との連通部分の周囲が接着されると共に、前記固定板の第２の接合部と前記保持部材の収容空部の開口周縁部とが接合されたことを特徴とする。

本発明の液体噴射ヘッドによれば、液体噴射ヘッド本体が収容空部内に収容されると共に、収容空部の開口とノズル面との間を固定板によって封止できるため、液体導入流路と液体流路との連通部分が、当該連通部分の周囲の接着剤と固定板との両方で密封される。これにより、この連通部分からの水分の蒸発を防止でき、液体噴射ヘッド内の液体の増粘を抑制できる。また、液体噴射ヘッド本体が保持部材に接着されると共に、液体噴射ヘッド本体のノズル面が接合された固定板が保持部材に接合されるため、保持部材と液体噴射ヘッド本体との接続強度を高めることができる。さらに、ノズル面と固定板との間では接着剤の厚みを必要以上に設ける必要が無く、固定板に接合された液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向（ノズル面に対して垂直な方向）の位置が規定されると共に、固定板に直接保持部材が接合されるため、液体噴射ヘッド本体の高さによらず、固定板のノズル面との接合面と保持部材の高さによって液体噴射ヘッド本体の高さ方向の位置、特に、ノズル面の高さ方向の位置を規定できる。すなわち、固定板の液体噴射ヘッド本体との接合面を基準面として、液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置を、別途に治具を用いることなく容易に管理することができる。これにより、液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置ばらつきを抑制することができる

また、上記構成において、前記第１の接合部と、前記第２の接合部とが、同一平面上に揃えられた構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、液体噴射ヘッド本体のノズル面の位置の管理が容易になり、各液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置ばらつきをより抑制することができる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
また、上記目的を達成するために提案される本発明の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置は、以下の構成を備えたものであってもよい。
すなわち、内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路を備えた保持部材と、
前記液体導入流路と連通する液体流路を通じて液体を圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズル面に形成されたノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル面における前記ノズルを露出させる開口領域と、当該開口領域の周囲に設けられ、前記液体噴射ヘッド本体が接合される接合領域と、当該接合領域よりも接合面方向の外側に形成され、前記保持部材が接合される接合部と、を有する固定板と、を備え、
前記保持部材は、前記固定板との接合面から前記固定板の反対面側に窪んだ収容空部を有し、
前記固定板に接合された前記液体噴射ヘッド本体を前記収容空部内に収容した状態で、前記液体噴射ヘッド本体のノズル面とは反対側の面と当該面に対向する前記収容空部内の面との間に隙間を形成し、
当該隙間のうち前記液体導入流路と前記液体流路との連通部分の周囲が接着されると共に、前記固定板の接合部と前記保持部材の収容空部の開口周縁部とが接合されたことを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドによれば、液体噴射ヘッド本体が収容空部内に収容されると共に、収容空部の開口とノズル面との間を固定板によって封止できるため、液体導入流路と液体流路との連通部分が、当該連通部分の周囲の接着剤と固定板との両方で密封される。これにより、この連通部分からの水分の蒸発を防止でき、液体噴射ヘッド内の液体の増粘を抑制できる。また、液体噴射ヘッド本体が保持部材に接着されると共に、液体噴射ヘッド本体のノズル面が接合された固定板が保持部材に接合されるため、保持部材と液体噴射ヘッド本体との接続強度を高めることができる。さらに、ノズル面と固定板との間では接着剤の厚みを必要以上に設ける必要が無く、固定板に接合された液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向（ノズル面に対して垂直な方向）の位置が規定されると共に、固定板に直接保持部材が接合されるため、液体噴射ヘッド本体の高さによらず、固定板のノズル面との接合面と保持部材の高さによって液体噴射ヘッド本体の高さ方向の位置、特に、ノズル面の高さ方向の位置を規定できる。すなわち、固定板の液体噴射ヘッド本体との接合面を基準面として、液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置を、別途に治具を用いることなく容易に管理することができる。これにより、液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置ばらつきを抑制することができる。
また、上記構成において、前記接合領域と、前記接合部とが、同一平面上に揃えられた構成を採用することが望ましい。
この構成によれば、液体噴射ヘッド本体のノズル面の位置の管理が容易になり、各液体噴射ヘッド本体のノズル面の高さ方向の位置ばらつきをより抑制することができる。
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

プリンターの構成を説明する斜視図である。記録ヘッドの分解斜視図である。記録ヘッドの断面図である。図３におけるＡ−Ａ線の断面図である。図３における領域Ｂの拡大図である。従来の記録ヘッドの断面図である。図６における領域Ｘの拡大図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式プリンター１（本発明の液体噴射装置の一種）を例に挙げて行う。

図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２（以下、記録ヘッド）が取り付けられると共に、内部に液体を貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。

キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。

また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル面３９（ノズルプレート２９：図５参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。

次に記録ヘッド２について、図を用いて説明する。
図２は本実施形態の記録ヘッド２の構成を示す分解斜視図である。図３は記録ヘッド２の断面図である。図４はＡ−Ａ線の断面図である。図５は領域Ｂの拡大図である。本実施形態における記録ヘッド２は、保持部材の一種であるホルダー１４、液体噴射ヘッド本体の一種である記録ヘッド本体１５、および固定板１６により構成されている。また、記録ヘッド２には、記録ヘッド本体１５が間隔を空けて４つ並設されて固定板１６に固定されている。

ホルダー１４は、インクカートリッジ３が装着されるカートリッジ装着部１８と、カートリッジ装着部１８の下方において記録ヘッド本体１５が収容されるヘッド収容部１９とから構成される。カートリッジ装着部１８には、複数の液体導入針２０が上方（インクカートリッジ３側）向けて突設されている。また、ホルダー１４の内部には、図３等に示すように、インク導入針からカートリッジ装着部１８の内部を通ってヘッド収容部１９の収容空部２２（後述）内に通じる液体導入流路２１が形成されている。この液体導入流路２１の下端は、収容空部２２内において、後述するケース流路５１に対応する位置に開口されている。そして、インクカートリッジ３を記録ヘッド２に装着すれば、液体導入針２０がインクカートリッジ３の内部に挿入される。これにより、インクカートリッジ３からのインクが、液体導入流路２１を通じて記録ヘッド本体１５側に導入される。

また、ヘッド収容部１９は、下端面（固定板１６との接合面）からカートリッジ装着部１８側（固定板１６との接合面とは反対面側）に窪んだ収容空部２２が設けられている。この収容空部２２内に複数（本実施形態では４つ）の記録ヘッド本体１５が収容されている。言い換えると、ヘッド収容部１９の下部において記録ヘッド本体１５が装着されるヘッド装着面２３と、ヘッド装着面２３の外周縁において当該ヘッド装着面２３から下側（固定板１６側）に向けて延出された壁部２４とが備えられている。このヘッド装着面２３と壁部２４に囲まれた空間が収容空部２２となっている。また、液体導入流路２１の下端は、ヘッド装着面２３に開口されている。

本実施形態では、記録ヘッド本体１５の高さがばらついたとしても、記録ヘッド本体１５を収容空部２２内に収容できるように、壁部２４の高さが記録ヘッド本体１５の高さの設計値よりも僅かに高く設定されている（図５参照）。このため、記録ヘッド本体１５を収容空部２２内に収容した状態では、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド装着面２３との間に僅かな隙間２５が形成される。この隙間２５のうち液体導入流路２１とケース流路５１との連通部分の周囲を接着剤２６で充填することで、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド装着面２３とが接着されている。なお、液体導入流路２１の下面側の開口縁、またはケース流路５１の上面側の開口縁にパッキンを設け、このパッキンを対向する面に当接することよって液体導入流路２１とケース流路５１を連通してもよい。この場合、パッキンの周囲に接着剤を充填する。また、本実施形態では、図４に示すように、収容空部２２内に収容された４つの記録ヘッド本体１５と、壁部２４との間に空間が設けられるように構成されている。

次に記録ヘッド本体１５について説明する。
記録ヘッド本体１５は、図５に示すように、流路基板２８、ノズルプレート２９、圧電振動子３０（圧力発生手段の一種）、保護基板３１、コンプライアンス基板３２、およびヘッドケース３３を備えている。

流路基板２８は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン単結晶基板からなり、長手方向に沿って細長な連通部３５が２本形成されている。これらの連通部３５に挟まれた領域には、複数の圧力室３６が、ノズル列方向に並んだ状態で、連通部３５ごとに合計２列形成されている。各圧力室３６は、圧力室３６よりも狭い幅で形成されたインク供給路３７を介して、連通部３５と連通している。

流路基板２８の下面（圧電振動子３０とは反対側の面）には、ノズルプレート２９が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート２９は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はシリコン単結晶等で形成されており、各圧力室３６のインク供給路３７とは反対側で連通するノズル３８が複数穿設されている。これらのノズル３８は、例えば、３６０ｄｐｉのピッチで列設されたノズル列を構成する。なお、ノズルプレート２９の下面が本発明におけるノズル面３９に相当する。また、ノズル面３９の周縁部には、固定板１６が接合されている。

流路基板２８の上面（ノズルプレート２９とは反対側の面）には、弾性膜４０が積層されている。この弾性膜４０上には、下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電振動子３０（圧力発生手段の一種）が、各圧力室３６に対向した状態で、２列並設されている。この圧電振動子３０の一側（中央側）の端部には、上電極膜と導通するリード電極（図示せず）の一端が接続されている。このリード電極の他端は、絶縁体膜上においてヘッド本体の中央部側に延在し、フレキシブルケーブル４１の一端と電気的に接続されている。なお、フレキシブルケーブル４１の他端は、図示しない制御部と接続されている。

また、弾性膜４０上には、圧電振動子３０に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電振動子保持空間４２を有する保護基板３１が接合されている。この保護基板３１には、連通部３５に対向する位置に厚さ方向に貫通した長尺なリザーバー部４３が２本設けられると共に、フレキシブルケーブル４１とリード電極を接続可能な配置空間４５が中央部に設けられている。なお、リザーバー部４３は各連通部３５と連通し、圧力室３６にインクを供給するリザーバー（共通液室）４４を構成している。

コンプライアンス基板３２は、可撓性を有する封止膜４６と金属等の硬質の部材からなる固定基板４７とを積層した基板であり、保護基板３１の上側（流路基板２８とは反対側）に接合されている。このコンプライアンス基板３２には、リザーバー４４にインクを導入するインク導入口４８が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板３２のリザーバー４４に対向する領域のうちインク導入口４８以外の領域は、固定基板４７が除去された封止膜４６のみからなる封止部４９となっている。これにより、リザーバー４４は可撓性を有する封止部４９により封止され、コンプライアンスが得られることになる。

ヘッドケース３３は、コンプライアンス基板３２の上側（保護基板３１とは反対側）に接合された中空箱体状部材である。ヘッドケース３３の内部には、保護基板３１の配置空間４５と連通する挿通空間５０、およびケース流路５１がその高さ方向に貫通して形成されている。この挿通空間５０内には、フレキシブルケーブル４１が挿通されている。ケース流路５１は、ホルダー１４側からのインクをリザーバー４４に供給するための流路であり、上端が液体導入流路２１に連通され、下端がインク導入口４８と連通されている。また、ヘッドケース３３の下面のうち封止部４９に対向する部分には、封止膜４６の可撓変形を阻害しない程度の封止空間が備えられている。

そして、インクカートリッジ３からのインクは、液体導入流路２１を通じてケース流路５１内に取り込まれる。ケース流路５１内に取り込まれたインクは、リザーバー４４、インク供給路３７、を介して圧力室３６に供給される。この状態で圧電素子を駆動させると、圧力室３６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することでノズル３８からインクを噴射している。なお、ケース流路５１、インク導入口４８，リザーバー４４、および、インク供給路３７からなる一連の流路が本発明における液体流路に相当する。

次に固定板１６について説明する。
固定板１６は、図２に示すように、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる平板部材である。この固定板１６は、図３等に示すように、記録ヘッド本体１５のノズル面３９が接合される部分である第１の接合部５３と、第１の接合部５３よりもノズル面３９との接合面方向の外側に形成され、ホルダー１４（壁部２４）が接合される部分である第２の接合部５４（本発明における接合部に相当）とを有している。第１の接合部５３は、記録ヘッド本体１５のノズル面３９におけるノズル３８を露出させる開口領域５５と、開口領域５５の周囲の領域であってノズル面３９の一部に重なる状態で接合される接合領域５６とが設けられている。

本実施形態では、平面視における固定板１６の外周形状がヘッド収容部１９（壁部２４）の下端面の外周形状と揃えられており、第２の接合部５４にホルダー１４の下端面が接合された状態で、ヘッド収容部１９と固定板１６の外形が揃うようになっている。すなわち、固定板１６の外周縁が第２の接合部５４となっている。また、本実施形態では、４つの記録ヘッド本体１５が間隔を空けて並設された状態で固定板１６に固定されているため、これらに対応して第１の接合部５３には４つの開口領域５５が、ノズル列方向に直交する方向に並設されている。開口領域５５は、固定板１６の厚さ方向を貫通した開口部であり、少なくともノズル面３９の全てのノズル３８を露出可能な大きさに設定されている。この開口領域５５の周縁部であって、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の周縁部と接合される部分が接合領域５６となっている。本実施形態では、第１の接合部５３と第２の接合部５４とが同一平面上に揃えられている。

そして、記録ヘッド２の組み立て工程では、まず、固定板１６の各第１の接合部５３に対し、開口領域５５からノズル３８を露出させた状態で、それぞれ記録ヘッド本体１５が接合される。この際、固定板１６の接合領域５６に接着剤が塗布され、当該接合領域５６に対し記録ヘッド本体１５のノズル面３９が押し当てられて接着される。これにより、接着領域５６にノズル面３９がほぼ密着する状態で接合される。このため、固定板１６に接合された各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の高さ方向（ノズル面３９に垂直な方向）の位置が同一面上に揃う。なお、最初に固定板１６に接合された記録ヘッド本体１５のノズル３８の位置を基準として、他の記録ヘッド本体１５のノズル３８が狙いの位置に配置されるように、固定板１６の第１の接合部５３に対して他の記録ヘッド本体１５の接合位置がアライメントされる。これにより、固定板１６において、各記録ヘッド本体１５の相対位置精度を確保することができる。

次に、各記録ヘッド本体１５が接合された固定板１６が、ホルダー１４に接合される。具体的には、各記録ヘッド本体１５が収容空部２２内に収容されて、記録ヘッド本体１５の上面とヘッド装着面２３とが接着剤２６によって接着されると共に、固定板１６の第２の接合部５４がホルダー１４の収容空部２２の開口周縁部（壁部２４の下端面）と接着剤によって接合される。本実施形態では、第１の接合部５３と第２の接合部５４とが同一平面上に揃えられているので、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９と、ホルダー１４の収容空部２２の開口周縁部（壁部２４の下端面）とが同一面上に揃えられる。

このように、記録ヘッド本体１５が収容空部２２内に収容されると共に、収容空部２２の開口とノズル面３９との間を固定板１６によって封止できるため、液体導入流路２１とケース流路５１との連通部分が、当該連通部分の周囲の接着剤２６と固定板１６との両方で密封される。これにより、この連通部分からの水分の蒸発を防止でき、記録ヘッド２内のインクの増粘を抑制できる。また、記録ヘッド本体１５がホルダー１４に接着されると共に、記録ヘッド本体１５が接合された固定板１６がホルダー１４に接合されるため、ホルダー１４と記録ヘッド本体１５との接続強度を高めることができる。さらに、ノズル面３９と固定板１６との間では接着剤の厚みを必要以上に設ける必要が無く、固定板１６に接合された各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の高さ方向（ノズル面３９に垂直な方向）の位置が揃うと共に、固定板１６に直接ホルダー１４が接合されるため、記録ヘッド本体１５の高さによらず、固定板１６のノズル面３９との接合面とホルダー１４の高さによって記録ヘッド２自体の高さ方向の位置、特に、ノズル面３９の高さ方向の位置を規定できる。すなわち、固定板１６のノズル面との接合面を基準面として、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の高さ方向の位置を、別途に治具を用いることなく容易に管理することができる。これにより、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の高さ方向の位置ばらつきを抑制することができる。また、第１の接合部５３と第２の接合部５４とが同一平面上に揃えられているので、記録ヘッド２のノズル面３９の高さ方向の位置の管理が容易になり、各記録ヘッド本体１５のノズル面３９の高さ方向の位置ばらつきをより抑制することができる。

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、上記した実施形態では、４つの記録ヘッド本体１５を１つの収容空部２２内に収容したが、各記録ヘッド本体１５に対応して別個に収容空部を設けても良い。例えば、上記した記録ヘッド２における収容空部２２の内側において、各記録ヘッド本体１５の間を仕切る壁部を設けても良い。また、記録ヘッド本体１５は４つに限らず、少なくとも１つ以上備えていればよい。

また、上記した各実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電振動子３０を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電振動子を採用することも可能である。その他、圧力発生手段としては、発熱によりインクを突沸させることで圧力変動を生じさせる発熱素子や、静電気力により圧力室の区画壁を変位させることで圧力変動を生じさせる静電アクチュエーターなどの圧力発生手段を採用する構成においても本発明を適用することが可能である。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド２を備えたプリンター１を例に挙げて説明したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を備えた液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，４…キャリッジ，１４…ホルダー，１５…記録ヘッド本体，１６…固定板，１８…カートリッジ装着部，１９…ヘッド収容部，２０…液体導入針，２１…液体導入流路，２２…収容空部，２３…ヘッド装着面，２４…壁部，２５…隙間，２６…接着剤，２８…流路基板，２９…ノズルプレート，３０…圧電振動子，３１…保護基板，３２…コンプライアンス基板，３３…ヘッドケース，３６…圧力室，３７…インク供給口，３８…ノズル，３９…ノズル面，４４…リザーバー，４８…インク導入口，５１…ケース流路，５３…第１の接合部，５４…第２の接合部，５５…開口領域，５６…接合領域

Claims

内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路を備えた保持部材と、
前記液体導入流路と連通する液体流路を通じて液体を圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズル面に形成されたノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、
前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル面における前記ノズルを露出させる開口領域と、当該開口領域の周囲に設けられ、前記液体噴射ヘッド本体が接合される接合領域と、当該接合領域よりも接合面方向の外側に形成され、前記保持部材が接合される接合部と、を有する固定板と、を備え、
前記保持部材は、前記固定板との接合面から前記固定板の反対面側に窪んだ収容空部を有し、
前記固定板に接合された前記液体噴射ヘッド本体を前記収容空部内に収容した状態で、前記液体噴射ヘッド本体のノズル面とは反対側の面と当該面に対向する前記収容空部内の面との間に隙間を形成し、
当該隙間のうち前記液体導入流路と前記液体流路との連通部分の周囲が接着されると共に、前記固定板の接合部と前記保持部材の収容空部の開口周縁部とが接合されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記接合領域と、前記接合部とが、同一平面上に揃えられたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。