JP6075558B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。

液体を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えばノズルに連通する圧力発生室が形成される流路形成基板を有するヘッドチップと、ヘッドチップに設けられた圧力発生手段に接続される配線基板が保持されたケース部材とを具備し、配線基板とヘッドチップの圧力発生手段とは、ＣＯＦ等の配線部材を介して接続されているものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１０−１１５９１８号公報

ケース部材等に形成された配線部材を配線基板に引き回すための領域は狭く、特に、小型化が図られたインクジェット式記録ヘッドでは、そのような領域を極力小さくすることが要請される。しかしながら、可撓性を有するＣＯＦ等の配線部材を狭い開口に挿通させ、配線基板に引き回して接続することは困難であり、組み立て作業が繁雑である。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、他の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明は、このような事情に鑑み、組立コストを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体噴射面から液体を噴射するヘッドチップと、液体の第１流路が設けられた第１流路部材と、前記第１流路部材に接合され、当該第１流路部材とは反対側に開口して前記ヘッドチップが収容される収容部及び該収容部内に開口して前記第１流路に接続される液体の第２流路が設けられた第２流路部材と、前記ヘッドチップ内の流路に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に接続された配線部材と、前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に配置された配線基板とを備え、前記第１流路部材及び前記第２流路部材側に開口して前記配線基板に形成された第１挿通孔と、前記収容部及び前記配線基板側に開口して前記第２流路部材に形成された第２挿通孔とを挿通した前記配線部材が前記配線基板に接合され、前記第２挿通孔は、前記配線部材を保持した工具が挿通可能に形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第２挿通孔の前記第１流路部材側の開口から前記工具を挿入し、当該工具で前記ヘッドチップの前記圧力発生手段に接続された前記配線部材を保持し、前記配線部材を保持した前記工具が前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記第２流路部材に対して相対移動させることで、前記配線部材を前記第２挿通孔に挿通させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、第２挿通孔は工具が挿通可能に形成されているので、予め工具を第２挿通孔に挿通させ、工具で配線部材を挟持し、当該工具が前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記第２流路部材に対して相対移動させることで、配線部材を第２挿通孔に挿通させることができる。すなわち、配線部材を直接第２挿通孔に挿入するよりも容易に配線部材を第２挿通孔に挿通させることができる。また、液体噴射面に交差する方向に沿った作業のみで、配線部材を第２挿通孔に挿通することができる。すなわち、一方向に沿って移動させる作業であるため、配線部材を第２挿通孔に挿通させる作業を簡略化、高速化することが可能となり、液体噴射ヘッドの製造に係る手間や時間を軽減して低コストの液体噴射ヘッドを提供することができる。

ここで、前記配線基板の前記第１挿通孔は、前記配線部材を保持した前記工具が挿通可能に形成されており、前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔の前記第１流路部材側の開口から前記工具を挿入し、当該工具で前記ヘッドチップの前記圧力発生手段に接続された前記配線部材を保持し、前記配線部材を保持した前記工具が前記配線基板及び前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記配線基板及び前記第２流路部材に対して相対移動させることで前記配線部材を前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔に挿通させることが好ましい。これによれば、第１挿通孔は工具が挿通可能に形成されているので、予め工具を第１挿通孔に挿通させ、工具で配線部材を挟持し、当該工具が前記配線基板及び前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記配線基板及び前記第２流路部材に対して相対移動させることで、配線部材を第１挿通孔及び第２挿通孔に挿通させることができる。すなわち、配線部材を直接第１挿通孔及び第２挿通孔に挿入するよりも容易に配線部材を第１挿通孔及び第２挿通孔に挿通させることができる。また、液体噴射面に交差する方向に沿った作業のみで、配線部材を第１挿通孔及び第２挿通孔に挿通することができる。すなわち、一方向に沿って移動させる作業であるため、配線部材を第１挿通孔及び第２挿通孔に挿通させる作業を簡略化、高速化することが可能となり、液体噴射ヘッドの製造に係る手間や時間を軽減して低コストの液体噴射ヘッドを提供することができる。

また、前記ヘッドチップを前記第２流路部材に固定される固定部材に固定し、当該固定部材に固定された前記ヘッドチップに接続された前記配線部材を前記工具を用いて保持することが好ましい。これによれば、複数のヘッドチップが固定部材に固定されているので、ヘッドチップ及びこれに接続された配線部材がずれることが抑制され、各ヘッドチップに接続された配線部材を第２挿通孔に挿通させる作業をより確実に行うことができる。

また、前記第１挿通孔又は前記第２挿通孔の少なくとも一方は、前記配線部材が挿通する配線部材挿通部と、前記工具が挿通する工具挿通部が一体的に形成されたものであり、前記工具を前記一方の前記工具挿通部に挿入し、前記配線部材を保持した前記工具が前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記第２流路部材に対して相対移動させることで前記配線部材を前記配線部材挿通部に挿通させることが好ましい。これによれば、配線部材挿通部を配線部材が挿通するために必要な大きさとし、工具挿通部を工具が挿通するために必要な大きさとすることができる。これにより、第１挿通孔又は第２挿通孔を、工具を用いて配線部材を挿通させるために必要十分な大きさとすることができ、液体噴射ヘッドの小型化を図ることができる。

実施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図である。 実施形態１に係るヘッドチップの平面図である。 実施形態１に係るヘッドチップの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 図５の要部を拡大した断面図である。 下流流路部材の配線基板側の上面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの壁部を拡大した断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの底面図である。 上流流路部材と下流流路部材との接合部の要部断面図である。 図１０のＢ−Ｂ’線断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。 インクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドとも言う。

まず、本実施形態に係る記録ヘッドに設けられるヘッドチップの一例について説明する。図１は本実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図であり、図２はヘッドチップの平面図であり、図３はヘッドチップの断面図である。

図示するように、ヘッドチップ２は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０等の複数の部材を備える。また、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５とを具備する。

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。

以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２の列が複数列設された方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を、インク滴（液滴）の吐出方向、又は第３の方向Ｚと称する。ちなみに、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０は、第３の方向Ｚに積層されている。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０とを具備する。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけでよいので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８と、が設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向（第３の方向Ｚ））に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている。

このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。具体的には、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

なお、ノズル２１の列（ノズル群）は、第１の方向Ｘに直線状に並設されたものに限定されず、例えば、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が交互に第２の方向Ｙにずれた位置に配置されたもの、いわゆる千鳥状に配置されたもので構成されていてもよい。また、ノズル群は、第１の方向Ｘに並んだノズル２１が複数個毎に第２の方向Ｙにずれて配置されたもので構成されていてもよい。すなわち、ノズル群は、液体噴射面２０ａに設けられた複数のノズル２１で構成されたものであればよく、その配置は特に限定されるものではない。

ただし、一般的にノズル２１を高密度に複数配置（多ノズル化）しようとすると、ノズル２１を並設した方向（第１の方向Ｘ）に長尺化してしまう。つまり、ヘッドチップ２において、第１の方向Ｘが長手方向となり、第２の方向Ｙが短手方向となるのが常である。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

そして、ノズル２１に対応して圧力発生室１２を配置すると共に、圧力発生室１２に対応してインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段を設けるため、第１の方向Ｘに複数の圧力発生室１２及び複数の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０が並設されることになる。詳しくは後述するが、複数の高い密度で形成された圧電アクチュエーター１３０に電気信号を供給する配線部材１２１は、基板上の圧電アクチュエーター１３０の並設方向、すなわち、第１の方向Ｘ（長手方向）のスペースを生かして圧電アクチュエーター１３０に接続される。したがって、配線部材１２１の幅は、圧電アクチュエーター１３０の並設方向に沿って配置されることになる。つまり、シート状の配線部材１２１の幅方向を圧電アクチュエーター１３０の並設方向とすることで、圧電アクチュエーター１３０を高密度に多数配置しても、圧電アクチュエーター１３０と配線部材１２１との接続を良好に行うことができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター１３０を構成している。ここで、圧電アクチュエーター１３０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター１３０の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター１３０の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター１３０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター１３０自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。つまり、基板上とは、基板の直上も、間に他の部材が介在した状態（上方）も含むものである。

さらに、このような圧電アクチュエーター１３０の個別電極である各第２電極８０には、供給連通路１９とは反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上にまで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０の一端部がそれぞれ接続されている。また、リード電極９０の他端部には、後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０を駆動するための駆動回路１２０が設けられた配線部材１２１が接続されている。配線部材１２１は、可撓性（フレキシブル）なシート状のもの、例えば、ＣＯＦ基板等を用いることができる。なお、配線部材１２１には、駆動回路１２０を設けなくてもよい。つまり、配線部材１２１は、ＣＯＦ基板に限定されず、ＦＦＣ、ＦＰＣ等であってもよい。

なお、リード電極９０の配線部材１２１に接続される他端部は、第１の方向Ｘに並設されて設けられている。ちなみに、リード電極９０の他端部を、流路形成基板１０の第１の方向Ｘの一端部側まで延設し、リード電極９０の他端部を第２の方向Ｙに並設することも考えられるが、リード電極９０を引き回すスペースが必要になって記録ヘッドが大型化して高コストになってしまう。また、圧電アクチュエーター１３０を高い密度で、且つ多数設けて多ノズル化を行うと、リード電極９０の幅が狭くなり、電気抵抗が高くなる。このため、リード電極９０を引き回すことで、さらに電気抵抗が高くなって圧電アクチュエーター１３０を正常に駆動できなくなってしまう虞がある。本実施形態では、リード電極９０の他端部側を、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０の２列の間に延設し、リード電極９０の他端部を第１の方向Ｘに並設することで、記録ヘッド１が大型化することなく小型化及び低コスト化を図ることができると共に、リード電極９０の電気抵抗が高くなるのを抑制して圧電アクチュエーター１３０を高い密度で且つ多数設けた多ノズル化を行うことができる。

また、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター１３０の列の間にリード電極９０の他端部を設けて、圧電アクチュエーター１３０の列の間でリード電極９０と配線部材１２１とを接続するようにしたため、１つの配線部材１２１が２列の圧電アクチュエーター１３０にリード電極９０を介して接続されている。もちろん、配線部材１２１の数はこれに限定されず、圧電アクチュエーター１３０の列毎に配線部材１２１を設けるようにしてもよい。本実施形態のように、２つの圧電アクチュエーター１３０の列に１つの配線部材１２１を設けることで、配線部材１２１とリード電極９０とを接続するスペースを小さくすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。ちなみに、圧電アクチュエーター１３０の列ごとに配線部材１２１を設ける場合、リード電極９０を圧電アクチュエーター１３０の列とは反対側に延設することも考えられるものの、このような構成では、リード電極と配線部材とを接続するスペースが余計に必要になると共にケース部材等に配線部材１２１を引き出す領域も２箇所となるため、記録ヘッド１が大型化してしまう。つまり、本実施形態のように、リード電極９０を２つの圧電アクチュエーター１３０の列の間に設けることで、１つの配線部材１２１で２列の圧電アクチュエーター１３０に同時に接続することが可能である。このようにリード電極９０に接続されるシート状の配線部材１２１は、その幅方向が第１の方向Ｘに沿って配置されることになる。

また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター１３０側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター１３０を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター１３０で構成される列毎に独立して設けられており、２つの保持部３１の間（第２の方向Ｙ）には、厚さ方向に貫通した貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線部材１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた２つのマニホールド１００は、ヘッドチップ２内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された列）毎に１つのマニホールド１００が連通して設けられている。言い換えると、ノズル２１群毎にマニホールド１００が設けられている。もちろん、２つのマニホールド１００は、連通していてもよい。

また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための連結部の一例である導入口４４が設けられている。連結部は、ヘッドチップに供給されるインクの入口又はヘッドチップで使用されなかったインクの出口となる部分である。本実施形態では、インクはヘッドチップ２に供給されるのみであり、ヘッドチップ２から循環してインクが排出されないので、ヘッドチップ２には連結部として導入口４４のみが形成されている。

ケース部材４０の上面はほぼ平坦に形成され、当該上面に導入口４４が開口している。すなわち、ケース部材４０には、導入口４４よりも下流流路部材２２０側に突出している部分がない。詳細は後述するが、ケース部材４０をこのような構成とすることで、ヘッドチップ２を収容部２２６に固定する作業を行い易くすることができる。

また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線部材１２１が挿通される接続口４３が設けられている。そして、配線部材１２１の他端部は、貫通孔３２及び接続口４３の貫通方向、すなわち、第３の方向Ｚであって、インク滴の吐出方向とは反対側に延設されている。

なお、このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

すなわち、コンプライアンス基板４５がマニホールド１００の一部を画成している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。本実施形態では、１つのマニホールド１００に対応して１つのコンプライアンス部４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が２つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に２つのコンプライアンス部４９が設けられている。

このような構成のヘッドチップでは、インクを噴射する際に、導入口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター１３０に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター１３０と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。

このようなヘッドチップ２を有する本実施形態の記録ヘッド１について詳細に説明する。図４は本実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図５は記録ヘッドの断面図であり、図６は要部を拡大した断面図であり、図７は下流流路部材の配線基板側の上面図である。

図４〜図６に示すように、記録ヘッド１は、ノズルからインク（液体）をインク滴（液滴）として吐出する２つのヘッドチップ２と、２つのヘッドチップ２を保持すると共にヘッドチップ２にインク（液体）を供給する流路部材２００と、流路部材２００に保持された配線基板３００と、ヘッドチップ２の液体噴射面２０ａ側に設けられた固定部材の一例であるカバーヘッド４００とを具備する。

流路部材２００は、第１流路部材の一例である上流流路部材２１０と、第２流路部材の一例である下流流路部材２２０と、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間に配置されるシール部材２３０とを具備する。

上流流路部材２１０は、インクの流路となる第１流路の一例である上流流路５００を有している。本実施形態では、上流流路部材２１０は、第１上流流路部材２１１と、第２上流流路部材２１２と、第３上流流路部材２１３とがインク滴を吐出する方向である第３の方向Ｚに積層されて構成されている。そして、これらの各部材には、第１上流流路５０１、第２上流流路５０２、第３上流流路５０３が設けられ、これらが連結することで上流流路５００が構成されている。

なお、上流流路部材２１０はこのような態様に限定されるものではなく、単一の部材であっても、２以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、上流流路部材２１０を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙであってもよい。

第１上流流路部材２１１は、下流流路部材２２０とは反対面側に、インク（液体）が保持されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体保持手段に接続される接続部２１４を有する。本実施形態では、接続部２１４として針状に突出したものとした。なお、接続部２１４には、インクカートリッジなどの液体保持部が直接接続されてもよく、また、インクタンクなどの液体保持部がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。このような接続部２１４の内部には、液体保持部からのインクが供給される第１上流流路５０１が設けられている。また、第１上流流路部材２１１の接続部２１４の周囲には、液体保持部を位置決めするためのガイド壁２１５が設けられている。なお、第１上流流路５０１は、後述する第２上流流路５０２の位置に応じて、第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内に延びる流路等で構成されている。

第２上流流路部材２１２は、第１上流流路部材２１１の接続部２１４とは反対面側に固定されて、第１上流流路５０１に連通する第２上流流路５０２を有する。また、第２上流流路５０２の下流側（第３上流流路部材２１３側）には、第１上流流路５０１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部５０２ａが設けられている。

第３上流流路部材２１３は、第２上流流路部材２１２の第１上流流路部材２１１とは反対側に設けられている。また、第３上流流路部材２１３には、第３上流流路５０３が設けられている。第３上流流路５０３の第２上流流路５０２側の開口部分は、第１液体溜まり部５０２ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部５０３ａとなっており、第２液体溜まり部５０３ａの開口部分（第１液体溜まり部５０２ａと第２液体溜まり部５０３ａとの間）には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター２１６が設けられている。これにより、第２上流流路５０２（第１液体溜まり部５０２ａ）から供給されたインクは、フィルター２１６を介して第３上流流路５０３（第２液体溜まり部５０３ａ）に供給される。

また、第３上流流路部材２１３の下流流路部材２２０側には、下流流路部材２２０側に向かって突出する第１突起部２１７が設けられている。第１突起部２１７は、第３上流流路５０３毎に設けられており、第１突起部２１７の先端面に排出口５０４が開口して設けられている。

このような上流流路５００が設けられた第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に積層されている。なお、第１上流流路部材２１１、第２上流流路部材２１２及び第３上流流路部材２１３をネジやクランプ等で固定することもできるが、第１上流流路５０１から第３上流流路５０３に至るまでの接続部分からインク（液体）が漏出するのを抑制するためにも、接着剤や溶着等で接合するのが好ましい。

なお、本実施形態では、１つの上流流路部材２１０に４つの接続部２１４を設け、１つの上流流路部材２１０には４つの独立した上流流路５００が設けられている。そして、各上流流路５００に対応して合計４個の導入口４４が設けられている。ちなみに、本実施形態では、一つの上流流路５００からヘッドチップ２の一つの導入口４４に接続されるが、このような態様に限定されない。例えば、上流流路５００が途中で２以上に分岐し、分岐した流路がヘッドチップ２の導入口４４に接続されてもよい。

下流流路部材２２０は、上流流路部材２１０に接合され、ヘッドチップ２が収容される収容部２２６を有する部材である。下流流路部材２２０の上流流路部材２１０側を上面側、上流流路部材２１０とは反対側を下面側と称する。なお、下流流路部材２２０が上流流路部材２１０に接合されるとは、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とが直接的に接触することの他に、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間に他の部品が介在し、間接的に組み付けられる場合も含む。

下流流路部材２２０には、下面側、すなわち液体噴射面２０ａ側に開口してヘッドチップ２が収容される凹部として収容部２２６が形成されている。本実施形態に係る収容部２２６は、２つのヘッドチップを収容可能であり、また、収容部２２６の深さ（第３の方向Ｚの深さ）は、ヘッドチップ２の高さよりも若干深くしてある。

また、下流流路部材２２０は、インクの流路となる第２流路の一例である下流流路６００を有する。本実施形態に係る下流流路部材２２０は、第１下流流路部材２２２と、第２下流流路部材２２３とから構成され、これらの部材から下流流路６００が形成されている。下流流路６００としては、形状の異なる２種の下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂが構成されている。

第１下流流路部材２２２には、第１流路６０１が形成され、第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３との間に第２流路６０２が形成されている。また、第２下流流路部材２２３には第３流路６０３が形成されている。

下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂの双方に共通した構成として、下流流路部材２２０（第１下流流路部材２２２及び第２下流流路部材２２３のそれぞれ）には、上流流路部材２１０側に突出する第２突起部２２１が設けられている。第２突起部２２１は、上流流路５００毎、すなわち、第１突起部２１７毎にそれぞれ設けられている。また、下流流路６００の一端は第２突起部２２１の先端面に開口し、他端は上流流路部材２１０とは第３の方向Ｚにおいて反対側の面、すなわち、収容部２２６の底面部に開口して設けられている。

下流流路６００Ａは、第２下流流路部材２２３に第３の方向Ｚに沿って直線状に形成されている。また、下流流路６００Ｂは、上流流路５００（排出口５０４）に接続される第１流路６０１と、第１流路６０１に接続された第２流路６０２と、第２流路６０２と導入口４４とを接続する第３流路６０３とを具備する。第１流路６０１及び第３流路６０３は、第２下流流路部材２２３の第３の方向Ｚに沿う貫通孔として形成されている。第２流路６０２は、第１下流流路部材２２２の一方面に形成された溝が第２下流流路部材２２３により封止されることで形成されている。このような第１下流流路部材２２２と第２下流流路部材２２３とを接合することで、第２流路６０２を下流流路部材２２０内に容易に形成することができる。

また、第２流路６０２は、第２の方向Ｙに向かって延設された延設流路の一例である。ここで、第２流路６０２が第２の方向Ｙに向かって延設されているとは、第２流路６０２の延設方向に、第２の方向Ｙに向かう成分（ベクトル）が存在することをいう。ちなみに、第２流路６０２の延設方向とは、第２流路６０２内のインク（液体）が流れる方向のことである。したがって、第２流路６０２は、水平方向（第３の方向Ｚに直交する方向）に設けられているものも、第３の方向Ｚ及び水平方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向）に交差して設けられているものも含む。本実施形態では、第１流路６０１及び第３流路６０３を第３の方向Ｚに沿って設け、第２流路６０２を水平方向（第２の方向Ｙ）に沿って設けるようにした。なお、第１流路６０１と第３流路６０３とは、第３の方向Ｚに交差する方向に設けられていてもよい。

もちろん、下流流路６００Ｂは、これに限定されず、第１流路６０１、第２流路６０２、第３流路６０３以外の流路が存在してもよく、また、第１流路６０１又は第３流路６０３が設けられていなくてもよい。また、上述した例では、第２流路６０２のみが延設流路である構成を説明したが、特にこれに限定されず、第２の方向Ｙに成分を有する複数の流路を延設流路としてもよい。さらに、下流流路６００Ｂ全体が延設流路となっていてもよい。

下流流路部材２２０の収容部２２６には、複数のヘッドチップ２、本実施形態では、２個のヘッドチップ２が収容されている。１つのヘッドチップ２には、ノズル列が第２の方向Ｙに並んで形成されており（図１、図２参照）、記録ヘッド１には２つのヘッドチップ２が第２の方向Ｙに並設されて設けられている。以降、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、記録ヘッド１の第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚとそれぞれ同じ方向を示す。

２つのヘッドチップ２は、それぞれ導入口４４が２個設けられている。下流流路部材２２０に設けられた下流流路６００（下流流路６００Ａ及び下流流路６００Ｂ）は、各導入口４４の開口する位置に合わせて開口して設けられている。

ヘッドチップ２の各導入口４４は、下流流路部材２２０の収容部２２６の底面部に開口した下流流路６００に連通するように位置合わせされている。ヘッドチップ２は、各導入口４４の周囲に設けられた接着剤２２７により収容部２２６に固定されている。このようにヘッドチップ２が収容部２２６に固定されることで、下流流路６００と導入口４４とが連通し、ヘッドチップ２にインクが供給されるようになっている。

ここで、上述したように、ヘッドチップ２において、各導入口４４は他の部分よりも最も下流流路部材２２０側に位置している。すなわち、ヘッドチップ２の導入口４４が収容部２２６の底面部に接触することを妨げる部位がヘッドチップ２に存在しない。したがって、このような構成のヘッドチップ２によれば、各導入口４４を下流流路６００に接続させ、ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に接着剤２２７で固定する作業を行いやすくすることができる。

また、ヘッドチップ２に供給されるインクの導入口４４をヘッドチップ２の液体噴射面２０ａとは反対側の接合面（下流流路部材２２０側の面）とし、下流流路部材２２０には、収容部２２６の底面部に下流流路６００が開口した構成となっている。

ここで、組み付け作業は、ヘッドチップ２の導入口４４を鉛直方向の上側に向け、収容部２２６を鉛直方向下側に向けた下流流路部材２２０をヘッドチップ２に上方から載せ、導入口４４と下流流路６００の開口との位置合わせをすることにより行う。

このとき、下流流路部材２２０は、水平方向に力が加わらないため、ヘッドチップ２に位置合わせされた状態を維持することができる。すなわち、これらの下流流路部材２２０及びヘッドチップ２を組み付ける作業において、導入口４４と下流流路６００の位置ずれを抑制することができる構成となっている。ちなみに、ヘッドチップ２の接合面が水平面から傾いていると、下流流路部材２２０はヘッドチップ２に対してずれてしまう虞があるし、そのずれの発生を抑制するための作業や器具が必要となってしまう。

また、下流流路部材２２０には、第２挿通孔２２４が設けられている。第２挿通孔２２４は、下流流路部材２２０の収容部２２６及び上流流路部材２１０側に開口して設けられている。第２挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の接続口４３に連通して、配線部材１２１をヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に挿通させるためのものである。第２挿通孔２２４は、ヘッドチップ２の第１の方向Ｘの幅と略同じ幅の開口で設けられている。

さらに、図４〜図６及び図７（ａ）に示すように、下流流路部材２２０に設けられた第２挿通孔２２４は、配線部材１２１を保持する工具が挿通可能に形成されている。

配線部材１２１を保持する工具は、配線部材１２１を保持することができる工具である。具体的にはピンセットのような配線部材１２１を挟持する工具などである。詳細は後述するが、工具は、配線部材１２１がヘッドチップ２から第３の方向Ｚに沿って起立した状態を保って保持するために用いられる。

上述した工具が第２挿通孔２２４に挿通可能であるとは、当該工具が配線部材１２１を保持したまま、配線部材１２１とともに挿通可能であることをいう。

本実施形態では、第２挿通孔２２４は、主として配線部材１２１が挿通する配線部材挿通部２２４ａと、主として工具が挿通する工具挿通部２６０とから構成されている。配線部材挿通部２２４ａ及び工具挿通部２６０は、何れも下流流路部材２２０の収容部２２６及び配線基板３００側にそれぞれ開口して第３の方向Ｚに沿って直線状に形成された貫通孔である。

配線部材挿通部２２４ａは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて配線部材１２１の幅よりも若干大きく形成されている。また、工具挿通部２６０は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて後述する工具の幅よりも若干大きく形成されている。

このような配線部材挿通部２２４ａ及び工具挿通部２６０は、平面視で長方形状の開口形状を有しており、それぞれの長辺を共有するように一体的に形成されることで、一つの貫通孔として第２挿通孔２２４を構成している。

このように第２挿通孔２２４が工具を挿通可能に形成されていることで、記録ヘッド１の組立時において、予め工具挿通部２６０に工具を挿通させておくことができる。そして、収容部２２６側でヘッドチップ２に接続された配線部材１２１を保持し、配線部材１２１を工具で保持した状態で、当該工具を下流流路部材２２０から離すように移動させることで、第２挿通孔２２４（配線部材挿通部２２４ａ）に配線部材１２１を挿通させることができる。

このように、第３の方向Ｚに沿って工具を工具挿通部２６０に挿入し、配線部材１２１を保持した状態の工具を下流流路部材２２０から離すように移動させるだけで、第２挿通孔２２４（配線部材挿通部２２４ａ）に配線部材１２１を挿通させることができ、組み立て作業を容易に行うことができる。

ここで、第２挿通孔２２４の開口形状を大きくすることで、第２挿通孔２２４に配線部材１２１を挿通しやすくすることも考えられる。しかし、第２挿通孔２２４を単に大きくすると、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙがなす平面において第２挿通孔２２４が占める面積が多くなるため、記録ヘッド１の小型化を図りにくくなってしまう。

上述したように、配線部材挿通部２２４ａは配線部材１２１が挿通するために必要な大きさであり、工具挿通部２６０はを工具が挿通するために必要な大きさとなっている。このように、配線部材１２１及び工具のそれぞれの大きさに対応した必要な形状の配線部材挿通部２２４ａ及び工具挿通部２６０が一体的に形成されている。これにより、第２挿通孔２２４としては、工具を用いて配線部材１２１を挿通させるために必要十分な大きさとすることができ、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

図７（ｂ）に、第２挿通孔２２４の別態様を示す。２つの各工具挿通部２６０は、第２の方向Ｙにおいて重なるように並設されている。すなわち、工具挿通部２６０の第２の方向Ｙにおける幅をそれぞれＡとし、２つの工具挿通部２６０が第２の方向Ｙに占める幅をＢとすると、幅Ｂは、幅Ａを二つ合わせたものよりも短い。

このように工具挿通部２６０が第２の方向Ｙ（一方向）において重なるように第２挿通孔２２４を構成することで、第２挿通孔２２４が第２の方向Ｙに占める幅を短くすることが可能となり、記録ヘッド１の小型化を図ることができる。

また、下流流路部材２２０には、後述する配線基板３００が載置される支持部２４０が形成されている。支持部２４０は、下流流路部材２２０の上流流路部材２１０側に突出して設けられ、第２の方向Ｙにおいて第２挿通孔２２４を挟んで２つ配置されている。また、下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０に突出し、上流流路部材２１０側の面における外周を囲う側壁部２４１が形成されている。各支持部２４０は、側壁部２４１の対向する２辺を接続するように設けられている。これにより、支持部２４０及び側壁部２４１により、第２挿通孔２２４を囲う空間Ａが形成されている。支持部２４０に配線基板３００が載置され、さらに配線基板３００上にシール部材２３０が配置されることで当該空間Ａは封止されている。

このような上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との間には、上流流路５００と下流流路６００とを接続する（継ぐ）、継手であるシール部材２３０が設けられている。シール部材２３０の材料としては、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料（弾性材料）、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。

シール部材２３０は、板状のベース部２３５を備え、該ベース部２３５に連通路２３２及び第３突起部２３１が形成されたものである。本実施形態では、連通路２３２及び第３突起部２３１は、各上流流路５００及び下流流路６００に対応して４つ形成されている。

ベース部２３５の上流流路部材２１０側には、第１突起部２１７が挿入される環状の第１凹部２３３が設けられている。第１凹部２３３は、第３突起部２３１に対向する位置に設けられている。

第３突起部２３１は、下流流路部材２２０側に突出しており、下流流路部材２２０の第２突起部２２１に対向する位置に設けられている。第３突起部２３１の頂面（下流流路部材２２０に対向する面）には、第２突起部２２１が挿入される第２凹部２３４が設けられている。

連通路２３２は、ベース部２３５の厚さ方向（第３の方向Ｚ）に貫通し、一端が第１凹部２３３に開口し、他端が第２凹部２３４に開口している。そして、第１凹部２３３に挿入された第１突起部２１７の先端面と、第２凹部２３４に挿入された第２突起部２２１の先端面との間で第３突起部２３１は第３の方向Ｚに所定の圧力が印加された状態で保持されている。このように上流流路５００と連通路２３２とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続され、連通路２３２と下流流路６００とはシール部材２３０に第３の方向Ｚに圧力が印加された状態で接続される。したがって、上流流路５００と下流流路６００とは連通路２３２を介して密封された状態で連通されている。

なお、連通路２３２の中に第１突起部２１７や第２突起部２２１を入れ込んでこれらを連通させる態様も考えられる。すなわち、第３突起部２３１の連通路２３２の内面と、第１突起部２１７及び第２突起部２２１の少なくとも一方の外周面とを密着させて、つまり、径方向である第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面方向に圧力を印加して流路を接続することも考えられる。

この場合、径方向に圧力を印加するためには、記録ヘッド１を構成する各部位が障害となりうる。例えば、連通路２３２の内面と第２突起部２２１とに径方向の圧力を印加する場合では、配線部材１２１などが挿通された第１挿通孔３０１内で径方向に圧力を印加しなければならず、作業は困難である。

しかしながら、詳細は後述するが、下流流路部材２２０上に配線基板３００を配置し、当該配線基板３００上にシール部材２３０を配置した状態では、シール部材２３０の第３の方向Ｚにおける上方には、上流流路部材２１０はまだ存在していない。よって、シール部材２３０を第３の方向Ｚに圧力を印加して、連通路２３２と下流流路６００を連通させる作業を容易に行うことができる。シール部材２３０上に上流流路部材２１０を配置して第３の方向Ｚに圧力を印加することで上流流路５００と連通路２３２を連通させる作業についても同様である。

また、シール部材２３０には、ベース部２３５の外周を囲うように形成され、上流流路部材２１０側に突出した壁部２３６が形成されている。本実施形態では、略四角形のベース部２３５に合わせて、壁部２３６も平面視で四角形となるように形成されている。さらに、ベース部２３５の上流流路部材２１０側には、対向する壁部２３６を連結する梁部２３７が形成されている。

壁部２３６や梁部２３７は、ベース部２３５をねじる力に対する抵抗となるので、ベース部２３５のねじれを抑制することができる。このようにシール部材２３０は、板状のベース部２３５に壁部２３６及び梁部２３７が設けられることで、ベース部２３５にねじれが生じにくい構成となっている。これにより、シール部材２３０の取り扱いが容易となり、シール部材２３０を上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０との間に配置する作業を行いやすくすることができる。ちなみに、シール部材が環状であり、壁部２３６や梁部２３７に相当する部分が設けられていないと、シール部材がねじれてしまい、このシール部材の修正に手間を要してしまう。

また、壁部２３６は、上流流路部材２１０及び配線基板３００に挟持されている。すなわち、壁部２３６の上面（上流流路部材２１０側の面）は上流流路部材２１０に押圧され、壁部２３６の下面（配線基板３００側の面）は配線基板３００に押圧されている。これにより、壁部２３６の内側である上流流路部材２１０とベース部２３５との境界部分が気密に保たれ、流路（上流流路５００、連通路２３２、下流流路６００）からインク中の水分が蒸発することが抑制されている。

ここで、上流流路部材２１０及び配線基板３００に挟持される圧力で壁部２３６が傾斜したり崩壊することで気密が保てなくなることを抑制するために、上流流路部材２１０には、溝部２１９が形成されている。

図８は、記録ヘッドの壁部を拡大した断面図である。図８（ａ）に示すように、第３上流流路部材２１３には、壁部２３６がはめ込まれる溝部２１９が形成されている。

具体的には、第３上流流路部材２１３は、ベース部２３５に接触する平坦部２１３ａ、平坦部２１３ａよりも外側において該平坦部２１３ａよりも第２上流流路部材２１２側に窪んだ凹部２１３ｂ、及び凹部２１３ｂよりも外側において平坦部２１３ａよりもシール部材２３０側に突出した脚部２１３ｃを有している。

これらの平坦部２１３ａと脚部２１３ｃとの間に凹部２１３ｂが形成されることで溝部２１９が形成されている。この溝部２１９は、平面視で環状に形成された壁部２３６に合わせて、第３上流流路部材２１３のシール部材２３０側の面に形成されている。また、溝部２１９の開口部２１８、すなわち平坦部２１３ａと凹部２１３ｂとの境界部分は面取りされている。さらに、脚部２１３ｃの配線基板３００との対向面においてシール部材２３０側は面取りされている。

このような溝部２１９には、壁部２３６がはめ込まれる。これにより、壁部２３６は、上流流路部材２１０及び配線基板３００による第３の方向Ｚの圧力を受けて側方に傾斜したり崩れることが溝部２１９により規制される。

このように壁部２３６の傾斜や崩壊が規制されるので、壁部２３６の上面と第３上流流路部材２１３との間に隙間ができることを抑制することができ、壁部２３６の内側の気密を保つことができる。

さらに、第３上流流路部材２１３には、溝部２１９の開口部２１８は面取りされ、脚部２１３ｃの配線基板３００との対向面においても面取りされている。これにより、配線基板３００上に配置されたシール部材２３０に対して第３上流流路部材２１３（上流流路部材２１０）を第３の方向Ｚの上方から接合する際に、壁部２３６を溝部２１９内に誘導することができる。

ここで、第３上流流路部材２１３の組み付け作業は、配線基板３００上にシール部材２３０を配置し、壁部２３６が溝部２１９にはめ込まれるように、該シール部材２３０上に第３上流流路部材２１３（上流流路部材２１０）を配置することにより行う。

このとき、シール部材２３０は、水平方向に力が加わらないため、シール部材２３０の各連通路２３２が下流流路６００に位置合わせされた状態を維持することができる。すなわち、これらの第３上流流路部材２１３及びシール部材２３０を組み付ける作業において、連通路２３２と下流流路６００の位置ずれを抑制することができる構成となっている。ちなみに、シール部材２３０の第３上流流路部材２１３との接合面が水平面から傾いていると、シール部材２３０が位置ずれしてしまう虞があり、そのずれを抑制するためには、別途シール部材２３０を保持する作業や器具が必要となってしまう。

このようにシール部材２３０に壁部２３６、第３上流流路部材２１３に溝部２１９を設けることで、第３上流流路部材２１３（上流流路部材２１０）をシール部材２３０上に配置する作業を行いやすくすることができる。

なお、壁部２３６の傾斜や崩壊を抑制する構成としては、図８（ａ）に示した態様に限定されない。例えば、図８（ｂ）のように、第３上流流路部材２１３には、壁部２３６の外側に接触する脚部２１３ｃを設ける態様であってもよい。当該態様によれば、壁部２３６が外側（脚部２１３ｃ側）に傾斜したり崩壊することを脚部２１３ｃにより抑制することができる。

また、図８（ｃ）に示すように、第３上流流路部材２１３には、シール部材２３０の傾斜や崩壊を抑制するために脚部２１３ｃとは別途にリブ２１３ｄを設けてもよい。

具体的には、第３上流流路部材２１３のシール部材２３０側において脚部２１３ｃよりも内側に、配線基板３００側に突出したリブ２１３ｄを形成する。このリブ２１３ｄは、平面視において、環状に形成され、その内側にシール部材２３０が収容される程度の大きさとなっている。また、リブ２１３ｄの内側には、リブ２１３ｄに連続したリブ２１３ｅが形成されている。リブ２１３ｅは、壁部２３６の上面が当接する部位であり、リブ２１３ｄよりも第２上流流路部材２１２側に窪んでいる。

壁部２３６は、壁部２３６の上面がリブ２１３ｅに当接し、外側の側面がリブ２１３ｄに当接している。

このような態様の第３上流流路部材２１３であっても、壁部２３６が外側（脚部２１３ｃ側）に傾斜したり崩壊することをリブ２１３ｄにより抑制することができる。

図４〜図６に示すように、シール部材２３０と下流流路部材２２０との間には、配線部材１２１が接続される配線基板３００が設けられている。本実施形態に係る配線基板３００の第１挿通孔３０１は、配線部材１２１が挿通されるとともに、シール部材２３０の第３突起部２３１も挿通される。また、配線基板３００には、シール部材２３０の第３突起部２３１のみが挿通する貫通孔３０２が設けられている。

すなわち、本実施形態では、４個の第３突起部２３１のうちの２個及び配線部材１２１が挿通する開口部である第１挿通孔３０１と、残り２個の第３突起部２３１のそれぞれが挿通する開口部である貫通孔３０２とが設けられている。

また、第１挿通孔３０１は、第２挿通孔２２４と同様に、配線部材１２１を保持する工具が挿通可能に形成されている。本実施形態の第１挿通孔３０１は、ほぼ四角形状であり、２つの配線部材１２１が挿通する大きさであり、かつ配線部材１２１を保持した工具が挿通可能となっている。また、平面視において、第１挿通孔３０１内に、下流流路部材２２０に形成された２つの第２挿通孔２２４が収まるように配線基板３００が配置されている。なお、２つの配線部材１２１の間には、２つのヘッドチップ２の下流流路６００が２個設けられているため、この下流流路６００に対応するシール部材２３０の第３突起部２３１は、配線部材１２１と共に第１挿通孔３０１に挿通される。

また、貫通孔３０２は、４つのうち２個の下流流路６００に対応して設けられた第３突起部２３１毎に設けられている。

なお、本実施形態では、２つのヘッドチップ２に共通する１つの配線基板３００を設けるようにした。もちろん、配線基板３００は、これに限定されず、１つのヘッドチップ２毎に分割して設けるようにしてもよい。

なお、本実施形態のように、２つのヘッドチップ２に共通する１枚の配線基板３００を用いることで、部品点数を減少させて組立作業を簡略化することができる。

また、配線基板３００の１つの開口部である第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と、２つの第３突起部２３１とを挿通することで、開口部を複数設ける場合に比べて、広い開口面積で第１挿通孔３０１を設けることができる。これにより、第１挿通孔３０１から配線部材１２１を引き出し易くして、組立性を向上することができる。ちなみに、配線部材１２１は、配線基板３００のヘッドチップ２側から上流流路部材２１０側に引き出して配線部材１２１と配線基板３００とを接続しなくてはならないが、可撓性を有する配線基板３００を狭い開口に挿通させるのは困難である。

また、配線基板３００の開口部である１つの第１挿通孔３０１に挿通される配線部材１２１を第３の方向Ｚに起立した状態とすると共に、第１挿通孔３０１に対向する２つの第２突起部２２１を第３の方向Ｚに沿って直線状に設けるようにしたため、第１挿通孔３０１の開口面積をできるだけ小さくすることができる。

また、配線基板３００には、上流流路部材２１０側の面であって、第１挿通孔３０１の第２の方向Ｙの両側の開口縁部に、配線部材１２１が接続される端子部３１０が設けられている。端子部３１０は、第１の方向Ｘに配線部材１２１の幅と略同じ幅に亘って形成されている。このような端子部３１０は、第３突起部２３１が挿通される貫通孔３０２を超えることなく形成されている。すなわち、端子部３１０は、第１挿通孔３０１と貫通孔３０２との間に設けられている。

そして、配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の第１挿通孔３０１に下流流路部材２２０側から挿通される。このように第１挿通孔３０１に挿通された配線部材１２１の他端部は、配線基板３００の表面（上流流路部材２１０側の表面）において第２の方向Ｙに沿って屈曲され、配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で端子部３１０に接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００（端子部３１０）との接続面は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内方向となる。

このように、配線部材１２１の他端部を屈曲することで、配線部材１２１を低背化でき、記録ヘッド１の第３の方向Ｚを小型化することができる。

また、本実施形態では、配線部材１２１と配線基板３００とを配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で、配線部材１２１が配線基板３００の表面に沿って端子部３１０と接続されている。つまり、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とは第３の方向Ｚで重なるように接続されている。

このように、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とを第３の方向Ｚで重なる位置で接続することで、一方面（上流流路部材２１０）側から配線部材１２１と配線基板３００との接続を容易に行うことができ、組立性を向上することができる。つまり、ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に固定すると共に配線部材１２１を第２挿通孔２２４に挿通し、配線基板３００の第１挿通孔３０１に挿通した後、第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通された配線部材１２１の端部を配線基板３００に接続するようにすれば、容易に組み立てられると共に配線部材１２１と配線基板３００とを容易に接続することができる。ちなみに、例えば、配線基板３００の下流流路部材２２０側の面で配線部材１２１と配線基板３００とを接続するには、先に配線部材１２１と配線基板３００とを接続した後、ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に固定する必要がある。このような工程で組み立てを行う場合、ヘッドチップ２と下流流路部材２２０とが固定されていない状態でも配線部材１２１と配線基板３００とが接続された状態が維持できるように配線部材１２１を長くしなければならず、高コストになってしまう。また、ヘッドチップ２と下流流路部材２２０とを固定した際には、長くした配線部材１２１に撓みが生じ、配線部材１２１上の配線が他の部材に接触することにより破損し、断線や短絡等の不具合が生じる虞がある。本実施形態では、配線部材１２１と配線基板３００とを配線基板３００の上流流路部材２１０側の表面上で、配線部材１２１と配線基板３００の端子部３１０とが第３の方向Ｚで重なるように接続することで、配線部材１２１に組み立て後の撓みが生じ難く、且つ配線部材１２１をヘッドチップ２と配線基板３００とを結ぶ最も短い距離（長さ）で設けることができるためコストを低減することができる。

また、下流流路部材２２０には、配線基板３００側にかしめピン２２８が立設されている。かしめピン２２８は、加熱により変形可能な樹脂等から形成されており、本実施形態では、下流流路部材２２０と一体的に６つ形成されている。

一方、配線基板３００には、かしめピン２２８が挿通されるかしめ穴３０３が６つ形成されている。

かしめピン２２８は、かしめ穴３０３を挿通しており、かしめピン２２８の頂部２２８ａが熱変形により、かしめピン２２８の開口径よりも大きくなっている。これにより下流流路部材２２０上に載置された配線基板３００は、かしめピン２２８により下流流路部材２２０に固定されている。

また、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３は、配線基板３００を所定位置に位置決めするためにも用いられる。ここでいう配線基板３００の所定位置とは、下流流路部材２２０の第２突起部２２１が配線基板３００の第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２に対向した位置である。つまり、平面視において各第２突起部２２１が第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２の内部に現れた位置である。

かしめ穴３０３にかしめピン２２８を挿通した状態において配線基板３００が上述した所定位置にとなるように、各かしめ穴３０３及びかしめピン２２８が形成されている。

したがって、かしめピン２２８にかしめ穴３０３を挿入するように配線基板３００を移動させれば、上述したような所定位置に配線基板３００を配置することができる。このように、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３は、配線基板３００を所定位置に配置するように誘導するので、配線基板３００を下流流路部材２２０に容易に位置決め及び固定させることができる。

また、詳細は後述するが、下流流路部材２２０上に配線基板３００を配置し、かしめ穴３０３にかしめピン２２８を挿通した状態では、かしめピン２２８の第３の方向Ｚにおける上方には、シール部材２３０や上流流路部材２１０はまだ存在していない。よって、かしめピン２２８の上方からヒートツール等の工具を用いて熱かしめする作業を容易に行うことができる。

なお、配線基板３００を下流流路部材２２０に固定する構成としては、上述したような、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３に限定されない。接着剤による接着や、ネジなどによる固定であってもよい。他にも、下流流路部材２２０に爪部を設け、該爪部を配線基板３００に係合させることで固定してもよい。

ここで、上述したように、配線基板３００には、シール部材２３０に設けられた第３突起部２３１が挿通する第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２が形成されている。

貫通孔３０２は、シール部材２３０を所定位置に位置決めするためにも用いられる。ここでいうシール部材２３０の所定位置とは、第３突起部２３１が下流流路部材２２０の第２突起部２２１に対向したときの位置である。

上述したように、かしめ穴３０３及びかしめピン２２８により配線基板３００を下流流路部材２２０に固定した状態において、当該配線基板３００の貫通孔３０２に第３突起部２３１を挿入するようにシール部材２３０を移動させれば、上述したような所定位置にシール部材２３０を配置することができる。このように、第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２は、シール部材２３０を所定位置に配置するように誘導するので、シール部材２３０を下流流路部材２２０に容易に位置決め及び固定させることができる。

また、詳細は後述するが、配線基板３００上にシール部材２３０を配置し、第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２に第３突起部２３１を挿通した状態では、シール部材２３０の第３の方向Ｚにおける上方には、上流流路部材２１０はまだ存在していない。よって、シール部材２３０を配置する作業を容易に行うことができる。

なお、配線基板３００には、図示しない配線や電子部品等が搭載されており、端子部３１０に接続された配線は、第２の方向Ｙの両端部側に設けられたコネクター３２０に接続されている。そして、コネクター３２０には、図示しない外部配線が接続される。なお、下流流路部材２２０には、コネクター３２０を露出するためのコネクター接続口２２５が設けられており、外部配線は、コネクター接続口２２５によって露出されたコネクター３２０に接続される。

また、下流流路部材２２０の収容部２２６側には、固定部材の一例であるカバーヘッド４００が取り付けられている。

カバーヘッド４００は、ヘッドチップ２が固定され、下流流路部材２２０に固定される部材であり、ノズル２１を露出する第２露出開口部４０１が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部４０１は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。

カバーヘッド４００は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。このようにコンプライアンス部４９をカバーヘッド４００で覆うことにより、コンプライアンス部４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス部４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド４００の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド４００に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、カバーヘッド４００とコンプライアンス部４９との間の空間は、大気開放されている。もちろん、カバーヘッド４００は、ヘッドチップ２毎に独立して設けられていてもよい。

このように２つのヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００は、下流流路部材２２０の下面側（液体噴射面２０ａ側）に固定されている。

ヘッドチップ２は記録ヘッド１を構成する各部品と比較して小さい。このためヘッドチップ２を保持して他の部材に取り付ける作業を行いにくいものである。しかしながら、２つのヘッドチップ２をカバーヘッド４００に固定した上で、該カバーヘッド４００を下流流路部材２２０に固定することで、２つのヘッドチップ２をまとめて収容部２２６内に収容し、固定することができる。すなわち、取り扱いしにくいヘッドチップ２を個別に収容部２２６に収容する必要がない。

このようにヘッドチップ２が固定されるカバーヘッド４００を採用することで、複数のヘッドチップ２をまとめて収容部２２６に収容することができるので、記録ヘッド１の組み付け作業を容易にすることができる。

ここで、上述したように、シール部材２３０、配線基板３００、下流流路部材２２０とで形成された空間Ａは、第２挿通孔２２４を介して収容部２２６に連通している。一方、カバーヘッド４００が下流流路部材２２０に固定されることで、収容部２２６が封止されている（カバーヘッド４００に設けられた第２露出開口部４０１は、ヘッドチップ２により封止されており、収容部２２６には連通していない）。

このように、シール部材２３０を下流流路部材２２０に配置し、収容部２２６をカバーヘッド４００で封止することにより、シール部材２３０よりも第３の方向Ｚにおける下方に形成された空間Ａを外部から遮断することができる。これにより、当該空間Ａにおいて、例えばシール部材２３０の連通路２３２と第２突起部２２１との隙間を介してインク中の水分が蒸発することを抑制することができる。

また、下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０とは反対側に開口した収容部２２６を設けた。このような構成の下流流路部材２２０は、上流流路部材２１０側の上面部２２０ａが上方からの圧力を受け止める部位となり、収容部２２６を形成する脚部２２０ｂが上面部２２０ａに剛性を持たせる構成となっている。

上述したように、シール部材２３０には、第３突起部２３１に形成された連通路２３２を上流流路５００及び下流流路６００に連通させるために、第３の方向Ｚの圧力が掛けられる。

仮に、収容部２２６を設けることなく、板状の下流流路部材の下面側に各ヘッドチップ２を取り付けた場合、シール部材２３０に掛けられる第３の方向Ｚの圧力によって上面部２２０ａが撓み、ヘッドチップ２に応力が生じてしまい、ヘッドチップ２の破壊やヘッドチップ２と下流流路部材の接合部の剥離を引き起こす虞がある。

しかしながら、下流流路部材２２０に収容部２２６を設けることで、第３の方向Ｚの圧力が上面部２２０ａを撓ませようとするのを脚部２２０ｂの剛性によって抑制できるため、収容部２２６に収容されたヘッドチップ２に応力が生じることを抑制することができる。

また、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０には、これらの相対位置を規定する基準マークが形成されていてもよい。カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０の相対位置とは、カバーヘッド４００に固定された各ヘッドチップ２が下流流路部材２２０の収容部２２６内に収容され、かつ各ヘッドチップ２の導入口４４が下流流路６００に接続されたときのカバーヘッド４００及び下流流路部材２２０の位置である。

基準マークがカバーヘッド４００及び下流流路部材２２０の相対位置を規定するとは、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０のそれぞれに設けられた基準マークが所定の位置関係にあれば、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０が上記相対位置に配置されることをいう。

基準マークの形成方法には特に限定はなく、例えば光学的に認識できるものであればよく、具体的にはインクなどで印刷したものや、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０の表面を切削等して作製した模様であってもよい。

図９は、記録ヘッドの底面図である。同図に示すように、本実施形態では、下流流路部材２２０の第３の方向Ｚを向いた底面（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙで規定される面）に、第１基準マーク２２９が設けられている。また、カバーヘッド４００の底面（ヘッドチップ２とは反対側の面）に、第２基準マーク４０５が設けられている。

第１基準マーク２２９は、下流流路部材２２０の底面視において、収容部２２６に開口した下流流路６００の開口から第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにそれぞれ所定距離だけ離れて設けられている。

第２基準マーク４０５は、カバーヘッド４００の底面視において、導入口４４から第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにそれぞれ所定距離だけ離れて設けられている。

このような第１基準マーク２２９は間接的に下流流路６００の位置を示し、第２基準マーク４０５は間接的に導入口４４の位置を示していることになる。したがって、第１基準マーク２２９と第２基準マーク４０５とが、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙがなす平面において所定の配置となるようにカバーヘッド４００及び下流流路部材２２０の位置を調整することで、導入口４４が下流流路６００に連通するような配置、すなわちカバーヘッド４００及び下流流路部材２２０を上記相対位置に配置した状態にすることができる。そして、このような相対位置が維持された状態で、ヘッドチップ２が収容部２２６に収容され、カバーヘッド４００が下流流路部材２２０に固定されている。

このように第１基準マーク２２９及び第２基準マーク４０５を設けることで、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０を上記相対位置に容易に配置することができる。なお、第１基準マーク２２９及び第２基準マーク４０５とを所定の配置にする方法は特に限定はないが、例えば、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０を底面側から撮像する撮像手段を用いることができる。この撮像手段により、第１基準マーク２２９及び第２基準マーク４０５を撮像し、それらの像が所定の配置となるように下流流路部材２２０の位置をマイクロメーターなどで調整することにより行うことができる。

また、詳細は後述するが、ヘッドチップ２、カバーヘッド４００及び下流流路部材２２０をそれぞれ固定する方法は、ヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００を下流流路部材２２０に固定することにより行う。

具体的にはヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００を載置した状態で、カバーヘッド４００と下流流路部材２２０とが上記相対位置を保った状態で、第３の方向Ｚの上方から下流流路部材２２０をヘッドチップ２側に押し付ける。

ヘッドチップ２の導入口４４が設けられた上面には接着剤２２７が設けてあり、下流流路６００が開口した収容部２２６の底面に接着される。収容部２２６の第３の方向Ｚにおける深さは、ヘッドチップ２の高さ（第３の方向Ｚにおける液体噴射面２０ａから導入口４４まで高さ）よりも若干深く形成されている。

したがって、ヘッドチップ２の導入口４４の開口縁部と、収容部２２６の底面に開口した下流流路６００の開口縁部との間には若干の隙間が形成される。しかしながら、この隙間には、接着剤２２７が設けられているので、導入口４４と下流流路６００とは隙間なく連通される。

換言すれば、収容部２２６の深さと、ヘッドチップ２の高さとが厳密に一致しなくても、接着剤２２７がその差を埋めるので、ヘッドチップ２の導入口４４と、収容部２２６の底面に開口した下流流路６００とを隙間なく連通させることができる。

また、下流流路部材２２０は、上流流路部材２１０とは反対側に開口した収容部２２６が設けられている。ヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００の上方から下流流路部材２２０をヘッドチップ２側に押し付けて固定する作業を容易に行うことができる。

なお、下流流路部材２２０とヘッドチップ２との固定方法は接着剤２２７による接着に限定されず、例えば、ネジ等による固定であってもよい。

ここで、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０との接合部分について説明する。図１０は、上流流路部材と下流流路部材との接合部分を拡大した要部断面図であり、図１１は、図１０のＢ−Ｂ’線断面図である。

図１０及び図１１並びに図４に示すように、上流流路部材２１０には、下流流路部材２２０側に突出する固定ピン２５１が形成され、下流流路部材２２０には、第３の方向Ｚに貫通して固定ピン２５１が挿入される固定穴２５３が形成されている。本実施形態では、固定ピン２５１は、上流流路部材２１０の角部に４つ設けられ、固定穴２５３は固定ピン２５１に対応して下流流路部材２２０の角部に４つ設けられている。

固定ピン２５１は、円柱状に形成されており、先端部にはネジ穴２５２が形成されている。

固定穴２５３は、固定ピン２５１の側面に接触する内面を有している。本実施形態では、固定穴２５３の開口形状は、固定ピン２５１の側面に外接する四角形状に形成されている。また、固定穴２５３の固定ピン２５１が挿入される側には、当該固定穴２５３よりも拡径した開口部２５４が設けられている。この開口部２５４は、固定ピン２５１の外径よりも大きく形成されている。

固定ピン２５１は、固定穴２５３に挿入され、固定ネジ２５５がネジ穴２５２に取り付けられている。この固定ネジ２５５の取り付けにより、上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０とが固定されている。

このように固定穴２５３の開口部２５４が固定ピン２５１よりも大きく形成されていることで、固定ピン２５１を開口部２５４内に容易に挿入することができる。このことは、上流流路部材２１０を下流流路部材２２０に固定する際に、下流流路部材２２０に対する上流流路部材２１０の位置決めを大まかではあるが速やかに位置決めすることができる。

固定ピン２５１が開口部２５４に挿入された状態から上流流路部材２１０の位置を微調整することで固定ピン２５１を固定穴２５３に挿入することができる。固定ピン２５１は、固定穴２５３に外接するので、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおける移動が規制される。

上流流路部材２１０が固定ピン２５１及び固定ネジ２５５で下流流路部材２２０に固定されると、上流流路５００がシール部材２３０の連通路２３２に連通し（図５参照）、シール部材２３０の壁部２３６が脚部２１３ｃの内側に配置されるようになっている（図８参照）。

そして、ネジ穴２５２に固定ネジ２５５を取り付けることで、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とが固定される。

なお、固定ピン２５１が下流流路部材２２０に形成され、固定穴２５３が上流流路部材２１０に形成されていてもよい。また、必ずしも固定穴２５３は固定ピン２５１の外面が接触する内面を有していなくてもよい。すなわち固定穴２５３の内面と、固定ピン２５１の外面との間に隙間があってもよい。

以下、上述した構成の記録ヘッド１の製造方法について説明する。図１２〜図１４は、記録ヘッドの製造方法を示す断面図であり、図１５は、記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。

図１２（ａ）に示すように、下流流路部材２２０に配線基板３００を取り付ける。具体的には、配線基板３００のかしめ穴３０３にかしめピン２２８を挿通させる。

上述したように、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３は、配線基板３００を下流流路部材２２０に対する所定位置に配置するためにも設けられている。すなわち、かしめピン２２８にかしめ穴３０３を挿入するように配線基板３００を移動させれば、下流流路部材２２０の第２突起部２２１が配線基板３００の第１挿通孔３０１及び貫通孔３０２に対向した位置に配線基板３００を配置することができる。

このように、かしめピン２２８及びかしめ穴３０３は、配線基板３００を所定位置に配置するように誘導するので、配線基板３００を下流流路部材２２０に容易に位置決め及び固定させることができる。

次に、図１２（ｂ）に示すように、かしめピン２２８の頂部２２８ａを熱かしめすることで、配線基板３００を固定する。上述したように、下流流路部材２２０上に配線基板３００を配置し、かしめ穴３０３にかしめピン２２８を挿通した状態では、かしめピン２２８の第３の方向Ｚにおける上方には、シール部材２３０や上流流路部材２１０はまだ存在していない。よって、かしめピン２２８の上方からヒートツール等の工具を用いて熱かしめする作業を容易に行うことができる。

このように配線基板３００を下流流路部材２２０に取り付けた後は、下流流路部材２２０に形成された第２挿通孔２２４の工具挿通部２６０、及び第１挿通孔３０１に、第２挿通孔２２４の収容部２２６とは反対側から、配線部材１２１を保持することが可能な工具７００を挿入する。ここでは、配線部材１２１を挟持するピンセットを工具７００として用いている。そして、配線部材１２１が第３の方向Ｚに沿って起立した状態を保持したまま、工具７００で配線部材１２１を挟持する。

また、上述した第１基準マーク２２９と第２基準マーク４０５とが所定の配置となるように、下流流路部材２２０及びカバーヘッド４００の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおける位置を調整する。これにより、下流流路部材２２０は、ヘッドチップ２が収容部２２６内に収容され、導入口４４が下流流路６００に連通され、配線部材１２１が第２挿通孔２２４に挿通されるような位置に配置される。

また、予め、ヘッドチップ２の導入口４４側の上面に接着剤２２７を設け、カバーヘッド４００の下流流路部材２２０側の面にも接着剤（図示せず）を設けておく。また、配線部材１２１は、第３の方向Ｚに平行となるように保持しておく。なお、カバーヘッド４００には、各ヘッドチップ２の各ノズル２１同士の相対位置が所定の配置となるように、ヘッドチップ２が固定されている。

次に、図１３（ａ）に示すように、配線部材１２１を挟持した工具７００が下流流路部材２２０及び配線基板３００から離れるように工具７００を下流流路部材２２０に対して相対移動させる。

具体的には、配線部材１２１を挟持した工具７００を保持する一方で、第３の方向Ｚに沿って下流流路部材２２０をカバーヘッド４００側に移動させる。すなわち、配線部材１２１を保持した工具７００は下流流路部材２２０から離れ、工具７００は配線部材１２１を挟持したまま第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４から引き抜かれる。これにより、第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４（配線部材挿通部２２４ａ）に配線部材１２１を挿通させることができる。

上述した例では、工具７００を保持して、下流流路部材２２０を相対移動させたが、下流流路部材２２０を保持して工具７００を相対移動させてもよい。例えば、配線部材１２１を挟持した工具７００が第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通された状態で下流流路部材２２０及び配線基板３００を保持する。次に、カバーヘッド４００を下流流路部材２２０側に移動させる。このようなカバーヘッド４００の移動にともない、工具７００も第３の方向に沿って上方（上流流路部材２１０側）に押し上げる。すなわち、工具７００は下流流路部材２２０及び配線基板３００から離れる。このような態様によっても、工具７００は配線部材１２１を挟持したまま第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４から引き抜かれる。これにより、第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４（配線部材挿通部２２４ａ）に配線部材１２１を挿通させることができる。

このように、工具７００が挿通可能な第１挿通孔３０１及び工具挿通部２６０が設けられているので、予め工具７００を第１挿通孔３０１及び工具挿通部２６０に挿通させる作業を容易に行うことができる。そして、工具挿通部２６０に挿通した工具７００で配線部材１２１を挟持し、下流流路部材２２０をカバーヘッド４００側に移動させるだけで、配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通させることができる。

可撓性を有する配線部材１２１を直接第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿入させる場合、第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿入する作業は容易ではない。当該作業は、特に、本実施形態のように第２挿通孔２２４が小型化のために開口形状が小さく形成される場合は困難である。

しかしながら、本製造方法によれば、予め第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通させた工具７００に配線部材１２１を挟持させた状態で、当該工具７００を下流流路部材２２０から離すように移動させる作業によって、配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通させることができる。すなわち、配線部材１２１を直接第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿入する際の困難な作業が要求されない。このように、本製造方法では、第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４の開口形状によらず、可撓性を有する配線部材１２１を容易に挿通させることができる。

また、工具７００を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４（工具挿通部２６０）に挿通する作業、及び配線部材１２１を挟持した工具７００を下流流路部材２２０から離すように移動させることで配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４（配線部材挿通部２２４ａ）に挿入する作業は、いずれも第３の方向Ｚに沿った作業である。

このように、本製造方法では、液体噴射面２０ａに垂直な第３の方向Ｚに沿った作業のみで、配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通することができる。すなわち、第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙに沿って移動させる作業ではないため、配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通させる作業を簡略化、高速化することが可能となり、記録ヘッド１の製造に係る手間や時間を軽減して低コストの記録ヘッド１を提供することができる。

また、ヘッドチップ２がカバーヘッド４００に固定されているので、ヘッドチップ２及びこれに接続された配線部材１２１がずれることが抑制されている。これにより、各ヘッドチップ２に接続された配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通させる作業をより確実に行うことができる。

配線部材１２１の挿通後は、下流流路部材２２０をカバーヘッド４００に押圧し接着する。これにより、ヘッドチップ２が収容部２２６に収容され、導入口４４が下流流路６００に連通し、配線部材１２１が第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に挿通された状態で、下流流路部材２２０とカバーヘッド４００とを固定することができる。

下流流路部材２２０には、上流流路部材２１０とは反対側に開口した収容部２２６が設けられている。このため、ヘッドチップ２が固定されたカバーヘッド４００の上方から下流流路部材２２０をヘッドチップ２側に押し付けて固定する作業を容易に行うことができる。

ここで、カバーヘッド４００を用いずに、各ヘッドチップ２を単に下流流路部材２２０の収容部２２６に収容して固定する場合では、ヘッドチップ２の導入口４４側に設けられた接着剤２２７の厚みのばらつきによって、各液体噴射面２０ａを同一面に揃えることは難しい。

しかしながら、本実施形態に係る記録ヘッド１では、ヘッドチップ２をカバーヘッド４００に固定しておくことで、予め各ヘッドチップ２の液体噴射面２０ａを同一面に精度よく配置しておくことができ、その状態を保ったまま、カバーヘッド４００とともに各ヘッドチップ２を下流流路部材２２０に取り付けることができる。

また、上述したように第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１のそれぞれに対応して個別の第１挿通孔３０１を複数設ける場合に比べて、広い開口面積で形成されているので、第１挿通孔３０１から配線部材１２１を引き出し易く、組立性を向上することができる。配線部材１２１は可撓性を有するので部材の姿勢を保つことが難しく、開口面積が小さいと位置合わせが難しいが、開口面積が広いので位置合わせが容易になる。また、上面側から補助的に姿勢を保たせる作業も容易になる。

さらに、収容部２２６の深さと、ヘッドチップ２の高さとが厳密に一致していなくても、接着剤２２７がその差を埋めるので、ヘッドチップ２の導入口４４と、収容部２２６の底面に開口した下流流路６００とを隙間なく連通させることができる。

次に、図１３（ｂ）に示すように、配線部材１２１の先端部を折り曲げ、配線基板３００の端子部３１０に電気的に接合する。配線部材１２１を端子部３１０に電気的に接合する際には、配線基板３００の第３の方向Ｚにおける上方には、シール部材２３０や上流流路部材２１０は存在していない。よって、配線基板３００の上方から配線部材１２１を端子部３１０に電気的に接続する作業を容易に行うことができる。

次に、シール部材２３０を配線基板３００上に載置し、シール部材２３０の連通路２３２を下流流路６００に連通させる。上述したように、配線基板３００の貫通孔３０２は、シール部材２３０の第３突起部２３１が挿通されることで、連通路２３２を下流流路６００に誘導する機能を果たす。

すなわち、図１４（ａ）に示すように、シール部材２３０を配線基板３００上のおおよその位置に配置したとしても、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに若干移動させれば、図１４（ｂ）に示すように、第３突起部２３１が貫通孔３０２に挿入される。そして、第３突起部２３１が貫通孔３０２に挿入されると、各第３突起部２３１の連通路２３２を下流流路６００に連通させることができる。詳細には、第３突起部２３１に形成された第２凹部２３４に第２突起部２２１を挿入することで連通路２３２と下流流路６００とを連通させる。

このように、第３突起部２３１及び貫通孔３０２は、シール部材２３０を所定位置に配置するように誘導するので、シール部材２３０を下流流路部材２２０に容易に位置決め及び固定させることができる。

また、配線基板３００上にシール部材２３０を配置する際には、シール部材２３０の第３の方向Ｚにおける上方には、上流流路部材２１０はまだ存在していない。よって、シール部材２３０を配置する作業を容易に行うことができる。

次に、特に図示しないが、上流流路部材２１０を、シール部材２３０及び配線基板３００を間に挟んで下流流路部材２２０に固定する。

具体的には、図１５（ａ）に示すように、上流流路部材２１０の固定ピン２５１を下流流路部材２２０の開口部２５４に挿入することで、上流流路部材２１０を下流流路部材２２０に対しておおよその位置決めを行う。そして、図１５（ｂ）に示すように、上流流路部材２１０の第１の方向及び第２の方向における位置を微調整することで、固定ピン２５１を固定穴２５３に挿入する。そして、固定ピン２５１を固定ネジ２５５で固定する（図１０参照）。

このように、上流流路部材２１０を下流流路部材２２０に固定する際に、開口部２５４に固定ピン２５１を挿入することで、下流流路部材２２０に対する上流流路部材２１０の位置決めを大まかではあるが速やかに位置決めすることができる。そして、固定ピン２５１を固定穴２５３に挿入することで、上流流路５００が連通路２３２に連通し、シール部材２３０及び配線基板３００を挟持した状態で、上流流路部材２１０と下流流路部材２２０とを固定することができる。

また、上述したように、下流流路部材２２０に収容部２２６を形成したことで、第３の方向Ｚに圧力を掛けてもヘッドチップ２に応力が生じない構成とした。そして、シール部材２３０は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙには位置決めのために若干移動させるのみであり、第３の方向Ｚに圧力が掛けられることで上流流路５００及び下流流路６００を連通する。すなわち、実質的には第３の方向Ｚのみの移動や圧力付与のみでシール部材２３０を上流流路部材２１０及び下流流路部材２２０に組み付けることができる構造となっている。

このように、下流流路部材２２０に収容部を形成したことで、ヘッドチップ２に応力が掛かることを抑制し、シール部材２３０の組み付け作業を容易にすることができる。

以上に説明したように、記録ヘッド１は、第３の方向Ｚに沿って各部材を積層することで組み立てることができる。すなわち、第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙに沿って移動させる部材はない。また、各部材は、他の部材に組み付けられた後は、当該部材よりも第３の方向Ｚの下方に位置する部材で支持されるため、特別な器具で当該部材の姿勢や位置を保持する必要がない。

これにより、記録ヘッド１は、特に、機械による自動的な組み立てに適した構造を有しているため、組立に係るコストを大幅に削減することが可能である。

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

実施形態１では、配線部材１２１を第１挿通孔３０１及び第２挿通孔２２４に一度の作業で挿通させたが、配線部材１２１を各挿通孔に個別に挿通させてもよい。例えば、下流流路部材２２０の第２挿通孔２２４に工具７００を挿通し、工具７００で配線部材１２１を挟持し、当該工具７００を下流流路部材２２０から離すように移動させることにより、第２挿通孔２２４に配線部材１２１を挿通させる。ここで配線部材１２１から工具７００を離す。

次に、配線基板３００の第１挿通孔３０１に工具７００を挿通し、配線部材１２１を挟持する。工具７００で配線部材１２１を挟持した状態で、配線基板３００を下流流路部材２２０側に移動させるとともに、当該工具７００を配線基板３００から離すように移動させる。これにより、下流流路部材２２０に配線基板３００を取り付けるとともに、配線部材１２１を第１挿通孔３０１に挿通させることができる。

また、第１挿通孔３０１は、２つの配線部材１２１及び工具７００が挿通される形状としたが、このような態様に限定されない。下流流路部材２２０に形成した第２挿通孔２２４と同様に、配線基板３００にも個別の配線部材１２１及び工具７００が挿通可能な第１挿通孔を配線部材１２１の個数に応じて複数形成してもよい。

上述した実施形態１では、ヘッドチップ２が２つ設けられた記録ヘッド１について説明したが、ヘッドチップ２の数は、特にこれに限定されず、１個のヘッドチップを有する記録ヘッド１であっても、３個以上のヘッドチップ２を有する記録ヘッド１であってもよい。

また、上述した実施形態１では、第１挿通孔３０１に２つの配線部材１２１と２個の下流流路６００に対応する第３突起部２３１とを挿通するようにしたが、特にこれに限定されず、配線部材１２１を挿通する第１挿通孔と第３突起部２３１を挿通する貫通孔を独立して設けるようにしてもよい。また、第３突起部２３１毎に貫通孔を独立して設けるようにしてもよい。

さらに、上述した実施形態１では、上流流路５００が設けられた上流流路部材２１０と下流流路６００が設けられた下流流路部材２２０とを有する流路部材２００を例示したが、例えば、インク（液体）を循環させる場合には、上流と下流とを逆転させればよい。すなわち、ヘッドチップ２に供給されたインクを下流流路６００から上流流路５００に流して液体保持部や排出されたインクが貯留される貯留部等に排出（循環）すればよい。

また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター１３０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、実施形態１の記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１６に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数の記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニットＩＩ（以下、ヘッドユニットＩＩとも言う）は、液体保持部を構成するカートリッジ１Ａが着脱可能に設けられ、このヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニットＩＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニットＩＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１（ヘッドユニットＩＩ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、液体保持部であるカートリッジ１Ａがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体保持部を装置本体４に固定して、液体保持部と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体保持部がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ＩＩ インクジェット式記録ヘッドユニット、 １ 記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２ ヘッドチップ、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル、 １００ マニホールド、 １２０ 駆動回路、 １２１ 配線部材、 １３０ 圧電アクチュエーター、 ２００ 流路部材、 ２１０ 上流流路部材、 ２２０ 下流流路部材、 ２２４ 第２挿通孔、 ２２６ 収容部、 ２２９ 第１基準マーク、 ２３０ シール部材、 ２３１ 第３突起部（突起部）、 ２３２ 連通路、 ３００ 配線基板、 ３０１ 第１挿通孔、 ３０２ 貫通孔、 ３０３ かしめ穴、 ４００ カバーヘッド（固定部材）、 ５００ 上流流路、 ６００ 下流流路

Claims (4)

1. 液体噴射面から液体を噴射するヘッドチップと、
   液体の第１流路が設けられた第１流路部材と、
   前記第１流路部材に接合され、当該第１流路部材とは反対側に開口して前記ヘッドチップが収容される収容部及び該収容部内に開口して前記第１流路に接続される液体の第２流路が設けられた第２流路部材と、
   前記ヘッドチップ内の流路に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に接続された配線部材と、
   前記第１流路部材と前記第２流路部材との間に配置された配線基板とを備え、
   前記第１流路部材及び前記第２流路部材側に開口して前記配線基板に形成された第１挿通孔と、前記収容部及び前記配線基板側に開口して前記第２流路部材に形成された第２挿通孔とを挿通した前記配線部材が前記配線基板に接合され、
   前記第２挿通孔は、前記配線部材を保持した工具が挿通可能に形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   前記第２挿通孔の前記第１流路部材側の開口から前記工具を挿入し、
   当該工具で前記ヘッドチップの前記圧力発生手段に接続された前記配線部材を保持し、
   前記配線部材を保持した前記工具が前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記第２流路部材に対して相対移動させることで、前記配線部材を前記第２挿通孔に挿通させる
   ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
2. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
   前記配線基板の前記第１挿通孔は、前記配線部材を保持した前記工具が挿通可能に形成されており、
   前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔の前記第１流路部材側の開口から前記工具を挿入し、
   当該工具で前記ヘッドチップの前記圧力発生手段に接続された前記配線部材を保持し、
   前記配線部材を保持した前記工具が前記配線基板及び前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記配線基板及び前記第２流路部材に対して相対移動させることで前記配線部材を前記第１挿通孔及び前記第２挿通孔に挿通させる
   ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
   前記ヘッドチップを前記第２流路部材に固定される固定部材に固定し、
   当該固定部材に固定された前記ヘッドチップに接続された前記配線部材を前記工具を用いて保持する
   ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
   前記第１挿通孔又は前記第２挿通孔の少なくとも一方は、前記配線部材が挿通する配線部材挿通部と、前記工具が挿通する工具挿通部が一体的に形成されたものであり、
   前記工具を前記一方の前記工具挿通部に挿入し、
   前記配線部材を保持した前記工具が前記第２流路部材から離れるように当該工具を前記第２流路部材に対して相対移動させることで前記配線部材を前記配線部材挿通部に挿通させる
   ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。

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